JPH0231147A - Apparatus and probe for measuring heat conductivity - Google Patents

Apparatus and probe for measuring heat conductivity

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JPH0231147A
JPH0231147A JP18223088A JP18223088A JPH0231147A JP H0231147 A JPH0231147 A JP H0231147A JP 18223088 A JP18223088 A JP 18223088A JP 18223088 A JP18223088 A JP 18223088A JP H0231147 A JPH0231147 A JP H0231147A
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JP
Japan
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thermal conductivity
measuring
probe
measured
liquid
Prior art date
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Pending
Application number
JP18223088A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Fumio Yamamoto
文雄 山本
Arata Nakamura
新 中村
Taketoshi Hibiya
孟俊 日比谷
Takao Yokota
孝夫 横田
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UCHU KANKYO RIYOU KENKYUSHO KK
NEC Corp
Original Assignee
UCHU KANKYO RIYOU KENKYUSHO KK
NEC Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by UCHU KANKYO RIYOU KENKYUSHO KK, NEC Corp filed Critical UCHU KANKYO RIYOU KENKYUSHO KK
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Publication of JPH0231147A publication Critical patent/JPH0231147A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To measure the heat conductivity of a high temp. conductive liquid by preventing the generation of a Marangoni convection under minute gravity environment. CONSTITUTION:A probe 1 for measuring heat conductivity consists of a semi- columnar measuring part 2, a flange part 3 and a columnar rod part 4, and a liquid 19 to be measured is sealed in a container 13 in a state pressed to a spring through a piston 20. The container 13 and the probe 1 are connected by a cap 16 through a gasket 15 and a current is supplied to a fine wire part 6 through metal lead wires 11 to heat the same and the voltage change between both terminals of the fine wire part is measured by a voltage measuring lead 7 to calculate the temp. rise ratio of the fine wire part 6 and the heat conductivity of the liquid 9. By this method, in such a state that both of a heat convection and a Maragoni convection being the main causes of a measuring error are not present, heat conductivity can be measured with high accuracy while a state having no free surface is held to the liquid to be measured under minute gravity environment.

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は液体の熱物性測定技術にかかわる。さらに詳細
には、常温で固体である物質の融液の非定常細線法によ
る熱伝導率測定技術にかかわる。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Field of Industrial Application) The present invention relates to a technology for measuring thermophysical properties of liquids. More specifically, it relates to a technique for measuring the thermal conductivity of a melt of a substance that is solid at room temperature using an unsteady thin wire method.

(従来の技術) これまで、電気伝導性液体、特に半導体融体の熱伝導率
は、グラシフ、チバフスカヤ、およびグラゴレバ等の「
゛リキッド・セミコンダクターズ′ツプレナム、プレス
、ニューヨーク、1969年]によって、同心円筒法を
用いた定常法による測定が行なわれている。液体におけ
る熱伝導率の測定においては、長板及び長高によって、
ジャーナル・オブ・フィジックスE、第14巻、143
5ページ、1981年に報告されているように、非定常
細線法による測定がすぐれた測定精度を保証するものと
して推奨されている。
(Prior Art) Until now, the thermal conductivity of electrically conductive liquids, especially semiconductor melts, has been evaluated by
[Liquid Semiconductors' Plenum, Press, New York, 1969] conducted measurements by a steady method using a concentric cylinder method. When measuring thermal conductivity in liquids, by using a long plate and a long height,
Journal of Physics E, Volume 14, 143
As reported on page 5, 1981, measurement by the unsteady thin wire method is recommended as it guarantees excellent measurement accuracy.

この非定常細線法の原理を応用して電気伝導性を有する
液体の熱伝導率を測定する目的でセラミックス基板に導
体をプリント配線したものに、さらにコーティングを施
してプローブとする構造を本発明者らは出願している。
In order to measure the thermal conductivity of electrically conductive liquids by applying the principle of this unsteady thin wire method, the present inventor has developed a structure in which a conductor is printed on a ceramic substrate and further coated to form a probe. have applied.

この方法は第5図に示した構造のプローブを使用してい
る。即ち、このプローブでは、アルミナ等の酸化物、あ
るいは窒化アルミニウムなどの窒化物製のセラミックス
基板36上に、白金などの金属で熱を発生させるための
細線部37と細線リード部38を形成し、電流をながす
ための電流端子31.33をその両端に設けている。ま
た細線部37の電気抵抗の変化を測定するため、細線部
37の両端より電圧測定リード39をだし、電圧測定端
子32.34に導いている。これら4つの端子31.3
2.33.34とリード部38.39は細線と同様に金
属で形成されている。さらにその上に絶縁のため、絶縁
被覆膜35としてセラミックスがコーティングされてい
る。このプローブを用いて、電気伝導性を有する液体の
熱伝導率を測定する方法を、図に従って説明する。
This method uses a probe having the structure shown in FIG. That is, in this probe, a thin wire portion 37 and a thin wire lead portion 38 for generating heat using a metal such as platinum are formed on a ceramic substrate 36 made of an oxide such as alumina or a nitride such as aluminum nitride. Current terminals 31 and 33 for flowing current are provided at both ends thereof. Further, in order to measure the change in electrical resistance of the thin wire portion 37, voltage measurement leads 39 are taken out from both ends of the thin wire portion 37 and led to voltage measurement terminals 32 and 34. These four terminals 31.3
2.33.34 and the lead portions 38.39 are made of metal as well as the thin wires. Further, ceramic is coated thereon as an insulating coating film 35 for insulation. A method of measuring the thermal conductivity of an electrically conductive liquid using this probe will be explained with reference to the drawings.

