JPH02303637A - Forming die and its manufacture - Google Patents

Forming die and its manufacture

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JPH02303637A
JPH02303637A JP12637089A JP12637089A JPH02303637A JP H02303637 A JPH02303637 A JP H02303637A JP 12637089 A JP12637089 A JP 12637089A JP 12637089 A JP12637089 A JP 12637089A JP H02303637 A JPH02303637 A JP H02303637A
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JP
Japan
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layer
mixing
mold
ion implantation
forming
Prior art date
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Pending
Application number
JP12637089A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Mamoru Sato
守 佐藤
Kaneshige Fujii
藤井 兼栄
Masato Kiuchi
正人 木内
Akiyoshi Chiyatanihara
昭義 茶谷原
Yoshinobu Shimoitani
良信 下井谷
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SUTAAROI SANGYO KK
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST
Original Assignee
SUTAAROI SANGYO KK
Agency of Industrial Science and Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by SUTAAROI SANGYO KK, Agency of Industrial Science and Technology filed Critical SUTAAROI SANGYO KK
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Publication of JPH02303637A publication Critical patent/JPH02303637A/en
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Abstract

PURPOSE:To obtain the forming die having high accuracy and a long service life by executing simultaneously ion implantation and vacuum deposition to the surface on which an object to be worked abuts, and forming a mixing layer provided with an amorphous metallic layer. CONSTITUTION:Ion implantation and vacuum deposition are executed simultaneously to the surface 4 on which at least an object to be worked for forming abuts of the upper and the lower dies 1, 2. As a result, a mixing layer provided with an amorphous metallic layer is formed on the forming dies 1, 2. The mixing layer is formed by implantation of an N ion and vapor deposition of Ti. In such a way, the surface layer being excellent in wear resistance can be provided on the die.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は成形用金型およびその製法に関する。[Detailed description of the invention] [Industrial application field] The present invention relates to a mold for molding and a method for manufacturing the same.

[従来の技術] 一般に、打抜き、絞りなどの成形加工は被加工物に繰り
返し加工を加えることによって所望の形状に成形する方
法であり、用いる金型には苛酷な加圧状態が課されるこ
ととなる。このような成形加工は、通常被加工物を積極
的に加熱することなく室温または室温に近い温度で行う
ため、被加工物の変形抵抗が高く、成形用金型には極め
て苛酷な条件が課されることとなる。しかも、より高い
生産性の要求から、金型寿命の長いものが益々強く求め
られるようになっている。
[Prior Art] In general, forming processes such as punching and drawing are methods of forming a workpiece into a desired shape by repeatedly processing the workpiece, and severe pressurized conditions are imposed on the mold used. becomes. This type of forming process is usually carried out at or near room temperature without actively heating the workpiece, so the workpiece has high deformation resistance and extremely harsh conditions are imposed on the molding die. It will be done. Furthermore, due to the demand for higher productivity, there is an increasing demand for molds with a long lifespan.

そのため、成形用金型としては、熱処理技術の改良と相
まってこれまで種々の合金鋼の開発あるいは粉末冶金技
術からの産物である超硬合金の応用などといった材料面
からの改良がなされてきた。 ゛他方、より一層生産性
の高い優れた工具材料を開発するため、材料表面に種々
の金属間化合物をコーティングする技術が発達してきた
。たとえば、真空蒸着法、イオンスパッタリング法、イ
オンブレーティング法などのいわゆるPVD法や、気相
めっき法ともいラベきCVD法などによって工具表面に
TiNなどの金属間化合物をコーティングすることによ
り、工具寿命を延長させる試みである。
Therefore, improvements have been made in terms of materials for forming molds, such as the development of various alloy steels and the application of cemented carbide, which is a product of powder metallurgy technology, in conjunction with improvements in heat treatment technology. On the other hand, in order to develop superior tool materials with even higher productivity, techniques have been developed to coat the surfaces of materials with various intermetallic compounds. For example, tool life can be extended by coating the tool surface with an intermetallic compound such as TiN using so-called PVD methods such as vacuum evaporation, ion sputtering, and ion blating, or vapor phase plating or label CVD. This is an attempt to extend it.

