JPH0227229A - 磁気弾性式力測定装置 - Google Patents
磁気弾性式力測定装置Info
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- JPH0227229A JPH0227229A JP1139359A JP13935989A JPH0227229A JP H0227229 A JPH0227229 A JP H0227229A JP 1139359 A JP1139359 A JP 1139359A JP 13935989 A JP13935989 A JP 13935989A JP H0227229 A JPH0227229 A JP H0227229A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L1/00—Measuring force or stress, in general
- G01L1/12—Measuring force or stress, in general by measuring variations in the magnetic properties of materials resulting from the application of stress
- G01L1/127—Measuring force or stress, in general by measuring variations in the magnetic properties of materials resulting from the application of stress by using inductive means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L1/00—Measuring force or stress, in general
- G01L1/12—Measuring force or stress, in general by measuring variations in the magnetic properties of materials resulting from the application of stress
- G01L1/125—Measuring force or stress, in general by measuring variations in the magnetic properties of materials resulting from the application of stress by using magnetostrictive means
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は磁気弾性式力測定装置に関する。
小さな弾性力学的ヒステリシス特性を有し且っ磁歪特性
を自する金属製圧縮リングを持ち、この圧縮リングが測
定すべき力が与えられる互いに平行な端面を有し、同心
的に配置された励磁・測定コイルを支持しているような
磁気弾性式力測定装置は既に公知である(ドイツ連邦共
和国特許出願公開第2365937号公報参照)、かか
る力測定装置の場合、圧縮リングは中実リングとして形
成され、両開端面を連通する通路を自し、この通路を通
してコイルが導かれている。この場合例えばW4HII
、磁石鋼あるいはフェライl講から成るリングの端面が
測定すべき圧縮力を与えられたとき、その結果として生
ずる圧縮リングのけ歪性材料の透過度の変化が、交流電
流で励磁されるコイルにおける交流14流抵抗を変化さ
せ、この変化量が端面に作用する圧縮力の大きさである
。
を自する金属製圧縮リングを持ち、この圧縮リングが測
定すべき力が与えられる互いに平行な端面を有し、同心
的に配置された励磁・測定コイルを支持しているような
磁気弾性式力測定装置は既に公知である(ドイツ連邦共
和国特許出願公開第2365937号公報参照)、かか
る力測定装置の場合、圧縮リングは中実リングとして形
成され、両開端面を連通する通路を自し、この通路を通
してコイルが導かれている。この場合例えばW4HII
、磁石鋼あるいはフェライl講から成るリングの端面が
測定すべき圧縮力を与えられたとき、その結果として生
ずる圧縮リングのけ歪性材料の透過度の変化が、交流電
流で励磁されるコイルにおける交流14流抵抗を変化さ
せ、この変化量が端面に作用する圧縮力の大きさである
。
更に磁気弾性センサーを軸における回転トルクを測定す
るためあるいは力検出器として採用することも一般に知
られている(ドイツの技術雑誌「テヒニフシェス メン
セン(Jill技術) J l 985年第5号の第1
89〜198頁、特に第192頁参照)。
るためあるいは力検出器として採用することも一般に知
られている(ドイツの技術雑誌「テヒニフシェス メン
セン(Jill技術) J l 985年第5号の第1
89〜198頁、特に第192頁参照)。
本発明の目的は、単純な磁気弾性式力測定装置を、大き
な測定感度において良好に熱的誤差を補償するように形
成することにある。史に厳しい物理的および化学的条件