第6図は第5図のプローブを用いた液体の熱伝導率の非
定常細線法による測定原理を示す基本構成の説明図であ
る。図において、41が第5図に示したプローブであり
、容器42にいれられた被測定液体43の中に浸漬され
ている。電流端子31.32には電源44が接続され、
細線部37を通電加熱する。細線部37で発生したジュ
ール熱は細線部の温度を高めるとともに熱伝導により被
測定液体43の方に逃げる。この場合、通電直後の対数
時間に対する細線部の温度変化は第7図に示すような挙
動を示し、その直線部分りの傾きから被測定液体の熱伝
導率を求める事ができる。
FIG. 6 is an explanatory diagram of the basic configuration showing the principle of measuring the thermal conductivity of a liquid by the unsteady thin wire method using the probe of FIG. 5. In the figure, numeral 41 is the probe shown in FIG. 5, which is immersed in a liquid to be measured 43 contained in a container . A power source 44 is connected to the current terminals 31 and 32,
The thin wire portion 37 is heated with electricity. The Joule heat generated in the thin wire portion 37 increases the temperature of the thin wire portion and escapes toward the liquid to be measured 43 by heat conduction. In this case, the temperature change in the thin wire portion with respect to logarithmic time immediately after energization exhibits the behavior shown in FIG. 7, and the thermal conductivity of the liquid to be measured can be determined from the slope of the straight line portion.

即ち、第7図の直線部分で示される細線の温度上昇量Δ
Tは、被測定液体43の熱伝導率λ1、セラミックス基
板36の熱伝導率λ2と、細線に投入する電力q、電力
投入時間tおよび定数Aにより、(1)式により表わさ
れる。
That is, the temperature rise amount Δ of the thin line shown by the straight line part in FIG.
T is expressed by equation (1) using the thermal conductivity λ1 of the liquid to be measured 43, the thermal conductivity λ2 of the ceramic substrate 36, the electric power q input to the thin wire, the electric power input time t, and the constant A.

ΔT=[(q/4n(λ1+λz)][1n(t)+A
]      (1)セラミックス基板36の熱伝導率
λ2と、細線に投入する電力qが既知であるから、第7
図の直線部分りの傾きq/4n(λ1+λ2)が求まれ
ば、被測定液体43の熱伝導率λ1が求まることになる
ΔT=[(q/4n(λ1+λz)][1n(t)+A
] (1) Since the thermal conductivity λ2 of the ceramic substrate 36 and the electric power q input to the thin wire are known, the seventh
If the slope q/4n (λ1+λ2) of the straight line in the figure is found, the thermal conductivity λ1 of the liquid to be measured 43 can be found.

ここで、細線部を構成している材料は温度によって抵抗
率が変化するので、一定電流で通電加熱されている細線
部37の両端の電圧変化を電圧測定装置45で測定する
と、細線部37の温度上昇量ΔTを細線部の抵抗変化即
ち細線部両端の電圧変化として測定することができ、第
7図のような細線部37の温度上昇量ΔTの時間変化を
得ることができる。
Here, since the resistivity of the material constituting the thin wire section changes depending on the temperature, when the voltage change at both ends of the thin wire section 37 which is heated with a constant current is measured by the voltage measuring device 45, the resistivity of the thin wire section 37 changes with the temperature. The amount of temperature rise ΔT can be measured as a change in resistance of the thin wire portion, that is, a change in voltage across both ends of the thin wire portion, and a time change in the amount of temperature rise ΔT of the thin wire portion 37 as shown in FIG. 7 can be obtained.

(発明が解決しようとする問題点) ところで、第7図で直線からはずれた最初の領域には過
渡的な誤差によるものであり、後の領域Mは被測定流体
に対流が生じるための影響によるものである。熱伝導率
の測定は基本的に温度差を与えて、熱の流れを測定する
ものであるから、重力下では、対流の発生は避けられな
い。従って、対流の生じるまでの短時間のうちに測定す
るわけであるが、対流の生じるまでの時間、即ち領域M
の始まるまでの時間L1は、一般的に数秒から10秒程
度と短く、被測定液体の比重、粘性、熱容量、熱伝導率
等の値によっては過渡的な誤差の領域と重なり、直線部
分が得られない場合も生じる。この場合には地上におけ
る熱伝導率の測定は不可能になり、対流が起きない環境
で測定する必要がある。
(Problem to be solved by the invention) By the way, the first region that deviates from the straight line in Fig. 7 is due to a transient error, and the latter region M is due to the influence of convection in the fluid to be measured. It is something. Thermal conductivity measurement basically involves applying a temperature difference and measuring the flow of heat, so under gravity, the occurrence of convection is unavoidable. Therefore, measurements are taken within a short period of time until convection occurs, but the time until convection occurs, that is, the area M
The time L1 until the start of is generally short, from several seconds to about 10 seconds, and depending on the values of the specific gravity, viscosity, heat capacity, thermal conductivity, etc. of the liquid being measured, it overlaps with the transient error area and a straight line portion may be obtained. There may be cases where this is not possible. In this case, it is impossible to measure thermal conductivity on the ground, and it is necessary to measure it in an environment where no convection occurs.

温度差があっても、対流が起きない環境は重力の影響を
なくさない限り、得られない。従って、いわゆる微小重
力環境(マイクログラビテイ環境)での測定が必要にな
る。微小重力環境は、宇宙空間で実現できる他、落下基
、航空機による弾道飛行、ロケットによる弾道飛行等に
より、得ることができ、近年、微小重力環境を利用した
様々な測定や実験が進められている。
Even if there is a temperature difference, an environment without convection cannot be achieved unless the influence of gravity is eliminated. Therefore, it is necessary to perform measurements in a so-called microgravity environment. A microgravity environment can be achieved not only in space, but also through suborbital flights by aircraft, suborbital flights by rockets, etc. In recent years, various measurements and experiments using microgravity environments have been progressing. .

