JPH02287203A - Optical stripe detection - Google Patents
Optical stripe detectionInfo
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims description 17
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims abstract description 21
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 19
- 238000000034 method Methods 0.000 description 11
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 6
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 4
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 230000008685 targeting Effects 0.000 description 2
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 2
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 2
- 241000282412 Homo Species 0.000 description 1
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000011158 quantitative evaluation Methods 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、検査対象物表面の縞を検査対象物表面に測定
用の探触子を接触させることなく非接触で検出する為の
検出方法に関する。[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention provides a detection method for detecting stripes on the surface of an object to be inspected in a non-contact manner without bringing a measurement probe into contact with the surface of the object to be inspected. Regarding.
薄板鋼板、フィルム、印刷物等のコーティングラインや
印刷ラインにおいて、時折機械の振動他の影響によって
コーティングや印刷にムラが発生し、それが製品におい
てはライン方向の縞となって現れる。縞の強弱は種々あ
るが、総じて人間の眼でやっと判断できる程度ものが多
い。しかし微妙なムラでも積層すると人間の眼には顕著
になって現れる為問題となっている。On coating lines and printing lines for thin steel plates, films, printed matter, etc., uneven coating or printing sometimes occurs due to machine vibrations or other influences, and this appears as stripes in the line direction on the product. There are various strengths and weaknesses of the stripes, but in general, most of them are barely discernable with the human eye. However, even subtle unevenness becomes noticeable to the human eye when laminated, creating a problem.
一方、人間(熟練者)が行うような微ノjい微妙な変化
の検出評価の自動化を実現することが困難である為、現
状ではオフラインの人手(目視)評価に軸っており、自
動化が最も遅れている分野の一つになっている。On the other hand, it is difficult to automate the detection and evaluation of minute changes that humans (experts) perform, so currently offline manual (visual) evaluation is the mainstay, and automation is difficult. It is one of the most lagging areas.
(発明が解決しようとする課題) 従来の方法には次のような問題点を有している。(Problem to be solved by the invention) The conventional method has the following problems.
(1) 熟練者による目視検査である為、定量的な評
価がなされておらず、評価結果に個人差を生じてしまう
。(1) Since it is a visual inspection by an expert, quantitative evaluation is not performed, resulting in individual differences in evaluation results.
(2)縞の発生状況は一過性のものではなく、−度発生
するとその後連続して発生する為、現状のオフライン検
査では多量の不良品を生じてしまう゛。(2) The occurrence of stripes is not a temporary phenomenon, but once it occurs, it continues to occur, so the current offline inspection results in a large number of defective products.
本発明は、このような事情に鑑みて提案されたもので、
検査対象物表面の縞を非接触で定量的にオンラインで検
出・評価することができる光学式縞検出方法を提供する
ことを目的とする。The present invention was proposed in view of these circumstances, and
The purpose of the present invention is to provide an optical stripe detection method that can quantitatively detect and evaluate stripes on the surface of an object to be inspected in a non-contact manner on-line.
〈課題を解決するための手段)
本発明に係る光学式縞検出方法は、検査対象物表面を照
明装置で照明し、イメージセンサで検査対象物表面の明
暗分布の2次元画像を感知し、明暗信号検出装置により
検査対象物表面の2次元明暗分布を一方向に圧縮して1
次元明暗信号として検出し、演算処理装置で前記1次元
明暗信号の明暗のばらつきの標準偏差を求め、前記標準
偏差の値から検査対象物表面の縞の有無及び強弱を評価
することを特徴とする。<Means for Solving the Problems> The optical fringe detection method according to the present invention illuminates the surface of an object to be inspected with an illumination device, senses a two-dimensional image of the brightness and darkness distribution on the surface of the object to be inspected with an image sensor, and detects brightness and darkness. A signal detection device compresses the two-dimensional brightness distribution on the surface of the inspection object in one direction.
