JPH02308585A - Gas laser device - Google Patents
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- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
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- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は加工用の高出力気体レーザ発振装置に係り、特
に加工中におけるレーザガス圧力の変動等を防止するレ
ーザガス圧力制御装置を有する気体レーザ発振装置に関
する。[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to a high-output gas laser oscillation device for processing, and particularly to a gas laser oscillation device having a laser gas pressure control device that prevents fluctuations in laser gas pressure during processing. Regarding equipment.
最近の気体レーザ発振装置は高出力が得られ、レーザビ
ームの質もよく、金属又は非金属材料等の切断及び金属
材料等の溶接等といったレーザ加工に広く利用されるよ
うになってきている。特に、ＣＮＣ（数値制御装置）と
結合したＣＮＣレーザ加工機として、複雑な形状を高速
かつ高精度で切断する分野において急速に発展しつつあ
る。BACKGROUND ART Recent gas laser oscillation devices can obtain high output and provide good quality laser beams, and are becoming widely used for laser processing such as cutting metal or non-metallic materials, welding metal materials, etc. In particular, CNC laser processing machines combined with CNC (numerical control equipment) are rapidly developing in the field of cutting complex shapes at high speed and with high precision.
以下図面を用いて従来の気体レーザ発振装置を説明する
。A conventional gas laser oscillation device will be described below with reference to the drawings.
第３図は従来技術による気体レーザ発振装置の全体構成
を示す図である。放電管１の内部には適量のレーザガス
が１を人されている。放電管１の両端には全反射鏡５及
び出力結合鏡６の光学部品によって構成される光共振器
が設置されている。放電管１の外周上には金属電極２及
び３が取り付けられている。金属電極３は接地され、金
属電極２は高周波電源４に接続されている。金属電極２
及び３の間には高周波電源４から高周波電圧が印加され
る。これによって、放電管１内に高周波グロー放電が発
生し、レーザ励起が行われる。FIG. 3 is a diagram showing the overall configuration of a gas laser oscillation device according to the prior art. An appropriate amount of laser gas is placed inside the discharge tube 1. At both ends of the discharge tube 1, optical resonators constituted by optical components including a total reflection mirror 5 and an output coupling mirror 6 are installed. Metal electrodes 2 and 3 are attached to the outer periphery of the discharge tube 1. The metal electrode 3 is grounded, and the metal electrode 2 is connected to a high frequency power source 4. Metal electrode 2
and 3, a high frequency voltage is applied from a high frequency power source 4. As a result, a high frequency glow discharge is generated within the discharge tube 1, and laser excitation is performed.
このような気体（Ｃｏ□）レーザ発振装置のような高出
力のレーザ発振装置ではレーザガスを送風機９で強制的
に循環させて冷却している。なぜなら、気体ガスレーザ
では注入電気エネルギーの約２０％がレーザ光に変換さ
れ、他はガス加熱に消費される。ところが理論によれば
レーザ発振利得は絶対温度Ｔの−（３／２）乗に比例す
るので発振効率を上昇させるためにはレーザガスを強制
的に冷却してやる必要がある。In a high-output laser oscillation device such as such a gas (Co□) laser oscillation device, the laser gas is forcibly circulated by the blower 9 to cool it. This is because, in a gas laser, about 20% of the injected electrical energy is converted into laser light, and the rest is consumed for gas heating. However, according to theory, the laser oscillation gain is proportional to the -(3/2) power of the absolute temperature T, so in order to increase the oscillation efficiency, it is necessary to forcibly cool the laser gas.
