JPH02232585A - Capacitance type detector - Google Patents

Capacitance type detector

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Publication number
JPH02232585A
JPH02232585A JP1053320A JP5332089A JPH02232585A JP H02232585 A JPH02232585 A JP H02232585A JP 1053320 A JP1053320 A JP 1053320A JP 5332089 A JP5332089 A JP 5332089A JP H02232585 A JPH02232585 A JP H02232585A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
fixed
screen
common electrode
electrode
electrodes
Prior art date
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Pending
Application number
JP1053320A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Atsushi Kanayama
金山 淳
Akio Fujita
藤田 暁夫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kawaguchiko Seimitsu KK
Original Assignee
Kawaguchiko Seimitsu KK
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Filing date
Publication date
Application filed by Kawaguchiko Seimitsu KK filed Critical Kawaguchiko Seimitsu KK
Priority to JP1053320A priority Critical patent/JPH02232585A/en
Publication of JPH02232585A publication Critical patent/JPH02232585A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To enable highly accurate detection without requiring a high accuracy for a shape and position of an electrode or the like by arranging a pair of screens moving integral axially at a fixed interval. CONSTITUTION:Cylindrical common electrodes 34 are arranged at a fixed interval with a fixed clearance on the inner circumference of first and second electrodes 14 and 16 disposed in proximity within a cylindrical case 12. A pair of screens 50 and 52 is so arranged that it can move integral axially within the clearance while a fixed ring-shaped space is formed axially. Then, as a spindle 54 is shifted axially, the screens 50 and 52 are shifted axially together, when capacities of the electrodes 14 and 16 and the electrode 34 developed through the ring-shaped space changes with a movement of the space. Such a capacity difference between the electrodes 14, 16 and 34 is picked up from a lead 48 to be detected as variation of a movement of the spindle 54. An apparatus thus obtained is inexpensive because there is no need for securing a dimensional shape accuracy and an assembling position relationship of the electrodes and enables highly accurate detection.

Description

【発明の詳細な説明】 く産業上の利用分野〉 本発明は、第1及び第2の固定電極に対して一定の隙間
をもって共通電極を配宣し、この第1及び第2の固定電
極と共通電極との間に移動可能なスクリーンを設け、こ
のスクリーンの位置によって第1の固定電極と共通電極
との容量と、第2の固定電極と共通電極との容量の比を
差動的に検出するようにした静電容量型の検出器に関す
るものであり、特にその構造の改良に関するものである
Detailed Description of the Invention Industrial Field of Application The present invention provides a common electrode with a certain gap between the first and second fixed electrodes, and A movable screen is provided between the common electrode and the ratio of the capacitance between the first fixed electrode and the common electrode and the capacitance between the second fixed electrode and the common electrode is differentially detected depending on the position of this screen. The present invention relates to a capacitance type detector, and particularly relates to improvements in its structure.

〈従来の技術〉 従来のこの種の静電容量型検出器としては、例えば英国
特許第1347235号公報に開示されているものがあ
る。
<Prior Art> A conventional capacitive detector of this type is disclosed in British Patent No. 1,347,235, for example.

第5図はこの静電容量型検出器の構成を示す断面図であ
る。
FIG. 5 is a sectional view showing the structure of this capacitance type detector.

共通電極1は円筒状電極であり、この外側には円筒状の
第1の固定電極2と第2の固定電極3が共通電極1と一
定の隙間をもって配置されている。
The common electrode 1 is a cylindrical electrode, and a cylindrical first fixed electrode 2 and a second cylindrical fixed electrode 3 are arranged on the outside thereof with a constant gap from the common electrode 1.

