JPH02268227A - Encoder - Google Patents

Encoder

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JPH02268227A
JPH02268227A JP7369089A JP7369089A JPH02268227A JP H02268227 A JPH02268227 A JP H02268227A JP 7369089 A JP7369089 A JP 7369089A JP 7369089 A JP7369089 A JP 7369089A JP H02268227 A JPH02268227 A JP H02268227A
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JP
Japan
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pits
scale plate
laser
encoder
laser spot
Prior art date
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Pending
Application number
JP7369089A
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Japanese (ja)
Inventor
Bueker Heinz
ハインツ ブーカー
Yuji Akiyama
勇治 秋山
Yoichi Hasebe
洋一 長谷部
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
UAC KK
Micron Instrument Inc
Original Assignee
UAC KK
Micron Instrument Inc
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Publication date
Application filed by UAC KK, Micron Instrument Inc filed Critical UAC KK
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Abstract

PURPOSE: To obtain an inexpensive encoder by eliminating the need of any tracking servo mechanism from the encoder by forming the pits of a scale board carrying a large number of pits on its surface as scale divisions longer in the direction perpendicular to the scanning direction of a laser spot. CONSTITUTION: A scale board 4 on the surface of which a large number of pits 5 are formed as scale divisions is irradiated with a laser spot 3 and reading signals of the pits 5 corresponding to the brightness of reflected light are obtained. The pits 5 are formed longer in the direction perpendicular to the scanning direction of the laser spot 3. Therefore, even when a read head is deviated from the scale board 4 in the direction perpendicular to the moving direction of the head, the pits 5 can be read surely, because the pits 5 can be surely irradiated with the spot 3. Therefore, an inexpensive encoder can be obtained, because no tracking servo mechanism is required.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、光学式のエンコーダに関するもので、特にレ
ーザーを用いた反射型のエンコーダに関するものである
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to an optical encoder, and particularly to a reflective encoder using a laser.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

従来から光学式のロークリエンコーダとして、回転体に
取り付けられる円形のスケール板に目盛として多数のス
リットが形成され、該スケール板に発光ダイオードを光
源とした平行光線束を照射して前記スリットの透過光を
固定側に配置された受光素子により受光するものが提供
されている。
Conventionally, as an optical rotary encoder, a large number of slits are formed as graduations on a circular scale plate attached to a rotating body, and the scale plate is irradiated with a parallel beam of light using a light emitting diode as a light source to transmit through the slits. There is a device that receives light using a light receiving element placed on a fixed side.

このロークリエンコーダによれば、前記スケール板の回
転に従ってスリットによる透光とスリット間による遮光
とが繰り返されて受光素子に光量変化が与えろハ、受光
素子から回転体の回転角に対応した数の信号が得られ、
回転体の回転角が検出されるものであった。
According to this low-resolution encoder, as the scale plate rotates, light transmission through the slits and light blocking between the slits are repeated, and a change in the amount of light is given to the light receiving element. signal is obtained,
The rotation angle of the rotating body was detected.

しかしながら、前記従来のロークリエンコーダでは、ス
リットの間隔を狭めると、光の回折の影響によりスリッ
トの投影像がぼやけてしまうため、高分解能にすること
が困難であった。
However, in the conventional low-resolution encoder, when the spacing between the slits is narrowed, the projected image of the slits becomes blurred due to the influence of light diffraction, making it difficult to achieve high resolution.

一方、近年、音や像の情報を記録・再生する技術として
レーザーディスク技術が提供されるに至っている。すな
わち、音や像の情報の記録としてディスク上に螺旋状に
ピット列を形成し、該ピット列(トラック)にレーザー
スポットを照射したとき、ピットのある部分とない部分
とで光の干渉と回折により反射光に強弱が生ずることか
ら、0・1信号として読み取る方式が知られている。
On the other hand, in recent years, laser disc technology has been provided as a technology for recording and reproducing sound and image information. In other words, when pit rows are formed spirally on a disc to record sound and image information, and a laser spot is irradiated onto the pit rows (tracks), light interference and diffraction occur between areas with and without pits. Since this causes variations in the strength of the reflected light, a method of reading it as a 0/1 signal is known.

この方式によれば、ピットの密度を大きくすることがで
き、高密度の信号を記録することができる。
According to this method, the density of pits can be increased, and high-density signals can be recorded.

