JPH0228815A - Cooling system for electronic device - Google Patents
Cooling system for electronic deviceInfo
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、大型コンピューターあるいは高集積形の半導
体装置等における冷却機構に適用して有効な技術に関す
るものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a technique that is effective when applied to a cooling mechanism in a large computer or a highly integrated semiconductor device.
この種の技術について記載されている例としては、１９
８３年４月１１日、日経マグロウヒル社発行［日経エレ
クトロニクスＪＰ１５９〜Ｐ１８４がある。Examples of this type of technology described include 19
Published by Nikkei McGraw-Hill on April 11, 1983 [Nikkei Electronics JP159-P184 available.
上記文献においては、電子装置としての大型コンピュー
ターにおけるベクトルプロセッサに対する熱対策として
、空冷の冷却機構による技術が記載されているが、今後
さらにプロセッサ等における高集積化・高速化が促進さ
れた場合、空冷のみによる熱対策ではシステムの十分な
作動信頼性の保障が難しいことが懸念される。In the above literature, a technology using an air-cooling cooling mechanism is described as a heat countermeasure for vector processors in large computers as electronic devices. There is a concern that it will be difficult to ensure sufficient operational reliability of the system if only heat countermeasures are taken.
このため、水等の冷媒を用いた水冷方式による冷却シス
テムが提案されている。For this reason, a cooling system based on a water cooling method using a refrigerant such as water has been proposed.
このような冷却システムとしては、複数のユニットに分
割されたプロセッサの各々に対して冷水を供給し、各ユ
ニットの過熱を抑制するものが一般的である。Such a cooling system generally supplies cold water to each of the processors divided into a plurality of units to suppress overheating of each unit.
ところが、上記のような冷却システムにおいては、全ユ
ニットを１つの単位として冷却処理が行われていた。す
なわち、冷媒供給装置から送出された水等の冷媒は各ユ
ニットを循環した後に再度冷媒供給装置に帰還される構
造となっていた。However, in the above-mentioned cooling system, cooling processing is performed with all units as one unit. That is, the refrigerant such as water sent out from the refrigerant supply device is configured to circulate through each unit and then return to the refrigerant supply device again.
このために、複数のユニットの中の１個について電源を
切断してメンテナンス等を実施しようとした場合、当該
ユニットをンステムから切り離すために冷媒供給装置の
作動を停止させなくてはならず、この結果過熱防止のた
ｔに他の全てのユニットの作動をも停止させなくてはな
らなかった。For this reason, when attempting to perform maintenance etc. by cutting off the power to one of multiple units, the operation of the refrigerant supply device must be stopped in order to disconnect the unit from the system. As a result, all other units had to be shut down to prevent overheating.
本発明は、上記課題に着目してなされたものであり、そ
の目的は、ユニット毎の冷却を独立に制御可能とするこ
とによってシステム全体の作動を停止させることなくユ
ニット毎のメンテナンスを容易に行うことのできる技術
を提供することにある。The present invention has been made with attention to the above-mentioned problems, and its purpose is to easily perform maintenance on each unit without stopping the operation of the entire system by making it possible to independently control the cooling of each unit. Our goal is to provide technology that can.
本発明の上記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。The above and other objects and novel features of the present invention will become apparent from the description of this specification and the accompanying drawings.
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、概ね次の通りである。A brief overview of typical inventions disclosed in this application is as follows.
すなわち、２以上のユニットで構成された電子装置にお
いて、各ユニットにおける電源の遮断・投入状態の変化
に基づいて各ユニットに対する冷却を制御するものであ
る。That is, in an electronic device configured with two or more units, cooling of each unit is controlled based on changes in the power-on/off state of each unit.
上記した手段によれば、ユニット単位における冷却制御
を可能とすることによりシステム全体の電源を遮断する
ことなく、他のユニットは作動状態を維持したまま、個
々のユニットのメンテナンスが可能となる。According to the above-mentioned means, by enabling cooling control on a unit-by-unit basis, maintenance of each unit can be performed without shutting off power to the entire system, while other units remain in operation.
第１図は本発明の一実施例である冷媒供給系統を示す説
明図、第２図はこの制御系統を示す説明図である。FIG. 1 is an explanatory diagram showing a refrigerant supply system according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is an explanatory diagram showing this control system.