本装置ではレーザガスは約２００ｍ／ｓｅｅの流速で放
電管１内を通過し矢印で示す方向に流れ、冷却用の熱交
換器７に導かれる。熱交換器７は主として放電による加
熱エネルギーをレーザガスから除去する。そして、送風
機９は冷却されたレーザガスを圧縮する。圧縮されたレ
ーザガスは熱交換器８を介して放電管１に導かれる。こ
れは、送風機９で発生した圧縮熱を放電管１に再度導か
れる前に熱交換器８で除去するためである。これらの熱
交換器７及び８は周知であるので詳細な説明は省略する
。In this device, the laser gas passes through the discharge tube 1 at a flow rate of about 200 m/see, flows in the direction shown by the arrow, and is guided to the heat exchanger 7 for cooling. The heat exchanger 7 mainly removes heating energy due to discharge from the laser gas. Then, the blower 9 compresses the cooled laser gas. The compressed laser gas is guided to the discharge tube 1 via a heat exchanger 8. This is because the compression heat generated by the blower 9 is removed by the heat exchanger 8 before being guided to the discharge tube 1 again. Since these heat exchangers 7 and 8 are well known, detailed explanation will be omitted.
この気体レーザ発振装置を起動する時には先ず最初に真
空ポンプ１０によって装置内部全体の気体を排気する。When starting up this gas laser oscillation device, first the vacuum pump 10 evacuates the entire gas inside the device.
ついで、適量のコンダクタンスを有するニードルバルブ
１３を通じて所定流量のレーザガスがレーザガスボンベ
１４から系内に導入され、装置内のガス圧は規定値に達
する。その後は真空ポンプ１０による排気と、ニードル
バルブ１３による補給ガス導入とが続き、装置内ガス圧
は規定値に保たれたまま、レーザガスの一部は継続して
新鮮ガスに置換される。これによって装置内のガス汚染
も同時に防止される。Next, a predetermined flow rate of laser gas is introduced into the system from the laser gas cylinder 14 through the needle valve 13 having an appropriate amount of conductance, and the gas pressure within the apparatus reaches a specified value. After that, exhaustion by the vacuum pump 10 and introduction of supplementary gas by the needle valve 13 continue, and part of the laser gas is continuously replaced with fresh gas while the gas pressure inside the device is maintained at a specified value. This also prevents gas contamination within the device.
数値制御装置２０は気体レーザ発振装置の出力制御及び
レーザ加工機のテーブル移動等を制御するものである。The numerical control device 20 controls the output of the gas laser oscillation device and the movement of the table of the laser processing machine.
本図においては、レーザ加工機側のテーブル、サーボア
ンプ、サーボモータ等は省略して示しである。In this figure, the table, servo amplifier, servo motor, etc. on the laser processing machine side are omitted.
数値制御装置（ＣＮＣ装置）２０による放電管１内のレ
ーザガスの圧力制御は次のように行われる。圧力センサ
１２は放電管１内のガス圧力を検出し、それを電圧信号
に変換して数値制御装置２０内のＡ／Ｄ変換器２１に出
力する。The pressure control of the laser gas in the discharge tube 1 by the numerical control device (CNC device) 20 is performed as follows. The pressure sensor 12 detects the gas pressure within the discharge tube 1, converts it into a voltage signal, and outputs it to the A/D converter 21 in the numerical control device 20.
Ａ／Ｄ変換器２１は圧力センサ１２からのアナログの電
圧をデジタル信号に変換して、ガス圧力制御手段２２に
出力する。ガス圧力制御手段２２はガス圧力設定手段２
５の設定値と、Ａ／Ｄ変換器２１のデジタル信号とを比
較し、その偏差が零になるようなデジタルの制御信号を
Ｄ／Ａ変換器２３に出力する。ガス圧力設定手段２５に
は予め放電管１の適性圧力値が不揮発性メモリ等に記憶
されている。The A/D converter 21 converts the analog voltage from the pressure sensor 12 into a digital signal and outputs it to the gas pressure control means 22. The gas pressure control means 22 is the gas pressure setting means 2.
5 and the digital signal from the A/D converter 21, and outputs a digital control signal to the D/A converter 23 such that the deviation becomes zero. In the gas pressure setting means 25, an appropriate pressure value for the discharge tube 1 is stored in advance in a nonvolatile memory or the like.
Ｄ／Ａ変換器２３はガス圧力制御手段からの制御信号を
アナログ値に変換し、バリアプル、リークバルブ１１の
ドライバ２４に出力する。ドライバ２４はＤ／Ａ変換器
２３の出力に応じてバリアプルリークバルブ１１を駆動
し、そのコンダクタンスを制御する。The D/A converter 23 converts the control signal from the gas pressure control means into an analog value and outputs it to the driver 24 of the barrier pull and leak valve 11. The driver 24 drives the barrier pull leak valve 11 according to the output of the D/A converter 23 and controls its conductance.