ところで、微小重力環境では、液体の密度分布に起因す
る熱対流はなくなるかわりに、表面張力分布に起因する
マランゴニ対流が生じて液内を撹拌してしまう。マラン
ゴニ対流は、液体の自由表面がある場合に、その自由表
面の温度分布により発生する表面張力の差で生じる流れ
であり、地上の重力環境下では熱対流に隠れて目立たな
いが、熱対流の無いところでは顕著な流れになり、液体
内をも撹拌する。これを避けるためには自由表面を無く
す事が最も効果的である。
By the way, in a microgravity environment, instead of the thermal convection caused by the density distribution of the liquid disappearing, Marangoni convection caused by the surface tension distribution occurs, stirring the inside of the liquid. Marangoni convection is a flow that occurs when there is a free surface of a liquid due to the difference in surface tension caused by the temperature distribution of the free surface.In the gravitational environment on the ground, it is hidden behind thermal convection and is not noticeable. In places where it is not present, it becomes a noticeable flow and even stirs the liquid. The most effective way to avoid this is to eliminate the free surface.

本発明の第一の目的は、セラミックス基板に金属製の細
線部を有する熱伝導率測定用プローブを使用して、微小
重力環境でもマランゴニ対流の発生を押さえて、液体の
熱伝導率、特に高温の導電性液体の熱伝導率を測定する
ことのできる熱伝導率測定装置を提供するものである。
The first object of the present invention is to suppress the occurrence of Marangoni convection even in a microgravity environment by using a thermal conductivity measuring probe having a thin metal wire part on a ceramic substrate, and to measure the thermal conductivity of liquids, especially at high temperatures. The present invention provides a thermal conductivity measuring device capable of measuring the thermal conductivity of a conductive liquid.

次に本発明が解決しようとしている他の問題点について
述べる。従来の非定常細線性熱伝導率測定においては容
器にいれた被測定液体の雰囲気を真空にしておらず、高
温度での熱伝導率測定をする場合など被測定液体が周囲
のガスと反応し、材質が変化することが生じる。即ち、
本発明の第2の目的は被測定液体が真空封止された熱伝
導率測定装置を提供するものである。
Next, other problems to be solved by the present invention will be described. In conventional unsteady fine-wire thermal conductivity measurements, the atmosphere of the liquid to be measured in a container is not vacuumed, and the liquid to be measured may react with surrounding gas, such as when measuring thermal conductivity at high temperatures. , the material may change. That is,
A second object of the present invention is to provide a thermal conductivity measuring device in which a liquid to be measured is vacuum-sealed.

(問題点を解決するための手段) 上記目的を達成するため、本発明は被測定液体を保持す
る容器と、その容器内に挿入されたセラミックス基板に
金属性の細線部を有する熱伝導率測定用プローブとを、
ガスケットを挟んで、キャップの締め付は力で結合し、
常温では固体になっている被測定液体を封入するととも
に、融液となっt:被測定液体が前記プローブ測定面に
密着した形で自由表面のない状態を保持するため、スプ
リングでピストンを押して被測定液体をプローブ測定表
面及び容器壁等におしつけている構造としたものである
(Means for Solving the Problems) In order to achieve the above object, the present invention provides a container for holding a liquid to be measured, and a thermal conductivity measurement device having a ceramic substrate inserted into the container and a thin metal wire portion. probe for
The cap is tightened with force across the gasket,
The liquid to be measured, which is solid at room temperature, is sealed, and the liquid to be measured turns into a molten liquid.In order to maintain the liquid to be measured in a state in which there is no free surface in close contact with the measurement surface of the probe, the piston is pushed by a spring to remove the liquid to be measured. The structure is such that the measurement liquid is applied to the probe measurement surface and the container wall.

また高温での被測定液体の真空封止を達成するため、常
温で固体の被測定液体、スプリング、ピストンを封入し
た熱伝導率測定用プローブ、容器及びキャップに金属の
カートリッジとシリンダをかぶせたうえ、ハーメチック
シールを装着し、カートリッジ、シリンダ、ハーメチッ
クシールをそれぞれ電子ビーム溶接にて気密接合し、カ
ートリッジ内が真空を保持するような完全気密封止をし
た構造としたものである。
In addition, in order to achieve vacuum sealing of the liquid to be measured at high temperatures, a metal cartridge and cylinder are placed over the probe, container, and cap for measuring thermal conductivity, which contain the liquid to be measured that is solid at room temperature, a spring, and a piston. The cartridge, cylinder, and hermetic seal are each hermetically sealed together by electron beam welding, resulting in a completely hermetically sealed structure that maintains a vacuum inside the cartridge.

(実施例) 以下、図面にもとすいて本発明の詳細な説明する。(Example) Hereinafter, the present invention will be explained in detail with reference to the drawings.

第1図は本発明の熱伝導率測定装置の実施例の構造を示
す断面図である。
FIG. 1 is a sectional view showing the structure of an embodiment of the thermal conductivity measuring device of the present invention.

第2図は第1図の実施例の中で使用する熱伝導率測定用
プローブの外観図である。
FIG. 2 is an external view of the thermal conductivity measurement probe used in the embodiment of FIG. 1.

第3図は本発明の熱伝導率測定装置の他の実施例の構造
を示す断面図である。
FIG. 3 is a sectional view showing the structure of another embodiment of the thermal conductivity measuring device of the present invention.

初めに第1図に示した第1の実施例について説明する。First, the first embodiment shown in FIG. 1 will be described.

第1の実施例で使用する熱伝導率測定用プローブ1は、
第2図に示すように、半円柱状の測定部2とフランジ部
3と円柱状のロッド部4からなり、配線に使われている
金属以外は全てアルミナ等のセラミックスからできてい
る。測定部2の平面部分が測定面5になっており、その
表面の薄いセラミックスの被覆保護膜30の下には金属
配線により細線部6や電圧測定リード7が形成されてい
る。細線部6からの引出し線8や、電圧測定リード7か
らの引出し線9はフランジ部、ロッド部のセラミックス
の中を通り、ガスに対して完全に気密な状態で、ロッド
部の端面10まで引き出される。これらの配線はセラミ
ックスのグリーンシート法により金属プリント配線とし
てセラミックスと同時焼成して製作することができる。
The thermal conductivity measuring probe 1 used in the first example is as follows:
As shown in FIG. 2, it consists of a semi-cylindrical measuring part 2, a flange part 3, and a cylindrical rod part 4, and everything except the metal used for the wiring is made of ceramics such as alumina. A flat portion of the measurement section 2 is a measurement surface 5, and a thin wire section 6 and a voltage measurement lead 7 are formed by metal wiring under a thin ceramic protective film 30 on the surface. The lead wire 8 from the thin wire part 6 and the lead wire 9 from the voltage measurement lead 7 pass through the ceramics of the flange part and the rod part, and are led out to the end face 10 of the rod part in a completely gas-tight state. It will be done. These wirings can be manufactured by co-firing with ceramics as metal printed wirings using the ceramic green sheet method.

