JPH02298879A - Flaw inspecting apparatus - Google Patents

Flaw inspecting apparatus

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JPH02298879A
JPH02298879A JP12072689A JP12072689A JPH02298879A JP H02298879 A JPH02298879 A JP H02298879A JP 12072689 A JP12072689 A JP 12072689A JP 12072689 A JP12072689 A JP 12072689A JP H02298879 A JPH02298879 A JP H02298879A
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JP
Japan
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defect
flaw
signal
signal level
output
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Application number
JP12072689A
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Japanese (ja)
Inventor
Takeo Kawase
健夫 川瀬
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Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To accurately detect a flaw, in such a case that non-flaw signal levels of a definite length or less is intermittently generated between flaw signal levels in a flaw inspecting apparatus of a reproduction signal, by interpolating said non-flaw signal levels as a series of flaw signals. CONSTITUTION:A flaw detecting part 102 detects the abnormal part of a reproduction signal to output a flaw judging signal which is, in turn, inputted to the inverter 104 and shift register 105 constituting a flaw judging signal interpolating part 3. The clock of the shift register 105 is supplied from a clock generating circuit 106 and each of the register outputs of the shift register 105 is inputted to a multi-input AND gate 107. The output of the gate 107 and that of the final stage of the register 105 control an RSFF 108. In this constitution, when the length between non-flaw signal levels appearing between flaw signal levels is within the number of the stages of the register 105, the output of the RSFF 108 is held to a high level state showing a flaw. That is, the output of the RSFF 108 is outputted to a terminal 109 as an interpolated flaw judging signal.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 情報記録媒体等の欠陥検査装置に関する。[Detailed description of the invention] [Industrial application field] The present invention relates to a defect inspection device for information recording media, etc.

[従来の技術] 磁気式、ある0は光学式の情報記録媒体を製造する際、
媒体上には傷やごみ、媒体の不均一などによって欠陥を
生ずる。媒体上にこのような欠陥が存在すると媒体から
情報を再生した際データ中に誤りを生ずる。この様な誤
りはアナログ信号の場合は多少許容されるがデジタル情
報の場合は1つの誤りも許されないことがある。あるい
は、誤り訂正符号を用いて誤りを検出、訂正する装置が
情報再生装置に備わっている場合は訂正能力を越えない
誤りは許容されることがある。いずれにしても、情報記
録媒体を製造する際には、誤りの個数、最大長などを基
準以下に維持することが必要であり、そのために欠陥検
査が不可欠である。
[Prior Art] When manufacturing magnetic or optical information recording media,
Defects occur on the media due to scratches, dirt, non-uniformity of the media, etc. The presence of such defects on the medium causes errors in the data when information is reproduced from the medium. Such errors may be tolerated to some extent in the case of analog signals, but in the case of digital information, even a single error may not be tolerated. Alternatively, if the information reproducing apparatus is equipped with a device for detecting and correcting errors using an error correction code, errors that do not exceed the correction capability may be tolerated. In any case, when manufacturing information recording media, it is necessary to maintain the number of errors, maximum length, etc. below standards, and therefore defect inspection is essential.

特に光学式情報記録媒体は欠陥が頻発するので、これを
検査し、管理することが重要であった。媒体上の比較的
大きなごみ、傷は数十バイトにも及ぶバーストエラーを
引き起こすことがある。光学式情報記録媒体の再生装置
には通常誤り訂正装置を備えていて、1セクタ当り一定
7XIイトまで、例えば80バイトまでのエラーを訂正
することが可能である。しかし3、長大なバーストエラ
ーの発生はこの訂正範囲を越えてしまう恐れがあり、欠
陥検査上もっとも懸念されるべき点である。つまり、欠
陥の長さ、及びその発生頻度を正確に測定することが欠
陥検査には要求される。
In particular, since defects occur frequently in optical information recording media, it has been important to inspect and manage them. Relatively large dirt or scratches on the media can cause burst errors of up to several dozen bytes. A reproducing device for an optical information recording medium is usually equipped with an error correction device, and is capable of correcting errors of up to a fixed 7XI bytes, for example, up to 80 bytes per sector. However, 3. The occurrence of a long burst error may exceed this correction range, which is the most worrying point in defect inspection. In other words, defect inspection requires accurate measurement of the length of defects and their frequency of occurrence.