第３図に示す従来の気体レーザ発振装置では以下のよう
な課題がある。The conventional gas laser oscillation device shown in FIG. 3 has the following problems.
上述のような数値制御装置２０によるレーザガス圧力の
制御系は、レーザ発振装置のレーザ発振動作が定常状態
の場合には十分な制御特性を与えることができる。とこ
ろが、実際にレーザ加工を行う時は、レーザ発振装置の
放電のオン、オフを頻繁に行ったり、放電電流値を変化
させたりしている。故に、このようなレーザ加工時にお
ける放電状態の変化の直後に一定の過渡応答が存在する
。The laser gas pressure control system using the numerical control device 20 as described above can provide sufficient control characteristics when the laser oscillation operation of the laser oscillation device is in a steady state. However, when actually performing laser processing, the discharge of the laser oscillation device is frequently turned on and off, and the discharge current value is changed. Therefore, a certain transient response exists immediately after a change in the discharge state during such laser processing.
これは放電管１内のレーザガスの粘性がガス温度上昇時
に低下することによって、放電管１内を流れるレーザガ
ス流に対するコンダクタンスが放電管−１内のガス温度
の関数として変化することに起因する。This is because the viscosity of the laser gas inside the discharge tube 1 decreases as the gas temperature rises, so that the conductance to the laser gas flow flowing through the discharge tube 1 changes as a function of the gas temperature inside the discharge tube 1.
この関係を第４図を用いて説明する。第４図は放電人力
が０％及び１００％の時の送風機９の出入り口における
圧縮比とガス流量との関係を示す図である。通常の気体
レーザ発振装置のガスー巡経路内では放電管１が最大の
ガス流抵抗を有するように設計されているので、第４図
の圧縮比は放電管１についての圧縮比と考えてもよい。This relationship will be explained using FIG. 4. FIG. 4 is a diagram showing the relationship between the compression ratio and the gas flow rate at the entrance and exit of the blower 9 when the discharge power is 0% and 100%. Since the discharge tube 1 is designed to have the maximum gas flow resistance in the gas circulation path of a normal gas laser oscillator, the compression ratio in Fig. 4 can be considered as the compression ratio for the discharge tube 1. .
本図は送風機９にルーツブロワを使用した場合の特性を
示しているので、実際にガス流量は不変であり、放電の
有無（０％又は１００％放電）によって圧縮比のみが変
化する。この変化はガス温度に依存するため、数ｍ５ｅ
Ｃ程度と非常に小さい時定数で発生する。従って、レー
ザ出力の制御の際に放電状態が制御されると、圧縮比も
第４図のように点Ａと点Ｂとの間で変化する。Since this figure shows the characteristics when a Roots blower is used as the blower 9, the gas flow rate is actually unchanged, and only the compression ratio changes depending on the presence or absence of discharge (0% or 100% discharge). This change depends on the gas temperature, so several m5e
This occurs with a very small time constant of approximately C. Therefore, when the discharge state is controlled when controlling the laser output, the compression ratio also changes between points A and B as shown in FIG.
簡単のために、放電が単にオン、オフを繰り返したと仮
定する。そのときの圧力センサ１２の変化のようすを第
５図に示す。第５図は放電状態の変化による圧力センサ
１２の出力を示す図である。For simplicity, assume that the discharge simply cycles on and off. FIG. 5 shows how the pressure sensor 12 changes at that time. FIG. 5 is a diagram showing the output of the pressure sensor 12 due to changes in the discharge state.
図において、横軸は時間、縦軸は圧力センサ１２の出力
であるレーザガス圧力を示す。尚、本明細書中において
、放電オフとは予備放電状態、即ち、レーザ発振が生じ
ない範囲の放電のことを意味し、第４図の０％放電とは
異なる意味で用いる。In the figure, the horizontal axis shows time, and the vertical axis shows the laser gas pressure, which is the output of the pressure sensor 12. In this specification, the term "discharge off" means a preliminary discharge state, that is, a discharge in a range where laser oscillation does not occur, and is used in a different meaning from 0% discharge in FIG. 4.