The present invention is characterized in that it is detected as a dimensional bright/dark signal, the standard deviation of the variation in brightness of the one-dimensional bright/dark signal is determined by an arithmetic processing device, and the presence or absence and strength of stripes on the surface of the inspection object are evaluated from the value of the standard deviation. .
(作 用)
1次元明暗検出装置により検査対象物表面の空間的2次
元明暗分布を一方向に圧縮し、演算処理装置により一次
元明暗信号の明暗のばらつき(標準偏差)を求め、前記
演算処理装置によって求めた標準偏差から前記検査対象
物表面の縞の有無・強弱を評価する。(Function) The one-dimensional brightness detection device compresses the spatial two-dimensional brightness distribution on the surface of the object to be inspected in one direction, the arithmetic processing device determines the brightness variation (standard deviation) of the one-dimensional brightness signal, and the arithmetic processing is performed. The presence and strength of stripes on the surface of the object to be inspected is evaluated from the standard deviation determined by the device.
本発明の実施例を第1図〜第9図に示す。 Examples of the present invention are shown in FIGS. 1 to 9.
第1図は本発明の実施例を示す、第1図において検査対
象物lは第1図中に示す矢印の方向に進んでおり、その
表面にはライン方向(縞方向)に縞が生じている。ここ
で縞の方向性の定義として第2図のような縞がある場合
、X方向をライン方向(縞方向)、y方向を幅方向(帯
方向)と呼ぶことにする。第1図において、2は前記検
査対象物1表面の空間的2次元明暗分布を一方向に圧縮
(明暗の程度を一方向に加算平均)した−次元明暗信号
を得る為の一次元の明暗信号検出装置である。3は該−
次元明暗信号検出装置2によって得られる一次元明暗信
号の明暗のばらつき(標準偏差σ)を求め、前記検査対
象物1表面の縞の有無・強弱を評価する為の演算処理装
置でる。FIG. 1 shows an embodiment of the present invention. In FIG. 1, the inspection object l is moving in the direction of the arrow shown in FIG. 1, and stripes are formed on its surface in the line direction (stripe direction). There is. Here, as a definition of the directionality of the stripes, when there are stripes as shown in FIG. 2, the X direction is called the line direction (stripe direction) and the y direction is called the width direction (band direction). In FIG. 1, 2 is a one-dimensional brightness signal for obtaining a -dimensional brightness signal obtained by compressing the spatial two-dimensional brightness distribution on the surface of the inspection object 1 in one direction (adding and averaging the degree of brightness and darkness in one direction). It is a detection device. 3 is the -
This is an arithmetic processing device for determining the brightness variation (standard deviation σ) of the one-dimensional brightness signal obtained by the dimensional brightness-darkness signal detection device 2 and evaluating the presence/absence and strength of stripes on the surface of the inspection object 1.
次に空間的2次元明暗分布を一方向に圧縮して一次元明
暗信号を得る方法を第3図により説明する0例えばCC
Dカメラのようなエリアイメージセンサで検査対象物1
の表面を損影した場合、その画像は第3図(a)のよう
になる。この画像において、ライン方向、即ち縞方向の
1本の走査線上の明暗分布を考えると、−aに画像には
微小なノイズが含まれている為、縞の明暗がはっきりし
ている場合には問題ないが、縞の明暗が微妙な場合には
、縞の明暗がノイズに埋もれてしまい、縞とノイズの判
別が困難になる。第3図(al中のいくつかの縞方向の
走査線の明暗分布を、ずらして3次元的に表示すると第
3図(b)のようになる。ここで、第3図+8)中のラ
イン方向(縞方向)の走査線を幅方向(帯方向)に圧縮
(明暗の程度を加算平均)すると、各走査線におけるノ
イズは相殺(ノイズはランダムであるから)され、第3
図(C1のような一次元明暗信号を得る。第3図(C)
ではノイズがなくなり、微妙な縞の明暗分布だけが抽出
されている。Next, a method of compressing the spatial two-dimensional brightness distribution in one direction to obtain a one-dimensional brightness signal will be explained with reference to FIG.