本実施例における冷媒供給系統からみたンステム構成は
、第１図に示される通りであり、冷媒供給装置１と、第
１のユニット１２および第２のユニット１７とで構成さ
れている。ここで同図においてはユニットは１２および
１７の２個のみを図示したが、３個以上の構成であって
もよいことはいうまでもない。The system configuration as viewed from the refrigerant supply system in this embodiment is as shown in FIG. 1, and is composed of a refrigerant supply device 1, a first unit 12, and a second unit 17. Although only two units 12 and 17 are shown in the figure, it goes without saying that the configuration may include three or more units.
上記冷媒供給装置１は、その内部に冷媒循環ポンプ２と
、熱交換器４とを有しており、該熱交換器４はコンプレ
ッサ５が介装されたフレオンサイクル６によって冷却さ
れる構造となっている。また、上記冷媒供給装置１内に
は、上記冷媒循環ポンプ２および熱交換器４を経由する
冷媒配管３が設けられており、この冷媒配管３の途中部
分には冷媒の流量を検出する流量計３７が介装されてい
る。The refrigerant supply device 1 has a refrigerant circulation pump 2 and a heat exchanger 4 therein, and the heat exchanger 4 has a structure in which it is cooled by a Freon cycle 6 in which a compressor 5 is interposed. ing. Further, in the refrigerant supply device 1, a refrigerant pipe 3 is provided which passes through the refrigerant circulation pump 2 and the heat exchanger 4, and a flow meter for detecting the flow rate of the refrigerant is provided in the middle of the refrigerant pipe 3. 37 is interposed.
上記冷媒配管３は流入側および流出側の管端がそれぞれ
２系統に分岐されており、該管端には公知の配管カプラ
７を介して流出側にホース８および９が、流入側にホー
ス１０および１１がそれぞれ接続されている。ここで、
上記配管カプラフについて簡単に説明すると、管体と管
体とを接続するための連結部材であり、連結部にはいわ
ゆるセルフシール構造を有しており、接続が解除された
状態でシール機構がはたらき、該カプラ端部より管体内
の冷媒等の流出が防止されるものである。The refrigerant pipe 3 has pipe ends on the inflow side and outflow side branched into two systems, and hoses 8 and 9 are connected to the outflow side via a known piping coupler 7, and hoses 10 are connected to the inflow side at the pipe ends. and 11 are connected to each other. here,
To briefly explain the above piping coupler, it is a connecting member for connecting pipe bodies, and the connecting part has a so-called self-sealing structure, and the sealing mechanism works when the connection is released. , the refrigerant, etc. inside the tube is prevented from flowing out from the coupler end.
第１のユニット１２は冷媒供給系として、例えば水冷ジ
ャケット等からなる液冷モジュール１３および自動制御
弁１５．１６を有している。この自動制御弁１５．１６
は、たとえば電磁弁等の電気的手段によって供給路の開
閉制御が可能なものであり、これと上記液冷モジュール
１３との間にはモジュール離脱用カプラ３５，３５がそ
れぞれ介装されている。また、上記自動制御弁１５．１
６の一端側は配管カプラ７．７を介して上記冷媒供給装
置１からのホース１０右よび８がそれぞれ連結されてい
る。なお、同図中において１４は第１のユニット１２の
ための第１ユニツト電源である。The first unit 12 has, as a refrigerant supply system, a liquid cooling module 13 consisting of, for example, a water cooling jacket, and automatic control valves 15 and 16. This automatic control valve 15.16
The supply channel can be opened and closed by electrical means such as a solenoid valve, and module detachment couplers 35, 35 are interposed between this and the liquid cooling module 13, respectively. In addition, the automatic control valve 15.1
One end side of 6 is connected to the right hose 10 and 8 from the refrigerant supply device 1, respectively, via a piping coupler 7.7. In addition, in the same figure, 14 is a first unit power supply for the first unit 12.
以上の説明では第１のユニット１２の内部構成で説明し
たが、第２のユニット１７においても同様の構成となっ
ている。In the above description, the internal configuration of the first unit 12 has been explained, but the second unit 17 also has a similar configuration.
次に、第２図によって上記システム構成における制御系
統を説明する。Next, the control system in the above system configuration will be explained with reference to FIG.