これら電極間の容量、即ち第1の固定電極2と共通電極
1との間の容量及び第2の固定電極3と共通電極1との
間の容量は、2つのロッド4,5によって円筒の軸に沿
って移動する円筒状のスクリーン6の位置により変化す
る。このスクリーン6は、第1及び第2の固定電極2,
3とその内側にある共通電極1との間の隙間内を移動す
る.このスクリーン6を支持するロッド4,5は、一様
な直径であり、スクリーン6の移動による容量変1ヒに
影響を与えることがないように構成されている.又、共
通t極1は、絶縁されて支持軸7に支持されている.こ
の支持軸7は、ハウジング8に強固に固定されており、
更にこのハウジング8には絶縁された第1及び第2の固
定電極2.3が固定されている.ハウジング8は、電気
的遮蔽物として、又検出部分の支持手段として、更には
ロツド4,5の軸受けとして作用し、スクリーン6が電
極に触れないように各部を支持している。又、共通電極
1及び第1,第2の固定電極2.3は、それぞれ端子9
,10.11に連結されており、これら端子からの出力
変化により移動量の検出を行う.く発明が解決しようと
する課題〉 上記構成からなる従来の静電容量型検出器においては、
第1及び第2の固定電極2,3にまたがったスクリーン
6によって遮蔽された部分以外の第1の固定電極2と共
通電極1との容量と、第2の固定電極3と共通電極1と
の容量との差を差動出力として検出している。このため
、スクリーン6が無い状態での第1の固定電極2と共通
電極1の容量と、第2の固定電極3と共通電fi1の容
量とがほぼ完全に一致していないと、スクリーン6を介
装したときに得られる差動出力に常にスクリーン6が無
い状態での容量差が付加されてしまい精度に悪影響を及
ぼすことになる。
The capacitance between these electrodes, that is, the capacitance between the first fixed electrode 2 and the common electrode 1 and the capacitance between the second fixed electrode 3 and the common electrode 1, is It changes depending on the position of the cylindrical screen 6 that moves along. This screen 6 includes first and second fixed electrodes 2,
3 and the common electrode 1 located inside it. The rods 4 and 5 supporting the screen 6 have a uniform diameter and are constructed so as not to affect the change in capacity due to the movement of the screen 6. Further, the common t-pole 1 is insulated and supported by a support shaft 7. This support shaft 7 is firmly fixed to the housing 8,
Furthermore, first and second insulated fixed electrodes 2.3 are fixed to this housing 8. The housing 8 functions as an electrical shield, a support means for the detection part, and a bearing for the rods 4 and 5, supporting each part so that the screen 6 does not touch the electrodes. Further, the common electrode 1 and the first and second fixed electrodes 2.3 are connected to terminals 9, respectively.
, 10.11, and the amount of movement is detected by changes in the output from these terminals. Problems to be Solved by the Invention In the conventional capacitive detector having the above configuration,
The capacitance between the first fixed electrode 2 and the common electrode 1 other than the part shielded by the screen 6 spanning the first and second fixed electrodes 2 and 3, and the capacitance between the second fixed electrode 3 and the common electrode 1 The difference with the capacitance is detected as a differential output. Therefore, if the capacitance of the first fixed electrode 2 and the common electrode 1 without the screen 6 and the capacitance of the second fixed electrode 3 and the common electrode fi1 do not almost completely match, the screen 6 The difference in capacitance in the absence of the screen 6 is always added to the differential output obtained when the screen 6 is interposed, which adversely affects accuracy.

