JPH0222784A - Device for preparing dictionary for character recognition - Google Patents
Device for preparing dictionary for character recognitionInfo
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- JPH0222784A JPH0222784A JP63173305A JP17330588A JPH0222784A JP H0222784 A JPH0222784 A JP H0222784A JP 63173305 A JP63173305 A JP 63173305A JP 17330588 A JP17330588 A JP 17330588A JP H0222784 A JPH0222784 A JP H0222784A
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- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
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- Character Discrimination (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、新聞・雑誌等の活字及び手書き文字を認識し
、例えばJISコード等の情報■に変換する文字認識装
置において用いられる、認識の対象となる文字を判別す
るための情報を記憶している辞書を作成・変更する文字
認識用辞書作成装置に関するもρである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of Industrial Application The present invention relates to a recognition target used in a character recognition device that recognizes printed and handwritten characters from newspapers, magazines, etc. and converts them into information such as JIS codes. ρ also relates to a character recognition dictionary creation device that creates and changes a dictionary that stores information for identifying characters.
従来の技術
第12図に示すような構成をしている従来の文字認識用
辞書作成装置では、辞書は各文字の標準特徴量のみを記
憶しており、辞書の更新は、第13図に示すように、辞
書11に記憶されている標準特徴量giと文字特徴量入
力部12において入力された新たな任意の文字の特徴■
壮fiとの加重和を辞書に登録されている個人文字数S
に応じて求めることにより行なわれていた(例えば、特
開昭59−85579号公報)。BACKGROUND ART In a conventional character recognition dictionary creation device configured as shown in FIG. 12, the dictionary stores only the standard features of each character, and the dictionary is updated as shown in FIG. 13. , the standard feature quantity gi stored in the dictionary 11 and the new character feature ■
The weighted sum of Sofi and the number of individual characters registered in the dictionary S
(For example, Japanese Unexamined Patent Publication No. 59-85579).
発明が解決しようとする課題
しかしながら上記のような方法では、次のような問題点
を有する。例えば文字画像を構成する各画素について第
3図(b)に示す各方向に着目画素を含んでM個以上(
Mは予め設定)連なっているか否かを調べて着目画素に
方向コードを付与し、方向コードごとに画素の連結性を
調べてストロークを抽出し、各方向のストローク数を文
字の特徴量とした場合を例に説明する。第4図(イ)、
(ロ)、(ハ)、(ニ)に示す文字画像のように一部掠
れた文字画像の特徴量を求めると第6図に示すようにな
る。このような不良な文字画像を用いて第13図に示す
従来の処理方式により第5図に示す標準特徴量を更新す
ると、標準特徴量は第14図のようになり、わずかに更
新しただけで正しいrFJの特徴量から遠ざかってしま
う。そのため、例えばrEJと「F」の標準特徴量の区
別がつきにくくなり、誤認識が起こり易くなる。Problems to be Solved by the Invention However, the above method has the following problems. For example, for each pixel composing a character image, there are M or more (including the pixel of interest) in each direction shown in FIG. 3(b).
(M is set in advance)) Check whether or not they are continuous, assign a direction code to the pixel of interest, check the connectivity of pixels for each direction code, extract strokes, and use the number of strokes in each direction as the feature quantity of the character. This will be explained using a case as an example. Figure 4 (a),
When the characteristic amounts of partially blurred character images such as the character images shown in (b), (c), and (d) are determined, they are as shown in FIG. 6. When the standard features shown in Figure 5 are updated using the conventional processing method shown in Figure 13 using such a defective character image, the standard features become as shown in Figure 14, and even with only a slight update, This results in moving away from the correct rFJ feature amount. Therefore, for example, it becomes difficult to distinguish between the standard feature amounts of rEJ and "F", and erroneous recognition is likely to occur.
本発明はかかる点に鑑み、上記のような不良な文字画像
によって辞書が誤って更新された場合に、例えば正しい
文字を誤って認識する辞書となってしまうような悪影響
を及ぼすことのない、文字認識用辞書作成装置を提供す
ることを目的としている。In view of these points, the present invention has been developed to provide a character image that will not have an adverse effect such as, for example, causing the dictionary to incorrectly recognize the correct character when the dictionary is erroneously updated due to a defective character image as described above. The purpose of this invention is to provide a recognition dictionary creation device.