制御系統においては、上記冷媒供給装置１の外部におい
て電源投入指令装置２２を有しており、冷媒供給装置１
内の自身の電？Ｒ２６、ならびに第１ユニ７）監視部２
７および第２ユニット監視部２８ （監視手段）に対し
て、電源制御線２３，２４．２５を通じてそれぞれ独立
に電源指令信号が送出される構造となっている。上記第
１ユニット監視部２７は、電源制御線２９を通じて第１
のユニ７）１２内の第１ユニツト電源１４の電源遮断・
投入の制御が可能となっており、また弁制御線３１によ
って弁制御部３３（制御手段）を制御し、上記自動制御
弁１５．１６を開閉制御することができるようにされて
いる。本実施例において、上記第１ユニット監視部２７
ては、第１ユニツト電源１４の状態を常に監視しており
、第１ユニツト電＃ｉ１４の電源遮断に同期して自動制
御弁１５１６により供給路の閉塞が行われるよう制御さ
れている。In the control system, a power-on command device 22 is provided outside the refrigerant supply device 1, and the refrigerant supply device 1
Own electricity inside? R26, and the first unit 7) monitoring section 2
7 and the second unit monitoring section 28 (monitoring means), a power supply command signal is transmitted independently through power supply control lines 23, 24, and 25, respectively. The first unit monitoring section 27 is connected to the first unit monitoring section 27 through the power supply control line 29.
7) Cut off the power supply of the first unit power supply 14 in the unit 12.
The opening and closing of the automatic control valves 15 and 16 can be controlled by controlling a valve control section 33 (control means) via a valve control line 31. In this embodiment, the first unit monitoring section 27
The state of the first unit power supply 14 is constantly monitored, and the automatic control valve 1516 is controlled to close the supply path in synchronization with the power cutoff of the first unit power supply #i14.
なお、第２ユニント監視部２８も上記と同様に、電源制
御線３０を通じて第２ユニツト電源１９の電源遮断・投
入が可能となっており、弁制御線３２によって弁制御部
３４を通じて自動制御弁２０２１の開閉制御が可能とな
っている。Note that, similarly to the above, the second unit power supply 19 can be turned off and on via the power supply control line 30 in the second unit monitoring section 28, and the automatic control valve 2021 can be switched on and off via the valve control section 34 via the valve control line 32. Opening/closing control is possible.
次に、本実施例の作用について説明する。Next, the operation of this embodiment will be explained.
まず、電源投入指令装置２２より電源制御線２３を介し
て電源投入指令信号が送出されると、冷媒供給装置１の
電源２６が起動し、熱交換器４、冷媒循環ポンプ２およ
びコンプレッサ５等が作動を開始する。First, when a power-on command signal is sent from the power-on command device 22 via the power control line 23, the power supply 26 of the refrigerant supply device 1 is activated, and the heat exchanger 4, refrigerant circulation pump 2, compressor 5, etc. Start operation.
これと同時あるいは少し遅れて電源投入指令装置２２よ
り電源制御線２４．２５に対して電源遮断指令信号が送
出されると、該信号は第１および第２ユニツト監視部２
７．２８を経て第１および第２ユニット電源１４．１９
を起動させる。これによって各ユニッ）１２．１７が作
動を開始する。At the same time or a little later, when the power-on command device 22 sends a power-off command signal to the power control line 24.25, the signal is transmitted to the first and second unit monitoring sections 2.
1st and 2nd unit power supply via 7.28 14.19
Activate. As a result, each unit) 12.17 starts operating.
第１および第２ユニツト監視部２７．２８では各々が担
当する各ユニット電源１４．１９について電源投入が検
出されると、これと同期して弁制御線３１．３２を通じ
て弁制御部３３．３４に対して弁制御信号を送出する。When the first and second unit monitoring sections 27.28 detect that power has been turned on for each unit power source 14.19 that they are in charge of, they synchronize with this and send the power to the valve control section 33.34 via the valve control line 31.32. A valve control signal is sent to the valve control signal.
弁制御部３３．３４において上記信号が受信されると各
ユニット内の自動制御弁１５．１６および２０．２１が
作動されて、冷媒の供給路を開く。When the signal is received in the valve control section 33.34, the automatic control valves 15.16 and 20.21 in each unit are activated to open the refrigerant supply path.