即ち、スクリーン6が無い状態での第1の固定電極2と
共通電極1との容量を01、第2の固定1f!3と共通
電極1との容量をC2と設定し、更にスクリーン6を挿
入して、ある位置での容量変化分をΔCとすると、差動
容量変fヒは、{C1+ΔC)−(CZ−ΔCl = 
(c,−C2 )+2ΔCとなり、ここでC r  C
 2 > 2ΔCの間は差動変化分2ΔCよりもともと
の差分c,−C2の方が大きいため変化分の検出が難し
くなる.従って、この構造においては、スクリーン6が
無い状態で、各容量が正確に一致するように部品精度及
び取り付け位置精度を向上させることが必要であった.
しかしながら、実際には非常に難しく、コストアップの
要因ともなっていた.又、スクリーン6を2本のロツド
4,5でその左右から吊っているため、このスクリーン
6とロッド4.5との取り付け作業性が悪く、更にこれ
ら左右からのロッド4,5を通り違いなくハウジング8
に取り付けるための加工も相当精度良く加工しなければ
、スクリーン6の作動に支障をきたすことにもなった. 更に、ロッド4、5はスクリーン6と共に移動するので
、スクリーン6の左右の移動量だけハウジング8の支持
部分より左右に突出させなければならず、その分検出器
全体が大型になってしまうという課題もあった. 本発明は、電極等の形状、位置に高い精度を要求するこ
となく、安価で高精度な検出器を提供することを目的と
する. く課題を解決するための手段〉 本発明の静電容量型検出器は、円筒状のケースと、この
ケース内に取り付けられ近接配置された円筒形状の第1
及び第2の固定電極と、第1及び第2の固定電極の内周
面と一定の隙間をもって配置された円筒形状の共通電極
と、互いに軸方向に一定の距離を隔てて一体的に前記隙
間内を軸方向に移動可能に支持された一対の円筒状のス
クリーンとを備え、この一対のスクリーンによって形成
されるリング状の一定空間を介して、第1及び第2の固
定電極と共通電極との間にそれぞれ形成される容量の比
を差動的に検出することを特徴とする. く作用〉 本発明におけるスクリーンは、軸方向に一定の間隔をも
って一体的に移動する一対のスクリーンから構成されて
いる. このためこの一対のスクリーン間のリング状の空間を介
して、第1及び第2の固定電極と共通電極とがそれぞれ
対向して容量を形成する。
That is, the capacitance between the first fixed electrode 2 and the common electrode 1 without the screen 6 is 01, and the capacitance of the second fixed electrode 1f! 3 and the common electrode 1 is set as C2, and if the screen 6 is further inserted and the capacitance change at a certain position is ΔC, the differential capacitance change f is {C1+ΔC)−(CZ−ΔCl =
(c, -C2)+2ΔC, where C r C
During the period 2 > 2ΔC, the original difference c, -C2 is larger than the differential change 2ΔC, making it difficult to detect the change. Therefore, in this structure, it was necessary to improve the precision of parts and the precision of mounting positions so that each capacitance would match exactly without the screen 6.
However, in reality, this was extremely difficult and caused an increase in costs. In addition, since the screen 6 is suspended from the left and right sides by two rods 4 and 5, it is difficult to attach the screen 6 and the rods 4.5. Housing 8
The operation of the screen 6 had to be machined with great precision to attach it to the screen 6. Furthermore, since the rods 4 and 5 move together with the screen 6, they must protrude left and right from the supporting portion of the housing 8 by the amount by which the screen 6 moves left and right, which increases the size of the entire detector. There was also. The present invention aims to provide an inexpensive and highly accurate detector without requiring high precision in the shape and position of electrodes, etc. Means for Solving the Problems> The capacitance type detector of the present invention includes a cylindrical case and a cylindrical first sensor mounted in the case and arranged close to each other.
and a second fixed electrode, a cylindrical common electrode arranged with a certain gap from the inner circumferential surfaces of the first and second fixed electrodes, and integrally spaced apart from each other by a certain distance in the axial direction and said gap. A pair of cylindrical screens are supported so as to be movable in the axial direction, and the first and second fixed electrodes and the common electrode are connected to each other through a ring-shaped constant space formed by the pair of screens. It is characterized by differentially detecting the ratio of the capacitances formed between the two. Function> The screen in the present invention is composed of a pair of screens that move together at a constant interval in the axial direction. Therefore, the first and second fixed electrodes and the common electrode each face each other via the ring-shaped space between the pair of screens to form a capacitance.

