JPH02222200A - Automatic installation apparatus for electronic component - Google Patents

Automatic installation apparatus for electronic component

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JPH02222200A
JPH02222200A JP8943470A JP4347089A JPH02222200A JP H02222200 A JPH02222200 A JP H02222200A JP 8943470 A JP8943470 A JP 8943470A JP 4347089 A JP4347089 A JP 4347089A JP H02222200 A JPH02222200 A JP H02222200A
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collet
suction
component
pellet
thickness
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JP8943470A
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Ryuichi Komatsu
龍一 小松
Tsunefumi Akaishi
恒史 赤石
Haruhiko Yamaguchi
晴彦 山口
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Sanyo Electric Co Ltd
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Sanyo Electric Co Ltd
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Abstract

PURPOSE:To enable corresponding to the difference of he length of a suction collet and the thickness of a pellet by adjusting the relative positions of a part sucked to the collet and a sensor on the basis of a data on the thickness of another component with respect to the thickness of a reference component. CONSTITUTION:Data regarding the difference of the length of a plurality of suction collets 76 and data regarding types such as the thickness of a pellet 71 are stored previously in a RAM 138. When vertical motion pitches are set, the pellet 71 is sucked by using the arbitrary collet 76 on the basis of both data, and movement to the position of detection of the state of suction by the light-emitting element 99 and photodetector 100 of a photoelectric detector 101 or the state of the completion of the exchange of the collet 76 is varied. A collet-length offset data and the value of half pellet thickness are added to the vertical motion pitches set, and the vertical motion pitches are changed to the value and the collet 76 is shifted. Accordingly, the device can correspond to the difference of the length of the collets and the thickness of the pellets.

Description

【発明の詳細な説明】 (イ)産業上の利用分野 本発明は、電子部品をプリント基板、リードフレーム等
に装着するためにXY移動可能な装着ヘッドに上下動可
能に部品を吸着する吸着コレットを設けると共に前記部
品の吸着状態を検知するセンサーを設けた電子部品自動
装着装置に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (A) Field of Industrial Application The present invention relates to a suction collet that vertically movably suctions components to a mounting head that is movable in XY for mounting electronic components on printed circuit boards, lead frames, etc. The present invention relates to an electronic component automatic mounting device that is provided with a sensor that detects the suction state of the component.

(ロ)従来の技術 従来技術として、本出願人が先に出願した特願昭63−
122332号に添付した明細書等に電子部品をプリン
ト基板、リードフレーム等に装着するためにXY移動可
能な装着ヘッドに、上下動可能及び着脱可能に部品吸着
コレットを設けた電子部品装着装置に於いて、前記装着
ヘッドに上下動可能にセンサーを設け、該センサーはそ
の下降状態では前記コレットが電子部品を吸着している
か否かを検出し、上昇状態では前記コレットの着脱状態
を検出するようにした技術が開示されている。
(b) Prior art As a prior art, the patent application filed in 1983 by the applicant
The specification attached to No. 122332 describes an electronic component mounting device in which a mounting head that is movable in XY is provided with a component suction collet that can be moved vertically and detachably in order to mount electronic components on printed circuit boards, lead frames, etc. and a sensor is provided on the mounting head so as to be movable up and down, and the sensor detects whether or not the collet is adsorbing an electronic component in its lowered state, and detects the attachment/detachment state of the collet in its raised state. The technology has been disclosed.

然し乍ら、前記着脱時に別のコレットと交換することに
より、当然長さの異なるコレットをも扱わなければなら
ないということも起り得て、各コレット毎にセンサーの
上下動位置を変更しなければならなかった。
However, by replacing the collet with another collet during the above-mentioned attachment/detachment process, it is possible that collets of different lengths must be handled, and the vertical movement position of the sensor must be changed for each collet. .

また、厚さの異なるペレットを吸着した場合にも前記同
様センサーの上下動位置を変更しなければ吸着状態の検
出が不安定であった。
Furthermore, even when pellets of different thicknesses were adsorbed, the detection of the adsorption state was unstable unless the vertical movement position of the sensor was changed, as described above.

(ハ〉発明が解決しようとする課題 そのため、コレットの長さ及びペレットの厚きの違いに
対応してコレットに吸着された部品とセンサーとの相対
位置を調整することである。
(c) Problems to be Solved by the Invention Therefore, it is necessary to adjust the relative position of the sensor and the component attracted to the collet in response to the difference in the length of the collet and the thickness of the pellet.

(ニ)課題を解決するための手段 そこで本発明は、電子部品をプリント基板、ノードフレ
ーム等に装着するためにXY移動可能な装着ヘッドに一
]二下動可能に部品を吸着する吸着コレラ1〜を設ける
と共に前記部品の吸着状態を検知Jるセンサーを設けた
電子部品自動装着装置に於いて、ある基準となる部品の
厚さに対する他の部品の厚さに関するデータを記憶する
記憶装置と、該記憶装置に記憶されたデータを基に前記
吸着コレットに吸着された部品とセンサーとの相対位置
を調整する制御装置とを設けたものである。
(d) Means for Solving the Problems Therefore, the present invention provides a suction cholera 1 for attaching electronic components to a mounting head that is movable in In an electronic component automatic mounting apparatus provided with ~ and a sensor for detecting the suction state of the component, a storage device that stores data regarding the thickness of another component with respect to the thickness of a certain reference component; The apparatus is provided with a control device that adjusts the relative position of the sensor and the component sucked by the suction collet based on data stored in the storage device.

また本発明は、電子部品をプリント基板、リドフレーム
等に装着するためにXY移動可能な装着ヘッドに上下動
可能及び着脱可能に部品吸着コレットを設けると共に前
記部品の吸着状態を検知するセンサーを設けた電子部品
自動装着装置に於いて、ある基準となる吸着コレットの
長さに対する他の吸着コレットの長さに関するデータを
記憶する記憶装置と、該記憶装置に記憶されたデータを
基に前記吸着二ルットに吸着された部品とセンサーとの
相対位置を調整する制御装置とを設けたものである。
Further, in the present invention, a mounting head movable in XY direction is provided with a component suction collet that is movable up and down and detachable in order to mount electronic components on a printed circuit board, a lid frame, etc., and a sensor is provided to detect the suction state of the component. In an electronic component automatic mounting apparatus, there is provided a storage device that stores data regarding the length of another suction collet with respect to a certain standard suction collet length, and a storage device that stores data regarding the length of another suction collet, and a The system is equipped with a control device that adjusts the relative position of the sensor and the parts that are attracted to the root.