[発明が解決しようとする課題] しかしながら、PVD法によるコーティング層は材料表
面における密着性が悪く、苛酷な動的荷重のかかる成形
用金型表面に施しても到底耐えられるものではなかった
[Problems to be Solved by the Invention] However, the coating layer formed by the PVD method has poor adhesion to the material surface, and cannot withstand even when applied to the surface of a molding die subjected to severe dynamic loads.

後者のCVD法による場合は、PVD法よりも材料表面
におけるコーティング層の密着性は幾分改善されるが、
この場合も、材料表面に明確4に識別されるコーティン
グ層を形成することとなるので、苛酷な動的加圧条件で
は依然としてコーティング層が剥離するという問題があ
った。
When using the latter CVD method, the adhesion of the coating layer on the material surface is somewhat improved compared to the PVD method, but
In this case as well, since a clearly identified coating layer is formed on the surface of the material, there is still a problem that the coating layer peels off under severe dynamic pressurizing conditions.

さらに、CVD法では金型を高温に加熱する必要がある
(たとえば、T i NあるいはTiCをコーティング
する場合、1000℃程度に加熱する)ので、金型の焼
入れ処理が焼戻されて金型基質そのものの強度的な低下
ときたしたり一?I!、歪による寸法精度の狂いが生じ
たりして金型として不都合である。この不都合を解消す
るためには、材料に著しく制約を課す必要があって実用
的ではなかった。
Furthermore, in the CVD method, it is necessary to heat the mold to a high temperature (for example, when coating TiN or TiC, it is heated to about 1000°C), so the quenching process of the mold is tempered and the mold substrate is heated. Is it possible that the strength of the substance has decreased? I! This is inconvenient as a mold because dimensional accuracy may be distorted due to distortion. In order to eliminate this inconvenience, it was necessary to impose significant restrictions on the material, which was impractical.

上記従来技術の課題に鑑み、本発明の目的は、苛酷な成
形加工にも耐えられ強度が高く、かつ工具寿命の長い生
産性に優れた成形用金型、およびその製法を提供するこ
とにある。
In view of the above-mentioned problems of the prior art, an object of the present invention is to provide a molding die that can withstand harsh molding processes, has high strength, has a long tool life and is excellent in productivity, and a method for manufacturing the same. .

[課題を解決するための手段] 上記目的を達成するため、本発明にかかる成形用金型の
特徴構成は、成形加工の際少なくとも被加工物が当接す
る表面に、イオン注入と真空蒸着を同時に行うことによ
り非晶質金属層を備えたミキシング層が形成された点に
ある。
[Means for Solving the Problems] In order to achieve the above object, the characteristic configuration of the molding die according to the present invention is such that ion implantation and vacuum deposition are simultaneously carried out at least on the surface that the workpiece comes into contact with during the molding process. By doing so, a mixing layer including an amorphous metal layer is formed.

さらに、本発明にかかる成形用金型の製法の特徴構成は
、成形加工の際少なくとも被加工物が当接する表面に、
イオン注入と真空蒸着を同時に行うことにより非晶質金
属層を備えたミキシング層を形成する点にある。
Furthermore, the characteristic structure of the manufacturing method of the molding die according to the present invention is such that at least the surface that the workpiece comes into contact with during the molding process is
The point is that a mixing layer including an amorphous metal layer is formed by simultaneously performing ion implantation and vacuum deposition.

このミキシング層を形成する方法により成形用金型の表
層にミキシングされるイオンは、例えば、元素周期律表
における第■I族〜第Vl族および第■族に属する元素
の1種または2種以上であることが望ましい。
The ions mixed into the surface layer of the molding die by this method of forming a mixing layer are, for example, one or more of the elements belonging to Groups I to Vl and Group II in the Periodic Table of Elements. It is desirable that

このうち、ミキシング層の形成を、Nイオンの注入とT
iの蒸着により行うことが、とくに好ましい。
Among these, the mixing layer is formed by N ion implantation and T
It is particularly preferable to perform this by vapor deposition of i.

その他、ミキシング元素として、TaC,TiC,VC
,BN、TiN、Fez Nなどを用いることができる
Other mixing elements include TaC, TiC, VC
, BN, TiN, Fez N, etc. can be used.

[作用・効果コ つぎに、本発明にかかる成形用金型およびその製法の作
用・効果を説明する。
[Functions and Effects] Next, the functions and effects of the molding die and the manufacturing method thereof according to the present invention will be explained.