Inspection object 1 with an area image sensor such as a D camera
When the surface of the object is shaded, the image becomes as shown in FIG. 3(a). In this image, considering the brightness distribution on one scanning line in the line direction, that is, in the striped direction, since the image contains minute noise in -a, if the brightness of the stripes is clear, This is not a problem, but if the brightness of the stripes is subtle, the brightness and darkness of the stripes will be buried in noise, making it difficult to distinguish between the stripes and the noise. The lines in Figure 3 (Figure 3(b) are shown when the brightness distribution of the scanning lines in several striped directions in al are displayed three-dimensionally by shifting them.Here, the lines in Figure 3+8) When the scanning lines in the direction (stripe direction) are compressed in the width direction (band direction) (adding and averaging the degree of brightness and darkness), the noise in each scanning line is canceled out (because noise is random), and the third
Figure (obtains a one-dimensional brightness signal like C1. Figure 3 (C)
In this case, the noise is removed and only the subtle brightness distribution of the stripes is extracted.
第3図において、(alから(blとなるのは次の理由
による。In FIG. 3, the change from (al to (bl) is due to the following reason.
(a)は縞をカメラで撮影した画像を示す0図では理解
し易いように、はっきりした縞を画いているが、実際に
は人間の目でやっと認識できる程度の濃淡差である。(
本発明の方法が最も効果を発揮するのは、このような微
妙な縞を対象とした場合である)。Although (a) shows an image of stripes taken with a camera, the stripes are clearly drawn for easy understanding, but in reality, the difference in shading is barely perceptible to the human eye. (
The method of the present invention is most effective when targeting such subtle stripes).
(blは(a)の数本の走査線の明暗分布を示している
。(bl indicates the brightness distribution of several scanning lines in (a).
まず、1本の走査線を考えると第8図■のようになる。First, if one scanning line is considered, the result will be as shown in FIG.
1本だけのときは、ノイズに埋もれてしまい縞があるか
どうかがはっきりしない。この状態で標準偏差σを求め
ても、縞の有無・強弱は判別できない、即ち殆んど同じ
値になる(実験で確認済)。When there is only one strip, it is buried in noise and it is not clear whether there are stripes or not. Even if the standard deviation σ is calculated in this state, it is not possible to determine the presence or absence and strength of the stripes; in other words, the values are almost the same (confirmed by experiment).
次にこの走査線の上下数本の走査線をまとめて表示する
と第8図■のようになる。Next, when several scanning lines above and below this scanning line are collectively displayed, the result is as shown in FIG.
これでは、重なってしまうのでよ(わからない。In this case, it will overlap (I don't know.
そこで、各々の走査線の明暗を上下にある値ずつずらし
て表示すると第8図■のようになる。Therefore, if the brightness of each scanning line is shifted by a certain value up and down and displayed, the result will be as shown in FIG. 8 (3).
これだと、なんとなく縞があることがわかる。If you look at this, you can see that there are some stripes.
これは3次元表示(第8図■)を想像すると理解しやす
い。This is easy to understand if you imagine a three-dimensional display (Fig. 8 ■).
次に第3図において、(′b)から(C)となるのは次
の理由による。Next, in FIG. 3, the reason for changing from ('b) to (C) is as follows.
(′b)は、何本かの走査線の明暗分布を示している。('b) shows the brightness distribution of some scanning lines.
この明暗分布には縞による濃淡差が含まれているが、縞
が微妙な為に、ノイズに埋もれてしまい、前述のように
、このまま標準偏差を求めたのではノイズの影響が大き
く、評価できない。This brightness distribution includes differences in shading due to the stripes, but because the stripes are subtle, they are buried in noise.As mentioned above, if the standard deviation is calculated as is, the influence of noise will be large and evaluation will not be possible. .
一般に画像のノイズはランダムノイズであるから、加算
平均すればノイズは相殺される。そこで、数本の走査線
を加算平均する。Since image noise is generally random noise, the noise is canceled out by averaging. Therefore, several scanning lines are added and averaged.