[発明が解決しようとする課題 ] しかし、従来の欠陥検査装置では測定された欠陥の長さ
、発生頻度が実際の媒体上の欠陥の状態と異なるという
問題点を有していた。この問題点について第2図を用い
て説明する。記録トラック202上に欠陥201が存在
するとする。記録トラックを再生手段を用いて再生する
と再生信号203が得られる。ここでは、記録トラック
上は何も記録されていない状態にある。再生手段が欠陥
上を通過する際には再生信号203に異常部204が現
れる。この異常部を検出するために判定電圧レベル20
5を設け、再生信号に判定電圧レベルを下回る電圧が生
じたときここを異常部として検出する方法を採用したと
する。異常部にどの様な波形が出るかは、欠陥の種類、
形状によって異なるので予想はつかないので、異常部2
04にありながら判定電圧レベルを上回る電圧が生ずる
箇所206がある。そのため、欠陥判定信号207には
欠陥信号レベル208と無欠陥信号レベル209とが交
互に現れる。欠陥検出の目的からすれば、異常部の間連
続して欠陥信号レベルが出力されるべきであるのに、実
際はそうはならない。
[Problems to be Solved by the Invention] However, the conventional defect inspection apparatus has a problem in that the measured defect length and occurrence frequency are different from the actual state of defects on the medium. This problem will be explained using FIG. 2. Assume that a defect 201 exists on a recording track 202. A reproduced signal 203 is obtained by reproducing the recording track using a reproducing means. Here, nothing is recorded on the recording track. When the reproducing means passes over the defect, an abnormal portion 204 appears in the reproduced signal 203. In order to detect this abnormal part, the judgment voltage level is 20.
5 is provided, and a method is adopted in which when a voltage lower than the determination voltage level occurs in the reproduced signal, this is detected as an abnormal part. The type of waveform that appears in the abnormal area depends on the type of defect,
Since it depends on the shape and cannot be predicted, abnormal part 2
04, there is a location 206 where a voltage exceeding the determination voltage level is generated. Therefore, a defect signal level 208 and a non-defect signal level 209 appear alternately in the defect determination signal 207. For the purpose of defect detection, the defect signal level should be output continuously during the abnormal portion, but this is not actually the case.

[課題 を解決するための手段] 本発明の欠陥検査装置は検査対象から再生信号を再生す
る再生部、再生信号の異常を検出して欠陥の存在を示す
欠陥信号レベル、欠陥が存在しないことを示す無欠陥信
号レベルの二値の信号レベルからなる欠陥判定信号を出
力する欠陥検出部、欠陥判定信号が欠陥信号レベルを出
力したのに続き無欠陥信号レベルを有限時間出力した後
、再び欠陥信号レベルを出力した場合、前記無欠陥信号
レベルを出力した前記有限時間が所定の判定時間以内で
あった場合、前記無欠陥信号レベルを欠陥信号レベルに
修正して前記無欠陥信号レベルの前後に出力された前記
欠陥信号レベルと一続きの欠陥信号レベルに補間する欠
陥判定信号補間部からなることを特徴とする。
[Means for Solving the Problems] The defect inspection device of the present invention includes a reproducing unit that reproduces a reproduced signal from an inspection object, a defect signal level that detects an abnormality in the reproduced signal and indicates the presence of a defect, and a defect signal level that indicates the presence of a defect. A defect detection unit outputs a defect determination signal consisting of a binary signal level of a defect-free signal level shown in FIG. If the finite time at which the defect-free signal level was output is within a predetermined judgment time, the defect-free signal level is corrected to the defect signal level and output before and after the defect-free signal level. The present invention is characterized by comprising a defect determination signal interpolation section that interpolates the defect signal level determined by the defect signal level to a continuous defect signal level.