成形用金型の表面が、イオン注入と真空蒸着を同時に行
うことによるミキシング装置を用いて非晶質金属層を備
えたミキシング層が形成されることにより、耐窄粍性に
優れた表層を備えることとなる。しかも、その表層はイ
オンに上る金属らしくは金属間化合物が材料基質と一体
的にミキシングされて形成されているので、このような
金型の表層は、PVD法やCVD法によって形成される
ような明確な2層に分離されることがなく、金型基質と
コーティング層とが混然一体となっていて、苛酷な動的
加圧条件にも表層が剥離するといったことがなく、極め
て強度の高い金型を実現できた。
The surface of the molding die has a surface layer with excellent erosion resistance by forming a mixing layer with an amorphous metal layer using a mixing device that simultaneously performs ion implantation and vacuum deposition. It happens. Furthermore, the surface layer of the mold is formed by integrally mixing intermetallic compounds with the material matrix, which is similar to metals that rise to ions. The mold substrate and coating layer are not separated into two distinct layers, and the mold substrate and coating layer are mixed together, so the surface layer does not peel off even under severe dynamic pressure conditions, and has extremely high strength. We were able to create a mold.

上記ミキシング法として代表的なものにダイナミックミ
キシング法が挙げられる。この方法は、I V D (
Ion and Vapor Deposition)
法とも称されるもの(M、5atou、に、Fukui
 and F、Fujimoto、Proc、5th 
sy鳳p、 l5IAT、 349頁、1982年)で
あって、通常のイオン注入法より低いイオン加速エネル
ギーを用い、真空蒸着とイオン注入とを同時に行なうも
のである。ミキシング層形成の初期段階では、蒸着原子
の一部はイオンとの衝突による反跳で基質内に侵入する
が、それと同時に入射イオンも基質に注入され基質との
間にミキシング層が形成されることとなる。したがって
、予め試料表面に蒸着その池の方法によりコーティング
層を形成した後イオンを注入する方法とは、原理的にも
効果の点でも異なる。
A typical example of the above-mentioned mixing method is a dynamic mixing method. This method uses I V D (
Ion and Vapor Deposition)
What is also called law (M, 5atou, ni, Fukui
and F, Fujimoto, Proc, 5th
syohp, 15IAT, p. 349, 1982), vacuum deposition and ion implantation are performed at the same time using lower ion acceleration energy than in normal ion implantation methods. At the initial stage of mixing layer formation, some of the deposited atoms enter the substrate due to recoil from collisions with ions, but at the same time, incident ions are also injected into the substrate, forming a mixing layer between the substrate and the substrate. becomes. Therefore, this method is different from the method of forming a coating layer on the surface of the sample in advance by vapor deposition and then implanting ions, both in principle and in terms of effectiveness.

更に1本発明が、注入する元素の選択が容易であり目的
に応じて各種の表層を形成することができるのみならず
、各元素がイオン状態であることから極めて活性である
というイオン注入技術を利用しているので、注入された
基質との一体性が良く、2種以上のイオンをミキシング
したとしても基質に確実に所望の金属間化合物層を形成
させることができるのである。
Furthermore, the present invention utilizes an ion implantation technique that not only allows for easy selection of the elements to be implanted and allows the formation of various surface layers depending on the purpose, but also is extremely active because each element is in an ionic state. Since it is utilized, it has good integrity with the implanted substrate, and even if two or more types of ions are mixed, it is possible to reliably form a desired intermetallic compound layer on the substrate.

本発明による方法によれば、CVD法によるような加熱
の必要がないので、必要な熱処理を行った後に表層改質
処理を行うことができる。その結果、金型の強度を損な
ったり、寸法精度に狂いを生じたりすることがなく、精
度が良く、かつ強度が高くて長寿命な、成形加工品の生
産性に優れた成形用金型が得られた。
According to the method according to the present invention, there is no need for heating as in the CVD method, so the surface layer modification treatment can be performed after performing the necessary heat treatment. As a result, we have created molding molds that are highly accurate, strong, long-life, and highly productive for molded products without compromising the strength of the mold or causing deviations in dimensional accuracy. Obtained.