課題を解決するための手段
前記問題点を解決するために、本発明の文字認識用辞書
作成装置においては、各文字の標準的な特徴量である標
準特徴量を記憶する辞書と、各文字の手本の特徴量を記
憶している手本特徴■記憶部と、任意の文字の特徴量を
入力する文字特徴量入力部と、前記辞書に記憶されてい
る更新する文字の標準特徴量に前記文字特徴In入力部
において入力された任意の文字の特徴量と前記手本特徴
量記憶部に記憶されている更新する文字の手本の特徴量
とをそれぞれ指定した割合で加算して前記辞書に記憶さ
れている標準特徴量を更新する辞書更新部とを有する。Means for Solving the Problems In order to solve the above problems, the character recognition dictionary creation device of the present invention includes a dictionary that stores standard feature amounts that are standard feature amounts of each character, and a dictionary that stores standard feature amounts that are standard feature amounts of each character. A model feature storage unit that stores model feature quantities; a character feature input unit that inputs feature quantities of arbitrary characters; and a character feature input unit that inputs feature quantities of arbitrary characters; Add the feature amount of an arbitrary character input in the character feature In input section and the feature amount of the model character to be updated stored in the model feature storage section at a specified ratio, and add the feature amount to the dictionary. and a dictionary update unit that updates the stored standard feature quantities.
また、各文字の標準的な特徴■である標準特徴量と各文
字の手本の特徴量とを記憶する辞書と、任意の文字の特
徴量を入力する文字特徴量入力部と、前記辞書に記憶さ
れている更新する文字の標準特徴量に前記文字特徴量入
力部において入力された任意の文字の特徴量指定した割
合で加算して前記辞書に記憶されている標準特徴量を更
新する辞書更新部とを有する。In addition, there is also a dictionary that stores standard features that are the standard features of each character and sample features of each character, a character feature input section that inputs the features of any character, and Dictionary update that updates the standard feature amount stored in the dictionary by adding the feature amount of any character input in the character feature input section to the stored standard feature amount of the character to be updated at a specified rate. It has a section.
作用
本発明は前記した第1の構成により、辞書更新部におい
て常に手本の特徴量が一定の割合で加算されるので、辞
書更新の際に不良な文字画像の特徴量が文字特徴量入力
部において入力された場合でも、標準特徴量が誤って大
きく更新されてしまうことが少なくなる。Operation According to the first configuration of the present invention, the feature values of the model are always added at a constant rate in the dictionary update section, so that when the dictionary is updated, the feature values of defective character images are added to the character feature input section. Even when the standard feature is inputted in , it is less likely that the standard feature will be erroneously updated to a large extent.
また、前記した第2の構成により、辞書更新部において
は、辞書内の標準特徴量は変更されるが、辞書内の手本
の特徴量は変更されないので、辞書更新の際に不良な文
字画像の特徴量が文字特徴量入力部において入力された
場合でも、正しい文字の認識を誤るような辞書になって
しまうことはない。Further, according to the second configuration described above, in the dictionary updating section, the standard feature amount in the dictionary is changed, but the feature amount of the example in the dictionary is not changed. Even if the feature amounts are inputted in the character feature input section, the dictionary will not misrecognize the correct characters.
実施例
第1図は本発明の第1の実施例における文字認識用辞書
作成装置の構成図である。Embodiment FIG. 1 is a block diagram of a character recognition dictionary creation device in a first embodiment of the present invention.
第1図において、1は各文字の標準的な特徴量である標
準特徴量を記憶する辞書、2は各文字の手本の特徴量を
記憶している手本特徴量記憶部、3は任意の文字の特徴
量を入力する文字特徴指入力部、4は辞書1に記憶され
ている更新する文字の標準特徴量に前記文字特徴量入力
部3において入力された任意の文字の特徴量と前記手本
特徴量記憶部2に記憶されている更新する文字の手本の
特徴量とをそれぞれ指定した割合で加算して辞書1に記
憶されている標準特徴量を更新する辞書更新部である。In FIG. 1, 1 is a dictionary that stores standard features that are standard features of each character, 2 is a model feature storage unit that stores model features of each character, and 3 is an arbitrary number. 4 is a character feature finger input section for inputting the feature amount of the character, and 4 is the standard feature amount of the character to be updated stored in the dictionary 1, and the feature amount of any character inputted in the character feature input section 3 and the above. This is a dictionary updating section that updates the standard feature amount stored in the dictionary 1 by adding the feature amount of the model of the character to be updated stored in the model feature storage section 2 at a specified ratio.