(ホ)作用 以上の構成により、記憶装置に記憶された基準となる部
品の厚さに対する他の部品の厚さに関するデータを基に
制御装置により吸着コレットに吸着された部品とセンサ
ーとの相対位置が調整される。
(e) Effect With the above configuration, the relative position between the sensor and the component that is attracted to the attraction collet by the control device based on the data regarding the thickness of other components with respect to the reference component thickness stored in the storage device. is adjusted.

また、記憶装置に記憶された基準となる吸着コレットの
長さに対する他の吸着コレットの長さに関するデータを
基に制御装置により吸着コレットに吸着された部品とセ
ンサーとの相対位置が調整される。
Further, the relative position between the sensor and the component suctioned by the suction collet is adjusted by the control device based on data regarding the lengths of other suction collets with respect to the length of the suction collet serving as a reference stored in the storage device.

(へ)実施例 以下、本発明の一実施例を図面に基づき詳述する。(f) Example Hereinafter, one embodiment of the present invention will be described in detail based on the drawings.

(1)は電子部品自動装着装置の本体で、該本体(1)
にはプリント基板C厚膜基板含む)(P)、リードフレ
ーム等を搬送するコンベア(2)と、該コンベア(2)
の途中に設けられる一対の基板位置決め装置(3)(4
)と、4個のウェハーテーブル(5)(6)を有してX
Y丈方向の移動及び平面方向で回転可能なウェハー支持
台(7)(8)と、天板〈9)に吊持されてXY丈方向
移動可能な装着ヘッド(10)(11)とが設けられて
いる。
(1) is the main body of an automatic electronic component mounting device;
A conveyor (2) for conveying printed circuit boards (including thick film substrates) (P), lead frames, etc.;
A pair of substrate positioning devices (3) (4) provided in the middle of
) and four wafer tables (5) (6)
A wafer support stand (7) (8) that is movable in the Y length direction and rotatable in the plane direction, and a mounting head (10) (11) that is suspended from the top plate (9) and movable in the XY length direction are provided. It is being

前記コンベア(2)は、一対の駆動スプロケット(12
)(12)、従動スプロケット(13)(13)間に張
設された一対のチェーン(14A)(14B)から成り
、該チェーン(14A)(14B)上に載置して前記基
板(P)を上流側から下流側へ搬送する。このときチェ
ーン(14A>、(14B)には所定間隔を存して基板
(P)の送り方向の後端部に係止する係合片け5)が立
設され、基板(P)は両チェーン(14A)(14B)
上に載置し且っ各係合片(15)で係止許れた状態で上
流側から下流側に間欠的に搬送される。
The conveyor (2) has a pair of drive sprockets (12
) (12), consisting of a pair of chains (14A) (14B) stretched between driven sprockets (13) (13), placed on the chains (14A) (14B), and connected to the substrate (P). is transported from the upstream side to the downstream side. At this time, the chains (14A>, (14B) are provided with engagement pieces 5) that are fixed at a predetermined interval and that engage the rear end of the board (P) in the feeding direction, and the board (P) is held on both sides. Chain (14A) (14B)
It is placed on top and is intermittently conveyed from the upstream side to the downstream side in a state where it is locked by each engagement piece (15).

次に、一対の基板位置決め装置(3)(4)について説
明するが、両者は同様な構成であるため、一方(4)に
ついてのみ説明する。該位置決め装置(3〉(4)は、
基板(P)の送り方向、これと直交する幅方向及び基板
(P)の厚さ方向の各方向の位置決めを行なうものであ
るが、以下基板(P)の送り方向の位置決めのみ説明す
る。
Next, a pair of substrate positioning devices (3) and (4) will be described, but since both have similar configurations, only one (4) will be described. The positioning device (3>(4) is
Although positioning is performed in each direction of the feeding direction of the substrate (P), the width direction perpendicular to this, and the thickness direction of the substrate (P), only the positioning of the substrate (P) in the feeding direction will be described below.

対の軸受(16)(17)を貫通ずる軸杆(18)には
、クランプカム(19)が設げられ、該軸杆(18)左
端部のプーリ(20)と位置決めモータ(21)の出力
軸プJ(22)間にはベルト(23〉が張設されている
。従ってモータ(21)の通電にまり軸杆(18)が回
転すると、カム(19)が回転し、カムフォロワー(2
4)を介して上下部材(25)が上下動し、これに伴な
いカムレバー(26)も上下動する。
A clamp cam (19) is provided on the shaft (18) that passes through the pair of bearings (16) and (17), and a clamp cam (19) is installed between the pulley (20) at the left end of the shaft (18) and the positioning motor (21). A belt (23) is stretched between the output shafts (22). Therefore, when the motor (21) is energized and the shaft rod (18) rotates, the cam (19) rotates and the cam follower ( 2
4), the vertical member (25) moves up and down, and the cam lever (26) also moves up and down accordingly.

また、カムレバー(26)が上動すると、可動クランプ
(27A )はピン(28〉を介して外方向に回動し、
基準クランプ(27B)もハネ(29)によりピン(3
0〉を介して外方向に回動し、両クランプ(27A)(
27B>は基板(P)より下方に位置することになる。
Furthermore, when the cam lever (26) moves upward, the movable clamp (27A) rotates outward via the pin (28>).
The reference clamp (27B) is also attached to the pin (3) by the spring (29).
0〉 and rotate outward through both clamps (27A) (
27B> is located below the substrate (P).

従って上下部材(25)端部のカムフォロワー(24)
は、クランプカム(19)に圧接するので、該カム(1
9)の形状に合わぜて上下部材(25)は上下すること
になる。
Therefore, the cam follower (24) at the end of the upper and lower members (25)
is in pressure contact with the clamp cam (19), so the cam (1
The upper and lower members (25) will move up and down according to the shape of 9).

次に、ウェハー支持台(7)(8)について詳述するが
、両者は同一構造であり支持台(7〉についてのみ説明
する。(31〉はXY子テーブル、X膜用モク(32)
、Y軸角モータ(33)により、X軸方向ガイド(34
)及びX軸方向ガイド<35)に沿って、平面方向に移
動可能である。また該XY子テーブル31)上に載置し
たウェハーテーブル(5)は、θ用モータ(36)によ
り正逆回転可能である。従って、突き上げ針装置(37
)の針(37A)上方位置に、所望のウェハーシート(
38)が位置することになる。
Next, the wafer support stands (7) and (8) will be explained in detail, but since they have the same structure, only the support stand (7>) will be explained. (31> is the XY child table,
, the X-axis direction guide (34) is controlled by the Y-axis angle motor (33).
) and the X-axis direction guide <35) in the plane direction. Further, the wafer table (5) placed on the XY child table 31) can be rotated forward and backward by a θ motor (36). Therefore, the push-up needle device (37
) above the needle (37A), place the desired wafer sheet (
38) will be located.