そこで、本件発明者は、前記レーザーディスク技術を応
用して高分解能のエンコーダを提供せんとする着想を得
るに至った。
Therefore, the inventor of the present invention came up with the idea of applying the laser disc technology to provide a high-resolution encoder.

しかしながら、矛6図に示すように、前記ピット列はデ
ィスク(1)上に螺旋状に形成され、その各ピット(2
)はディスク(1)の円周方向に縦長に形成されている
ため、前記レーザースポットをピット列(トラック)に
高精度で追従させる必要があり、このためにいわゆるト
ラッキングサーボ機構が不可欠であった。したがって、
エンコーダにそのまま前記レーザーディスク技術を応用
すると、読取りヘッドにトラッキングサーボ機構を設け
なげればならず、高価となる欠点が生ずる。
However, as shown in Figure 6, the pit row is formed in a spiral shape on the disk (1), and each pit (2
) is formed vertically in the circumferential direction of the disk (1), so it is necessary to make the laser spot follow the pit row (track) with high precision, and for this purpose, a so-called tracking servo mechanism is indispensable. . therefore,
If the laser disk technology is directly applied to an encoder, a tracking servo mechanism must be provided in the read head, resulting in an expensive disadvantage.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problem to be solved by the invention]

本発明は前記従来技術に鑑みてなされたもので、レザー
ディスク技術を応用して高分解能を得ることができると
ともに、トラッキングサーボ機構が不要で安価なエンコ
ーダを提供することを目的とするものである。
The present invention has been made in view of the above-mentioned prior art, and aims to provide an inexpensive encoder that can obtain high resolution by applying the laser disk technology and does not require a tracking servo mechanism. .

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

前記課題を解決するため、本発明は、目盛として多数の
ピットが形成されたスケール板と、該スケール板にレー
ザースポットを照射しその反射光の強弱に対応した前記
ピットの読取り信号を得る読取りヘッドとを備えた構成
としたものである。そして、前記各ピットは、前記スケ
ール板と読取りヘッドの相対的な移動によるレーザース
ポットの走査方向に対して垂直の方向に縦長に形成した
ものである。
In order to solve the above problems, the present invention provides a scale plate on which a large number of pits are formed as graduations, and a reading head that irradiates the scale plate with a laser spot and obtains a read signal of the pits corresponding to the intensity of the reflected light. The configuration includes the following. Each of the pits is formed vertically in a direction perpendicular to the scanning direction of the laser spot due to the relative movement of the scale plate and the reading head.

前記読取りヘッドを、複数のレーザースポットを照射し
互いに位相の異なるピットの読取り信号を得るように構
成してもよいものである。
The read head may be configured to irradiate a plurality of laser spots and obtain read signals of pits having mutually different phases.

〔作 用〕[For production]

本発明によれば、スケール板及び読取りヘッドのうち一
方が移動体に他方が固定側に取り付けられる。その移動
体は回転するものでもよいし直線移動するものでもよく
、それに応じて本発明に係るエンコーダはロータリーエ
ンコーダ又はリニアエンコーダとして構成することがで
きる。
According to the present invention, one of the scale plate and the reading head is attached to the movable body and the other to the fixed side. The movable body may be one that rotates or one that moves linearly, and accordingly, the encoder according to the present invention can be configured as a rotary encoder or a linear encoder.

そして、本発明では、目盛として多数のピットが形成さ
れたスケール板と、該スケール板にレーザースポットに
照射しその反射光の強弱に対応した前記ピットの読取り
信号を得る読取りヘッドとを備えているので、移動体の
移動に従ってスケール板と読取りヘッドが相対的に移動
し、レーザースポットが目盛として形成されたピットを
走査することとなり、従来のレーザーディスクの場合と
同様の原理によって読取りヘッドにより順次ビットが読
み取られ、移動体の移動量に対応した数の信号が得られ
、移動体の移動量等が検出される。このように、本発明
では、従来のレーザーディスク技術と同様に、ピットと
該ピットをレーザースポットによって読み取る読取りヘ
ッドが用いられているので、ピットを高密度にすること
ができ、分解能を高めることができる。
The present invention includes a scale plate on which a large number of pits are formed as graduations, and a reading head that irradiates a laser spot on the scale plate and obtains a read signal of the pits corresponding to the intensity of the reflected light. Therefore, as the moving body moves, the scale plate and the reading head move relative to each other, and the laser spot scans the pits formed as a scale.The reading head sequentially scans the bits using the same principle as in the case of conventional laser discs. is read, a number of signals corresponding to the amount of movement of the moving object are obtained, and the amount of movement of the moving object is detected. As described above, the present invention uses pits and a read head that reads the pits with a laser spot, similar to conventional laser disc technology, so that the pits can be densely packed and the resolution can be increased. can.