前述の引出し線8.9はロッド部の端面10からは白金
等の金属リード線11で外部に引き出される。
The aforementioned lead wires 8.9 are led out from the end face 10 of the rod portion by metal lead wires 11 made of platinum or the like.

一方フランジ部3にはシール用の屑12が形成されてい
る。
On the other hand, sealing debris 12 is formed on the flange portion 3.

第1図の第1の実施例では、片側が閉じた円管状の容器
13のシール面14と熱伝導率測定用プローブ1のフラ
ンジ部のシール用層12とをガスケット15を挾んでキ
ャップ16により締め付け、容器13とプローブ1によ
り容器内を封止している。キャップ16による締め付け
は容器13の開口部に設けた雌ネジ17にキャップの雄
ネジを噛み合わすことで行なっている。
In the first embodiment shown in FIG. 1, the sealing surface 14 of a cylindrical container 13 with one side closed and the sealing layer 12 of the flange portion of the thermal conductivity measuring probe 1 are connected by a cap 16 with a gasket 15 in between. The inside of the container is sealed by tightening the container 13 and the probe 1. Tightening by the cap 16 is performed by engaging the male screw of the cap with the female screw 17 provided at the opening of the container 13.

一方、被測定液体19は室温では固体であるが、所定の
温度Tに於ける融液の熱伝導率測定時には、所定の温度
Tに加熱溶融されている。この溶融状態の被測定液体1
9はピストン20を介してスプリング21により押しつ
けられ、被測定液体19の全周囲は全て固体と接触し、
プローブの測定面5に密着するとともに、自由表面が皆
無の状態で、容器内に封入されている。この場合、スプ
リング21の押し付は力が効いているので、微小重力環
境では、本実施例がどの様な姿勢で置かれようとも、被
測定液体19がプローブの測定面5に密着するとともに
、自由表面が皆無の状態であることは変わらない。
On the other hand, the liquid to be measured 19 is solid at room temperature, but is heated and melted to a predetermined temperature T when the thermal conductivity of the melt is measured at a predetermined temperature T. This molten liquid to be measured 1
9 is pressed by a spring 21 via a piston 20, and the entire periphery of the liquid to be measured 19 is in contact with the solid;
The probe is sealed in a container in close contact with the measurement surface 5 of the probe and with no free surface. In this case, since the pressing force of the spring 21 is effective, in a microgravity environment, no matter what posture this embodiment is placed in, the liquid to be measured 19 will come into close contact with the measurement surface 5 of the probe, and The fact remains that there is no free surface.

本実施例を用いて被測定液体19の熱伝導率を測定する
には、プローブのロッド部端面10がらでている引出し
線を通して、プローブの細線部6に電流を流し、この時
の細線部の両端の電圧変化を、電圧測定リード7に通じ
た引出し線を通して測定すればよい。即ち、細線部の両
端の電圧変化から換算した細線部の抵抗変化により更に
温度換算して、細線部の温度推移を求めれば、第7図で
説明したように、細線部の対数時間に対する温度上昇率
(第7図の直線部分の傾き)から被測定液体19の熱伝
導率を求めることができる。
To measure the thermal conductivity of the liquid to be measured 19 using this embodiment, a current is passed through the thin wire portion 6 of the probe through the lead wire protruding from the end surface 10 of the rod portion of the probe. The voltage change at both ends may be measured through a lead wire connected to the voltage measurement lead 7. In other words, if the change in resistance of the thin wire section converted from the voltage change at both ends of the thin wire section is further converted into temperature, and the temperature change of the thin wire section is obtained, as explained in Fig. 7, the temperature rise of the thin wire section with respect to logarithmic time is obtained. The thermal conductivity of the liquid 19 to be measured can be determined from the coefficient (the slope of the straight line portion in FIG. 7).

なお被測定液体19の所定の温度Tに於ける熱伝導率を
求める場合は、本実施例を加熱炉(図示せずン等にいれ
、被測定液体全体が均一に温度Tに成るように、本実施
例を加熱した上で、前述の様な細線部6への通電加熱と
、細線部両端の電圧測定を実施すればよい。
In addition, when determining the thermal conductivity of the liquid to be measured 19 at a predetermined temperature T, put this example into a heating furnace (not shown), etc., and heat the liquid so that the entire liquid to be measured reaches a uniform temperature T. After heating this example, the thin wire portion 6 may be heated with electricity as described above, and the voltages at both ends of the thin wire portion may be measured.

即ち、微小重力環境下で本実施例を用いれば、被測定液
体に自由表面のない状態を維持でき、測定誤差の主因で
ある熱対流もマランゴニ対流もない状態で、液体の熱伝
導率測定ができ、高精度の測定値が得られる。
In other words, by using this example in a microgravity environment, it is possible to maintain a state in which the liquid to be measured has no free surface, and the thermal conductivity of the liquid can be measured without thermal convection or Marangoni convection, which are the main causes of measurement errors. It is possible to obtain highly accurate measurement values.