次に、一方の装着ヘッドけO)について詳述すると、該
ヘッド(10)は天板(9)に支持された支持部材(3
9)に支持されたボールネジ(4OA)に沿ってX軸周
モータ(41)によりX方向の移動が可能であり、また
ガイド体(42) (42)に沿ってY軸角モータ<4
3)によりYフj向の移動が可能となる。略箱状を呈し
たヘッド本体(44)内に配設された上下用モータ(4
5)の出力軸プーリク46)とネジ軸(47)端部のプ
ーリ〈48)との間にはベルト(49)が張設され、上
下移動体(50)がナツト体(51〉によりガイド体(
52)を介して上下移動可能となる。
Next, one mounting head holder O) will be described in detail. The head (10) is mounted on a support member (3
Movement in the X direction is possible by an X-axis circumferential motor (41) along the ball screw (4OA) supported by the guide body (42) (42), and a Y-axis angular motor <4
3) enables movement in the Y-j direction. A vertical motor (4
A belt (49) is stretched between the output shaft pulley 46) of 5) and the pulley (48) at the end of the screw shaft (47), and the vertical moving body (50) is connected to the guide body by the nut body (51). (
52), it can be moved up and down.

そして上下移動体(50)には、加圧用モータ(53)
とロックソレノイド(54)が固定されており、該モー
タ(53)の出力軸にはバネ取付ピン(55)を有する
レバー(56)が設けられている。前記ソレノイド(5
4)のプランジ〜(57〉には取付ピン<58)が突設
され、上下移動体く50)に固定されたL字形状の支持
体<59)に突設した取付ピン(60)との間にはバネ
A(61)が張架されている。
The vertical moving body (50) is equipped with a pressurizing motor (53).
A lock solenoid (54) is fixed thereto, and a lever (56) having a spring attachment pin (55) is provided on the output shaft of the motor (53). The solenoid (5
A mounting pin <58) is provided protruding from the plunge (57) of 4), and is connected to a mounting pin (60) protruding from an L-shaped support <59) fixed to the vertically movable body 50). A spring A (61) is stretched between them.

上下移動体(50〉の軸受部(62)には支軸(63)
により揺動体(64)が回動可能とされ、該揺動体(6
4)の上端部にはU字溝が切欠されて該溝に前記取付ピ
ン(58)が嵌合し、また揺動体<64)の他端部には
加圧ベアリング体(65)が設けられている。
The bearing part (62) of the vertically moving body (50) has a support shaft (63).
allows the rocking body (64) to rotate, and the rocking body (64)
4) A U-shaped groove is cut out at the upper end, into which the mounting pin (58) fits, and a pressure bearing body (65) is provided at the other end of the rocking body <64). ing.

(6G)はロークリジヨイント(67)に突設した鍔体
く68)を、前記加圧ベアリング体(65)とで挟持す
る固定ベアリング体であり、前記支持体(59)の端部
に設けられている。前記揺動体(64)に突設した取付
ピン(69)と加圧用モータ(53)の出力軸に固定さ
れたレバー(5G)に突設した取付ピン(55)との間
に張架されたバネB (70)により前記加圧ベアリン
グ体(65)を下方へ付勢している。
(6G) is a fixed bearing body that sandwiches a collar body 68) protruding from the low rigidity joint (67) with the pressurized bearing body (65), and is attached to the end of the support body (59). It is provided. It is stretched between a mounting pin (69) protruding from the rocking body (64) and a mounting pin (55) protruding from a lever (5G) fixed to the output shaft of the pressurizing motor (53). The pressure bearing body (65) is urged downward by a spring B (70).

そして、この加圧用モータ(53)の回転角度を制御す
ることにより、加圧ベアリング体(65)によるローク
リジヨイント(67)及び固定ベアリング体く66)へ
の押圧力を可変とすることができる。弾性体としてのこ
のバネB (70)は、電子部品としてのペレット(7
1)を基板(P)に装着する際の押しつけ圧力を加えた
り、ウェハーシート(38)上のペレット(71)を吸
着する際の押しつけ圧力を加えるものである。
By controlling the rotation angle of this pressurizing motor (53), the pressing force exerted by the pressurizing bearing body (65) on the locking joint (67) and the fixed bearing body 66) can be made variable. can. This spring B (70) as an elastic body is connected to a pellet (70) as an electronic component.
1) is used to apply pressing pressure when attaching to the substrate (P), or to apply pressing pressure when adsorbing the pellet (71) on the wafer sheet (38).

また前記上下移動体(50)に突設した取付ピン(72
〉とロータリジヨイント(67)から突設した取付ピン
(73)との間には、バランスバネC(74)が張架さ
れ、該バネC(74)の弾性力と吸着ノズル体(75)
及び吸着コレット(76)の自重が略等しくなるように
この弾性力が設定されている。
Further, a mounting pin (72) protruding from the vertical moving body (50)
A balance spring C (74) is stretched between the mounting pin (73) projecting from the rotary joint (67), and the elastic force of the spring C (74) and the suction nozzle body (75)
This elastic force is set so that the weights of the suction collet (76) and the suction collet (76) are approximately equal.

前記ロークリジヨイント<67〉にはピン(77)が突
設しており、このピン(77)に嵌合する係止片(78
)により該ジヨイント(67)自身の回転は防止されて
いる。
A pin (77) is provided protruding from the locking joint <67>, and a locking piece (78) that fits into this pin (77) is provided.
) prevents the joint (67) from rotating itself.

吸着ノズル体(75)は、ロータリジヨイント(67)
、ホース(68A)を介して図示しない真空源と連結し
ている。該吸着ノズル体〈75)は、上下ガイド体(7
9)内を上下動可能であるが、該ノズル体(75)の上
部には面取部(80)が形成されて規制ベアリング(8
1〉により上下ガイド体(79)内でのθ回転はできな
い。
The suction nozzle body (75) is a rotary joint (67)
, are connected to a vacuum source (not shown) via a hose (68A). The suction nozzle body (75) has an upper and lower guide body (75).
A chamfered portion (80) is formed on the upper part of the nozzle body (75) so that the regulating bearing (8) can move up and down within the nozzle body (75).
1>, θ rotation within the upper and lower guide bodies (79) is not possible.