のもとでも連続運転できるように形成することにある。
な測定感度において良好に熱的誤差を補償するように形
成することにある。史に厳しい物理的および化学的条件
のもとでも連続運転できるように形成することにある。
本発明によればこの目的は、冒頭に述べた形式の力測定
装置において、圧縮リング内に同様に小さな弾性力学的
ヒステリンス特性を有し且っ磁歪特性を有する金属製引
張りブツシュが同心的に配置され、この引張りブツシュ
がその一端が環状フリンクで圧縮リングのサポートに支
持されて(1ない自由端面に接触支持され、+11端に
測定Vべき力を導入するための受容体を備えており、磁
歪特性が薄肉で均質な−様の軟磁性測定り一によって形
成され、これらの測定JIl!が一方では圧縮リングの
外周面に設けられ他方では引張りブ、シェの内周面に没
けられており、圧縮リングの励磁・測定コイルが環状コ
イルによって形成され、圧縮リングの外周面における測
定層上に配置され、引張りブツシュがその内部に同様に
励磁・測定コイルとして形成された環状コイルを自し、
この環状コイルが引張りブツシュの内周面における測定
層上に配置され、前記両方の環状コイルが誘導半ブリッ
ジ回路の形に結線され、差動インダクタンスを発生し評
価するために電子装置に接続されていることによって達
成される。
装置において、圧縮リング内に同様に小さな弾性力学的
ヒステリンス特性を有し且っ磁歪特性を有する金属製引
張りブツシュが同心的に配置され、この引張りブツシュ
がその一端が環状フリンクで圧縮リングのサポートに支
持されて(1ない自由端面に接触支持され、+11端に
測定Vべき力を導入するための受容体を備えており、磁
歪特性が薄肉で均質な−様の軟磁性測定り一によって形
成され、これらの測定JIl!が一方では圧縮リングの
外周面に設けられ他方では引張りブ、シェの内周面に没
けられており、圧縮リングの励磁・測定コイルが環状コ
イルによって形成され、圧縮リングの外周面における測
定層上に配置され、引張りブツシュがその内部に同様に
励磁・測定コイルとして形成された環状コイルを自し、
この環状コイルが引張りブツシュの内周面における測定
層上に配置され、前記両方の環状コイルが誘導半ブリッ
ジ回路の形に結線され、差動インダクタンスを発生し評
価するために電子装置に接続されていることによって達
成される。
本発明の有利な実yk!a様は特許請求の範囲の実施!
f!3様項に記載されている。
f!3様項に記載されている。
以下図面に示した実施例を参照して本発明の詳細な説明
する。
する。
図面に示した磁気弾性式力測定装置11よ、それぞれ金
属製圧縮リング2および金14製引張りフ゛ツシュ3か
ら構成され、これらの圧縮リング2および引張りブツシ
ュ3はそれぞれ小さな弾性力学的ヒステリシス特性を有
している。
属製圧縮リング2および金14製引張りフ゛ツシュ3か
ら構成され、これらの圧縮リング2および引張りブツシ
ュ3はそれぞれ小さな弾性力学的ヒステリシス特性を有
している。
圧縮リング2はポット状に形成され、環状フランジ伏の
端面2.1 、 薄肉のスリーブ部分2.2および底と
しての端面2.3を有している。同様に引張りブツシュ
3もポット状に形成され、環状フランジ3.1、薄肉の
スリーブ部分3.2および底部分としての受容体3.3
を有している。その受容体3.3は力を導入するために
ボルト4に接続できる。ラミすプッシュ3は圧縮リング
2に対して次のように寸法づけられている。即ち一力で
は環状フランジ3.1が支持体としておよび心出しする
ために端面2.1に接触し受容体3.3の端面3.3.
1が端面2゜3の底面2.3.1に対して所定の間隔a
を有し、他方では圧縮リング2のスリーブ部分2.2の
中に間心的にはめ込まれた引張りブツシュ3のスリーブ
部分3.2の外周面と圧縮リング2のスリーブ部分2.
2の内周面との間に例えば0.5〜21の小さな間隔が
存在するように寸法づけられてIl)る。
端面2.1 、 薄肉のスリーブ部分2.2および底と
しての端面2.3を有している。同様に引張りブツシュ
3もポット状に形成され、環状フランジ3.1、薄肉の
スリーブ部分3.2および底部分としての受容体3.3
を有している。その受容体3.3は力を導入するために
ボルト4に接続できる。ラミすプッシュ3は圧縮リング
2に対して次のように寸法づけられている。即ち一力で
は環状フランジ3.1が支持体としておよび心出しする
ために端面2.1に接触し受容体3.3の端面3.3.
1が端面2゜3の底面2.3.1に対して所定の間隔a
を有し、他方では圧縮リング2のスリーブ部分2.2の
中に間心的にはめ込まれた引張りブツシュ3のスリーブ
部分3.2の外周面と圧縮リング2のスリーブ部分2.
2の内周面との間に例えば0.5〜21の小さな間隔が
存在するように寸法づけられてIl)る。
第1@における実施例におl、%て、圧縮リング2並び
に引張りブツシュ3は非磁性の弾性特殊鋼から成ってお
り、これらは磁歪特性を与えるために薄肉で均質の−様
な軟磁性測定層2.4ないし3,4を備えている。この
場合測定層2.4は圧縮りング2のスリーブ部分2.2
の外周面2.2.1に設けられ、測定層3.4は引張り
ブツシュ3のスリーフ゛9R分3゜2の内周面3.2.