上記イオン注入されミキシングされた表層は機械的特性
に優れた非晶質層を備えていて、この非晶質層は溶融状
態から急冷して製造される非晶質金属と異なり、熱的に
安定性が高く、したがって連続的な成形加工による加熱
に際しても表層が変質し劣化することがない。
The ion-implanted and mixed surface layer has an amorphous layer with excellent mechanical properties, and unlike amorphous metals that are manufactured by rapidly cooling from a molten state, this amorphous layer is thermally stable. Therefore, the surface layer does not change in quality or deteriorate even when heated during continuous molding.

[実施例] 以下に本発明にかかる成形用金型およびその製法の一実
施例を、図面を参照して詳細に説明する。
[Example] Hereinafter, an example of a molding die and a method for manufacturing the same according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

成形用金型としては、変圧器などに使用されるモーター
コア打抜き用金型を用い、この金型の材質は高速度工具
*5KH9である。この場合のブランクとしては、厚み
0.8am 、幅60mmの帯状をしたJIS 5PC
CI板を用いた。金型形状は、第1図(a)、 (b)
に示すように、上型(1)と下型(2)とからなってい
て、この両型間に被加工物たるブランクを挿入しながら
打抜きプレスを用いて連続的に第2図に示す形状の製品
(3)を形成するようにしたものである。
The mold used is a motor core punching mold used for transformers, etc., and the material of this mold is high-speed tool*5KH9. In this case, the blank is a JIS 5PC strip with a thickness of 0.8 am and a width of 60 mm.
A CI board was used. The mold shape is shown in Figure 1 (a) and (b).
As shown in Figure 2, it consists of an upper mold (1) and a lower mold (2), and a blank, which is a workpiece, is inserted between these two molds, and a punching press is used to continuously form the shape shown in Figure 2. The product (3) is formed.

成形用金型の表面のうち、ブランクが当接する打抜き箇
所周辺(4)にダイナミックミキシング処理を行ないミ
キシング層を形成した。このミキシング層の形成方法を
以下に説明する。
Dynamic mixing treatment was performed to form a mixing layer on the surface of the molding die around the punched portion (4) where the blank comes into contact. A method for forming this mixing layer will be explained below.

第3図に、用いたイオン注入装置の概略構成を示す、こ
の装置は、イオン源(5)として冷陰極型イオン源を用
い、このイオン源(5)から出たイオンは質量分析系(
6)によって注入したいイオンのみを収り出して試料台
(17)に載置された試料(7)に注入するようになっ
ている。したがって、予定していない不純物元素は質量
分析系(6)によってふるい分けられ、試料(7)には
不純物元素が混入しないのである。さらに、選択したイ
オンのtJM密度を制御することによって、試料表層で
形成される化合物薄層の組成比を制御できるようになっ
ている。
Figure 3 shows the schematic configuration of the ion implantation device used. This device uses a cold cathode ion source as the ion source (5), and the ions emitted from this ion source (5) are collected using a mass spectrometry system (
6), only the ions desired to be implanted are extracted and implanted into the sample (7) placed on the sample stage (17). Therefore, unintended impurity elements are screened out by the mass spectrometry system (6), and the sample (7) is not contaminated with impurity elements. Furthermore, by controlling the tJM density of selected ions, it is possible to control the composition ratio of the thin compound layer formed on the surface layer of the sample.

図中(14)はバルブであり、(8)は試料(7)に照
射されるイオン電流を正確に知るための追い返し電極で
、これに試料(ア)における電流密度および均質な照射
領域を得るためのレンズ作用を持たせたものである9図
中(Q)は、試料(7)に照射されるイオンを流分測定
するための電流積算計である。
In the figure, (14) is a valve, and (8) is a repulsion electrode to accurately determine the ion current irradiated to the sample (7), and to obtain the current density and homogeneous irradiation area in the sample (A). (Q) in Figure 9, which has a lens effect for this purpose, is a current integrator for measuring the flow of ions irradiated onto the sample (7).