[実施例] 本発明の実施例について図を用いて説明する。[Example] Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

第1図は本発明の欠陥検査装置の一実施例を示す。FIG. 1 shows an embodiment of the defect inspection apparatus of the present invention.

情報記録媒体は再生部101によって再生され、第2図
203に示されるような再生信号を出力する。再生信号
は、欠陥検出部に入力され、再生信号の異常部を検出し
て欠陥判定信号を出力する。
The information recording medium is reproduced by the reproduction section 101 and outputs a reproduction signal as shown in FIG. 2 203. The reproduced signal is input to a defect detection section, which detects an abnormal part of the reproduced signal and outputs a defect determination signal.

再生信号が203に示されるように媒体上に何も記録さ
れていない状態を再生した場合では、電圧比較器を用い
れば欠陥判定信号を得ることができる。また、一定パタ
ーンを媒体上に書き込んだ後再生する場合には、再生パ
ターンと原パターンの比較をおこなって、両者に違いが
あれば欠陥信号レベルを出力するように構成すればよい
。いずれにせよ、欠陥検出部102から欠陥判定信号が
出力され、欠陥判定信号補間部に入力される。欠陥判定
信号はまず、インバータを通り論理が反転する。続いて
、シフトレジスタ105に入力される。
When the reproduction signal is reproduced from a state in which nothing is recorded on the medium, as shown at 203, a defect determination signal can be obtained by using a voltage comparator. Further, when reproducing a certain pattern after writing it on a medium, the reproduced pattern and the original pattern may be compared and if there is a difference between the two, a defect signal level may be output. In any case, a defect determination signal is output from the defect detection section 102 and input to the defect determination signal interpolation section. The defect determination signal first passes through an inverter and its logic is inverted. Subsequently, the signal is input to the shift register 105.

第1図に示される実施例では8ビツトのシフトレジスタ
を用いている。クロック発生回路106から出力される
信号が、シフトレジスタのクロックとして使われる。つ
まり、このクロックによって欠陥判定信号がサンプリン
グされる。シフトレジスタの各レジスタの出力は多入力
アンドゲート107に入力される。多入力アンドゲート
の出力はシフトレジスタの最終段Q8の出力と共にRS
フリップフロップ108を制御する構成となっている。
The embodiment shown in FIG. 1 uses an 8-bit shift register. A signal output from the clock generation circuit 106 is used as a clock for the shift register. In other words, the defect determination signal is sampled by this clock. The output of each register of the shift register is input to a multi-input AND gate 107. The output of the multi-input AND gate is RS together with the output of the final stage Q8 of the shift register.
The configuration is such that the flip-flop 108 is controlled.

欠陥判定信号補間部103の動作を第3図のタイミング
チャートを用いて説明する。301はシフトレジスタ1
05に入力されるクロック(CLK)、302は欠陥判
定信号補間部に入力される欠陥判定信号(ERR)、3
03はRSフリップフロップ108のSET入力(SE
T)、304はフリップフロップ108のRESET入
力(RE S ET)、305はフリップフロップ10
8のQ出力(Q)、の各信号のタイミングを表すもので
ある。欠陥判定信号に無欠陥信号レベル(ここではロウ
)が続くとき、シフトレジスタ105にはハイが入力さ
れ続ける。そのときシフトレジスタの各レジスタの出力
は全てハイであるから多入力アンドゲート107の出力
はロウである。この状態ではSETがハイ、RESET
がロウなのでQにはロウが出力されている。このことは
補間後の欠陥判定信号が無欠陥信号レベルにあることを
示す。
The operation of the defect determination signal interpolation section 103 will be explained using the timing chart of FIG. 301 is shift register 1
05 is a clock (CLK) input to the defect determination signal interpolation section 302, a defect determination signal (ERR) is input to the defect determination signal interpolation section;
03 is the SET input (SE
T), 304 is the RESET input (RESET) of the flip-flop 108, 305 is the flip-flop 10
8 represents the timing of each signal of Q output (Q). When the defect determination signal continues to have a non-defective signal level (here, low), a high level continues to be input to the shift register 105. At that time, since the outputs of each register of the shift register are all high, the output of the multi-input AND gate 107 is low. In this state, SET is high, RESET
Since is low, low is output to Q. This indicates that the defect determination signal after interpolation is at the non-defect signal level.