常温で固体の物質を融点以上の高温下で融液としての熱
伝導率を測定する場合に、本実施例は非常に有効である
。同じ物質でも固体と液体の比重が異なるのが通常であ
る。即ち、融けると融液の体積は、固相の時と比較して
膨張したり、収縮したりする。多くの物質では融けると
融液の体積が膨張するが、インジウムアンチモンの様な
半導体材料では、氷と水の場合のように収縮する。本実
施例を用いれば、融体になった時の体積膨張あるいは体
積収縮をスプリングとピストンの作用が吸収して、容器
の破損や自由表面の発生なしに熱伝導率の測定が可能で
あることは明白である。
This example is very effective when measuring the thermal conductivity of a substance that is solid at room temperature as a melt at a high temperature above its melting point. Even for the same substance, the specific gravity of solid and liquid is usually different. That is, when melted, the volume of the melt expands or contracts compared to when it is in the solid phase. While many materials expand in volume when melted, semiconductor materials such as indium antimony contract as they do with ice and water. By using this example, the action of the spring and piston absorbs the volume expansion or contraction when it becomes a melt, making it possible to measure thermal conductivity without damaging the container or creating a free surface. is obvious.

また、ここで使用しているプローブは細線部表面をセラ
ミックスの絶縁膜で覆っているので、不良導体の液体の
熱伝導率測定は勿論のこと、被測定液体が電気伝導性を
有する場合にも有効なことは明らかである。
In addition, since the probe used here has the surface of the thin wire part covered with a ceramic insulating film, it can be used not only to measure the thermal conductivity of liquids with poor conductivity, but also when the liquid to be measured has electrical conductivity. It is clear that it is effective.

次に、第1図の実施例における構成部品の材質について
述べる。
Next, the materials of the component parts in the embodiment shown in FIG. 1 will be described.

容器13、キャップ16、ガスケット15、ピストン2
0、スプリング21は被測定液体19と反応せず、必要
な強度を有する材料であればよい。したがって室温や1
00°C程度の温度範囲では、容器13、キャップ16
、ピストン20、スプリング21は通常、一般的につか
われるステンレスなどの金属材料で十分である。ガスケ
ット15だけは、軟金属やゴムなどの弾性体でつくるこ
とが望ましい。
Container 13, cap 16, gasket 15, piston 2
0. The spring 21 may be made of any material as long as it does not react with the liquid to be measured 19 and has the necessary strength. Therefore, room temperature and 1
In the temperature range of about 00°C, the container 13 and cap 16
, the piston 20, and the spring 21 are usually made of commonly used metal materials such as stainless steel. It is desirable that only the gasket 15 be made of an elastic material such as soft metal or rubber.

また室温や100°C程度の温度範囲でも、金属を腐食
する溶融塩などの試料の場合には、材質に考慮を要する
。しかし容器13、キャップ16、ピストン20、スプ
リング21及びガスケット15に腐食に強いテフロン等
の弗素系樹脂を使えば問題ない。この場合、プローブの
ほうは細線部などの金属配線部の表面をセラミックスの
絶縁保護膜膜で覆っているので腐食の心配はない。
Furthermore, in the case of samples such as molten salts that corrode metals even at room temperature or in the temperature range of about 100°C, consideration must be given to the material. However, if the container 13, the cap 16, the piston 20, the spring 21, and the gasket 15 are made of a fluorine-based resin such as Teflon, which is resistant to corrosion, there will be no problem. In this case, there is no fear of corrosion in the probe because the surface of the metal wiring portion, such as the thin wire portion, is covered with a ceramic insulating protective film.

一方、半導体融体の熱伝導測定のように高温加熱が必要
でしかも被測定液体が活性で反応しやすい場合には、金
属や弗素系樹脂の使用は不適当である。高温融体に対し
ては、容器13、キャップ16、ガスケット15、ピス
トン20、スプリング21をすべて耐熱性の高い黒鉛で
製作すると具合がよい場合が多い。例えば化合物半導体
であるインジウムアンチモンの場合には容器13、キャ
ップ16、ガスケット15、ピストン20、スプリング
21をすべて黒鉛で製作すれば、問題ない。この場合も
、プローブのほうは細線部などの金属配線部の表面をセ
ラミックスの絶縁保護膜で覆っているので腐食の心配は
ない。特にガスケット15に関してはユニオンカーバイ
ト社のGRAFOIL(商品名)を使用するとシール性
が高く、かつ不純物のないガスケットかえられる。
On the other hand, when high-temperature heating is required and the liquid to be measured is active and easily reactive, as in the case of measuring the thermal conductivity of a semiconductor melt, it is inappropriate to use metals or fluorine-based resins. For high-temperature melts, it is often convenient to make the container 13, cap 16, gasket 15, piston 20, and spring 21 all from graphite, which has high heat resistance. For example, in the case of indium antimony, which is a compound semiconductor, there is no problem if the container 13, cap 16, gasket 15, piston 20, and spring 21 are all made of graphite. In this case as well, there is no need to worry about corrosion because the surface of the metal wiring parts of the probe, such as the thin wire parts, is covered with a ceramic insulating protective film. Particularly regarding the gasket 15, if GRAFOIL (trade name) manufactured by Union Carbide is used, the gasket can be replaced with a gasket that has high sealing performance and is free of impurities.

ところで、被測定液体を真空雰囲気で封止する要求に対
しては、容器を金属でつくってあれば第1の実施例を真
空チャンバ内で組み立てることにより、容器内部を真空
雰囲気に保持することができる。しかしながら、容器を
黒鉛のような多孔質の材料で製作した場合は液体の封止
はできても、ガスに対する気密封止は不可能になり、次
に説明する第3図の実施例により真空封止が可能となる
By the way, in response to the requirement that the liquid to be measured be sealed in a vacuum atmosphere, if the container is made of metal, it is possible to maintain the inside of the container in a vacuum atmosphere by assembling the first embodiment in a vacuum chamber. can. However, if the container is made of a porous material such as graphite, it may be possible to seal the liquid, but it will not be possible to seal the container airtight against gas. It becomes possible to stop.