他方、イオン源(5)からのイオン とともに、試料(
7)の表層に別元素をミキシングさせるため、チャンバ
ー(10)内に電子ビーム蒸着装置(11)を設置しで
ある。を子ビーム蒸着装置(11)を用いれば、蒸着速
度を電子ビーム電流の調整により容易に制御できて露台
がよい、チャンバー、(10)内には、電子ビーム蒸着
装置(11)による試料表層の蒸着量を測定するため1
石英板を備えた水晶振動型膜厚計(12)も設置されて
いる。これは水晶振動子の振動数変化によって蒸着膜厚
を正確に測定できるのである0図中(13)は、チャン
バー(10)内を排気するための軸流分子ポンプ(図示
せず)に接続する排気口である。もっとも、別イオンを
混合させるための蒸着装置は、上記のように電子ビーム
蒸着装置に限られず、通常の蒸着装置でもよい。
On the other hand, along with the ions from the ion source (5), the sample (
In order to mix another element into the surface layer of 7), an electron beam evaporator (11) is installed in the chamber (10). If a child beam evaporator (11) is used, the evaporation rate can be easily controlled by adjusting the electron beam current. 1 to measure the amount of vapor deposition
A crystal vibrating film thickness meter (12) equipped with a quartz plate is also installed. This allows the thickness of the deposited film to be accurately measured by changing the frequency of the crystal oscillator. In the figure, (13) is connected to an axial flow molecular pump (not shown) for evacuating the chamber (10). It is an exhaust port. However, the vapor deposition device for mixing different ions is not limited to the electron beam vapor deposition device as described above, but may be a normal vapor deposition device.

試料である金型(7)をイオン注入装置に挿入してイオ
ン注入するに当たり、まず、被加工物と当接することと
なる金型の表面部分を、イオン注入方向に向けて試料台
(17)に設置する。しかる後、所定条件で注入処理(
イオン注入と同時に蒸着を行なう)を実施する。
When inserting the sample mold (7) into the ion implanter and implanting ions, first place the sample stage (17) with the surface part of the mold that will come into contact with the workpiece facing the direction of ion implantation. to be installed. After that, injection treatment (
ion implantation and vapor deposition at the same time).

ダイナミックミキシング処理は、下記条件によって行っ
た(括弧内は実施する上で好ましい範囲を示す)。
The dynamic mixing process was performed under the following conditions (the range in parentheses indicates the preferred range for implementation).

イオ刈1−++・−−−++−+++  N : N2
加速電圧(Key)・・・・・・・・30(好ましくは
1〜100、より好才しくは5〜40) N2イオン電流密度・・・・・・0.4(0,1〜0.
7 mA/am 2) N2イオン注入量°゛°゛°°約6X1016(5〜7
X10I6個/C+112) 到達真空度(Pa)   ・・・・・・3 X 10−
5(薄層形成時(Pa)  ・・・・約10弓)蒸着元
素・・・・・・・・・・・・・ TiTiは高純度チタ
ンを用いた。   ・蒸着速度・・・・・・・・・・・
・約10(3〜50A / sec ) 蒸着時の電流値(mA>・・・・・・3上記条件によれ
ば、金属表層に非晶質層が形成されることとなる。この
非晶質層は、試料基質の結晶配向による影響を遮断する
役割を有し、表層が機械的に優れた性質を備える要因と
もなっている。
Iogari 1−++・−−−++−+++ N: N2
Accelerating voltage (Key)...30 (preferably 1-100, more preferably 5-40) N2 ion current density...0.4 (0.1-0.
7 mA/am 2) N2 ion implantation amount °゛°゛°°approximately 6X1016 (5~7
6 X10I/C+112) Ultimate vacuum (Pa)...3 X 10-
5 (At the time of thin layer formation (Pa) . . . about 10 bows) Vapor deposition element . . . High purity titanium was used for TiTi.・Vapor deposition speed・・・・・・・・・・・・
- Approximately 10 (3 to 50 A/sec) Current value during vapor deposition (mA>...3 According to the above conditions, an amorphous layer will be formed on the metal surface layer. This amorphous The layer has the role of blocking the influence of the crystal orientation of the sample substrate, and is also a factor in providing the surface layer with excellent mechanical properties.

なお、良好なミキシング層を得るためには、Nイオンa
人量(Nイオン′r4流密度: mA/c+s 2) 
XとTiの蒸着量(蒸着速度+ A/see ) Yが
下記の関係にあることが好ましい。
In addition, in order to obtain a good mixing layer, N ions a
Amount of people (N ion'r4 flow density: mA/c+s 2)
It is preferable that X and the amount of deposited Ti (deposition rate + A/see) Y have the following relationship.