ここで、再生信号に異常部が発生して、302に示すよ
うな欠陥判定信号が出力されたとする。
Here, it is assumed that an abnormal portion occurs in the reproduced signal and a defect determination signal as shown in 302 is output.

3回の断続的な欠陥信号レベルが出力されているが、こ
れは3つの欠陥によるものではなく1つの一続きの欠陥
によるものであることは先に述べた通りである。302
がインバータ104によって論理反転された信号がシフ
トレジスタに入力するのでシフトレジスタの各段の出力
が全てハイだた状態から一部(または全部)ロウが出力
される状態へと遷移する。そのため欠陥の正味の長さを
Lθとすると、欠陥信号レベルが入力されてからし8+
7クロツクの閑、多入力アンドゲートの出力はハイにな
る。これを示すのが305である。また、シフトレジス
タの最終段の出力QGIは欠陥信号レベルの先頭が入力
されてから8クロツク目に、つまり7クロツク分の時間
が経過してから初めてロウになる。その瞬間RSフリッ
プフロップ108はSETされ、その出力はハイになる
。その時点から数えて、RSフリップフロップ108が
RESETされロウに戻るのは、 (Le+7)   
7=Leクロック分の時間が経過した後である。つまり
、RSフリップフロップ108の出力Qは306に示さ
れるようにLtiクロックの間ハイになる。306はシ
フトレジスタの段数分だけの遅延があるが、補間された
欠陥判定信号として利用することができる。
Three intermittent defect signal levels are output, but as mentioned above, this is not due to three defects but one continuous defect. 302
Since the signal whose logic is inverted by the inverter 104 is input to the shift register, the outputs of each stage of the shift register transition from a high state to a state in which some (or all) of the outputs are low. Therefore, if the net length of the defect is Lθ, the defect signal level must be input to 8+
When the 7 clock is idle, the output of the multi-input AND gate goes high. 305 indicates this. Furthermore, the output QGI of the final stage of the shift register becomes low for the first time after the 8th clock, that is, after the elapse of 7 clocks after the beginning of the defective signal level is input. At that moment, RS flip-flop 108 is set and its output goes high. Counting from that point, the time when the RS flip-flop 108 is reset and returns to low is (Le+7)
7=After the time corresponding to Le clocks has elapsed. That is, the output Q of RS flip-flop 108 goes high during Lti clocks, as shown at 306. Although signal 306 has a delay corresponding to the number of stages of the shift register, it can be used as an interpolated defect determination signal.

以上の動作により欠陥判定信号を欠陥判定信号補間部に
入力すると、欠陥信号レベルが補間された欠陥判定信号
が出力端109に現れる。
When the defect determination signal is input to the defect determination signal interpolation section through the above operation, the defect determination signal with the defect signal level interpolated appears at the output terminal 109.

この実施例では前後して現れる欠陥信号レベルの間に現
れる無欠陥信号レベルが7クロツク以内の時に補間動作
を、実行する。2つの欠陥信号レベルの間に8クロック
以上無欠陥信号レベルカ続イたときは補間しない。この
基準値は、シフトレジスタ105の段数及び多入力アン
ドゲートの入力数で決まる。ここで用いている8段のシ
フトレジスタをより多段なものにして各段の出力を段数
分の入力を持つ多入力アンドゲートに入力することによ
って、より長い補間が可能になる。欠陥検査の手法、目
的に応じた段数を選べば良い。
In this embodiment, the interpolation operation is performed when the non-defective signal level that appears between the defective signal levels that appear before and after is within seven clocks. Interpolation is not performed when a non-defective signal level continues for 8 or more clocks between two defective signal levels. This reference value is determined by the number of stages of the shift register 105 and the number of inputs of the multi-input AND gate. Longer interpolation becomes possible by increasing the number of stages of the eight-stage shift register used here and inputting the output of each stage to a multi-input AND gate having inputs for the number of stages. The number of stages can be selected according to the defect inspection method and purpose.