正確に言えば第9図■に示した流れになる。第9図■(
blではわかり易いように上下にずらして示しであるの
で、ずれを元に戻して平均すると第9図■(C1に示す
ようになる。To be precise, the flow is as shown in Figure 9 (■). Figure 9 (
bl is shown shifted up and down to make it easier to understand, so if the shift is returned to its original state and averaged, it becomes as shown in Figure 9 (■) (C1).
ノイズは相殺されて、微妙な縞の濃淡差のみが抽出され
ている。(実験で確認法)
第3図(C)の濃淡差はもっと大きくならないのかとい
う点については前述のように、第3図fa)には理解し
易いようにはっきりした縞を画いているが、実際には微
妙な縞を対象としているので、第3図(C1の濃淡差も
微妙になる。The noise is canceled out, and only the subtle differences in shading of the stripes are extracted. (Confirmation method by experiment) Regarding the question of whether the difference in shading in Figure 3 (C) could be larger, as mentioned above, Figure 3 fa) has clear stripes for easy understanding. In reality, since we are targeting subtle stripes, the difference in shading in Figure 3 (C1) will also be subtle.
検査対象物1の表面に縞が生じていない場合には、その
画像は第3図(a)′のように明暗差がないように見え
ても、各走査線には第3図(b)′のようにノイズが含
まれている。しかし、明暗の程度を加算平均することに
よって、第3図(C)′のように明暗差が無い一次元明
暗信号を得ることができる。If there are no stripes on the surface of the object to be inspected 1, even if the image appears to have no contrast as shown in Fig. 3(a)', each scanning line has a pattern as shown in Fig. 3(b). ′ contains noise. However, by averaging the degree of brightness, it is possible to obtain a one-dimensional brightness signal with no difference in brightness, as shown in FIG. 3(C)'.
また、検査対象物lの表面に打痕などの傷がある場合で
も、明暗の程度を加算平均することによって、明暗差と
して受ける傷の影響を抑制することができる。Furthermore, even if there are scratches such as dents on the surface of the inspection object l, by averaging the degree of brightness, it is possible to suppress the influence of the scratches as a difference in brightness.
上に述べた処理を行うような前記−次元明暗信号検出装
置2の実現方法として第4図、第5図。FIGS. 4 and 5 show a method for realizing the above-mentioned -dimensional contrast signal detection device 2 that performs the above-described processing.
第6図に示す3つの方法ある。There are three methods shown in FIG.
(1)検査対象物lのライン速度が十分に遅い場合には
第4図に示す方法がある。第4図において1は検査対象
物であり、1は第4図中矢印の方向に進んでいる。4は
前記検査対象物1の表面を照うス為の照明装置、5はエ
リアイメージセンサ、6は画像処理装置であり、前記エ
リアイメージセンサによって得られる検査対象物1の表
面の明暗分布の2次元画像に対して第3図で示したよう
に幅方向(帯方向)に明暗の程度を加算平均を行うとに
より1次元明暗信号を発生する7は検査対象物1のライ
ン速度に応じて前記エリアイメージセンサの動作タイミ
ングと前記画像処理装置の画像取込みタイミングを制御
する為のタイミング信号発生器である。もし、自然光に
よる照明で十分にエリアイメージセンサの感度が良けれ
ば照明装置4は省略してもよい。また、検査対象物1が
移動していなければ(止まっていれば)タイミング信号
発生器7は省略してもよい。画像処理装置6によって得
られた1次元明暗信号が第1図中の演算処理装置3へ出
力される。(1) When the line speed of the inspection object l is sufficiently slow, there is a method shown in FIG. 4. In FIG. 4, 1 is an object to be inspected, and 1 is moving in the direction of the arrow in FIG. 4 is a lighting device for illuminating the surface of the inspection object 1; 5 is an area image sensor; 6 is an image processing device; As shown in FIG. 3 for the dimensional image, by averaging the degree of brightness in the width direction (band direction), a one-dimensional brightness signal is generated. This is a timing signal generator for controlling the operation timing of the area image sensor and the image capture timing of the image processing device. If the sensitivity of the area image sensor is sufficiently high with natural light illumination, the illumination device 4 may be omitted. Furthermore, if the inspection object 1 is not moving (if it is stationary), the timing signal generator 7 may be omitted. The one-dimensional brightness signal obtained by the image processing device 6 is output to the arithmetic processing device 3 in FIG.