第５図から明らかなように放電のオン及びオフの瞬間に
それぞれ正及び負方向に圧力スパイクが発生する。即ち
、無放電時（放電オフ時）にレーザガス圧力は一定値に
あり、放電オンになると同時に放電管１の両端における
圧縮比が増大する。As is clear from FIG. 5, pressure spikes occur in the positive and negative directions at the moment the discharge is turned on and off, respectively. That is, the laser gas pressure remains at a constant value during no discharge (discharge off), and the compression ratio at both ends of the discharge tube 1 increases at the same time as discharge is turned on.
従って、圧力センサ１２におけるガス圧力は低圧側であ
るため、ガス圧力が低下する。圧力センサ１２の測定値
が指定値からずれると、数値制御装置２０のガス圧力制
御手段２２の働きによって、やがて放電管１内のガス圧
力は所定の値に落ち着く。従って、放電オフから放電オ
ンに変化する瞬間に負方向のスパイクが発生する。これ
とは逆の現象によって、放電オンから放電オフに変化す
る瞬間に、正方向のスパイクが発生する。Therefore, since the gas pressure at the pressure sensor 12 is on the low pressure side, the gas pressure decreases. When the measured value of the pressure sensor 12 deviates from the specified value, the gas pressure within the discharge tube 1 eventually settles to a specified value due to the action of the gas pressure control means 22 of the numerical control device 20. Therefore, a negative spike occurs at the moment the discharge changes from off to on. Due to the opposite phenomenon, a spike in the positive direction occurs at the moment the discharge changes from on to off.
そして、この正及び負方向のスパイクは放電の大きさに
依存するため、第５図のように強い放電のときには、か
なりの大きさのスパイクが発生する。Since these spikes in the positive and negative directions depend on the size of the discharge, when there is a strong discharge as shown in FIG. 5, a spike of considerable size occurs.
正方向のスパイク（放電オンから放電オフに変化する時
に発生するスパイク）は、予備放電を消してしまうとい
う問題を有する。また、負方向のスパイク（放電オフか
ら放電オンに変化する時に発生するスパイク）は、レー
ザ出力に直接現れるため、レーザ加工の精度に影響を与
えるという問題がある。即ち、このスパイクの減少時定
数はガス圧力制御手段２２の特性によって決まる値（１
〜１０秒）であるため、レーザ加工機のレーザ切断が６
ｍ／ｍｉｎで行われている場合には、約１０ｃｍもの領
域にわたってスパイクの影響を受けることになる。A spike in the positive direction (a spike that occurs when changing from discharge on to discharge off) has the problem of extinguishing the preliminary discharge. Further, since spikes in the negative direction (spikes that occur when changing from discharge off to discharge on) appear directly in the laser output, there is a problem in that they affect the accuracy of laser processing. That is, the decreasing time constant of this spike is determined by the characteristics of the gas pressure control means 22 (1
~10 seconds), the laser cutting time of the laser processing machine is 6 seconds.
If the speed is m/min, an area of approximately 10 cm will be affected by the spikes.
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、放
電オン又はオフの直後に発生するガス圧力制御手段の過
渡応答に起因するスパイクの発生を防止し、レーザ発振
特性に過渡変動のない気体レーザ発振装置を提供するこ
とを目的とする。The present invention has been made in view of these points, and is intended to prevent the occurrence of spikes caused by the transient response of the gas pressure control means that occurs immediately after the discharge is turned on or off, and to eliminate transient fluctuations in the laser oscillation characteristics. The purpose is to provide a gas laser oscillation device.