以上のように構成された本実施例の文字認識用辞書作成
装置について、以下その動作を説明する。The operation of the character recognition dictionary creation device of this embodiment configured as described above will be described below.
各文字の特徴量はn個とする。It is assumed that each character has n feature amounts.
文字特徴量入力部3において文字Cのある画像の特徴量
を
F= (fl、 f2. @ *、 fl、
* @、 fn)として入力する。辞書更新部4では
、辞書1に記憶されている文字Cの標準特徴量
G= (gl+ g2+ ・・、 gl、 @
・+ gn)と文字特徴量入力部3において入力され
た特徴量F= l、 r2. * II、 fl
、 @ 11. fn)と手本特徴量記憶部2に記
憶されている文字Cの手本の特徴量
T= (tl、 t2. * *、
tl、 @ 6. tn)とを式(1)
により演算して新たに標準特徴量G = = (gl
−+ g2−+ ・・+gl−+ ・・+ gn″
)を算出し、当該標準特徴ff1G−を文字Cの標準特
徴mとして辞書1に記憶させる。Sは現時点での更新回
数であり、標準特徴量更新のために用いた文字画像の数
に対応している。In the character feature input section 3, the feature amount of the image with the character C is F= (fl, f2. @ *, fl,
* Enter as @, fn). The dictionary update unit 4 calculates the standard feature amount G of the character C stored in the dictionary 1 = (gl+ g2+ . . . , gl, @
・+gn) and the feature amount F=l, r2. inputted in the character feature amount input section 3. * II, fl
, @ 11. fn) and the model feature amount T of the character C stored in the model feature storage unit 2 = (tl, t2. * *,
tl, @6. tn) and equation (1)
The new standard feature quantity G = = (gl
−+ g2−+ ・・+gl−+ ・・+ gn″
) is calculated, and the standard feature ff1G- is stored in the dictionary 1 as the standard feature m of the character C. S is the current number of updates, and corresponds to the number of character images used to update the standard feature amount.
gl−:tlXa+(glX(S −1)十fl) /
S X (1−α) ・・・(1)
(1≦1nn)
αは予め設定した値であり、0≦α≦1である。gl-:tlXa+(glX(S-1) 10 fl)/
S X (1-α) (1) (1≦1nn) α is a preset value, and 0≦α≦1.
第2図に辞書更新処理のフローを示す。 ここで、文
字画像を構成する各画素について第3図(b)に示す各
方向に着目画素を含んでM個以上(Mは予め設定)連な
っているか否かを調べて着目画素に方向コードを付与し
、方向コードごとに画素の連結性を調べてストロークを
抽出し、各方向のストローク数を文字の特徴量とする場
合を例に説明する。例えば、第3図(a)に示す文字画
像について抽出したストロークの方向を示すと第3図(
C)のようになる。FIG. 2 shows the flow of dictionary update processing. Here, for each pixel constituting the character image, it is checked whether or not M or more (M is preset) including the pixel of interest are connected in each direction shown in FIG. 3(b), and a direction code is assigned to the pixel of interest. An example will be explained in which the strokes are extracted by checking the connectivity of pixels for each direction code, and the number of strokes in each direction is used as the feature amount of the character. For example, the direction of the stroke extracted for the character image shown in Figure 3(a) is shown in Figure 3(a).
C).
辞書lに記憶されている各文字の標準特徴量を第5図に
、手本特徴量記憶部2に記憶されている手本の特徴量を
第7図に示す。FIG. 5 shows the standard feature values of each character stored in the dictionary 1, and FIG. 7 shows the model feature values stored in the model feature storage unit 2.