補間後の欠陥判定信号を用いれば正確な計測が可能とな
る。箪4図には欠陥判定信号補間部に続いて欠陥計数部
401を設は欠陥の長さ分布を測定する実施例を示しで
ある。この欠陥計数部は入力される欠陥判定信号の欠陥
信号レベルの計数を行い、欠陥長毎の欠陥発生回数、総
欠陥発生回数、総欠陥発生ビット数を測定することがで
きる。第2図に示される欠陥201を測定した場合、欠
陥判定信号207は欠陥判定信号補間部103によって
補間され補間された欠陥判定信号210となる。210
を欠陥計数部に入力した場合、欠陥計数部はL@ビット
や長さの欠陥が1回発生したと認識して、Loビット長
の欠陥発生回数をプラス1、総欠陥発生回数をプラス1
、総欠陥発生ビット数をプラスL、することになる。一
方、欠陥判定信号補間部のない従来の欠陥検査装置では
欠陥判定信号207を直接欠陥計数部に入力ことになる
。その場合、欠陥計数部は、L+、L2、L3ビットの
長さの欠陥がそれぞれ1回ずつ発生したと認識して、L
l、L2、L3ピット長の欠陥発生回数をそれぞれプラ
ス11 総欠陥発生回数をプラス3、総欠陥発生ビット
数をプラス(LI+L2+L3)することになる。後者
の従来欠陥検査装置の測定結果は実際の媒体上の欠陥の
状態を表していない。t、sビットという長い欠陥が発
生したことは見逃され、代わってLl、L2、L3ビッ
ト長の短い欠陥が発生したことになってしまう。先に述
べたように、情報記録媒体上の欠陥で訂正不能を引き起
こし情報の読み出しを不可能にするのは長いバーストエ
ラーであるので、これを見逃すことは欠陥検査装置にと
って重大な欠陥であるといえる。
Accurate measurement is possible by using the defect determination signal after interpolation. FIG. 4 shows an embodiment in which a defect counting section 401 is provided following the defect determination signal interpolation section to measure the length distribution of defects. This defect counting section counts the defect signal level of the input defect determination signal, and can measure the number of defect occurrences for each defect length, the total number of defect occurrences, and the total number of defect occurrence bits. When the defect 201 shown in FIG. 2 is measured, the defect determination signal 207 is interpolated by the defect determination signal interpolation unit 103 and becomes the interpolated defect determination signal 210. 210
is input to the defect counting unit, the defect counting unit recognizes that L@ bit or length defects have occurred once, and adds 1 to the number of Lo bit length defects and adds 1 to the total number of defects.
, the total number of defective bits is plus L. On the other hand, in a conventional defect inspection apparatus without a defect determination signal interpolation section, the defect determination signal 207 is directly input to the defect counting section. In that case, the defect counting unit recognizes that defects with a length of L+, L2, and L3 bits have occurred once each, and
The number of defect occurrences for the l, L2, and L3 pit lengths is each plus 11, the total number of defect occurrences is plus 3, and the total number of defect occurrence bits is plus (LI+L2+L3). The measurement results of the latter conventional defect inspection apparatus do not represent the actual state of defects on the medium. The occurrence of defects with long lengths of t and s bits is overlooked, and short defects with lengths of L1, L2, and L3 bits occur instead. As mentioned earlier, it is a long burst error that causes a defect on an information recording medium to become uncorrectable and makes it impossible to read information, so overlooking this is a serious defect for defect inspection equipment. I can say that.

Li1ビツトの長壱の欠陥が1回発生したとする本発明
の欠陥検査装置の結果が正しい。
The result of the defect inspection apparatus of the present invention that assumes that a long defect of 1 Li bit has occurred once is correct.