10X≦Y≦250X より好ましくは、下記の関係にあることである。10X≦Y≦250X More preferably, the following relationship exists.

25X≦Y≦100X 上記のミキシング処理を行った金型を用い、第2図に示
した打抜き製品を製造した。そして、この金型について
、ミキシング処理を行わなかった金型の場合と寿命を比
較した。このときの寿命は、製品に損傷を与えるなど、
金型として使用不能となるまでの製造個数とした。その
結果を第1表に示す。
25X≦Y≦100X Using the mold subjected to the above mixing treatment, the punched product shown in FIG. 2 was manufactured. The lifespan of this mold was then compared with that of a mold that was not subjected to mixing treatment. At this time, the lifespan may be limited to avoid damage to the product, etc.
The number of pieces manufactured until the mold becomes unusable. The results are shown in Table 1.

第 1 表 (打抜き個数、子細) 第1表に見るように、5KH9製金型ではミキシング処
理した方が5倍の寿命となった。
Table 1 (Number of punched pieces, details) As shown in Table 1, the life of the 5KH9 mold was five times longer when the mixing treatment was applied.

ミキシングするイオン種としては、上記T i Nの他
、TaC,TiC,VC,BN、TiN、Fe2Nなど
元素周期律表における第■族〜第■族および第1族に属
する元素を単独あるいは2種以上を組合せて用いるよう
にしてもよい。
In addition to the TiN mentioned above, the ion species to be mixed include elements belonging to Groups 1 to 2 and Group 1 of the Periodic Table of Elements, such as TaC, TiC, VC, BN, TiN, and Fe2N, either singly or in combination. The above may be used in combination.

ミキシング処理としては種々の条件が考えられ、イオン
注入量、注入源さなどを変えて、目的に応じた処理を行
うことができる。
Various conditions can be considered for the mixing process, and the process can be performed depending on the purpose by changing the amount of ion implantation, the size of the implantation source, etc.

被ミキシング処理物に対しては、ミキシングを効果的に
行うための工夫、例えば、電気的な極性を与えるなどの
処置を施してもよい。
The objects to be mixed may be subjected to measures such as imparting electrical polarity to the objects for effective mixing.

尚、特許請求の範囲の項に図面との対照を便利にする為
に番号を記すが、該記入により本発明は添付図面の構造
に限定されるものではない。
Note that although numbers are written in the claims section for convenient comparison with the drawings, the present invention is not limited to the structure shown in the accompanying drawings.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図(a)、 (b)は本発明にかかる成形用金型の
一実施例を表す上型および下型の平面図、第2図は第1
図の金型により打抜いた製品の平面図、 第3図は本発明の実施に用いたイオン注入装置の概略構
成図である。 (4)・・・・・・加工の際被加工物が当接する金型表
FIGS. 1(a) and 1(b) are plan views of an upper mold and a lower mold representing an embodiment of the molding die according to the present invention, and FIG.
FIG. 3 is a plan view of a product punched out using the die shown in FIG. 3, and FIG. (4)...The surface of the mold that the workpiece comes into contact with during processing

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、成形加工の際少なくとも被加工物が当接する表面(
4)に、イオン注入と真空蒸着を同時に行うことにより
非晶質金属層を備えたミキシング層が形成された成形用
金型。 2、成形加工の際少なくとも被加工物と接する表面(4
)に、イオン注入と真空蒸着を同時に行うことにより非
晶質金属層を備えたミキシング層を形成する成形用金型
の製法。 3、前記ミキシング層の形成を、Nイオンの注入とTi
の蒸着により行う請求項2記載の成形用金型の製法。
[Claims] 1. At least the surface that the workpiece comes into contact with during molding (
4) A molding die in which a mixing layer including an amorphous metal layer is formed by simultaneously performing ion implantation and vacuum deposition. 2. At least the surface that comes into contact with the workpiece during molding (4
), a method for manufacturing a molding die in which a mixing layer with an amorphous metal layer is formed by simultaneously performing ion implantation and vacuum deposition. 3. The mixing layer is formed by N ion implantation and Ti
3. The method for manufacturing a molding die according to claim 2, which is carried out by vapor deposition.
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