第4図(イ)、(ロ)、(ハ)、(ニ)に示す文字画像
のように一部掠れた文字画像の特徴量は第6図に示すよ
うになる。これらの文字画像の特徴量を順に用いて第5
図に示す標準特徴量を第2図のフローに従って更新して
いくと第8図に示すようになる(α=0.4とする)。The feature amounts of partially blurred character images such as those shown in FIGS. 4(a), (b), (c), and (d) are as shown in FIG. 6. Using the feature quantities of these character images in order, the fifth
When the standard feature amount shown in the figure is updated according to the flow shown in FIG. 2, it becomes as shown in FIG. 8 (assuming α=0.4).
以上のように本実施例によれば、辞書の標準特徴量を更
新する際に手本の特徴量をある割合で加算する辞書更新
部を設けることにより、不良な文字画像によって標準特
徴量が更新され“場合7も・正しい文字の特徴量とかけ
離れるほど大きく変更されてしまうことがなくなる〇
尚、辞書更新部における演算の方法は、手本の特徴量が
ある割合で加算される方法である限り、本実施例におい
て用いた式(1)による方法のみではないことは言うま
でもない。As described above, according to this embodiment, by providing a dictionary update unit that adds the model feature amount at a certain rate when updating the standard feature amount of the dictionary, the standard feature amount is updated by a defective character image. In case 7, the changes will not be so large that they deviate from the correct character feature values.In addition, the calculation method in the dictionary update section is such that the model feature values are added at a certain rate. Needless to say, the method using equation (1) used in this embodiment is not the only method.
また、第9図は本発明の第2の実施例における文字認識
用辞書作成装置の構成図である。第9図において、5は
辞書であり、各文字の標準的な特徴量である標準特徴量
を記憶する標準特徴量記憶部6と手本の特徴量を記憶す
る手本特徴量記憶部7からなる。3は任意の文字の特徴
量を入力する文字特徴量入力部で第1図に示すものと同
様のものである。8は辞書5の標準特徴量記憶部7に記
憶されている更新する文字の標準特徴量に前記文字特徴
量入力部3において入力された任意の文字の特徴量を指
定した割合で加算して標準特徴量記憶部7に記憶されて
いる標準特徴量を更新する辞書更新部である。Further, FIG. 9 is a block diagram of a character recognition dictionary creation device in a second embodiment of the present invention. In FIG. 9, reference numeral 5 denotes a dictionary, which includes a standard feature storage unit 6 that stores standard feature quantities that are standard feature quantities of each character, and a model feature storage unit 7 that stores model feature quantities. Become. Reference numeral 3 denotes a character feature input section for inputting the feature amount of an arbitrary character, which is similar to that shown in FIG. 8 is a standard feature obtained by adding the feature of an arbitrary character input in the character feature input section 3 to the standard feature of the character to be updated stored in the standard feature storage 7 of the dictionary 5 at a specified ratio. This is a dictionary updating unit that updates standard feature quantities stored in the feature quantity storage unit 7.
以上のように構成された本実施例の文字認識用辞書作成
装置について、以下その動作を説明する。The operation of the character recognition dictionary creation device of this embodiment configured as described above will be described below.
各文字の特徴量はn個とする。It is assumed that each character has n feature amounts.
文字特徴量入力部3において文字Cのある画像の特徴量
を
F =(fle f21 11 *、 fl、
I *、 fn)として入力する。辞書更新部8では
、標準特徴■記憶部6に記憶されている文字Cの標準特
徴量G” (gL g2+ ” ”+ gl+
” ”+ gn)と文字特徴量入力部3において入
力された特徴■F= (fl、 f2. @ @、
fl、 @ e、 fn)とを式(2)により
演算して新たに標準特徴量G”=(gl”+ g2”
、・・+ gl’”、・・+gn”)を算出し、当該
標準特徴量G IIを文字Cの標準特徴量として標準特
徴量記憶部6に記憶させる。Sは現時点での更新回数で
あり、標準特徴量更新のために用いた文字画像の数に対
応している。辞書更新部8によって変更されるのは、辞
w5内の標準特徴量記憶部6の内容のみであり、辞書5
内の手本特徴量記憶部7の内容は変更されない。In the character feature input section 3, the feature amount of the image containing the character C is set as F = (fle f21 11 *, fl,
I*, fn). The dictionary update unit 8 updates the standard feature ■standard feature amount G” (gL g2+ ” ”+ gl+ of the character C stored in the storage unit 6)
” ” + gn) and the feature ■F= (fl, f2. @ @,
fl, @e, fn) using equation (2) to create a new standard feature amount G”=(gl”+g2”)
, . . +gl''', . S is the current number of updates, and corresponds to the number of character images used to update the standard feature amount. What is changed by the dictionary updating unit 8 is only the contents of the standard feature storage unit 6 in the dictionary w5.