そして、本発明では、スケール板と読取りヘッドの相対
的な移動によるレーザースポットの走査方向に対して垂
直の方向にピットが縦長に形成されているので、何らか
の原因でスケール板と読取りヘッドとの間に所期の移動
方向に対して垂直の方向にずれが生じても、確実にピッ
トが読み取られることとなる。したがって、本発明では
、従来のレーザーディスク技術の如きトラッキングサー
ボ機構が不要となり安価に提供することができる。
In the present invention, pits are formed vertically in a direction perpendicular to the scanning direction of the laser spot due to the relative movement of the scale plate and the reading head. Even if a deviation occurs in the direction perpendicular to the intended direction of movement, the pits will be reliably read. Therefore, the present invention does not require a tracking servo mechanism like the conventional laser disk technology, and can be provided at low cost.

また、読取りヘッドを、スケール板に複数のレーザース
ポットを照射し互いに位相の異なるピットの読取り信号
を得るように構成しておけば、これらの位相の異なる読
取り信号を適宜処理することによって、移動方向を検出
したり、エンコーダの分解能をピット自体の分解能の数
倍に高めることもできる。この場合、本発明ではレーザ
ースポットの走査方向に対して垂直の方向にピットが縦
長に形成されているので、ピットの長手方向の異なる位
置を走査するように複数のレーザースポットを照射する
ことによって、前記位相の異なる読取り信号を簡単に得
ることができる。
In addition, if the reading head is configured to irradiate a plurality of laser spots on the scale plate and obtain read signals of pits with different phases, the movement direction can be determined by processing these read signals with different phases as appropriate. It is also possible to increase the resolution of the encoder to several times that of the pit itself. In this case, in the present invention, since the pits are vertically formed in a direction perpendicular to the scanning direction of the laser spot, by irradiating a plurality of laser spots so as to scan different positions in the longitudinal direction of the pit, The read signals having different phases can be easily obtained.

〔実施例〕〔Example〕

以下、図面に示す実施例に基づき本発明を説明する。 The present invention will be described below based on embodiments shown in the drawings.

第1図は本発明に係るエンコーダの概略構成図、矛2図
はレーザースポット(3)との関係を示すスケール板(
4)の要部拡大図で、この実施例の場合にはロータリー
エンコーダとして構成されている。
Figure 1 is a schematic diagram of the encoder according to the present invention, and Figure 2 is a scale plate (3) showing the relationship with the laser spot (3).
4) is an enlarged view of the main part, which in this embodiment is configured as a rotary encoder.

図面において、(4)は目盛として多数のピット(5)
が形成されたスケール板、(6)は該スケール板(4)
にレーザースポット(3)全照射しその反射光の強弱に
対応した前記ピット(5)の読取り信号を得る読取りヘ
ッドである。
In the drawing, (4) is a large number of pits (5) as a scale.
The scale plate (6) is formed with the scale plate (4).
This is a read head that irradiates the entire laser spot (3) and obtains a read signal of the pit (5) corresponding to the intensity of the reflected light.

図面実施例の場合、ロータリーエンコーダとして構成さ
れているので、前記スケール板(4)は円盤状に構成さ
れている。なお、該スケール板(4)はレーザーディス
クと同様に構成され、多数のピット(5)が形成されて
いる。ただし、各ピット(5)は円周方向に等間隔に形
成されている。
In the case of the illustrated embodiment, since it is configured as a rotary encoder, the scale plate (4) is configured in a disk shape. Note that the scale plate (4) is constructed in the same manner as a laser disc, and has a large number of pits (5) formed therein. However, each pit (5) is formed at equal intervals in the circumferential direction.