また前記ヘッド本体(44〉内には、駆動モータ(82
)が配設されその出力軸プーリ(83)と前記上下ガイ
ド体(79)周囲に固定されたプーリ(84)間にはベ
ルト(85)が張設され、前記モータ(82)の通電に
よりベルト(85)を介して上下ガイド体(79〉がベ
アリング体く86〉に案内されつつ回転し吸着ノズル体
(75)をもθ回転させることになる。該吸着ノズル体
(75)の下端には、吸着コレラ1−(76)がロック
機構(87)の施錠、解錠により着脱可能に設けられる
Also, inside the head body (44) is a drive motor (82).
), and a belt (85) is stretched between the output shaft pulley (83) and a pulley (84) fixed around the upper and lower guide body (79), and the belt (85) is stretched when the motor (82) is energized. (85), the upper and lower guide bodies (79) rotate while being guided by the bearing bodies (86), thereby also rotating the suction nozzle body (75) by θ.The lower end of the suction nozzle body (75) , the adsorbed cholera 1-(76) is provided so as to be detachable by locking and unlocking the locking mechanism (87).

(88)は前記ヘッド本体(44)の側面に取付けられ
たDCソレノイドで、そのプランジャ(89)には中間
部が枢支された作動レバー(90)が回転可能に連結し
ている。(91)はヘッド本体<44)に上下に延びた
図示しないガイドレールに沿って上下動可能な上下スラ
イダーで、該スライダー(91)に突設したピン(93
)とヘッド本体(44)上部に突設したピン(94〉と
の間にはバネD(95)が張架され、該スライダー(9
1)を上方へ付勢している。
(88) is a DC solenoid attached to the side surface of the head main body (44), and an operating lever (90) whose intermediate portion is pivotally supported is rotatably connected to its plunger (89). (91) is a vertical slider that can be moved up and down along a guide rail (not shown) extending up and down on the head body <44), and a pin (93) protruding from the slider (91).
) and a pin (94) protruding from the top of the head body (44), a spring D (95) is stretched between the slider (9
1) is urged upward.

そしてこのスライダー(91)には、カムフォロワー(
96)が設けられており、ヘッド本体(44)には上限
ストッパ(97〉及び下限ストッパ(98)が設けられ
前記作動レバー(90)がカムフォロワー(96)に当
接しているので、前記ソレノイド(88)が励磁すると
作動レバー(90〉は反時計方向へ回転してスライダー
(91〉を押下(ずカムフォロワー(96)がストッパ
(98〉に当接して停止し同様に消磁すると作動レバー
(90)が時計方向へ回転し該レバー<90)が上限ス
トッパ(97)に当接するまでバネD (95)により
スライダー(91)を押上げる。
And this slider (91) has a cam follower (
96), the head body (44) is provided with an upper limit stopper (97> and a lower limit stopper (98), and the operating lever (90) is in contact with the cam follower (96), so that the solenoid When (88) is energized, the actuating lever (90> rotates counterclockwise and pushes down the slider (91>), the cam follower (96) comes into contact with the stopper (98>) and stops, and when it is similarly demagnetized, the actuating lever ( 90) rotates clockwise and the slider (91) is pushed up by the spring D (95) until the lever <90) comes into contact with the upper limit stopper (97).

従って、発光素子(99)及び受光素子(100)によ
りペレッ)(71)の吸着検出を行なう光電検知装置(
101)を下端部に備えているので、この上下スライダ
ー(91)の上下により光電検知装置(101)も上下
することになる。
Accordingly, a photoelectric detection device (
101) at the lower end, the photoelectric detection device (101) also moves up and down as the up and down slider (91) moves up and down.

このため、検知装置(101)が下方位置にあるとき、
吸着コレット(76)が吸着しているペレット(71)
の有無状態を検知でき(第6図参照)、上方位置にある
とき、吸着コレット(76)自体の有無状態を検知でき
る(第7図参照)。
Therefore, when the detection device (101) is in the downward position,
Pellet (71) adsorbed by adsorption collet (76)
The presence or absence of the suction collet (76) itself can be detected when it is in the upper position (see FIG. 7).

次に前記吸着コレット(76〉について説明すると、前
記ノズル体(75)の下端部には、ロック機構取付部(
102)を形成し、該取付部(102)にロック機構(
87)を設ける。そして該取付部(102)には、中空
の取付空間(103)が形成され前記吸着コレット(7
6)のアダプタ(104)が嵌合する。また取付部(1
02)の両側部には軸受体(105)(105)間に夫
々ロック爪体(106)を配設してこれらを支軸(10
7)が貫通し、ロック爪体(106)の夫々を対向する
ように配設してバネ(108)によりその下端が互いに
近づくように付勢している。<109)は取付部(10
2)下面に突設した位置決゛めピンであり、後述のU字
溝(110)に嵌合可能である。
Next, to explain the suction collet (76>), the lower end of the nozzle body (75) has a locking mechanism attachment part (
102), and a locking mechanism (
87). A hollow mounting space (103) is formed in the mounting portion (102), and the suction collet (7) is formed with a hollow mounting space (103).
The adapter (104) of 6) is fitted. Also, the mounting part (1
Lock claw bodies (106) are arranged between the bearing bodies (105) and (105) on both sides of the support shaft (105).
7) pass through the locking member, and the locking claw bodies (106) are arranged to face each other and are urged by a spring (108) so that their lower ends approach each other. <109) is the mounting part (10
2) It is a positioning pin protruding from the lower surface, and can be fitted into a U-shaped groove (110) to be described later.

吸着コレラ1〜(76)は、前記取付部(102)の取
付空間(103)に嵌合するアダプタ(104)と、該
アダプタ(104)の下部には前記嵌合した際に前記取
付体(102)下面に当接するアダブクフランジ部(1
11)と、ペレット(71)を直接吸着する吸着部(u
2)とから構成される。前記フランジ部(111)の両
側部には、下部が内方へ凹んだ係止部(113)が形成
され、前記ロック爪体(106)の下端が該係止部(1
13)に入り込んでロックすることになる。
The adsorbed cholera 1 to (76) includes an adapter (104) that fits into the mounting space (103) of the mounting part (102), and a lower part of the adapter (104) that has the mounting body ( 102) Adabuku flange part (1
11) and an adsorption part (u) that directly adsorbs the pellet (71).
2). Locking portions (113) whose lower portions are recessed inward are formed on both sides of the flange portion (111), and the lower ends of the locking pawls (106) are connected to the locking portions (113).
13) and lock it.