本発明では上記課題を解決するために、気体放電によっ
てレーザ励起させる放電管と、前記気体放電を発生させ
るための電力を供給する電源と、レーザ発振を行わせる
光共振器と、送風機及び熱交換器によってレーザガスを
強制的に冷却させるガス循環装置と、前記放電管内のガ
ス圧力を検出し、所定の値に制御する制御装置とから構
成されるレーザ発振装置において、
前記制御装置は前記気体放電が生じていない間は前記ガ
ス圧力の制御を実行し、前記放電が生じている間は前記
ガス圧力制御を行わないことを特徴とする気体レーザ発
振装置が、提供される。In order to solve the above problems, the present invention includes a discharge tube that excites the laser by gas discharge, a power supply that supplies electric power to generate the gas discharge, an optical resonator that performs laser oscillation, a blower, and a heat exchanger. A laser oscillation device comprising a gas circulation device that forcibly cools the laser gas using a device, and a control device that detects the gas pressure in the discharge tube and controls it to a predetermined value. There is provided a gas laser oscillation device characterized in that the gas pressure is controlled while the discharge is not occurring, and the gas pressure is not controlled while the discharge is occurring.
気体放電が生じていない間（放電オフ時）には通常のガ
ス圧力制御を実行し、気体放電が生じている間（放電オ
ン時）にはガス圧力制御は行わない。従って、気体放電
が生じている間（放電オン時）におけるガス圧力は放電
の強弱に応じてそれぞれ異なったガス圧力の低下を示す
が、一定の放電電流に対してはガス圧力は一定であり変
化しないので、レーザ加工時の精度誤差のない、高精度
のレーザ加工を行うことができる。また、これによって
ガス圧力にスパイクが発生しないので、予備放電が切れ
るといった不都合も生じなくなる。Normal gas pressure control is performed while gas discharge is not occurring (discharge off), and gas pressure control is not performed while gas discharge is occurring (discharge on). Therefore, while gas discharge is occurring (discharge on), the gas pressure decreases differently depending on the strength of the discharge, but for a constant discharge current, the gas pressure remains constant and changes. Therefore, high-precision laser processing can be performed without precision errors during laser processing. Further, since a spike does not occur in the gas pressure, the inconvenience of the preliminary discharge being cut off does not occur.
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。 Hereinafter, one embodiment of the present invention will be described based on the drawings.
第１図に本発明のレーザ発振装置の一実施例の構成図を
示す。第３図と同一の構成要素には同一の符合が付しで
あるので、その説明は省略する。FIG. 1 shows a configuration diagram of an embodiment of a laser oscillation device of the present invention. Components that are the same as those in FIG. 3 are given the same reference numerals, and therefore their explanations will be omitted.
本実施例が従来のものと本質的に異なる点は、高周波電
源４からの指令を数値制御装置２０のガス圧力制御手段
２２に与え、ガス圧力制御手段２２は放電オンと同時に
、通常の圧力制御動作を止め、放電オン直前の制御定数
に固定し、放電オンの間はこの制御定数で決まるガス圧
力に設定する点である。The essential difference between this embodiment and the conventional one is that the command from the high frequency power source 4 is given to the gas pressure control means 22 of the numerical control device 20, and the gas pressure control means 22 performs normal pressure control at the same time as discharge is turned on. The operation is stopped, the control constant is fixed to the value immediately before the discharge is turned on, and the gas pressure is set to the gas pressure determined by this control constant while the discharge is on.
従って、放電オンから放電オフに変化した時は、ガス圧
力制御手段２２は通常の圧力制御動作を再開する。ガス
圧力を乱す外乱はバルブのコンダクタンス変化等のよう
に極めて低速現象のものであり、一般にレーデ加工時は
放電オンの時間は、放電オフの時間に比べて短時間の場
合がほとんどであるため、本実施例のように放電オンの
間に圧力制御定数を所定値に固定してもガス圧力が揺動
する可能性は極めて少ない。Therefore, when the discharge changes from on to off, the gas pressure control means 22 resumes normal pressure control operation. The disturbance that disturbs the gas pressure is an extremely slow phenomenon such as a change in the conductance of a valve, and generally during radar machining, the time when the discharge is on is usually shorter than the time when the discharge is off. Even if the pressure control constant is fixed to a predetermined value while the discharge is on as in this embodiment, there is a very small possibility that the gas pressure will fluctuate.