また、図面実施例の場合、前記読取りヘッド(6)は、
レーザーダイオード(7)、ビームスプリッタ(8)、
レンズ(9)及びフォトダイオードα0)から構成され
ており、レーザーダイオード(7)から発せられたレー
ザー光はビームスプリッタ(8)を通過してレンズ(9
)によりスケール板(4)上に焦点を結び、ここで反射
された光は再びレンズ(9)を通過してビームスプリッ
タ(8)で反射されてフォトダイオード0ωにより受光
されるようになっている。
In addition, in the case of the drawing embodiment, the reading head (6) is
Laser diode (7), beam splitter (8),
It is composed of a lens (9) and a photodiode α0), and the laser light emitted from the laser diode (7) passes through the beam splitter (8) and enters the lens (9).
) focuses the light onto the scale plate (4), and the light reflected here passes through the lens (9) again, is reflected by the beam splitter (8), and is received by the photodiode 0ω. .

なお、読取りヘッド(6)には、スケール板(4)に波
打ち等が生じてもレーザー光が常にスケール板(4)上
に焦点を結ぶように、レーザーディスク技術において既
に知られているフォーカスサーボ機構(図示せず)を設
けることが望ましい。
The reading head (6) is equipped with a focus servo, which is already known in laser disk technology, so that the laser beam is always focused on the scale plate (4) even if the scale plate (4) is undulated. It is desirable to provide a mechanism (not shown).

そして、本発明では、前記各ピット(5)は、前記スケ
ール板(4)と読取りヘッド(6)の相対的な移動によ
るレーザースポット(3)の走査方向に対して垂直の方
向に縦長に形成される。
In the present invention, each of the pits (5) is formed vertically in a direction perpendicular to the scanning direction of the laser spot (3) by the relative movement of the scale plate (4) and the reading head (6). be done.

図面実施例の場合には、ロータリーエンコーダとして構
成されていることから、第2図示の如く、各ピット(5
)は円盤状に構成されたスケール板(4)の半径方向に
縦長に形成されている。
In the case of the embodiment shown in the drawing, since it is configured as a rotary encoder, each pit (5
) is formed vertically in the radial direction of a scale plate (4) configured in a disk shape.

前記構成の本発明に係るロータリーエンコーダによれば
、スケール板(4)及び読取りヘッド(6)のうち一方
が回転体(図示せず)に他方が固定側に取り付けられる
According to the rotary encoder according to the present invention having the above configuration, one of the scale plate (4) and the reading head (6) is attached to the rotating body (not shown), and the other is attached to the fixed side.

したがって、回転体の回転に従ってスケール板(4)と
読取りヘッド(6)が相対的に移動し、レーザースポッ
ト(3)がピット(5)を第2図示の如く走査すること
となり、従来のレーザーディスク技術と同様にピット(
5)のある部分とない部分とで光の干渉と回折により反
射光に強弱が生ずることから、前記フォトダイオード叫
からピット(5)の読取り信号が得られる。このため、
フォトダイオード(10)の出力信号を適宜波形整形し
、そのパルス数をカウントすることによって、回転体の
回転角度を検出することができる。また、単位時間当り
のパルス数をカウントすることによって、回転体の回転
速度を検出することもできる。
Therefore, as the rotating body rotates, the scale plate (4) and the reading head (6) move relative to each other, and the laser spot (3) scans the pit (5) as shown in the second figure. Pit as well as technology (
Since the intensity of the reflected light varies due to interference and diffraction of light between the portions with and without 5), a read signal of the pit (5) can be obtained from the photodiode noise. For this reason,
The rotation angle of the rotating body can be detected by appropriately waveform-shaping the output signal of the photodiode (10) and counting the number of pulses. Furthermore, the rotational speed of the rotating body can also be detected by counting the number of pulses per unit time.

なお、従来のレーザーディスク技術において知られてい
るように、ピット(5)のある部分とない部分とで反射
光に生ずる強弱の差が最大となるように、ピット(5)
の巾をビームスポット(3)の径の約%となるように定
めておくことが望ましい。
Note that, as is known in conventional laser disc technology, the pits (5) are adjusted so that the difference in strength of reflected light between areas with and without pits (5) is maximized.
It is desirable to set the width of the beam spot (3) to approximately % of the diameter of the beam spot (3).

そして、本発明では、従来のレーザーディスク技術と同
様に、ピット(5)と該ピット(5)をレーザースポッ
ト(3)によって読み取る読取りヘッド(6)が用いら
れているので、ピット(5)を高密度にすることができ
、分解能を高めることができる。
And, in the present invention, as in the conventional laser disc technology, a pit (5) and a reading head (6) that reads the pit (5) with a laser spot (3) are used, so that the pit (5) can be read. High density can be achieved and resolution can be improved.