そして、この一対のスクリーンが移動すると、これに伴
ってリング状の一定空間もそのまま移動し、第1及び第
2の固定電極と共通電極とがそれぞれ対向する部分の面
積の割合が変わり、これにより各容量が変化してその比
を差動的に出力する.第1及び第2の固定電極にそれぞ
れ180度位相差のある正弦電圧を発振回路から印加す
る.このとき、スクリーンを変位させると、前述したよ
うに第1の固定電極と共通電極との間に形成される容量
と、第2の固定電極と共通電極との間に形成される容量
との差がスクリーンの変位に比例して変化する. この変化を共通電極からその出力として得ることにより
、スクリーンの変位量を電気信号に変換し、検出するも
のである. く実施例〉 以下本発明の好適な実施例について図面に基づき説明す
る. 第1図は本発明の一実施例に係る静電容量型検出器の断
面図、第2図は第1図のI−I’線矢視断面図、第3図
は第1図のn−n’線矢視断面図、第4図は第1図に示
す一方のスクリーンを示す側面図である。
When the pair of screens moves, the ring-shaped fixed space also moves accordingly, and the ratio of the areas where the first and second fixed electrodes and the common electrode face each other changes. Each capacitance changes and the ratio is output differentially. A sinusoidal voltage with a phase difference of 180 degrees is applied to the first and second fixed electrodes from an oscillation circuit. At this time, when the screen is displaced, the difference between the capacitance formed between the first fixed electrode and the common electrode and the capacitance formed between the second fixed electrode and the common electrode as described above increases. changes in proportion to the displacement of the screen. By obtaining this change as an output from the common electrode, the amount of displacement of the screen is converted into an electrical signal and detected. Embodiments> Preferred embodiments of the present invention will be described below based on the drawings. FIG. 1 is a sectional view of a capacitance type detector according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a sectional view taken along the line II' in FIG. FIG. 4 is a side view showing one screen shown in FIG. 1;

12は円筒状のケースであり、第1図中左右に開口して
いる。
Reference numeral 12 denotes a cylindrical case, which is open to the left and right in FIG.

14.16は円筒状をなし、互いに隣接配置の第1及び
第2の固定電極であり、その外周面が絶縁リング18を
介してケース12の内周面に当接し、更に互いの対向面
もリング状の絶縁シー1〜20を介して当接するように
配置されている6この第1及び第2の固定電極14.1
6は、ケース12内に嵌め込まれている円板状の取りf
すけ板22.24間にスベーサ26.28を介して挾み
込まれることにより固定されている。
Reference numerals 14 and 16 designate first and second fixed electrodes having a cylindrical shape and arranged adjacent to each other. 6 These first and second fixed electrodes 14.1 are arranged so as to be in contact with each other via ring-shaped insulating sheets 1 to 20.
6 is a disc-shaped receptacle f fitted into the case 12.
It is fixed by being inserted between the base plates 22 and 24 via spacers 26 and 28.

尚、この第1及び第2の固定電114.16とスベーサ
26.28との間にもリング状の絶縁シート30.32
が挾み込まれている, 34は円筒状をなす共通電極である。
Note that a ring-shaped insulating sheet 30.32 is also provided between the first and second fixed electric currents 114.16 and the spacer 26.28.
34 is a cylindrical common electrode.

この共通電極34は、絶縁リング36を介して円筒状の
支持軸38に外嵌されて固定されている.この支持軸3
8は、その図中右側延出端が取り付け板22の中心部に
設けられた穴に嵌入されることにより固定されており、
共通電極34はこの支持軸38を介して取り付け板22
に固定されている。このときに、共通電極34はケース
12の中心軸と同軸的に固定されている. 尚、本実施例における共通電極34は、取り付け板22
に対向する取り付け板24より延出するセラミ・ソクあ
るいはプラスチックなどの絶縁材よりなる複数の支持ロ
ツド40(実施例図では120度間隔で3ケ所)によっ
てその図中左端も支持されるように構成されているが、
必ずしもこの支持ロッド40を設ける必要はない。
This common electrode 34 is externally fitted and fixed to a cylindrical support shaft 38 via an insulating ring 36. This support shaft 3
8 is fixed by fitting the extending end on the right side in the figure into a hole provided in the center of the mounting plate 22,
The common electrode 34 is connected to the mounting plate 22 via this support shaft 38.
Fixed. At this time, the common electrode 34 is fixed coaxially with the central axis of the case 12. Note that the common electrode 34 in this embodiment is attached to the mounting plate 22.
The left end in the figure is also supported by a plurality of support rods 40 (three at 120 degree intervals in the example figure) made of an insulating material such as ceramic rods or plastic that extend from the mounting plate 24 facing the Although it has been
It is not necessary to provide this support rod 40.

又、本実施例においては、リング状のスベーサ42も支
持軸38に外嵌されており、共通電極34と取り付け板
22の対向する端面間に介在して、共通電極34の位置
を決定している。
Further, in this embodiment, a ring-shaped spacer 42 is also fitted around the support shaft 38, and is interposed between the opposing end surfaces of the common electrode 34 and the mounting plate 22 to determine the position of the common electrode 34. There is.