次に吸着コレット交換装置(114) 、 (115)
について述べるが、両者は同一構造であるため、一方(
114)についてのみ述べる。該交換装置(114)は
、大きく分けて取付板(116)に対して図示しない駆
動源により上下動可能なツールストッカー(117)及
びストッカー台(118)と、所定間隔を存して複数の
ロック解除ピン(119)を有するピン取付台(120
)とから構成きれる。
Next, the suction collet exchange device (114), (115)
However, since both have the same structure, one (
114). The exchange device (114) is broadly divided into a tool stocker (117) and a stocker stand (118) that can be moved up and down by a drive source (not shown) with respect to a mounting plate (116), and a plurality of locks at predetermined intervals. Pin mount (120) with release pin (119)
).

前記ストッカー(117)及びストッカー台(118)
とは、略同形状であり、両者は所定間隔を存して互いに
合致する取付孔(121)(122)が複数穿設されて
いる。そしてストッカー(117)及びストッカー台(
118)に穿設した孔には2本のコンプライアンスピン
(123)が遊嵌し、頭部(124)とコイルスプリン
グ(125)によりス1〜ツカ−(117)及びストッ
カー台(118)は、該ストッカー台(118)の上面
に開設した溝内にあるスチールボール(126)を介し
て互いに圧接される。このボール(126)によってス
トッカー台(118)J二をストッカー(117)が転
がれるようになる。前記コンプライアンスピン(123
)の径より該ピン(123)が嵌合する孔径をやや犬さ
くとることによって、吸着コレラ1−(76)の着脱時
の吸着ノズル体り75)のセンターとストッカー(11
7)に収納された吸着コレット<76)とアダプタ(1
04)のセンターの芯ずれを吸収できる。
The stocker (117) and stocker stand (118)
The two have substantially the same shape, and both have a plurality of mounting holes (121) and (122) that match each other at a predetermined interval. And stocker (117) and stocker stand (
Two compliance pins (123) are loosely fitted into the holes drilled in the hole (118), and the head (124) and coil spring (125) move the slots (117) and the stocker stand (118) to The stocker table (118) is pressed against each other via a steel ball (126) in a groove formed on the upper surface thereof. This ball (126) allows the stocker (117) to roll on the stocker stand (118) J2. The compliance pin (123
) By making the diameter of the hole in which the pin (123) fits slightly smaller than the diameter of the hole, the center of the suction nozzle body 75) and the stocker (11
7) and the adapter (1
04) can absorb the misalignment of the center.

前記ピン取付台(120)から立設した夫々同長のロッ
ク解除ピン(119)は、前記ストッカー(117)及
びストッカー台(118)を貫通している。
Lock release pins (119), each having the same length, are set upright from the pin mount (120) and pass through the stocker (117) and the stocker stand (118).

ストッカー(117)の取付孔(121)の上面側開口
周縁部の前後部には、吸着コレット支持台(127)が
立設され、夫々位置決めピン(128)<128>が突
設している。従って該交換装置(114)に吸着コレッ
ト(76)が置かれている場合には、前記支持台(12
7)上に前記フランジ部(111)が当接し、然も該フ
ランジ部(111)の長手方向側の端部にはU字溝(1
10)(ito)が形成され、夫々位置決めピン(12
8)(12g>が該溝(110)(110)に嵌合し、
該コレット(76)のθ回転を阻止する。
Adsorption collet supports (127) are erected at the front and rear sides of the upper opening periphery of the mounting hole (121) of the stocker (117), and positioning pins (128) are protruded from each of the suction collet supports (127). Therefore, when the suction collet (76) is placed on the exchanger (114), the support stand (12
7) The flange portion (111) abuts on the top, and the U-shaped groove (111) is provided at the longitudinal end of the flange portion (111).
10) (ito) are formed, and positioning pins (12) are formed, respectively.
8) (12g> fits into the grooves (110) (110),
Theta rotation of the collet (76) is prevented.

前記ピン取付台(120)は取付板(116)に取付け
られたシリンダー(129)により、ガイド(130)
(130)に軸杆(131)(131)が案内されなが
ら上下動が可能である。(132) (132)は前記
ストッカー台(118)に設けられた軸受体で、該軸受
体(132)に所定間隔を存して複数の押え部材(13
3)が固定された軸杆(134)が回動自在に支持され
ている。該押え部材(133)は略クランク形状を呈し
て一端部が前記アダプタフランジ部(111)に上面か
ら係合するもので、任意の押え部材(133)の他端部
には回動用駆動源としてのシリンダー(135)が連結
している。
The pin mount (120) is connected to the guide (130) by a cylinder (129) attached to the mounting plate (116).
It is possible to move up and down while being guided by the shaft rods (131) (130). (132) (132) is a bearing body provided on the stocker stand (118), and a plurality of holding members (13
A shaft rod (134) to which 3) is fixed is rotatably supported. The holding member (133) has a substantially crank shape, and one end engages with the adapter flange portion (111) from above, and the other end of any holding member (133) is provided with a drive source for rotation. cylinders (135) are connected.

尚、前記ツールストッカー(117)及びストッカー台
(118)に開設した複数の取付孔(121)(122
)の開設ピッチ、同じくロック解除ビン(119)が嵌
合する孔(図示せず)の開設ピッチ、ロック解除ビン(
119)の取付ピッチは全て同ピツチである。尚、前記
吸着コレット(76)には番号(以下コレラトナ=16
− ンバーと言う。)が付されており、ここでは4種類の吸
着コレット(76〉を使用しているためコレ・ントナン
バー’ CI J ’ C2J 「C3J ’ C4J
となる。
In addition, a plurality of mounting holes (121) (122) opened in the tool stocker (117) and the stocker stand (118)
), the opening pitch of the hole (not shown) into which the lock release bin (119) fits, and the opening pitch of the lock release bin (119),
119) all have the same mounting pitch. Note that the adsorption collet (76) has a number (hereinafter colelatona = 16).
- It is called a member. ), and since four types of suction collets (76) are used here, the collet numbers 'CI J' C2J 'C3J' C4J
becomes.

次に、第1図の構成回路図について詳述する。Next, the configuration circuit diagram shown in FIG. 1 will be explained in detail.

(136)は制御装置としてのCPUで、電子部品自動
装着装置全体の総括的制御を行なうものである。
Reference numeral 136 denotes a CPU as a control device, which performs overall control of the entire electronic component automatic mounting device.

(137)は装着動作に関するプログラムを記憶するR
OMである。
(137) is R that stores the program related to the mounting operation.
It's OM.