次に第2の実施例について、第3図を参照して説明する
。この実施例は第3図に見るように、第1図で示した第
1の実施例23を金属性の閉管状のカートリッジ24と
、段付き円筒状のシリンダ25とハーメチックシール2
6とで真空封止したものである。
Next, a second embodiment will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 3, this embodiment replaces the first embodiment 23 shown in FIG.
6 and vacuum sealed.

これを実現するには、第1の実施例23を包み込むよう
に閉管状のカートリッジ24と、段付き円筒状のシリン
ダ25とをかぶせ、カートリッジとシリンダを電子ビー
ム溶接などで気密接合して第1の実施例23を挟持固定
し、更に第1の実施例から引き出された金属リード線を
ハーメチックシール26のリード管27から引出し、金
属リード線をリード管に半田付は又は銀鑞付は等で気密
封着した後に、ハーメチックシールとシリンダとを電子
ビーム溶接すればよい。電子ビーム溶接は真空下で行な
われるから、第1の実施例を真空雰囲気中に保持したま
ま、封止する事ができる。
To realize this, a closed tube-shaped cartridge 24 and a stepped cylindrical cylinder 25 are placed over the first embodiment 23, and the cartridge and cylinder are hermetically joined by electron beam welding or the like. Embodiment 23 is clamped and fixed, and the metal lead wire drawn out from the first embodiment is pulled out from the lead tube 27 of the hermetic seal 26, and the metal lead wire is soldered or silver brazed to the lead tube. After the hermetic seal is sealed, the hermetic seal and the cylinder may be electron beam welded. Since electron beam welding is performed under vacuum, the first embodiment can be sealed while being kept in a vacuum atmosphere.

高温の液体は、一般的に活性が高くなる。例えばインジ
ウムアンチモン等の化合物半導体は酸化に対し非常で敏
感であり、微量の酸素をも雰囲気から取り除いておく必
要がある。従って、雰囲気との反応を避ける意味で、被
測定液体を真空雰囲気内に保つことが非常に重要である
Hotter liquids generally become more active. For example, compound semiconductors such as indium antimony are extremely sensitive to oxidation, and it is necessary to remove even trace amounts of oxygen from the atmosphere. Therefore, it is very important to keep the liquid to be measured in a vacuum atmosphere to avoid reaction with the atmosphere.

容器に黒鉛を使用した場合、黒鉛は多孔性のため、液体
の封止はできてもガスに対しては気密にはできない。し
かしながら、この第3図の実施例のような構造にすれば
、電子ビーム溶接の際の真空排気により、カートリッジ
内を真空にでき、あわせて容器の多孔質黒鉛を通して容
器内のガスを真空排気できるため、容器内を含めて、カ
ートリッジの内側をすべて真空にした状態で気密封止で
きることになる。
When graphite is used in containers, graphite is porous, so although it can be sealed against liquids, it cannot be made airtight against gases. However, if the structure is as shown in the embodiment shown in Fig. 3, the inside of the cartridge can be evacuated by evacuation during electron beam welding, and the gas inside the container can also be evacuated through the porous graphite of the container. Therefore, the cartridge can be hermetically sealed with the entire inside of the cartridge evacuated, including the inside of the container.

なお、第3図の第2の実施例ではシリンダのカートリッ
ジから離れた部分にこの実施例を加熱炉(図示せず)等
に固定するためのボルト穴28を有する固定用フランジ
29を設けている。このような取り付は用構造は極力低
温側に設置し、温度均一性を必要とする被測定液体部か
ら離すことが好ましい。
In the second embodiment shown in FIG. 3, a fixing flange 29 having bolt holes 28 for fixing this embodiment to a heating furnace (not shown) or the like is provided in a portion of the cylinder remote from the cartridge. . It is preferable to install such a structure on the low temperature side as much as possible, and to separate it from the liquid part to be measured which requires temperature uniformity.

即ち、シリンダのカートリッジから離れた部分に設置す
ることが重要である。
That is, it is important to install the cylinder in a portion away from the cartridge.

この実施例を用いて被測定液体19の熱伝導率を測定す
るには、゛第1の実施例の場合と同様、ハーメチックシ
ールから引出されている金属リード線を通して、プロー
ブの細線部6に電流を流し、この時の細線部の両端の電
圧変化を、電圧測定リード7に通じた金属リード線を通
して測定すればよい。
To measure the thermal conductivity of the liquid to be measured 19 using this embodiment, ``Similar to the first embodiment, a current is passed through the metal lead wire drawn out from the hermetic seal to the fine wire portion 6 of the probe. The voltage change at both ends of the thin wire portion at this time may be measured through a metal lead wire connected to the voltage measurement lead 7.

また被測定液体19の所定の温度Tに於ける熱伝導率を
求める場合は、被測定液体全体が均一に温度Tに成るよ
うに、本実施例を加熱した上で、前述の様な細線部6へ
の通電加熱と、細線部両端の電圧測定を実施すればよい
のも第1の実施例と同様である。
In addition, when determining the thermal conductivity of the liquid to be measured 19 at a predetermined temperature T, heat this example so that the entire liquid to be measured reaches a uniform temperature T, and then Similarly to the first embodiment, it is sufficient to heat the thin wire portion 6 with electricity and measure the voltage at both ends of the thin wire portion.

なお、測定する温度により、カートリッジ、及び、シリ
ンダの材質を考慮しなければならない。
Note that the materials of the cartridge and cylinder must be considered depending on the temperature to be measured.

100°C以下で使用する場合は電子ビーム溶接が容易
で入手性もよいステンレス材などが適当である。
When used at temperatures below 100°C, stainless steel is suitable because it can be easily electron beam welded and is readily available.

1000°C以下で加熱する場合には、被測定液体の温
度均一性をよくする意味と高温強度の点から、カートリ
ッジ材質を熱伝導率の高いニッケルにし、シリンダ材質
は熱伝導率の低いステンレス材にして、カートリッジと
取り付はフランジの間に大きな温度勾配をっけ易くする
ことが望ましい。
When heating at temperatures below 1000°C, the cartridge material should be nickel, which has high thermal conductivity, and the cylinder material should be stainless steel, which has low thermal conductivity, in order to improve the temperature uniformity of the liquid to be measured and from the viewpoint of high-temperature strength. It is desirable that the cartridge and mounting facilitate large temperature gradients between the flanges.