(2)第5図は検査対象物1のライン方向への移動を利
用した方法である。第5図において1,4゜7は第4図
と同じであるので説明は割愛する。第5図中5′はライ
ンイメージセンサであり、検査対象物1の表面の幅方向
(帯方向)のある直線上の明暗分布を検出する。第5図
中6′は前記ラインイメージセンサによって得られる検
査対象物1の表面の幅方向(帯方向)の直線状の明暗分
布に対して各々の明暗の程度を加算平均する為の画像処
理装置である。(2) FIG. 5 shows a method that utilizes movement of the inspection object 1 in the line direction. In FIG. 5, 1,4°7 is the same as in FIG. 4, so a description thereof will be omitted. In FIG. 5, 5' is a line image sensor, which detects the brightness distribution on a certain straight line in the width direction (band direction) of the surface of the object 1 to be inspected. In FIG. 5, 6' is an image processing device for adding and averaging the degree of each brightness and darkness with respect to the linear brightness and darkness distribution in the width direction (band direction) of the surface of the inspection object 1 obtained by the line image sensor. It is.
前記検査対象物1の移動に応じて得られるタイミング信
号発生器7のタイミング信号に従って、前記画像処理装
置6′により前記加算平均を求めれば、(1)と同様の
前記検査対象物1の表面の線方向に一次元明暗信号を得
ることができる。そして該−次元明暗信号が第1図中の
演算処理装置3へ出力される。もし、自然光による照明
で十分にリニアイメージセンサの感度が良ければ、照明
装置4は省略してもよい。If the arithmetic average is determined by the image processing device 6' according to the timing signal of the timing signal generator 7 obtained in accordance with the movement of the inspection object 1, the surface of the inspection object 1 similar to (1) can be obtained. A one-dimensional brightness signal can be obtained in the line direction. The -dimensional brightness signal is then output to the arithmetic processing unit 3 in FIG. If the sensitivity of the linear image sensor is sufficiently high with natural light illumination, the illumination device 4 may be omitted.
(3)第6図も検査対象物工のライン方向への移動を利
用した方法である。第6図において1と7は第4図と同
じあるので説明は割愛する。第6図中4′は検査対象物
1の表面の幅方向(帯方向)のある直線上に単色スリッ
ト光を照射する為の単色スリット光発生装置である。5
#は前記単色スリ−/ 、 )光の波長にのみ感度を有
する光検出装置である。該光検出装置5″は前記単色ス
リット光にのみ感度を有するので、前記単色スリット光
が照射されている直線上の平均的な明暗の程度(但しそ
の明暗は前記単色スリット光の光波長に限られる)を検
出することができる。該光検出装置5“とじては、一般
の光検出装置に前記単色スリット光の波長のみを透過さ
せるバンドパスフィルタを装着したものを使用する。6
″は信号処理装置であり光検出装置5#によって得られ
る検査対象物lの表面の幅方向(帯方向)の直線上の平
均的な明暗の程度を示す信号を、タイミング信号発生器
7のタイミング信号に従って出力することにより、(1
)と同様の前記検査対象物工の表面の線方向の1次元明
暗信号を作成し、第1図中の演算処理装置3へ出力する
。(3) FIG. 6 also shows a method that utilizes movement of the object to be inspected in the line direction. In FIG. 6, 1 and 7 are the same as in FIG. 4, so their explanation will be omitted. In FIG. 6, reference numeral 4' denotes a monochromatic slit light generator for irradiating monochromatic slit light onto a certain straight line in the width direction (band direction) of the surface of the object 1 to be inspected. 5
# is a photodetector that is sensitive only to the wavelength of the monochromatic light. Since the photodetector 5'' is sensitive only to the monochromatic slit light, the degree of average brightness on the straight line irradiated with the monochromatic slit light (however, the brightness is limited to the light wavelength of the monochromatic slit light) As the photodetector 5'', a general photodetector equipped with a bandpass filter that transmits only the wavelength of the monochromatic slit light is used. 6
'' is a signal processing device that outputs a signal indicating the average degree of brightness on a straight line in the width direction (band direction) of the surface of the inspection object L obtained by the photodetector 5#, based on the timing of the timing signal generator 7. By outputting according to the signal, (1
) A one-dimensional brightness signal in the line direction of the surface of the object to be inspected is created and output to the arithmetic processing device 3 in FIG.