また、本発明では、スケール板(4)と読取りヘッド(
6)の相対的な移動によるレーザースポット(3)の走
査方向に対して垂直の方向にピット(5)が縦長に形成
されているので、何らかの原因でスケール板(4)と読
取りヘッド(6)との間に所期の移動方向に対して垂直
の方向(図面実施例の場合にはスケール板(4)の半径
方向)Kずれが生じても、確実にピット(5)が読み取
られることとなる。
Further, in the present invention, the scale plate (4) and the reading head (
Due to the relative movement of the scale plate (4) and the reading head (6), the pit (5) is formed vertically in the direction perpendicular to the scanning direction of the laser spot (3). The pits (5) can be reliably read even if there is a deviation K in the direction perpendicular to the intended movement direction (radial direction of the scale plate (4) in the case of the embodiment shown in the drawings). Become.

したがって、本発明では、従来のレーザーディスクの如
きトラッキングサーボモータ機構が不要となり安価に提
供することができる。
Therefore, the present invention does not require a tracking servo motor mechanism like the conventional laser disk, and can be provided at low cost.

前記読取りヘッド(6)は、スケール板(4)に複数の
レーザースポット01)α2を照射し互いに位相の異な
るピット(5)の読取り信号を得るように構成しておい
てもよい。
The reading head (6) may be configured to irradiate the scale plate (4) with a plurality of laser spots 01) α2 to obtain read signals of pits (5) having mutually different phases.

その場合、図面には示していないが、具体的には、例え
ば、矛1図中のレーザーダイオード(7)から発したレ
ーザー光の照射光路中に回折格子を挿入してレーザー光
を0次、+1次、−1次の3ビームに分割し、このうち
の2ビームに基づく2つのレーザースポット(Ill(
12e矛3図示の如く位相を90ずらして照射し、第1
図中のフォトダイオード(101に対応するフォトダイ
オードを2つ設け、この2つのフォトダイオードによっ
て前記2つのレーザースポット旧)σ2に基づく反射光
をそれぞれ受光するように構成すればよいものである。
In that case, although not shown in the drawings, specifically, for example, a diffraction grating may be inserted into the irradiation optical path of the laser beam emitted from the laser diode (7) in Figure 1 to convert the laser beam into zero-order, It is divided into three beams of +1st order and -1st order, and two laser spots (Ill(
12e spear 3 As shown in the figure, irradiate with a phase shift of 90 degrees, and
Two photodiodes corresponding to the photodiodes (101) in the figure may be provided, and the two photodiodes may each receive the reflected light based on the two laser spots σ2.

前記2つのフォトダイオードの出力信号を波形整形した
信号は、第5図(al (Alに示すように、90の位
相差が生ずる、なお、第5図は横軸に回転角θをとって
示しである。
The signal obtained by waveform shaping the output signals of the two photodiodes is shown in FIG. 5 (al). As shown in FIG. It is.

この例では、各ピット(5)の間隔が適当に定められ、
前記波形整形した信号のデユーティが50%となってい
る。したがって、上記矛5図(α)(b)にに示す信号
の立上げ部及び立下げ部においてパルスを発生させるよ
うに回路処理すれば、矛5図(C)に示すように1周期
毎に4パルスが得られ、エンコーダの分解能をピット(
5)自体の分解能の4倍にすることができる。また、前
述の如く90の位相差がある2つの信号を適宜処理すれ
ば、回転方向も検出することができる。
In this example, the intervals between each pit (5) are appropriately determined,
The duty of the waveform-shaped signal is 50%. Therefore, if the circuit is processed so that pulses are generated at the rising and falling parts of the signal shown in Figure 5 (α) and (b) above, each cycle will be generated as shown in Figure 5 (C). 4 pulses are obtained, and the resolution of the encoder is reduced to pit (
5) The resolution can be increased to four times its own resolution. Further, as described above, if two signals having a phase difference of 90 degrees are appropriately processed, the direction of rotation can also be detected.

なお、矛4図示の如く、1つのピット(5)のみを他の
ピット(5)より長く形成しておき、前述の0次、+1
次、−1次の3ビームのうち残りの1ビームに基づく1
つのレーザースポットα3を前記1つのピット(5)だ
けを走査するようにし、そのレーザースポット(131
に基づく反射光を受光するフォトダイオードを追加すれ
ば、原点信号を得ることもできる。
In addition, as shown in Figure 4, only one pit (5) is formed longer than the other pits (5), and the above-mentioned 0-order, +1-order
1 based on the remaining 1 beam among the 3 beams of next and -1st order
The laser spot α3 is set to scan only the one pit (5), and the laser spot (131
By adding a photodiode that receives reflected light based on , it is also possible to obtain an origin signal.