41はリング状の絶縁シートで、スベーサ42と共通電
極34間に配置されて、電気的に絶縁をとっている. 43も同じくリング状の絶縁シートで、絶縁シ一ト41
と反対側の共通電極34端面側に配置されている。
A ring-shaped insulating sheet 41 is placed between the spacer 42 and the common electrode 34 to provide electrical insulation. 43 is also a ring-shaped insulating sheet, and insulating sheet 41
It is arranged on the end surface side of the common electrode 34 on the opposite side.

上記第1及び第2の固定電極14.16及び共通電[!
34には、それぞれ取り付け板24やスベーサ28等の
中を通って1本づつ合計3本のリード線44,46.4
8が取り付けられている.この第1及び第2の固定電f
fi14.16の内周面と共通電極34の外周面との間
には一様な隙間が形成されるように、第1及び第2の固
定電極14,16の内径、共通電極34の外径及びそれ
らの取り付け位置は決められている。
The first and second fixed electrodes 14, 16 and the common electrode [!
34, a total of three lead wires 44, 46.4, one each passing through the mounting plate 24, spacer 28, etc.
8 is installed. This first and second fixed voltage f
The inner diameters of the first and second fixed electrodes 14 and 16 and the outer diameter of the common electrode 34 are adjusted so that a uniform gap is formed between the inner circumferential surface of the fi 14.16 and the outer circumferential surface of the common electrode 34. and their mounting positions are determined.

50.52は一対の円筒状のスクリーンであり、第1及
び第2の固定電極14.16と共通電極34との間に形
成された隙間内に配置され、その中を軸方向に移動でき
るように支持されている。
A pair of cylindrical screens 50.52 are arranged in the gap formed between the first and second fixed electrodes 14.16 and the common electrode 34, and are movable in the axial direction. is supported by

この一方のスクリーン50は、第3図及び第4図にも示
すように、リング状円筒部50aより軸方向に一体的に
延びる2本の爪部50b,50cを有しており、この爪
部50b,50cを取り付け板22に設けられている穴
22a,22bにそれぞれ貫入し、各穴を通って突出し
た爪部の先端をスピンドル54に固定している。本実施
例においては、この爪部50b,50cを直接スピンド
ル54には固定せずに、このスピンドル54にネ1ジ止
めあるいは接着等により固定されているスクリーン支持
ブロック56に2本の取り付けネジ58によりそれぞれ
ネジ止めされている.従って、スクリーン50はスピン
ドル54と一木的に軸方向に移動し、特にこのスクリー
ン50のリング状円筒部50aは、第1及び第2の固定
t極14.16と共通電極とによって形成されている隙
間内を移動することになる。
As shown in FIGS. 3 and 4, this one screen 50 has two claw portions 50b and 50c that integrally extend in the axial direction from a ring-shaped cylindrical portion 50a. 50b and 50c are inserted into holes 22a and 22b provided in the mounting plate 22, respectively, and the tip of the claw portion protruding through each hole is fixed to the spindle 54. In this embodiment, the claws 50b and 50c are not directly fixed to the spindle 54, but two mounting screws 58 are attached to the screen support block 56, which is fixed to the spindle 54 with one screw or with adhesive. They are each secured with screws. Therefore, the screen 50 moves axially together with the spindle 54, and in particular the ring-shaped cylindrical part 50a of this screen 50 is formed by the first and second fixed poles 14, 16 and the common electrode. You will have to move within the gap.