1000°C以上で使用する場合には、カートリッジは
タンタルやモリブデンといった耐熱材の使用が必要であ
る。
When used at temperatures above 1000°C, the cartridge must be made of a heat-resistant material such as tantalum or molybdenum.

また、以上の説明から判るように、第2の実施例の場合
には、電子ビーム溶接による完全気密の構造になってい
る。従って第一の実施例だけでは被測定液体からの蒸発
ガスが漏洩する場合にも、第2の実施例を用いれば、外
部への漏洩ガスの心配は皆無になる。例えば、被測定液
体が有毒ガスを発生する液体の場合、第一の実施例だけ
では、容器の破損事故、ガスケットのシール不良、ある
いは容器自身に黒鉛の様な多孔性材料を使わざるを得な
い時等、どうしても漏洩ガスの不安が残るが、第2の実
施例ではその心配は皆無である。
Furthermore, as can be seen from the above description, the second embodiment has a completely airtight structure by electron beam welding. Therefore, even if evaporative gas leaks from the liquid to be measured using only the first embodiment, if the second embodiment is used, there is no need to worry about gas leaking to the outside. For example, if the liquid to be measured is a liquid that generates toxic gas, using only the first embodiment may cause damage to the container, poor sealing of the gasket, or the need to use a porous material such as graphite for the container itself. However, in the second embodiment, there is no such concern.

ところで、被測定液体19の所定の温度Tに於ける熱伝
導率を測定する場合、被測定液体19が所定の温度Tに
なっているかどうかの確認は、以上述べてきた実施例の
構造では、容器13の表面あるいはカートリッジ24の
表面に熱電対を貼りつけて測定した温度を被測定液体1
9の温度とするが、これらの実施例を加熱している加熱
炉内の雰囲気温度を被測定液体19の温度とする程度し
か方法がない。
By the way, when measuring the thermal conductivity of the liquid to be measured 19 at a predetermined temperature T, it is possible to check whether the liquid to be measured 19 has reached the predetermined temperature T by using the structure of the embodiment described above. The temperature measured by attaching a thermocouple to the surface of the container 13 or the surface of the cartridge 24 is the temperature of the liquid to be measured 1.
However, the only method available is to set the ambient temperature in the heating furnace in which these examples are heated to the temperature of the liquid to be measured 19.

このようなほうほうでは正確な被測定液体19の温度T
を測定することはできない。しかしながら、第4図に示
すような熱電対18を内部に埋め込んだ非定常側線法熱
伝導率測定用プローブを使用すれば、被測定液体の温度
をほぼ正確に測定することができる。即ち、第2図で示
した熱伝導率測定用プローブに、セラミックスに埋め込
まれた形で測定面5の近傍に熱電対を配備し、その熱電
対素線がフランジ部3及びロッド部4の中に埋め込まれ
て、ロッド部端面10から引き出される構造をもつ非定
常側線法熱伝導率測定用プローブを使用すれば、熱電対
18が被測定液体19と同様に容器13の中に有り、し
かも被測定液体19と近い位置にあるので、熱電対18
と被測定液体19との温度差は極めて少なく、被測定液
体の正確な温度測定ができる。またプローブ内に被測定
液体の温度測定手段を内蔵したことにより被測定液体の
温度測定が非常に簡便に実施できる。
In such a case, the temperature T of the liquid 19 to be measured is accurate.
cannot be measured. However, if an unsteady lateral line method thermal conductivity measurement probe having a thermocouple 18 embedded therein as shown in FIG. 4 is used, the temperature of the liquid to be measured can be measured almost accurately. That is, in the thermal conductivity measuring probe shown in FIG. If a probe for unsteady lateral line method thermal conductivity measurement is used, which has a structure that is embedded in the rod portion and pulled out from the end surface 10 of the rod portion, the thermocouple 18 is located in the container 13 as well as the liquid 19 to be measured, and the probe is Since it is located close to the measuring liquid 19, the thermocouple 18
The temperature difference between the liquid 19 and the liquid to be measured is extremely small, and the temperature of the liquid to be measured can be accurately measured. Furthermore, since the temperature measuring means for the liquid to be measured is built into the probe, it is possible to measure the temperature of the liquid to be measured very easily.

なお、第4図のような構造はセラミックスのグリーンシ
ート法を用いれば実現でき、第1図、第3図における被
測定液体の封入効果を妨げるものではない。
Note that the structure shown in FIG. 4 can be realized by using the ceramic green sheet method, and does not interfere with the effect of sealing the liquid to be measured in FIGS. 1 and 3.

(発明の効果) 以上説明したように、本発明によれば被測定液体の熱伝
導率測定を、被測定液体に自由表面を与えずに、微小重
力環境下で実施できる。従って、重力下では対流の影響
で熱伝導率の測定できない液体でも、本発明によれば、
微小重力環境でマランゴニ対流を生じることなく、正確
な熱伝導率測定ができる。
(Effects of the Invention) As described above, according to the present invention, the thermal conductivity of a liquid to be measured can be measured in a microgravity environment without providing a free surface to the liquid to be measured. Therefore, according to the present invention, even in liquids whose thermal conductivity cannot be measured under gravity due to the influence of convection,
Accurate thermal conductivity measurements can be made in a microgravity environment without causing Marangoni convection.