(138)は入力装置(139)により設定される種々
のデータを記憶するRAMである。
(138) is a RAM that stores various data set by the input device (139).

(140)は前記入力装置(139)の操作により所定
の画面を映し出すCRTである。
(140) is a CRT that displays a predetermined screen by operating the input device (139).

(141)はインターフェースである。(141) is an interface.

以下、動作について詳述する。The operation will be explained in detail below.

図示しない駆動モータが通電されると、駆動スプロケッ
ト(12) (12)が回転し、従動スブロケ・ント(
13)(13)により、チェーン(L4A)(14B>
上の基板(P)は間欠的に搬送され、位置決め装置(3
)の位置に到達したら前記駆動モータの通電は断たれ基
板(P)の搬送は停止される。
When the drive motor (not shown) is energized, the drive sprocket (12) (12) rotates and the driven sprocket (12) rotates.
13) By (13), chain (L4A) (14B>
The upper substrate (P) is intermittently conveyed, and the positioning device (3
), the power supply to the drive motor is cut off and the conveyance of the substrate (P) is stopped.

すると、位置決めモータフ21)が通電されベルト(2
3)を介して軸杆り18)が回転するので、クランプカ
ム(19)も回転し、該カム(19)の形状に合わせて
カムフォロワー(24)を介して、各上下部材(25)
は上下動することになる。これにより基板(P)の送り
方向の位置規制が行なわれる。
Then, the positioning motor 21) is energized and the belt (2
3) rotates, the clamp cam (19) also rotates, and each upper and lower member (25) is rotated through the cam follower (24) according to the shape of the cam (19).
will move up and down. As a result, the position of the substrate (P) in the feeding direction is regulated.

即ち、モータ(21)の通電により回転するクランプカ
ム(19)に合わせて、上下部材(25)が下降すると
、可動クランプ(27Δ)が、バネ(29)に抗して基
準クランプ(27B)が夫々回動して基板(P)の送り
方向の位置規制が行なわれる。
That is, when the upper and lower members (25) descend in accordance with the clamp cam (19) rotated by the energization of the motor (21), the movable clamp (27Δ) resists the spring (29) and the reference clamp (27B) The position of the substrate (P) in the feeding direction is regulated by rotating each of them.

前述のように位置規制された状態にある基板(P)にペ
レット(71〉を装着するわけであるが、この装着前に
ウェハーテーブル(5)上の所望のウェハーシート(3
8)がステーション(A)に移動するように、ウェハー
支持台(7〉をθ用モータ(36〉により正逆いずれか
に回転きせる。
The pellets (71) are attached to the substrate (P) whose position is regulated as described above, but before this attachment, the desired wafer sheet (3) is placed on the wafer table (5).
The wafer support stand (7>) is rotated forward or backward by the θ motor (36>) so that the wafer support stand (8) moves to the station (A).

次に、X軸周モータ(32)、Y軸周モータ(33)に
より各ガイド(34)(35)に沿って、XYテーブル
(31)及び支持台(7〉を平面)j向に移動させて、
突き上げ針装置(37)の上方位置に所望のウェハーシ
ート、(38)のペレット(71)が位置されるように
する。
Next, the XY table (31) and the support base (7> are moved in the plane j direction along the guides (34) and (35) by the X-axis circumferential motor (32) and the Y-axis circumferential motor (33). hand,
A pellet (71) of a desired wafer sheet (38) is positioned above the push-up needle device (37).

尚、該ウェハーシー1−(38)−ヒづjには装着ヘッ
ド(10)が位置される。
Incidentally, a mounting head (10) is located in the wafer seat 1-(38)-hizuj.

そして、前記装着へラド(10)の近傍に設けられた電
子部品認識装置(図示せず)によりペレット(71)の
良否判定、位置ズし、θスレが検出され、適と判断され
たペレット(71)は吸着コレラI476>を降下きせ
ることにより吸着される。この点につき以下詳述する。
Then, an electronic component recognition device (not shown) installed in the vicinity of the mounting rod (10) determines the quality of the pellet (71), detects positional deviation and θ scratches, and determines that the pellet (71) is suitable. 71) is adsorbed by descending adsorbed cholera I476>. This point will be explained in detail below.

先ず、上下用モータ(45)に通電して、各プーリ(4
6)’、 (48)、ベルト(49)を介してネジ軸(
47)を回転させ、上下移動体く50)を降下さ七↓°
る。すると、加圧用モータフ53)によりハネB(70
)によって、加圧ヘアリング体<65〉がロークリジヨ
イント(67)及び固定ベアリング体く66)に押圧し
ているので、吸着ノズル体(75)は上下ガイド体(7
9)に沿ってウェハーシート(38)まで降下する。こ
のため、前述の如く突き1ユは針装置(37)の針(3
7A)と相俟−)てペレッ1−(71)を確実に吸着で
きる。
First, the vertical motor (45) is energized and each pulley (4
6)', (48), screw shaft (
Rotate 47) and lower the vertical moving body 50) 7↓°
Ru. Then, the spring B (70
), the pressurized hair ring body <65> is pressed against the low rigidity joint (67) and the fixed bearing body (66), so the suction nozzle body (75) is pressed against the upper and lower guide bodies (7).
9) down to the wafer sheet (38). For this reason, as mentioned above, one thrust is equivalent to the needle (3) of the needle device (37).
Together with 7A), pellet 1-(71) can be reliably adsorbed.

そして、この吸着後は前記モータ(45)の回転を逆転
させて、ネジ軸(47)により上下移動体く50)を上
昇させるが、この上昇後はロックソレノイド(54)を
励磁させる。このため、吸引されたプランジ+(57)
によりバネA(61)に抗して揺動体(64)を支軸(
63)を支点として回動させる。従って上下移動体(5
0)に固定された支持体(59〉に設L−Jらた固定ベ
アリング体<66〉と加圧ベアリング体(65)とで、
ロークリジョイン1−(67)の鍔体り68)を挾持し
た状態にロックする。勿論このロック動作は、装着ヘッ
ド(10〉の水平移動中に行なわれ、このロック動作後
必要あらば吸着ノスル体り75)のθ回転を行ない、ペ
レッ1−(71,)の平面方向における向きを基板(P
)への装着向きに合わせる。
After this attraction, the rotation of the motor (45) is reversed to raise the vertically movable body 50) by the screw shaft (47), but after this raising, the lock solenoid (54) is energized. For this reason, the aspirated plunge + (57)
The oscillator (64) is rotated against the spring A (61) by the support shaft (
63) as a fulcrum. Therefore, the vertical moving body (5
A fixed bearing body <66> and a pressurized bearing body (65) installed on the support body (59>) fixed to
Lock the collar body 68) of the low join 1-(67) in a clamped state. Of course, this locking operation is performed while the mounting head (10>) is moving horizontally, and if necessary, after this locking operation, the suction nostle body 75) is rotated by θ to adjust the orientation of the pellet 1-(71,) in the plane direction. The substrate (P
).