The contents of the model feature amount storage section 7 within are not changed.
gl”= (g+x(S −1)−+−r+) /S
・・・(2)(1≦i:an)
ここで、第1の実施例で用いた特徴量を例に説明すると
、第10図に示す辞書の内容は、第6図に示す4つの文
字の特徴量によって更新すると、第11図に示すように
なる。gl”= (g+x(S −1)−+−r+) /S
...(2) (1≦i:an) Here, to explain the feature amount used in the first example as an example, the contents of the dictionary shown in FIG. 10 are the four characters shown in FIG. When updated using the feature amount, the result becomes as shown in FIG. 11.
以上のように本実施例によれば、不良な文字画像によっ
て辞書内の標準特徴量が更新され正しい文字の特徴量か
らかけ離れてしまった場合でも、変更されない手本の特
徴量を記憶しているので、正しい文字を認識すると誤っ
てしまうという不都合を生じない。As described above, according to this embodiment, even if the standard feature values in the dictionary are updated due to a defective character image and deviate from the correct character feature values, the model feature values that remain unchanged are stored. Therefore, the inconvenience that the correct character is recognized incorrectly does not occur.
尚、標準特徴量更新における演算の方法は、本実施例に
おいて用いた式(2)による方法のみではないことは言
うまでもない。It goes without saying that the calculation method used in updating the standard feature amount is not limited to the method using equation (2) used in this embodiment.
発明の詳細
な説明したように、本発明によれば、不良な文字画像に
よって辞書が更新された場合の悪影響が少な(、質のよ
い文字認識用辞書を作成することができる。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION As described in detail, according to the present invention, it is possible to create a high-quality character recognition dictionary with less adverse effects when the dictionary is updated with defective character images.
第1図は本発明の第1の実施例における文字認識用辞書
作成装置の構成図、第2図は同実施例の辞書更新部にお
ける演算のフロー図、第3図は同実施例における文字特
徴量の説明図、第4図は同実施例における文字特徴量入
力部に与えられる文字画像の説明図、第5図は同実施例
における更新前の辞書に記憶されている標準特徴量を示
す説明図、第6図は同実施例における文字特徴量入力部
において得られた任意の文字の特徴量を示す説明図、第
7図は同実施例における手本の特徴量を示す説明図、第
8図は同実施例における更新後の辞書に記憶されている
標準特徴量を示す説明図、第9図は本発明の第2の実施
例における文字認識用辞書作成装置の構成図、第10図
は同実施例における更新前の辞書の内容を示す説明図、
第11図は同実施例における更新後の辞書の内容を示す
説明図、第12図は従来の技術における一実施例の文字
認識用辞書作成装置の構成図、第13図は同従来の実施
例の辞書更新部における演算のフロー図、第14図は同
実施例における更新後の辞書に記憶されている辞書を示
す説明図である。
1・・・辞書、2・・・手本特徴量記憶部、3・拳・文
字特徴量入力部、4・・・辞書更新部、5・φ拳辞書、
6・拳・標準特徴量記憶部、7・・・手本特徴量記憶部
、3e拳舎辞書更新部。
代理人の氏名 弁理士 栗野重孝 はか1名第
面
5−一更勅一目数
第
図
第
図
粥
図
第
図
粥
図
第10図
粥
図
第13図
s・−更覇°回(文(個人文*a)
?L・−諜1!特微量
j=−°イ士tの文9jの特徴量
几・セ吟数数FIG. 1 is a block diagram of a dictionary creation device for character recognition according to a first embodiment of the present invention, FIG. 2 is a flowchart of calculations in the dictionary updating section of the same embodiment, and FIG. 3 is a character feature in the same embodiment. FIG. 4 is an explanatory diagram of the character image given to the character feature input section in the same embodiment, and FIG. 5 is an explanation showing the standard feature quantities stored in the dictionary before updating in the same embodiment. 6 is an explanatory diagram showing the feature amount of an arbitrary character obtained in the character feature input section in the same embodiment, FIG. 7 is an explanatory diagram showing a sample feature amount in the same embodiment, and FIG. The figure is an explanatory diagram showing the standard features stored in the updated dictionary in the same embodiment, FIG. 9 is a block diagram of the character recognition dictionary creation device in the second embodiment of the present invention, and FIG. An explanatory diagram showing the contents of the dictionary before updating in the same embodiment,