尚,ケース12の取り付けネジ58位置近傍に開けられ
た開孔12aは、スクリーン50の爪部をスクリーン支
持ブロック56にネジ止めするときに、ドライバー等の
工具を挿入するために設けられたものである. 又、本実施例におけるスクリーン50の爪部は2本であ
るが、2本以上あっても良い.又、他方のスクリーン5
2は、断面がコの字形をなすものであり、図中左端に底
部52aを有し、その円筒部52bは前述したスクリー
ン50のリング状円筒部50aと同じ内・外径寸法に加
工されている6このスクリーン52は、その円筒部52
bの端面とスクリーン50の円筒部50aの端面とが一
定の空間距離tをもつように位置決めされ、更にスクリ
ーン軸60に固定されている。
Incidentally, the opening 12a made in the vicinity of the mounting screw 58 position of the case 12 is provided for inserting a tool such as a screwdriver when screwing the claw portion of the screen 50 to the screen support block 56. be. Further, although the screen 50 has two claws in this embodiment, there may be two or more claws. Also, the other screen 5
2 has a U-shaped cross section, has a bottom portion 52a at the left end in the figure, and its cylindrical portion 52b is machined to have the same inner and outer diameter dimensions as the ring-shaped cylindrical portion 50a of the screen 50 described above. 6 This screen 52 has a cylindrical portion 52.
The end face of the cylindrical portion 50a of the screen 50 is positioned such that there is a constant spatial distance t between the end face of the screen 50, and the end face of the cylindrical portion 50a of the screen 50 is fixed to the screen shaft 60.