第２図は本実施例を採用した場合の放電状態の変化によ
る圧力センサ１２の出力を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing the output of the pressure sensor 12 due to changes in the discharge state when this embodiment is adopted.
本図は従来の状態を示した第５図と対応するものである
。本図から明らかなように、放電オフの間は数値制御装
置２０のガス圧力制御系によって、放電管１内のガス圧
力が放電オフ時圧力レベルになるように制御される。一
方、放電オンの間は圧力制御目標値が放電オン直前の制
御定数に固定されたままであり、圧力制御が行われない
ので、放電管１内のガス圧力は放電オフ時圧力レベルよ
り低い放電の強弱に応じた圧力レベルに固定される。This figure corresponds to FIG. 5, which shows the conventional state. As is clear from this figure, during the discharge off period, the gas pressure in the discharge tube 1 is controlled by the gas pressure control system of the numerical control device 20 so that the gas pressure is at the discharge off time pressure level. On the other hand, while the discharge is on, the pressure control target value remains fixed to the control constant immediately before the discharge is turned on, and pressure control is not performed. The pressure level is fixed according to the strength.
以上のように、本実施例は放電オフの間は圧力センサ１
２の出力をフィードバックするクローズトループで圧力
制御を行い、放電オンの間は放電オン直前の制御定数に
固定したオーブンループで圧力制御を行い、その圧力制
御の実行及び非実行の切替えを高周波電源４の指令に基
づいて制御するものである。As described above, in this embodiment, the pressure sensor 1 is
Pressure control is performed in a closed loop that feeds back the output of 2, and while the discharge is on, pressure is controlled in an oven loop that is fixed to the control constant immediately before the discharge is turned on. It is controlled based on the commands of
本実施例によれば、放電オン時におけるガス圧力は放電
の強弱に応じてそれぞれ異なったガス圧力の低下を示す
が、一定の放電電流に対してはガス圧力は一定であり変
化しないので、レーザ加工時の精度誤差のない、高精度
のレーザ加工を行うことができる。また、ガス圧力にス
パイクが発生しないので、予備放電が切れるといった不
都合も生じなくなる。According to this embodiment, the gas pressure when the discharge is turned on shows a different decrease in gas pressure depending on the intensity of the discharge, but the gas pressure is constant and does not change for a constant discharge current, so the laser High-precision laser processing can be performed without precision errors during processing. Furthermore, since no spikes occur in the gas pressure, the inconvenience of the preliminary discharge being cut off does not occur.
以上説明したように本発明によれば、放電オン又はオフ
の直後に発生していたガス圧力のスパイクを防止し、レ
ーザ発振特性に過渡変動のない気体レーザ発振装置を提
供することが可能となる。As explained above, according to the present invention, it is possible to prevent the spike in gas pressure that occurs immediately after the discharge is turned on or off, and to provide a gas laser oscillation device without transient fluctuations in the laser oscillation characteristics. .