FIG. 11 is an explanatory diagram showing the contents of the dictionary after updating in the same embodiment, FIG. 12 is a block diagram of a character recognition dictionary creation device according to an embodiment of the conventional technology, and FIG. 13 is an example of the conventional embodiment. FIG. 14 is an explanatory diagram showing the dictionaries stored in the updated dictionary in the same embodiment. 1...Dictionary, 2...Example feature amount storage unit, 3.Fist/character feature input unit, 4...Dictionary update unit, 5.φ fist dictionary,
6. Fist/standard feature storage section, 7. Model feature storage section, 3e Kensha dictionary update section. Name of agent Patent attorney Shigetaka Kurino Haka 1 person Page 5 Sentence*a) ?L・-Sei1!Feature amount j=−°Ishi t’s sentence 9j Feature amount 几・Segin number number
Claims (2)
する辞書と、各文字の手本の特徴量を記憶している手本
特徴量記憶部と、任意の文字の特徴量を入力する文字特
徴量入力部と、前記辞書に記憶されている更新する文字
の標準特徴量に前記文字特徴量入力部において入力され
た任意の文字の特徴量と前記手本特徴量記憶部に記憶さ
れている更新する文字の手本の特徴量とをそれぞれ指定
した割合で加算して前記辞書に記憶されている標準特徴
量を更新する辞書更新部とを有する文字認識用辞書作成
装置。(1) A dictionary that stores standard features that are the standard features of each character, a model feature storage that stores model features of each character, and a dictionary that stores the standard features of each character. A character feature input unit to be input, a standard feature of a character to be updated stored in the dictionary, a feature of any character input in the character feature input unit, and a standard feature of the character to be updated stored in the model feature storage unit. A dictionary creation device for character recognition, comprising: a dictionary update unit that updates standard feature quantities stored in the dictionary by adding feature quantities of model characters of characters to be updated, respectively, at specified ratios.
字の手本の特徴量とを記憶する辞書と、任意の文字の特
徴量を入力する文字特徴量入力部と、前記辞書に記憶さ
れている更新する文字の標準特徴量に前記文字特徴量入
力部において入力された任意の文字の特徴量を指定した
割合で加算して前記辞書に記憶されている標準特徴量を
更新する辞書更新部とを有する文字認識用辞書作成装置
。(2) a dictionary that stores standard feature quantities that are standard feature quantities of each character and model feature quantities of each character; a character feature input unit that inputs feature quantities of arbitrary characters; and the dictionary The standard feature amount stored in the dictionary is updated by adding the feature amount of any character input in the character feature input section to the standard feature amount of the character to be updated stored in the dictionary. A dictionary creation device for character recognition, comprising a dictionary updating section.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63173305A JPH0222784A (en) | 1988-07-12 | 1988-07-12 | Device for preparing dictionary for character recognition |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63173305A JPH0222784A (en) | 1988-07-12 | 1988-07-12 | Device for preparing dictionary for character recognition |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0222784A true JPH0222784A (en) | 1990-01-25 |
Family
ID=15957982
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63173305A Pending JPH0222784A (en) | 1988-07-12 | 1988-07-12 | Device for preparing dictionary for character recognition |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0222784A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6034978A (en) * | 1999-05-12 | 2000-03-07 | Cymer, Inc. | Gas discharge laser with gas temperature control |
-
1988
- 1988-07-12 JP JP63173305A patent/JPH0222784A/en active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6034978A (en) * | 1999-05-12 | 2000-03-07 | Cymer, Inc. | Gas discharge laser with gas temperature control |
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