このスクリーン軸60は、その一端部60aがスクリー
ン支持ブロック56に圧入等の手段によって強固に固定
されており、又支持軸38内を貫通してその図中左端に
突出した他端部60bがスクリーン52の底部52aの
中心穴に取りf寸けられている。従って、このスクリー
ン52は、スクリーン50と共にスピンドル54の移動
に件って第1及び第2の固定電極14.16と共通電8
i!34との間の隙間内を移動することになる.このよ
うに構成されたスクリーン50.52との間には、空間
距1tが一定のリング状空間が形成されており、スクリ
ーン50.52の移動に伴って、このリング状空間も移
動することになる.次に本実施例における静電容量型検
出器の特徴部分の動作を説明する. 上記構成からなる検出器のスピンドル54に軸方向の変
位を与えると、その与えられた変位量だけスクリーン5
0.52は一体的に軸方向に変位する. このときに、スクリーン50.52の間のリング状空間
は、スクリーン50.52の変位に伴って変位すること
になる. このため、このリング状空間を介して形成される第1の
固定電極14と共通電極34との容量及び第2の固定電
極16と共通電極34との容量はリング状空間の移動に
より変化することになる.例えば、第1図に示す状態に
あるスクリーン50.52が図中か方向に移動すると、
リング状空間を介して対向する第1の固定電極14と共
通電極34との間に形成される容量は、徐々にスクリー
ン50に遮蔽されて減少し、また同じくリング状空間を
介して対向する第2の固定電極16と共通電極34との
間に形成される容量は、徐々にリング状空間を介して対
向する部分が増加するため増大することになる. このような各電極間の容量の差をリード線48から取り
出して、スピンドルの移動変化量として検出する. く発明の効果〉 本発明によれば、一対のスクリーンによって形成された
リング状の一定空間によってのみ第1の固定電極と共通
電極との容量及び第2の固定電極と共通電極との容量が
決定される. 換言すると、上記リング状の一定空間に対向する部分以
外はスクリーンによって遮蔽されることになるため、容
量変化への影響は全くない.従って、従来例のようにス
クリーンが無い状態で、第1の固定電極と共通電極との
容量と第2の固定電極と共通電極との容量とが完全に一
致するように、各電極の寸法形状精度及び組み立て位置
間係を確保する必要がないため、安価で高精度の検出器
を得ることができる. 又、本発明よりなる構造のスクリーンは、従来例に示さ
れたスクリーンと違って、スクリーンの両端をロッド棒
などにより軸支していないため、検出器全体の長さが短
くなり、その分小型化され、更にスクリーン自体は全く
無摩擦の状態で電極間の隙間を移動できるようになって
いるため、安定した精度を長期間にわたって確保するこ
とができる。
One end 60a of the screen shaft 60 is firmly fixed to the screen support block 56 by means such as press fitting, and the other end 60b, which passes through the support shaft 38 and protrudes to the left end in the figure, is attached to the screen support block 56. The center hole of the bottom 52a of 52 has a dimension of f. Accordingly, this screen 52 is connected to the first and second fixed electrodes 14,16 and the common voltage 8 as the spindle 54 moves with the screen 50.
i! It will move within the gap between 34 and 34. A ring-shaped space with a constant spatial distance 1t is formed between the screen 50.52 configured in this way, and as the screen 50.52 moves, this ring-shaped space also moves. Become. Next, the operation of the characteristic parts of the capacitance type detector in this example will be explained. When an axial displacement is applied to the spindle 54 of the detector having the above configuration, the screen 54 is moved by the amount of the applied displacement.
0.52 is integrally displaced in the axial direction. At this time, the ring-shaped space between the screens 50.52 will be displaced as the screens 50.52 are displaced. Therefore, the capacitance between the first fixed electrode 14 and the common electrode 34 and the capacitance between the second fixed electrode 16 and the common electrode 34 formed through this ring-shaped space change as the ring-shaped space moves. become. For example, when the screen 50, 52 in the state shown in FIG. 1 moves in the direction shown in the figure,
The capacitance formed between the first fixed electrode 14 and the common electrode 34, which face each other with a ring-shaped space in between, is gradually blocked by the screen 50 and decreases. The capacitance formed between the two fixed electrodes 16 and the common electrode 34 increases because the portions facing each other through the ring-shaped space gradually increase. This difference in capacitance between each electrode is taken out from the lead wire 48 and detected as the amount of change in movement of the spindle. Effects of the Invention According to the present invention, the capacitance between the first fixed electrode and the common electrode and the capacitance between the second fixed electrode and the common electrode are determined only by the ring-shaped fixed space formed by the pair of screens. It will be done. In other words, the area other than the part facing the ring-shaped constant space is shielded by the screen, so there is no effect on the capacitance change. Therefore, in a state where there is no screen as in the conventional example, the dimensions and shape of each electrode are adjusted such that the capacitance between the first fixed electrode and the common electrode completely matches the capacitance between the second fixed electrode and the common electrode. Since there is no need to ensure accuracy and assembly location, an inexpensive and highly accurate detector can be obtained. In addition, unlike the conventional screens, the screen constructed according to the present invention does not have both ends of the screen pivotally supported by rods, etc., so the overall length of the detector is shortened, making it more compact. Furthermore, since the screen itself can move through the gap between the electrodes in a completely frictionless state, stable accuracy can be ensured over a long period of time.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の一実施例に係る静電容量型検出器の断
面図、 第2図は第1図のI−I’線矢視断面図、第3図は第1
図のn−u′線矢視断面図、第4図は第1図に示す一方
のスクリーンを示す側面図、 第5図は従来のn電容量型検出器の構成を示す断面図で
ある. l2・・・ケース、 14・・・第1の固定電極、 16・・・第2の固定電極、 34・・・共通電極、 50.52・・・スクリーン、 54・・・スピンドル.
FIG. 1 is a sectional view of a capacitance type detector according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a sectional view taken along the line II' in FIG.
4 is a side view showing one of the screens shown in FIG. 1, and FIG. 5 is a sectional view showing the configuration of a conventional n-capacitance type detector. l2... Case, 14... First fixed electrode, 16... Second fixed electrode, 34... Common electrode, 50.52... Screen, 54... Spindle.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)円筒状のケースと、このケース内に取り付けられ
互いに隣接して配置された円筒状をなす第1及び第2の
固定電極と、この第1及び第2の固定電極の内周面と一
定の隙間をもって配置された円筒形状の共通電極と、互
いに軸方向に一定の距離を隔てて一体的に前記隙間内を
軸方向に移動可能に支持された一対の円筒状のスクリー
ンとを備え、前記一対のスクリーンによってその間に形
成されたリング状の一定空間を介して、前記第1の固定
電極と共通電極との容量と、前記第2の固定電極と共通
電極との容量の比を差動的に検出することを特徴とする
静電容量型検出器。
(1) A cylindrical case, first and second cylindrical fixed electrodes installed in the case and arranged adjacent to each other, and inner circumferential surfaces of the first and second fixed electrodes. comprising a cylindrical common electrode arranged with a certain gap, and a pair of cylindrical screens that are spaced apart from each other by a certain distance in the axial direction and supported so as to be integrally movable in the axial direction within the gap, Differentializing the ratio of the capacitance between the first fixed electrode and the common electrode and the capacitance between the second fixed electrode and the common electrode through a ring-shaped fixed space formed between the pair of screens. A capacitance type detector that is characterized by its ability to detect
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