[発明の効果] 以上説明したように本発明によれば、欠陥判定信号補間
部を設け、欠陥信号レベルの間に一定長さ以下の無欠陥
信号レベルが発生して断続的になるのを補間することに
よって、媒体上の欠陥の現実を良く表した欠陥検査が可
能になり、特に情報記録媒体にとって問題となる長い欠
陥の検出に於て正確な結果が得られるものである。なお
、第1図に示した欠陥判定信号補間部103の回路構成
は一例であって、このほかの回路でも実現可能である。
[Effects of the Invention] As explained above, according to the present invention, a defect determination signal interpolation unit is provided to interpolate intermittent occurrence of non-defective signal levels of a certain length or less between defective signal levels. By doing so, it is possible to perform a defect inspection that well represents the reality of defects on the medium, and in particular, it is possible to obtain accurate results in detecting long defects that are a problem for information recording media. Note that the circuit configuration of the defect determination signal interpolation unit 103 shown in FIG. 1 is an example, and other circuits can be used.

補間することの重要性、そしてその補間手段を欠陥検査
装置が備えるべきであることを主張することが本特許の
主眼である。
The main focus of this patent is to emphasize the importance of interpolation and that a defect inspection device should be equipped with interpolation means.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は、本発明の欠陥検査装置の実施例を示す構成図
。 第2図は、欠陥1、再生信号、欠陥判定信号、補間後の
欠陥判定信号の関係を示す模式図。 第3図は、本発明の欠陥検査装置に用いられる欠陥判定
信号補間部の動作を示すタイミングチャー ト。 第4図は、本発明の欠陥検査装置に欠陥計数部を加えた
ブロック図。 以上 出願人 セイコーエプソン株式会社 代理人弁理士 鈴木喜三部 他1名 第1図 第2図 第3図 第4図
FIG. 1 is a configuration diagram showing an embodiment of a defect inspection apparatus of the present invention. FIG. 2 is a schematic diagram showing the relationship among defect 1, a reproduced signal, a defect determination signal, and a defect determination signal after interpolation. FIG. 3 is a timing chart showing the operation of the defect determination signal interpolation section used in the defect inspection apparatus of the present invention. FIG. 4 is a block diagram of the defect inspection apparatus of the present invention including a defect counting section. Applicant: Seiko Epson Co., Ltd. Representative Patent Attorney Kizobe Suzuki and 1 other person Figure 1 Figure 2 Figure 3 Figure 4

Claims (1)

【特許請求の範囲】  検査対象から再生信号を再生する再生部、前記再生信
号の異常を検出して欠陥の存在を示す欠陥信号レベル、
欠陥が存在しないことを示す無欠陥信号レベルの二値の
信号レベルからなる欠陥判定信号を出力する欠陥検出部
、 前記欠陥判定信号が欠陥信号レベルを出力したのに続き
無欠陥信号レベルを有限時間出力した後、再び欠陥信号
レベルを出力した場合、前記無欠陥信号レベルを出力し
た前記有限時間が所定の判定時間以内であった場合、前
記無欠陥信号レベルを欠陥信号レベルに修正して前記無
欠陥信号レベルの前後に出力された前記欠陥信号レベル
と一続きの欠陥信号レベルに補間する欠陥判定信号補間
部、からなることを特徴とする欠陥検査装置。
[Scope of Claims] A reproducing unit that reproduces a reproduced signal from an inspection object, a defect signal level that detects an abnormality in the reproduced signal and indicates the presence of a defect;
a defect detection unit that outputs a defect determination signal consisting of a binary signal level of a defect-free signal level indicating that no defect exists; following the defect determination signal outputting the defect signal level, the defect-free signal level is maintained for a limited period of time; If the defect-free signal level is output again after the defect-free signal level is output, and the finite time when the defect-free signal level is output is within a predetermined judgment time, the defect-free signal level is corrected to the defect signal level and the defect-free signal level is output again. A defect inspection device comprising: a defect determination signal interpolation unit that interpolates the defect signal level outputted before and after the defect signal level to a continuous defect signal level.
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