即し、駆動モータ(82)の通電により各プーリ(83
) 、 (84)、ヘル1−(85)を介して、」二下
ガイド体く79)及び規制ヘアリング(81)によって
吸着ノズル体(75)はθ回転することになる。
Therefore, each pulley (83) is turned on by energizing the drive motor (82).
), (84), the suction nozzle body (75) is rotated by θ via the second lower guide body (79) and the regulating hair ring (81).

この吸着ノズル体(75)は、吸着ヘッド(10)の水
平方向の移動によって、前述のように位置規制された状
態にある基板(P)の上方位置まで移動し、該基板(P
)の所望位置にペレッ1−(71)を装着することがで
きる。
By the horizontal movement of the suction head (10), this suction nozzle body (75) moves to a position above the substrate (P) whose position is regulated as described above, and
) Pellet 1-(71) can be attached to a desired position.

即ち、前述の如く、モータ(45〉に通電して、上下移
動体(50)を降下させ、吸着ノズル体(75)を基板
(P)上まで降下させるがその途中で、前記ロックソレ
ノイド(54)を消磁させてロック動作を解除する。
That is, as described above, the motor (45) is energized to lower the vertical moving body (50) and the suction nozzle body (75) to the substrate (P), but on the way, the lock solenoid (54) ) to release the lock operation.

この装着時には、ハネB (70)によってペレット(
71)は基板(P)に押圧されることになる。従って、
この押圧力を変更したい場合には、加圧用モータ(53
)の回転角度を希望の値にデータ設定句ることにより行
なえる。
When this is installed, the pellet (
71) will be pressed against the substrate (P). Therefore,
If you want to change this pressing force, use the pressurizing motor (53
) can be done by setting the rotation angle to the desired value.

以上のように装着動作が行なわれることになるが、例え
ば次に装着したいベレン1〜が大きなペレット<71)
の場合には、それに合った吸着コレラ1176)に交換
しなければならない。以下その交換動作について、第1
3図〜第20図に基ついて説明する。
The loading operation will be performed as described above, but for example, the next Belen 1 to be loaded is a large pellet <71).
In this case, it must be replaced with a suitable adsorbed cholera 1176). Below is the first part about the exchange operation.
Description will be made based on FIGS. 3 to 20.

先ず第10図に示すように、前述の如く吸着ノズル体(
75)及び吸着コレラ1−(76)を降下させ、吸着コ
レット交換装置(114)の吸着コレットが収納されて
いないツールス!・ツカ−(117)の取付孔(121
)上方位置に移動させる。
First, as shown in FIG. 10, the suction nozzle body (
75) and suction cholera 1- (76) are lowered, and the suction collet of the suction collet exchange device (114) is not stored! Tools!・Mounting hole (121) for hook (117)
) to the upper position.

次にシリンダー(129)の駆動によりピン取付台(1
20)及び図示しない駆動源によりツールストッカー(
117)を上昇させる(第13図参照)。
Next, the pin mount (1) is driven by the cylinder (129).
20) and a tool stocker (
117) (see Figure 13).

この後、前記ノズル体(75)及びコレラl−(76)
を更に降下させると、ロック爪体(106) 、 (1
0’6)がロック解除ピン(119)に当接して支軸<
107> 、 (107)を支点として回動して開く(
第14図参照)。
After this, the nozzle body (75) and cholera l-(76)
When further lowered, the lock claw bodies (106) and (1
0'6) comes into contact with the lock release pin (119) and the support shaft <
107>, rotate and open using (107) as a fulcrum (
(See Figure 14).

このため、ロックが解除されることになるが、シリンダ
ー(129)によって外方に回動していた押え部材(1
33)がこのシリンダー(129)の駆動により内づテ
に回動してアダプタフランジ部(111)を押える。
Therefore, the lock is released, but the presser member (1), which was rotated outward by the cylinder (129),
33) is rotated inward by the drive of this cylinder (129) and presses the adapter flange portion (111).

勿論、このときフランジ部(111)に形成きれたU中
溝(110)内に支持台<127>上の位置決めピンく
128)(128)が夫々嵌合し、吸着コレラ1−(7
6)のθ回転は防止される。
Of course, at this time, the positioning pins 128 and 128 on the support base <127> fit into the U groove (110) completely formed in the flange part (111), and the adsorbed cholera 1-(7)
6) θ rotation is prevented.

そして、第15図に示すように駆動源によりストッカー
(117)を降下さぜると、アダプタ(104>は取イ
ー1空間(103)から抜けて下がる。次に、吸着ノス
ル体(75)は前述のように上昇し、ピン取付台(12
0)及びロック解除ピン(1,19)が下降する(第1
6図参照)。この後、吸着ノズル体(75)は、大きな
ペレット(71)用の吸着コレラl−<76>の」三方
位置まで移動して下降し、−−35前記ピン(119)
も上昇する。従って、該ピン(119)によってロック
爪体く106)(106)が開く(第17図参照)。
Then, as shown in FIG. 15, when the stocker (117) is lowered by the drive source, the adapter (104> comes out of the take-up space 1 (103) and lowers.Next, the adsorption nostle body (75) Raise as described above and attach the pin mount (12
0) and the lock release pin (1, 19) descends (first
(See Figure 6). After that, the suction nozzle body (75) moves to the three-way position of the cholera l-<76> for large pellets (71) and descends,
will also rise. Therefore, the locking claw body 106 (106) is opened by the pin (119) (see FIG. 17).

そして、ツールストッカー(117)及びストッカー(
118>が上昇し、吸着コレット(7G)のアダプタ(
104)を前記取付空間(103)内に挿入する。この
とき取付部<102>下面の位置決めピン(109)が
アダブクフランジ部(111)のU字溝(110)内に
嵌合することにより、この挿入時のθずれを防止してい
る。然る後、シリンダー(129)の駆動によって、押
え部材(133)を外方へ回動許せる。
And tool stocker (117) and stocker (
118> rises, and the adsorption collet (7G) adapter (
104) into the mounting space (103). At this time, the positioning pin (109) on the lower surface of the attachment part <102> fits into the U-shaped groove (110) of the adabuku flange part (111), thereby preventing θ deviation during this insertion. Thereafter, the pressing member (133) can be rotated outward by driving the cylinder (129).