以上の説明においては、本発明をロータリーエンコーダ
に適用した例について説明したが、本発明をリニアエン
コーダに適用できることは勿論である。
In the above description, an example in which the present invention is applied to a rotary encoder has been described, but it goes without saying that the present invention can also be applied to a linear encoder.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

本発明によれば、高分解能を得ることができるとともに
、トラッキングサーボ機構が不要で安価に提供できる効
果が得られるものである。
According to the present invention, high resolution can be obtained, and a tracking servo mechanism is not required, making it possible to provide the device at low cost.

また、読取りヘッドを、スケール板に複数のレーザース
ポットを照射し互いに位相の異なるピットの読取り信号
を得るように構成しておけば、移動方向を検出したり、
エンコーダの分解能をピット自体の分解能の数倍に高め
ることもできる効果が得られるものである。
In addition, if the reading head is configured to irradiate a plurality of laser spots on the scale plate and obtain reading signals of pits with mutually different phases, the direction of movement can be detected,
This has the effect of increasing the resolution of the encoder to several times the resolution of the pit itself.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

図面は本発明の一実施例を示すもので、第1図は概略構
成図、牙2図はレーザースポットとの関係を示すスケー
ル板の要部拡大図、矛3図は他の実施例におけるレーザ
ースポットとの関係を示すスケール板の要部拡大図、矛
4図はさらに他の実施例におけるレーザースポットとの
関係を示すスケール板の要部拡大図、矛5図は信号波形
図、矛6図は従来のレーザーディスクの要部拡大図であ
る。 (3)・・Oレーザースポット、(4)・・Φスケール
板、(5)・・・ピット、f6)−・・読取りヘッド、
旧1(121(131・・・レーザースポット。 矛 図 矛 図 ら 才 図
The drawings show one embodiment of the present invention. Fig. 1 is a schematic configuration diagram, Fig. 2 is an enlarged view of the main part of a scale plate showing the relationship with the laser spot, and Fig. 3 is a laser in another embodiment. Figure 4 is an enlarged view of the main part of the scale plate showing the relationship with the laser spot, Figure 4 is an enlarged view of the main part of the scale plate showing the relationship with the laser spot in another embodiment, Figure 5 is a signal waveform diagram, Figure 6 is Figure 6. is an enlarged view of the main parts of a conventional laser disc. (3)...O laser spot, (4)...Φ scale plate, (5)...pit, f6)--reading head,
Old 1 (121 (131...laser spot).

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)目盛として多数のピットが形成されたスケール板
と、該スケール板にレーザースポットを照射しその反射
光の強弱に対応した前記ピットの読取り信号を得る読取
りヘッドとを備えてなり、前記各ピットは、前記スケー
ル板と読取りヘッドの相対的な移動によるレーザースポ
ットの走査方向に対して垂直の方向に縦長に形成されて
なることを特徴とするエンコーダ。
(1) It comprises a scale plate on which a large number of pits are formed as graduations, and a reading head that irradiates the scale plate with a laser spot and obtains a read signal of the pits corresponding to the intensity of the reflected light. An encoder characterized in that the pits are formed vertically in a direction perpendicular to the scanning direction of the laser spot due to relative movement of the scale plate and the reading head.
(2)読取りヘッドがスケール板に複数のレーザースポ
ットを照射し互いに位相の異なるピットの読取り信号を
得るものであることを特徴とする請求項1記載のエンコ
ーダ。
(2) The encoder according to claim 1, wherein the read head irradiates the scale plate with a plurality of laser spots to obtain read signals of pits having mutually different phases.
JP7369089A 1989-03-24 1989-03-24 Encoder Pending JPH02268227A (en)

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JP7369089A Pending JPH02268227A (en) 1989-03-24 1989-03-24 Encoder

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JP (1) JPH02268227A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11211862A (en) * 1997-11-19 1999-08-06 Seiko Epson Corp Information processor
JP2002013949A (en) * 2000-06-27 2002-01-18 Sokkia Co Ltd Absolute type encoder

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JPH11211862A (en) * 1997-11-19 1999-08-06 Seiko Epson Corp Information processor
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