JPH02222558A - ウェハーキャリア - Google Patents

ウェハーキャリア

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Publication number
JPH02222558A
JPH02222558A JP1044546A JP4454689A JPH02222558A JP H02222558 A JPH02222558 A JP H02222558A JP 1044546 A JP1044546 A JP 1044546A JP 4454689 A JP4454689 A JP 4454689A JP H02222558 A JPH02222558 A JP H02222558A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wafer carrier
transparent
recognition
recognizing
read
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1044546A
Other languages
English (en)
Inventor
Kazuo Kabata
椛田　和雄
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP1044546A priority Critical patent/JPH02222558A/ja
Publication of JPH02222558A publication Critical patent/JPH02222558A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はウェハーキャリアを認識するためのウェハーキ
ャリア認識媒体を有するウェハーキャリアに関する。
〔従来の技術〕
従来、この種のウェハーキャリアは、ウェハーキャリア
を認識する為にウェハーキャリア本体に文字や数字を記
入又は刻印したり、ウェハーキャリア本体とは別にウェ
ハーキャリアを認識する為のウェハーキャリア認識媒体
を作成してウェハーキャリア本体に取り付けたりしてい
た。
〔発明が解決しようとする課題〕
上述した従来のウェハーキャリアでは、ウェハーキャリ
アを認識する為にウェハーキャリア本体に文字や数字を
記入又は刻印したり、ウェハーキャリア本体とは別にウ
ェハーキャリアを認識する為のウェハーキャリア認識媒
体を作成してウェハーキャリア本体に取り付けたりして
いたので、ウェハーキャリア本体に刻印された文字や数
字を人間が読み取る為に読み間違いや自動読み取りが難
しいという問題が発生した。又ウェハーキャリア認識媒
体がウェハーキャリア本体と別の場合にはウェハーキャ
リア認識媒体の取り付は間違いによるウェハーキャリア
の認識間違いやウェハーキャリア本体にウェハーキャリ
ア認識媒体を取り付ける為にゴミが発生しやすくなると
いう問題がある。
〔課題を解決するための手段〕
本発明のウェハーキャリアは、半導体製造に用いるウェ
ハーキャリアの透明あるいは半透明のウェハーキャリア
素材の内部にウェノ）−キャリアを認識するためのダニ
バーキャリア認識媒体であるバーコードを外部から読み
取ることが可能なように埋め込んだことを特徴とする。
〔実施例〕
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例の正面図である。１はウェハ
ーキャリア本体、２はウェハーキャリア認識用バーコー
ドである。
第２図は、第１図のＡ−Ａ線断面図である。３はウェハ
ーキャリア本体、４はウェハ−キャリア認識用バーコー
ドである。
ウェハーキャリア本体１は、透明あるいは半透明ででき
ており、ウェハーキャリア認識用バーコード２が第２図
に示したようにウエノ）−キャリア本体３の内部に埋め
込まれた構造になっている。
第１図に示したようにウェハーキャリア本体１の正面に
ウェハーキャリア認識用バーコード２が埋め込まれウェ
ハーキャリア本体１上からウェハーキャリア認識用バー
フード２を読み込むことができる。ウェハーキャリア認
識用バーコード２を読み込むことによりウェハーキャリ
ア本体１を認識することが可能となる。また、バーコー
ドである為に自動の読み取りも可能である。
第３図は、−本発明の他の実施例の側面図である。
５はウェハーキャリア本体、６はウェハーキャリア認識
用バーコードである。この実施例ではウェハーキャリア
本体５の側面にウェハーキャリア認識用バーコード６を
埋め込むことにより正面からだけでなく側面からもウェ
ハーキャリア認識用バーコード６を読むことが可能であ
るという利点がある。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明は、ウェハーキャリア認識用
バーコード４を透明あるいは半透明なウェハーキャリア
本体３の内部に埋め込むことにより、ウェハーキャリア
認識用バーコード４を読み取りウェハーキャリア３を認
識できウェハーキャリア本体３表面にウェハーキャリア
認識用バーコード４を取りつけないので、取り付けたウ
ェハーキャリア認識用バーコード４の剥離、切断、摩耗
によりウェハーキャリア認識用バーコード４が読みにく
くなることもない。
また、ウェハーキャリア本体３の表面にウェハーキャリ
ア認識用バーコード４を取り付けた場合にウェハーキャ
リア認識用バーコード４の剥離、切断、摩耗によるゴミ
の発生もない。
ウェハーキャリア認識用バーコード。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 半導体製造に用いるウェハーキャリアの透明あるいは半
    透明のウェハーキャリア素材の内部にウェハーキャリア
    を認識するためのウェハーキャリア認識媒体であるバー
    コードを外部から読み取ることが可能であるように埋め
    込んだことを特徴とするウェハーキャリア。
JP1044546A 1989-02-23 1989-02-23 ウェハーキャリア Pending JPH02222558A (ja)

Priority Applications (1)

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JP1044546A JPH02222558A (ja) 1989-02-23 1989-02-23 ウェハーキャリア

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JP1044546A JPH02222558A (ja) 1989-02-23 1989-02-23 ウェハーキャリア

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH02222558A true JPH02222558A (ja) 1990-09-05

Family

ID=12694499

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JP1044546A Pending JPH02222558A (ja) 1989-02-23 1989-02-23 ウェハーキャリア

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JP (1) JPH02222558A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03173454A (ja) * 1989-12-02 1991-07-26 Dainichi Shoji Kk 基板収納用容器及びその容器の成形法
US5651798A (en) * 1994-05-23 1997-07-29 Advanced Micro Devices, Inc. Workpiece monitoring process using a workpiece carrier having an identification code
KR20010017919A (ko) * 1999-08-16 2001-03-05 황인길 내부에 인식표가 형성된 웨이퍼 카세트 및 이에 따른 제조방법

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US5651798A (en) * 1994-05-23 1997-07-29 Advanced Micro Devices, Inc. Workpiece monitoring process using a workpiece carrier having an identification code
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