この方法では前記光検出装置5″の検出可能領域内に、
検出対象である前記単色スリット光以外の(単色スリッ
ト光と同じ波長を有する)光が存在すると外乱となるの
で注意が必要である。外乱光の影響が大きい場合には、
適当な遮光板などを施すことによって、外乱光の影響を
抑制することが可能である。In this method, within the detectable area of the photodetector 5'',
Care must be taken because the presence of light other than the monochromatic slit light to be detected (having the same wavelength as the monochromatic slit light) causes disturbance. If the influence of ambient light is large,
By providing a suitable light shielding plate, etc., it is possible to suppress the influence of ambient light.
以上説明した1次元明暗信号検出装置2により得られる
第3図中の(C1,(C) ’のような一次元7明暗信
号は演算処理装置3へ送られ、明暗のばらつきの標準偏
差σが求められる。そして信号1i(i=1.・・・、
n)の標準偏差σは次式で与えられる次に本発明の方法
の効果を表わす具体例を第7図に示す。第7図は、コー
ティングされた鋼板の表面を測定した結果である。この
綱板は現在オフラインの目視によって評価されている製
品である。The one-dimensional seven brightness signals such as (C1, (C)' in FIG. Then, the signal 1i (i=1...,
The standard deviation σ of n) is given by the following equation.Next, a specific example showing the effect of the method of the present invention is shown in FIG. FIG. 7 shows the results of measuring the surface of the coated steel plate. This steel plate is currently being evaluated by off-line visual inspection.
第7図かられかるように、本発明の方法及び装置で得ら
れる標準偏差σは縞程度が不良になる程大きくなってお
り、その傾向も目視結果とよく一致している。これは、
縞が生じていると前記1次元明暗信号では明暗の程度が
変動する為、明暗のばらつきの標準偏差σが大きくなり
、縞が生じていないと明暗の程度はほぼ一定になる為、
標準偏差が小さくなるからである。これは第3図の(C
)と(C)′を比較すれば直感的にも理解できる。この
標準偏差σを求めることにより、検査対象物1の表面の
縞を非接触で定量的にオンラインで検出・評価すること
ができる。As can be seen from FIG. 7, the standard deviation σ obtained by the method and apparatus of the present invention increases as the degree of fringe becomes poorer, and this tendency also agrees well with the visual observation results. this is,
If stripes occur, the degree of brightness will vary in the one-dimensional brightness signal, so the standard deviation σ of the variation in brightness will increase; if no stripes occur, the degree of brightness will be almost constant, so
This is because the standard deviation becomes smaller. This is shown in Figure 3 (C
) and (C)′ can be intuitively understood. By determining this standard deviation σ, it is possible to detect and evaluate the stripes on the surface of the inspection object 1 quantitatively and online in a non-contact manner.