第１図は本発明のレーザ発振装置の一実施例の構成図、
′
第２図は本発明における放電状態の変化による圧力セン
サの出力波形を示す図、
第３図は従来技術による気体レーザ発振装置の全体構成
を示す図、
第４図は放電人力が０％及び１００％の時の送風機の出
入り口における圧縮比とガス流量との関係を示す図、
第５図は従来技術における放電状態の変化による圧力セ
ンサの出力波形を示す図である。
１ 放電管
２．３ 電極
４ 高周波電源
５ 全反射鏡
６ 出力結合鏡
７．８ 熱交換器
９ 送風機
１０ 真空ポンプ
１１ バリアプルリークバルブ１２ 圧
力センサ
１３ ニードルバルブ
１４ ガスボンベ
２０ 数値制御装置
２１ Ａ／Ｄ変換器
２２ ガス圧力制御手段
２３ Ｄ／Ａ変換器
２４ ドライバ
２５ ガス圧力設定手段
特許出願人 ファナック株式会社
代理人 弁理士 服部毅巖
第２図
第４図FIG. 1 is a configuration diagram of an embodiment of the laser oscillation device of the present invention,
' Fig. 2 is a diagram showing the output waveform of the pressure sensor due to changes in the discharge state in the present invention, Fig. 3 is a diagram showing the overall configuration of a gas laser oscillation device according to the prior art, and Fig. 4 is a diagram showing the output waveform of the pressure sensor due to changes in the discharge state in the present invention. FIG. 5 is a diagram showing the relationship between the compression ratio and the gas flow rate at the entrance and exit of the blower at 100%. FIG. 5 is a diagram showing the output waveform of the pressure sensor due to changes in the discharge state in the prior art. 1 Discharge tube 2.3 Electrode 4 High frequency power supply 5 Total reflection mirror 6 Output coupling mirror 7.8 Heat exchanger 9 Air blower 10 Vacuum pump 11 Barrier pull leak valve 12 Pressure sensor 13 Needle valve 14 Gas cylinder 20 Numerical control device 21 A/D Converter 22 Gas pressure control means 23 D/A converter 24 Driver 25 Gas pressure setting means Patent applicant FANUC Co., Ltd. agent Patent attorney Takeshi Hattori Figure 2 Figure 4
Claims (4)
記気体放電を発生させるための電力を供給する電源と、
レーザ発振を行わせる光共振器と、送風機及び熱交換器
によってレーザガスを強制的に冷却させるガス循環装置
と、前記放電管内のガス圧力を検出し、所定値に制御す
る制御装置とから構成されるレーザ発振装置において、 前記制御装置は前記気体放電が生じていない間は前記ガ
ス圧力の制御を実行し、前記放電が生じている間は前記
ガス圧力制御を行わないことを特徴とする気体レーザ発
振装置。(1) a discharge tube that excites the laser by gas discharge; a power source that supplies power to generate the gas discharge;
Consisting of an optical resonator that performs laser oscillation, a gas circulation device that forcibly cools the laser gas using a blower and a heat exchanger, and a control device that detects the gas pressure in the discharge tube and controls it to a predetermined value. In the laser oscillation device, the control device controls the gas pressure while the gas discharge is not occurring, and does not control the gas pressure while the discharge is occurring. Device.
放電が生じる直前の制御定数に固定し、前記ガス圧力制
御を行わないことを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載の気体レーザ発振装置。(2) While the discharge is occurring, the control device fixes the control constant to the control constant immediately before the discharge occurs, and does not control the gas pressure. Laser oscillation device.
ス圧力制御の実行及び非実行を制御することを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載の気体レーザ発振装置。(3) The gas laser oscillation device according to claim 1, wherein the control device controls execution and non-execution of the gas pressure control based on the output of the power source.
を特徴とする特許請求の範囲第１項記載の気体レーザ発
振装置。(4) The gas laser oscillation device according to claim 1, wherein the discharge is performed by high-frequency gas discharge.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13031789A JP2821764B2 (en) | 1989-05-24 | 1989-05-24 | Gas laser oscillator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13031789A JP2821764B2 (en) | 1989-05-24 | 1989-05-24 | Gas laser oscillator |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02308585A true JPH02308585A (en) | 1990-12-21 |
| JP2821764B2 JP2821764B2 (en) | 1998-11-05 |
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ID=15031439
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13031789A Expired - Fee Related JP2821764B2 (en) | 1989-05-24 | 1989-05-24 | Gas laser oscillator |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2821764B2 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011222545A (en) * | 2010-04-02 | 2011-11-04 | Fanuc Ltd | Gas laser oscillator |
| JP2015220292A (en) * | 2014-05-15 | 2015-12-07 | ファナック株式会社 | Gas circulation type laser oscillation device |
-
1989
- 1989-05-24 JP JP13031789A patent/JP2821764B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011222545A (en) * | 2010-04-02 | 2011-11-04 | Fanuc Ltd | Gas laser oscillator |
| JP2015220292A (en) * | 2014-05-15 | 2015-12-07 | ファナック株式会社 | Gas circulation type laser oscillation device |
| US9484704B2 (en) | 2014-05-15 | 2016-11-01 | Fanuc Corporation | Gas circulation type laser oscillator |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2821764B2 (en) | 1998-11-05 |
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