1に設けられている。
に引張りブツシュ3は非磁性の弾性特殊鋼から成ってお
り、これらは磁歪特性を与えるために薄肉で均質の−様
な軟磁性測定層2.4ないし3,4を備えている。この
場合測定層2.4は圧縮りング2のスリーブ部分2.2
の外周面2.2.1に設けられ、測定層3.4は引張り
ブツシュ3のスリーフ゛9R分3゜2の内周面3.2.
1に設けられている。
これに対して第2図の実施例におL)て、圧l1IIJ
ング2並びに引張りブツシュ3は部分磁性材料あるいは
磁性材料から成ってむする。この場合第1図の実施例と
実なって、圧縮リンク′2に磁歪特啼生を与える測定層
2.4は、スリーブ部分2.2の外周面2、2.1に設
けられた非軟磁性非磁歪1生の中間[2゜5の上に設け
られており、引張り)′ツ7工3に磁歪特性を与える測
定層3.4は、スリー71分3.2の内周面3. Z、
lに設けられた非軟磁4生非磁歪憧生の中間層3.5
の土に設けられている。その場合これらの中間層2.5
.3.5は、圧縮リング2および弓張りブツシュ3の固
有磁気をこれらの中間1wi 2.5 。
ング2並びに引張りブツシュ3は部分磁性材料あるいは
磁性材料から成ってむする。この場合第1図の実施例と
実なって、圧縮リンク′2に磁歪特啼生を与える測定層
2.4は、スリーブ部分2.2の外周面2、2.1に設
けられた非軟磁性非磁歪1生の中間[2゜5の上に設け
られており、引張り)′ツ7工3に磁歪特性を与える測
定層3.4は、スリー71分3.2の内周面3. Z、
lに設けられた非軟磁4生非磁歪憧生の中間層3.5
の土に設けられている。その場合これらの中間層2.5
.3.5は、圧縮リング2および弓張りブツシュ3の固
有磁気をこれらの中間1wi 2.5 。
3.5を介してそれぞれ磁気的に短絡する目的を有して
いる。
いる。
測定層2.4,3.4は微細結晶金属あるいはアモルフ
ァス金属から成り、特に7!鷺%以下で燐を含有し厚み
が100μ醜あるいはそれ以下の化学的および物理的に
最適化されたN1Pxl&から成っている。f8定層2
.2.3.4はそれを機械的あるいは化学的な損傷から
保護するために、非磁性非磁歪性の密封層2.4.1な
いし3.4.1で密封もできる。これらの密封層2.4
.1ないし3.4、lは12重t%以上で燐を含有する
Ni Px層から成っている。これらすべてのL−はそ
れらの基板の上に化学的あるいは電気的に単純で安価な
付着方法で付着され、その場合好適には良好な接着性、
−磁性および均質性が得られることから化学的な付着力
法が利用される。
ァス金属から成り、特に7!鷺%以下で燐を含有し厚み
が100μ醜あるいはそれ以下の化学的および物理的に
最適化されたN1Pxl&から成っている。f8定層2
.2.3.4はそれを機械的あるいは化学的な損傷から
保護するために、非磁性非磁歪性の密封層2.4.1な
いし3.4.1で密封もできる。これらの密封層2.4
.1ないし3.4、lは12重t%以上で燐を含有する
Ni Px層から成っている。これらすべてのL−はそ
れらの基板の上に化学的あるいは電気的に単純で安価な
付着方法で付着され、その場合好適には良好な接着性、
−磁性および均質性が得られることから化学的な付着力
法が利用される。
一方では圧縮リング2の外周面2.2.1におりる測定
層2.4の上に環状コイル2.6が配置され、これは力
測定装置1を収容するハウジング7の底に対して適当な
スペーサ5によって支持されている。
層2.4の上に環状コイル2.6が配置され、これは力
測定装置1を収容するハウジング7の底に対して適当な
スペーサ5によって支持されている。
他方では引張りブツシュ3の内部にその内周面3゜2.