以上に説明した各部の作動開始によって、冷媒供給装置
１内の冷媒循環ポンプ２より送出された冷媒は、熱交換
器４において所定低温にまで低められた後、流量計３７
、冷媒配管３および配管カプラ７を経てそれぞれのユニ
ッ）１２．１７へのホース８．９を通じて各ユニット内
の液冷モジュール１３．１８に達し、ここで熱交換され
た後、ホース１０．１１を経て再度冷媒供給装置１に帰
還される。With the start of operation of each part explained above, the refrigerant sent out from the refrigerant circulation pump 2 in the refrigerant supply device 1 is lowered to a predetermined low temperature in the heat exchanger 4, and then the refrigerant is lowered to a predetermined low temperature at the flow meter 37.
, through the refrigerant pipe 3 and the pipe coupler 7 to the liquid cooling module 13.18 in each unit through the hose 8.9 to each unit) 12.17, where heat is exchanged, and then the hose 10.11 is After that, it is returned to the refrigerant supply device 1 again.
次に、システム全体の作動状態を維持したまま第１のユ
ニット１２のメンテナンスを行う場合について言凭明す
る。Next, a case will be explained in which maintenance is performed on the first unit 12 while maintaining the operating state of the entire system.
すなわち、第１ユニツト電源の劣化等の理由により第１
のユニット１２のみのメンテナンスが必要となった場合
、従来技術によれば前述のように、他のユニットへの冷
媒供給も停止しなければならないため、結局は他のユニ
ットの過熱を防止するためにシステム全体の電源を遮断
する必要があった。しかし、本実施例では下記の手順に
より、システム全体の電源を遮断することなく第１のユ
ニット１２のみのメンテナンスが可能となっている。In other words, due to reasons such as deterioration of the first unit power supply,
If maintenance is required only for the unit 12, according to the prior art, as mentioned above, the refrigerant supply to the other units must also be stopped, so in order to prevent the other units from overheating, It was necessary to power down the entire system. However, in this embodiment, the following procedure allows maintenance of only the first unit 12 without shutting off the power to the entire system.
まず、電源投入指令装置２２より電源制御線２４を経て
第１ユニット監視部２７に対して電源遮断指令信号が送
出されると、該信号は第１ユニット監視部２７および電
源制御線２９を経て第１ユニツト電源１４に伝えられる
。第１ユニツト電源１４は、当該信号を受信すると、自
身で電源供給を遮断し、これにより第１のユニット１２
の作動が停止される。First, when a power-off command signal is sent from the power-on command device 22 to the first unit monitoring section 27 via the power control line 24, the signal is sent to the first unit monitoring section 27 and the power supply control line 29. 1 unit power supply 14. When the first unit power supply 14 receives the signal, it cuts off the power supply itself, and thereby the first unit 12
operation is stopped.
第１ユニット監視部２７では、上記第１ユニツト電源１
４の電源遮断を検出すると、弁制御線３１を介して弁制
御信号を送出する。弁制御部３３では上記弁制御線３１
を受信すると、自動制御弁１５および１６を作動制御し
、液冷モジニール１３に対する冷媒供給路を閉鎮する。In the first unit monitoring section 27, the first unit power supply 1
4, a valve control signal is sent out via the valve control line 31. In the valve control section 33, the valve control line 31
When this is received, the automatic control valves 15 and 16 are operated and the refrigerant supply path to the liquid-cooled modineer 13 is closed.
これによって第１のユニット１２に対する冷媒供給が停
止された後、モジュール離脱用カプラ３５の部分より冷
媒供給系統を第１のユニット１２から分離する。After the refrigerant supply to the first unit 12 is thereby stopped, the refrigerant supply system is separated from the first unit 12 at the module separation coupler 35.
このとき、分離された冷媒供給系統、すなわちホース８
および１０側には閉塞状態を維持された自動制御弁１５
．１６が連結された状態のままとなっているため、これ
が上記モジュール離脱用カプラ３５のンール機能ととも
にホース８．１０内の冷媒の漏出を防止する作用を有し
ている。At this time, the separated refrigerant supply system, that is, the hose 8
and an automatic control valve 15 maintained in a closed state on the 10 side.