又、被測定液体からの蒸発ガスの外部への漏洩を完全に
防止でき、有毒ガスを発生する融液に対しても十分安全
に熱伝導率測定をすることを可能にするとともに、被測
定液体を真空雰囲気内に保持でき、酸化等の雰囲気との
反応を防ぐことを可能にした。
In addition, it is possible to completely prevent the leakage of evaporated gas from the liquid being measured to the outside, making it possible to measure the thermal conductivity of melted liquids that generate toxic gases in a sufficiently safe manner. can be kept in a vacuum atmosphere, making it possible to prevent reactions with the atmosphere such as oxidation.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の熱伝導率測定装置の実施例の構造を示
す断面図であり、第2図は第1図の実施例の中で使用す
る熱伝導率測定用プローブの外観図、第3図は本発明の
熱伝導率測定装置の他の実施例の構造を示す断面図であ
り、第4図は熱電対を内蔵した熱伝導率測定用プローブ
の外観図、第5図は熱伝導率測定用プローブの従来例を
示す斜視図で、第6図は非定常細線法による熱伝導率測
定の原理を示す基本構成の説明図、第7図は非定常細線
法による熱伝導率測定の原理を示す図である。 図において、 1・・・熱伝導率測定用プローブ、5・・・測定面、6
゜37・・・細線部、7,39・・・電圧測定リード、
8,9・・・引出し線、11・・・金属リード、13.
42・・・容器、15・・・ガスケット、16・・・キ
ャップ、18・・・熱電対、19.43被測定液体、2
0・・・ピストン、21・・・スプリング、24・・・
カートリッジ、25−0.シリンダ、26.・、ハーメ
チックシール、36・・・セラミック基板。
FIG. 1 is a sectional view showing the structure of an embodiment of the thermal conductivity measuring device of the present invention, and FIG. 2 is an external view of a probe for measuring thermal conductivity used in the embodiment of FIG. Fig. 3 is a sectional view showing the structure of another embodiment of the thermal conductivity measuring device of the present invention, Fig. 4 is an external view of a thermal conductivity measuring probe with a built-in thermocouple, and Fig. 5 is a cross-sectional view showing the structure of another embodiment of the thermal conductivity measuring device of the present invention. Fig. 6 is an explanatory diagram of the basic configuration showing the principle of thermal conductivity measurement using the unsteady thin wire method, and Fig. 7 is a perspective view showing a conventional example of a probe for measuring thermal conductivity using the unsteady thin wire method. It is a diagram showing the principle. In the figure, 1... Probe for measuring thermal conductivity, 5... Measurement surface, 6
゜37...Thin wire part, 7,39...Voltage measurement lead,
8, 9...Leader line, 11...Metal lead, 13.
42... Container, 15... Gasket, 16... Cap, 18... Thermocouple, 19.43 Liquid to be measured, 2
0...Piston, 21...Spring, 24...
Cartridge, 25-0. cylinder, 26.・Hermetic seal, 36...ceramic substrate.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、半円柱状の測定部とフランジ部と円柱状のロッド部
からなり、その測定部の平面状の測定面には薄いセラミ
ックスの被覆保護膜で覆われた細線部と電圧測定リード
部が形成され、細線部からの引出し線と、電圧測定リー
ドからの引出し線がフランジ部、ロッド部を通り、気密
構造にてロッド部の端面まで引き出され、フランジ部に
はシール用の肩が形成されている構造を有し、配線類が
金属であり、他は全てセラミックスからなることを特徴
とする熱伝導率測定用プローブ。 2、熱伝導率測定用プローブ内の測定面の近傍のセラミ
ックス内に熱電対が埋め込まれている請求項1記載の熱
伝導率測定用プローブ。 3、片側が閉じた円管状の容器内に請求項1または2記
載の熱伝導率測定用プローブの測定部が挿入され、該容
器の開口部において封止されており、熱伝導率測定用プ
ローブの該容器内には被測定試料を容器壁とプローブ測
定面に押しつけるピストンおよびスプリングを備えた構
造をもつことを特徴とする熱伝導率測定装置。 4、請求項3記載の熱伝導測定装置において、その外周
部に形成された閉管状のカートリッジと段付き円筒状の
シリンダが気密接合されており、更に熱伝導率測定用プ
ローブから引き出された金属リード線が気密封止されて
前記シリンダの外部に引出されており、容器および熱伝
導率測定用プローブが外気と気密遮断されている構造を
持つことを特徴とする熱伝導率測定用装置。
[Claims] 1. Consists of a semi-cylindrical measuring part, a flange part, and a cylindrical rod part, and the flat measuring surface of the measuring part has a thin wire part covered with a thin ceramic protective film. A voltage measurement lead part is formed, and the lead wire from the thin wire part and the lead wire from the voltage measurement lead pass through the flange part and the rod part, and are led out to the end face of the rod part in an airtight structure.The flange part has a sealing wire. A probe for measuring thermal conductivity, which has a structure in which a shoulder is formed, the wiring is made of metal, and everything else is made of ceramics. 2. The thermal conductivity measuring probe according to claim 1, wherein a thermocouple is embedded in the ceramic near the measurement surface within the thermal conductivity measuring probe. 3. The measurement part of the thermal conductivity measuring probe according to claim 1 or 2 is inserted into a circular tubular container with one side closed, and the measuring part of the thermal conductivity measuring probe according to claim 2 is sealed at the opening of the container. A thermal conductivity measurement device characterized in that the container includes a piston and a spring for pressing the sample to be measured against the container wall and the probe measurement surface. 4. The thermal conductivity measurement device according to claim 3, wherein the closed tube-shaped cartridge and the stepped cylindrical cylinder formed on the outer periphery of the device are hermetically connected, and the metal drawn out from the thermal conductivity measurement probe is further provided. A device for measuring thermal conductivity, characterized in that the lead wire is hermetically sealed and drawn out of the cylinder, and the container and the probe for measuring thermal conductivity are hermetically isolated from the outside air.
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JPH0557658U (en) * 1992-01-08 1993-07-30 株式会社守谷商会 Microwave moisture analyzer
JPH06109674A (en) * 1992-09-24 1994-04-22 Snow Brand Milk Prod Co Ltd Measuring apparatus for fluid heat conductivity and method for measuring heat conductivity using the same

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