1に設けられた測定M3.4に環状コイル3.6が配置
されている。この環状コイル3.6は適当なスペーサ6
によって受容体3,3に支持されている。
1に設けられた測定M3.4に環状コイル3.6が配置
されている。この環状コイル3.6は適当なスペーサ6
によって受容体3,3に支持されている。
これらの環状コイル2.6.3.6のコイル両端2.6
゜1.2.6.2および3.6.1.3.6.2は第3
図における誘導半ブリッジ回路8の形に接続され、プラ
グ9を介してハウジング7から引き出されている。
゜1.2.6.2および3.6.1.3.6.2は第3
図における誘導半ブリッジ回路8の形に接続され、プラ
グ9を介してハウジング7から引き出されている。
そのプラグ9には差動インダクタンスを発生し評価する
ための電子装置10,10.1が接続できる。
ための電子装置10,10.1が接続できる。
本発明に基づく力測定装置は次のように作用する。
全体がサポート11上に配置され支持されている力測定
装置lの引張りブツシュ3にボルト4を介して引張力あ
るいは圧縮力Fが導入されると、引張りブツシュ3のス
リーブ部分3.2およびこれと共に測定層3.4が変形
される。そのひずみ(十δ)は(磁気弾性結合に基づい
て)磁歪性測定層3,4において磁気透過率を変化させ
、この磁気透過率は電子装置10(例えば搬送波・周波
数・ハイブリッドモジュール)を介して一定して励磁さ
れる環状コイル3.6によってインダクタンス変化δL
−Lo +ΔL(+δ)に変換される。サポート11上
にある圧縮リング2の端面2.1に引張りブツシュ3が
その環状フランジ3.1を介して支持されているので、
圧縮リング2は圧縮力に曝される。そのようにして発生
された圧縮応力(−δ)は(磁気弾性結合に基づいて)
&11歪性渕定N2.4において同様に磁気透過率の変
化を住する。この磁気透過率は電子装置1oを介して一
定して励磁された環状コイル2.6によってインダクタ
ンス変化δL−Lo−ΔL(−6)に変換される9両方
の環状コイル2.2,3.6は第3図におけるように誘
導半ブリッジ回路8の形に結線されているので、熟的誤
差を補償した状態において測定効果を倍増でき、従って
全体として力Fは非常に正確に求められる。
装置lの引張りブツシュ3にボルト4を介して引張力あ
るいは圧縮力Fが導入されると、引張りブツシュ3のス
リーブ部分3.2およびこれと共に測定層3.4が変形
される。そのひずみ(十δ)は(磁気弾性結合に基づい
て)磁歪性測定層3,4において磁気透過率を変化させ
、この磁気透過率は電子装置10(例えば搬送波・周波
数・ハイブリッドモジュール)を介して一定して励磁さ
れる環状コイル3.6によってインダクタンス変化δL
−Lo +ΔL(+δ)に変換される。サポート11上
にある圧縮リング2の端面2.1に引張りブツシュ3が
その環状フランジ3.1を介して支持されているので、
圧縮リング2は圧縮力に曝される。そのようにして発生
された圧縮応力(−δ)は(磁気弾性結合に基づいて)
&11歪性渕定N2.4において同様に磁気透過率の変
化を住する。この磁気透過率は電子装置1oを介して一
定して励磁された環状コイル2.6によってインダクタ
ンス変化δL−Lo−ΔL(−6)に変換される9両方
の環状コイル2.2,3.6は第3図におけるように誘
導半ブリッジ回路8の形に結線されているので、熟的誤
差を補償した状態において測定効果を倍増でき、従って
全体として力Fは非常に正確に求められる。
更に全測定範囲を利用する場合、引張りブツシュ3の端
面3.3.1が圧縮リング2の底面2.3゜1の上に接
するように間隔aが決められていることによって、力測
定装置lを過負荷から1lI2i単に保護することがで
きる。
面3.3.1が圧縮リング2の底面2.3゜1の上に接
するように間隔aが決められていることによって、力測
定装置lを過負荷から1lI2i単に保護することがで
きる。
第1図は本発明に基づく力測定装置の第1の実施例の概
略構成図、第2図は本発明に基づく力測定装置の第2の
実施例の概略構成図、@3図は第1図および第2図にお
ける環状コイルの結線回路図である。 力測定装置 2 圧縮リング 2.1 端面 2.2 スリーブ部分 2.2.1 外周面 2.4 測定層 2.5 中間1− 2.6 環状コイル 引張りブツシュ 環状フランジ スリーブ部分 内周面 受容体 測定層 中間層 環状コイル ハウジング サポート 11庫つ、友区′λノ( 小沢慶之輔 zJ ゴj