．． 16 remains connected, this has the function of preventing the refrigerant in the hose 8.10 from leaking, together with the disconnection function of the module detachment coupler 35.
以上のようにして第１のユニット１２は、システムの電
源系統ならびに冷媒供給系統から離脱され、単独でのメ
ンテナンスが可能な状態となる。As described above, the first unit 12 is separated from the power supply system and refrigerant supply system of the system, and becomes ready for independent maintenance.
なおこの間、第２のユニット１７は作動を維持された状
態となっているが、第１のユニット１２がンステムから
離脱されたことにより、第２のユニットに供給される冷
媒の送出圧力が変動する場合がある。この点について、
本実施例では流量計３７によって熱交換器４から冷媒配
管３に対して送り出される冷媒の流量が常に監視されて
おり、該流量に変動があった場合には流量監視制御部３
８に伝えられる。当該流量監視制御部３８においては、
上記流量計３７からの監視情報に基づいて第２のユニッ
ト１７への冷媒の供給量が第１のユニット１２への供給
停止前と等しくなるよう冷媒循環ポンプ２の作動を制御
する。したがって、部のユニットのシステムからの離脱
に伴う冷媒供給量の変動も有効に防止されている。During this time, the second unit 17 is maintained in operation, but as the first unit 12 is removed from the system, the delivery pressure of the refrigerant supplied to the second unit fluctuates. There are cases. in this regard,
In this embodiment, the flow rate of the refrigerant sent from the heat exchanger 4 to the refrigerant pipe 3 is constantly monitored by the flow meter 37, and if there is a change in the flow rate, the flow rate monitoring control unit 37
8 will be communicated. In the flow rate monitoring control section 38,
Based on the monitoring information from the flow meter 37, the operation of the refrigerant circulation pump 2 is controlled so that the amount of refrigerant supplied to the second unit 17 is equal to that before the supply to the first unit 12 was stopped. Therefore, fluctuations in the amount of refrigerant supplied due to separation of other units from the system are also effectively prevented.
以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。Although the invention made by the present inventor has been specifically explained above based on Examples, it goes without saying that the present invention is not limited to the above Examples and can be modified in various ways without departing from the gist thereof. Nor.
たとえば、第１ユニット監視部２７および第２ユニット
監視部２８における制御としては、各ユニット電源１４
．１９の電源遮断・投入に同期して自動制御弁１５．１
６および２０．２１の閉塞・開放を行う場合について説
明したが、少なくとも電源の遮断と自動制御弁の閉塞の
みが同期的に行われているものであればよい。For example, the control in the first unit monitoring section 27 and the second unit monitoring section 28 includes the control of each unit power supply 14.
．． Automatically control valve 15.1 in synchronization with power cutoff/on of 19.
Although the case where the closing/opening of 6 and 20.21 is performed has been described, it is sufficient that at least only the shutoff of the power supply and the closing of the automatic control valve are performed synchronously.
冊
以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその利用分野である、いわゆる大型コンピュータにお
ける冷却ンステムに適用した場合について説明したが、
これに限定されるものではなく、たとえば半導体装置等
の小型の電子装置における冷却システムにも適用できる
。In the above explanation, we have mainly explained the case where the invention made by the present inventor is applied to the cooling system in a so-called large computer, which is its field of use.
The present invention is not limited to this, and can also be applied to cooling systems for small-sized electronic devices such as semiconductor devices.
本願において開示される発明のうち代表的なものによっ
て得られる効果を簡単に説明すれば、下記の通りである
。A brief explanation of the effects obtained by typical inventions disclosed in this application is as follows.
すなわち、本発明によれば、ユニット単位における冷却
制御が可能となることにより、電子装置におけるシステ
ム全体の電源を遮断することなく、他のユニットは作動
状態を維持したまま個々のユニットのメンテナンスが可
能となる。In other words, according to the present invention, by making it possible to control cooling on a unit-by-unit basis, it is possible to perform maintenance on individual units while other units remain in operation without shutting off the power to the entire electronic device system. becomes.