本発明は前述のように構成されているので本発明によれ
ば、検査対象物表面の空間的2次元明暗分布を一次元明
暗信号検出装置で一方向(帯方向)に圧縮(明暗の程度
を帯方向に加算平均)し、前記−次元明暗信号検出装置
により得られる一次元明暗信号の明暗のばらつきの標準
偏差σを演算処理装置により求め、該σΦ値により検査
対象物表面の縞の有無・強弱を評価することにより、検
査対象物表面の縞を非接触で定量的にかつオンラインで
検出し、評価することができる。Since the present invention is configured as described above, according to the present invention, the spatial two-dimensional brightness distribution on the surface of the object to be inspected is compressed (the degree of brightness and darkness is reduced) in one direction (band direction) using a one-dimensional brightness/darkness signal detection device. The standard deviation σ of the variation in brightness of the one-dimensional brightness signal obtained by the above-mentioned -dimensional brightness signal detection device is determined by the arithmetic processing device, and the presence or absence of stripes on the surface of the object to be inspected is determined based on the σΦ value. By evaluating the strength and weakness, stripes on the surface of the object to be inspected can be detected and evaluated quantitatively and online in a non-contact manner.
第1図は本発明の実施例を示す図、第2図は縞の方向性
の説明図、第3図は1次元明暗信号の説明図、第4図、
第5図、第6図は1次元明暗信号検出装置の実施例を示
す図、第7図は本発明の効果を示す図、第8図及び第9
図は第3図の現象を説明するための図である。
1・・・検査対象物、2・・・1次元明暗信号検出装置
、3・・・演算処理装置、4・・・照明装置、4′・・
・単色スリット光発生装置、5・・・エリアイメージセ
ンサ、5′・・・ラインイメージセンサ、5″・・・光
検出装置、6.6′・・・画像処理装置、6″・・・信
号処理装置、7・・・タイミング信号発生器。
(a)
(b)
(b)。
第
図
(c)
第
図
(a)
(b)
(a)
(b)
(a)
(b)
第
図Fig. 1 is a diagram showing an embodiment of the present invention, Fig. 2 is an explanatory diagram of the directionality of stripes, Fig. 3 is an explanatory diagram of a one-dimensional brightness signal, Fig. 4,
5 and 6 are diagrams showing an embodiment of the one-dimensional bright/dark signal detection device, FIG. 7 is a diagram showing the effects of the present invention, and FIGS. 8 and 9
The figure is a diagram for explaining the phenomenon of FIG. 3. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Inspection object, 2... One-dimensional bright/dark signal detection device, 3... Arithmetic processing device, 4... Illumination device, 4'...
- Monochromatic slit light generator, 5... Area image sensor, 5'... Line image sensor, 5''... Light detection device, 6.6'... Image processing device, 6''... Signal Processing device, 7... timing signal generator. (a) (b) (b). Figure (c) Figure (a) (b) (a) (b) (a) (b) Figure
Claims (1)
検査対象物表面の明暗分布の2次元画像を感知し、明暗
信号検出装置により検査対象物表面の2次元明暗分布を
一方向に圧縮して1次元明暗信号として検出し、演算処
理装置で前記1次元明暗信号の明暗のばらつきの標準偏
差を求め、前記標準偏差の値から検査対象物表面の縞の
有無及び強弱を評価することを特徴とする光学式縞検出
方法The surface of the object to be inspected is illuminated with a lighting device, the image sensor senses a two-dimensional image of the brightness and darkness distribution on the surface of the object to be inspected, and the two-dimensional brightness and darkness distribution of the surface of the object to be inspected is compressed in one direction using a brightness signal detection device. A one-dimensional bright/dark signal is detected, a standard deviation of variations in brightness of the one-dimensional bright/dark signal is determined by an arithmetic processing device, and the presence or absence and strength of stripes on the surface of the inspection object are evaluated from the value of the standard deviation. Optical fringe detection method
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11007989A JPH02287203A (en) | 1989-04-28 | 1989-04-28 | Optical stripe detection |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11007989A JPH02287203A (en) | 1989-04-28 | 1989-04-28 | Optical stripe detection |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02287203A true JPH02287203A (en) | 1990-11-27 |
Family
ID=14526502
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11007989A Pending JPH02287203A (en) | 1989-04-28 | 1989-04-28 | Optical stripe detection |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02287203A (en) |
-
1989
- 1989-04-28 JP JP11007989A patent/JPH02287203A/en active Pending
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