略構成図、第2図は本発明に基づく力測定装置の第2の
実施例の概略構成図、@3図は第1図および第2図にお
ける環状コイルの結線回路図である。 力測定装置 2 圧縮リング 2.1 端面 2.2 スリーブ部分 2.2.1 外周面 2.4 測定層 2.5 中間1− 2.6 環状コイル 引張りブツシュ 環状フランジ スリーブ部分 内周面 受容体 測定層 中間層 環状コイル ハウジング サポート 11庫つ、友区′λノ( 小沢慶之輔 zJ ゴj
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、小さな弾性力学的ヒステリシス特性を有し且つ磁歪
特性を有する金属製圧縮リングを持ち、この圧縮リング
が測定すべき力が与えられる互いに平行な端面を有し、
同心的に配置された励磁・測定コイルを支持しているよ
うな磁気弾性式力測定装置において、 圧縮リング(2)内に同様に小さな弾性力学的ヒステリ
シス特性を有し且つ磁歪特性を有する金属製引張りブッ
シュ(3)が同心的に配置され、この引張りブッシュ(
3)がその一端が環状フランジ(3、1)で圧縮リング
(2)のサポート(11)に支持されていない自由端面
(2、1)に接触支持され、他端に測定すべき力(F)
を導入するための受容体(3、3)を備えており、磁歪
特性が薄肉で均質な一様の軟磁性測定層(2、4;3、
4)によって形成され、これらの測定層(2、4;3、
4)が一方では圧縮リング(2)の外周面(2、2、1
)に設けられ他方では引張りブッシュ(3)の内周面(
3、2、1)に設けられており、圧縮リング(2)の励
磁・測定コイルが環状コイル(2、6)によって形成さ
れ、圧縮リング(2)の外周面(2、2、1)における
測定層(2、4)上に配置され、引張りブッシュ(3)
がその内部に同様に励磁・測定コイルとして形成された
環状コイル(3、6)を有し、この環状コイル(3、6
)が引張りブッシュ(3)の内周面(3、2、1)にお
ける測定層(3、4)上に配置され、前記両方の環状コ
イル(2、6;3、6)が誘導半ブリッジ回路(8)の
形に結線され、差動インダクタンスを発生し評価するた
めに電子装置(10、10、1)に接続されていること
を特徴とする磁気弾性式力測定装置。 2、圧縮リング(2)並びに引張りブッシュ(3)が、
小さな弾性力学的ヒステリシス特性を有する非磁性の弾
性特殊鋼から成っていることを特徴とする請求項1記載
の磁気弾性式力測定装置。 3、圧縮リング(2)並びに引張りブッシュ(3)が少
なくとも部分磁性材料から成り、測定層(2、4)と圧
縮リング(2)の外周面(2、2、1)との間並びに測
定層(3、4)と引張りブッシュ(3)の内周面(3、
2、1)との間にそれぞれ円周面上に、非軟磁性非磁歪
性の中間層(2、5;3、5)が設けられていることを
特徴とする請求項1記載の磁気弾性式力測定装置。 4、測定層(2、4;3、4)が微細結晶金属から成っ
ていることを特徴とする請求項1記載の磁気弾性式力測
定装置。 5、測定層(2、4;3、4)がアモルファス金属から
成っていることを特徴とする請求項1記載の磁気弾性式
力測定装置。 6、測定層(2、4;3、4)が、7重量%以下で燐を
含有し100μm以下の厚みを有する化学的および物理
的に最適化されたNiPx層から成っていることを特徴
とする請求項4記載の磁気弾性式力測定装置。 7、測定層(2、4;3、4)が化学的付着方法で設け
られていることを特徴とする請求項4記載の磁気弾性式
力測定装置。 8、測定層(2、4;3、4)が電気的付着方法で設け
られていることを特徴とする請求項4記載の磁気弾性式
力測定装置。 9、測定層(2、4;3、4)が非磁性非磁歪性の密封
層(2、4、1;3、4、1)によって密封されている
ことを特徴とする請求項1記載の磁気弾性式力測定装置
。 10、密封層(2、4、1;3、4、1)が12重量%
以上の燐を含有するNiPx層から成っていることを特
徴とする請求項9記載の磁気弾性式力測定装置。 11、引張りブッシュ(3)の受容体(3、3)の端面
(3、3、1)が圧縮リング(2)の端面(2、3)の
底面(2、3、1)に対して所定の間隔(a)を有して
いることを特徴とする請求項1記載の磁気弾性式力測定
装置。 12、構造部品全部がハウジング(7)内に配置されて
いることを特徴とする請求項1記載の磁気弾性式力測定
装置。
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