第１図は本発明の一実施例である冷媒供給系統を示す説
明図、
第２図は上記実施例における制御系統を示す説明図であ
る。
１・・・冷媒供給装置、２・・・冷媒循環ポンプ、３・
・・冷媒配管、４・・・熱交換器、５・・・コンプレッ
サ、６・・・フレオンサイクル、７・・・配管カプラ、
８，９，１０．１１・・・ホース、１２・・・第１のユ
ニット、１３・・・液冷モジュール、１４・・・第１ユ
ニツト電源、１５．１６・・・自動制御弁、１７・・・
第２のユニット、１８・・・液冷モジュール、１９・・
・第２ユニツト電源、２０．２１・・・自動制御弁、２
２・・・電源投入指令装置、２３．２４２５・・・電源
制御線、２６・・・電源、２７・・・第１ユニット監視
部、２８・・・第２ユニット監視部（監視手段）、２９
．３０・・・電源制御線、３１．３２・・・弁制御線、
３３．３４・・・弁制御部（制御手段）、３５．３６・
・・モジュール離脱用カプラ、３７・・・流量計、３８
・・・流量監視制御部。
代理人 弁理士 筒 井 大 和FIG. 1 is an explanatory diagram showing a refrigerant supply system according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is an explanatory diagram showing a control system in the above embodiment. 1... Refrigerant supply device, 2... Refrigerant circulation pump, 3.
... Refrigerant piping, 4... Heat exchanger, 5... Compressor, 6... Freon cycle, 7... Piping coupler,
8,9,10.11...Hose, 12...First unit, 13...Liquid cooling module, 14...First unit power supply, 15.16...Automatic control valve, 17.・・・
Second unit, 18...Liquid cooling module, 19...
・Second unit power supply, 20.21... automatic control valve, 2
2... Power-on command device, 23.2425... Power supply control line, 26... Power supply, 27... First unit monitoring section, 28... Second unit monitoring section (monitoring means), 29
．． 30...Power control line, 31.32...Valve control line,
33.34... Valve control section (control means), 35.36.
...Module detachment coupler, 37...Flowmeter, 38
...Flow rate monitoring control unit. Agent Patent Attorney Daiwa Tsutsui
Claims (2)
各ユニットにおける電源の遮断・投入状態の変化に基づ
いて各ユニットに対する冷却を制御することを特徴とす
る電子装置の冷却システム。1. In an electronic device composed of two or more units,
A cooling system for an electronic device, characterized in that cooling of each unit is controlled based on changes in the power-on/off state of each unit.
て配設された冷却系と、各ユニットにおける電源の遮断
・投入状態を監視する監視手段と、該監視手段により検
出された個々のユニットにおける電源の遮断・投入の変
化に基づいて各ユニットの冷却系への冷媒供給を制御す
る制御手段とを備えた請求項１記載の電子装置の冷却シ
ステム。2. A cooling system arranged corresponding to two or more units whose power supply systems can be separated, a monitoring means for monitoring the power cutoff/on state of each unit, and a cooling system for each unit detected by the monitoring means. 2. The cooling system for an electronic device according to claim 1, further comprising a control means for controlling the supply of refrigerant to the cooling system of each unit based on changes in turning off and turning on the power.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63180546A JPH0228815A (en) | 1988-07-19 | 1988-07-19 | Cooling system for electronic device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP63180546A JPH0228815A (en) | 1988-07-19 | 1988-07-19 | Cooling system for electronic device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0228815A true JPH0228815A (en) | 1990-01-30 |
Family
ID=16085170
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP63180546A Pending JPH0228815A (en) | 1988-07-19 | 1988-07-19 | Cooling system for electronic device |
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|---|---|
| JP (1) | JPH0228815A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101282780B1 (en) * | 2012-01-05 | 2013-07-05 | 국방과학연구소 | The cooling equipment for separated multi-phase inverter |
| US8729514B2 (en) | 2000-03-08 | 2014-05-20 | Hitachi High-Technologies Corporaation | Surface inspection apparatus and method thereof |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62119622A (en) * | 1985-11-20 | 1987-05-30 | Fujitsu Ltd | Cooling control system for water cooler |
| JPH01284912A (en) * | 1988-05-12 | 1989-11-16 | Fujitsu Ltd | Decentralized cooling control system |
-
1988
- 1988-07-19 JP JP63180546A patent/JPH0228815A/en active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62119622A (en) * | 1985-11-20 | 1987-05-30 | Fujitsu Ltd | Cooling control system for water cooler |
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