この後前記解除ピン(119)を降下させるので、ロッ
ク爪体(106)(106)がハネ(108)(108
)により内方へ回動し、係止部(113)内に入り込ん
でロックすることになる(第19図参照)。そして吸着
ノズル体(75〉及び吸着コレラ1−(76)は上昇し
、前記押え部材(133)を今度は内方へ回動さぜ、ス
トッカー<117)及びス1〜ツカー台(118)を下
降させることによって、吸着コレット(76)の交換動
作が終了する。
After that, the release pin (119) is lowered, so that the lock claw bodies (106) (106) are moved by the springs (108) (108).
), it rotates inward, enters the locking part (113), and locks (see Fig. 19). Then, the suction nozzle body (75>) and the suction cholera 1-(76) rise, and this time rotate the holding member (133) inward, and press the stocker <117) and the picker stand (118). By lowering the suction collet (76), the replacement operation of the suction collet (76) is completed.

この吸着コレット(76)の交換により、大きなペレッ
1−(71)の装着に対応できることになる。
By replacing the suction collet (76), it becomes possible to accommodate large pellets 1-(71).

次に、この吸着コレラl−<76)の交換が確実に行な
われたか否かの確認動作について詳述する。
Next, the operation for checking whether or not the adsorbed cholera l-<76) has been reliably replaced will be described in detail.

先ず、ある所定高さで吸着コレット(76)が待機され
ている時に、DCソレノイド(88)が励磁している状
態では、バネD (95)に抗して作動レバー(90)
がカムフォロワー<96)を介して上下スライダ〈91
)を下方に押圧し、前記カムフォロワ=(96)が下限
ストッパ(98)に当接して係止している状態となり、
第6図に示すように光電検知装置(101)により吸着
コレット(76)かペレット(71)を吸着しているか
否かの検知が行なわれる。
First, when the suction collet (76) is on standby at a certain predetermined height and the DC solenoid (88) is energized, the actuation lever (90) is moved against the spring D (95).
is the vertical slider <91 via the cam follower <96).
) is pressed downward, and the cam follower (96) comes into contact with the lower limit stopper (98) and is locked,
As shown in FIG. 6, a photoelectric detection device (101) detects whether a suction collet (76) or a pellet (71) is being suctioned.

また、前記ソレノイド(88〉を消磁させることによっ
て吸着コレット(76)の交換が正確に行なわれたか否
か検知できる。即し、消磁によって上下スライダー(9
1)はハネD(95)により上昇し、作動レバー(90
)が上限ストッパ(97)に当接して係止する状態とな
り、第7図に示すように光電検知装置(101)は吸着
コレット(76)の存在を確認でさる。仮に、存在1無
」を検知すると、以後の動作を中止すると共に、作業者
に図示しない報知装置により報知する。
Furthermore, by demagnetizing the solenoid (88), it is possible to detect whether or not the adsorption collet (76) has been replaced correctly.
1) is raised by the fly D (95), and the operating lever (90
) comes into contact with the upper limit stopper (97) and is locked, and the photoelectric detection device (101) confirms the presence of the suction collet (76) as shown in FIG. If "existence" or "absence" is detected, the subsequent operation is stopped and the operator is notified by a notification device (not shown).

ここで、前記光電検知装置(101)による吸着コレッ
トの存在の有無、ペレッl−(71)の吸着状態を検知
す、る際は、吸着コレラ1−(76)の交換により長さ
寸法の異なる吸着コレラ1〜(76)を使用する場合と
か、同種の吸着コレラ1−(76)において加工精度に
よる公差がある場合とか、厚さの異なる種々のペレット
(71)を扱う場合とか等を考慮して、上下用モータ(
45)の駆動による吸着コレット(76)の移動量を調
整する。
Here, when the photoelectric detection device (101) detects the presence or absence of the adsorption collet and the adsorption state of the pellet 1-(71), the length dimension is different due to the replacement of the adsorption collet 1-(76). Taking into account cases such as when using adsorbed cholera 1-(76), when there are tolerances due to processing accuracy in the same type of adsorbed cholera 1-(76), and when handling various pellets (71) with different thicknesses, etc. and the vertical motor (
The amount of movement of the suction collet (76) by the drive of (45) is adjusted.

以下、この移動量調整動作について詳述する。This movement amount adjustment operation will be described in detail below.

先ず、作業者は上下用モータ(45)の上下動ピッチを
装置内に設定する。即ち、上下動ピッチ設定用吸着コレ
ット(76)を使用して前記モータ(45)を駆動させ
、ウェハーシート(38)上まで該コレット<76)を
下降許せることにより設定上下動ピッチを教示する。
First, the operator sets the vertical movement pitch of the vertical motor (45) in the device. That is, the motor (45) is driven using the vertical movement pitch setting suction collet (76), and the set vertical movement pitch is taught by allowing the collet <76) to descend onto the wafer sheet (38).

第21図はRAM(138)内に記憶された前記設定用
吸着コしット(76〉の長さに対する実際に使用される
コレットナンバー”CIJ’C2J’C3J’C4」の
吸着コレラ1−(76)の長さの違い(公差による誤差
も含んでいる。)に関するデータ(以下コレット長オフ
セットデータという。)を示すCRT (140)の画
面である。尚、ここでのmレット+ンハ−’CI J 
’C2J ’C3J ’C4」の吸着コレット<76〉
のオフセットデータは夫々O,−5,+10.+3[:
μm〕である。
FIG. 21 shows the adsorption cholera 1-( 76) This is a screen of the CRT (140) showing data (hereinafter referred to as collet length offset data) regarding the difference in length (including errors due to tolerances). C.I.J.
'C2J 'C3J 'C4' suction collet <76>
The offset data are O, -5, +10, respectively. +3[:
μm].

第22図はペレットナンバー’PIJ’、P2ヨ「P3
.’P4.の各種ペレット(71)の厚さ等のタイプデ
ータに関するデータを示すCRT (140)の画面で
ある。尚、ここでは4個のウェハーテーブル(5)(6
)に夫々4種類のペレット(71)を搭載している。
Figure 22 shows the pellet number 'PIJ', P2 and 'P3'.
.. 'P4. This is a screen of a CRT (140) showing data regarding type data such as thickness of various pellets (71). In addition, four wafer tables (5) (6) are used here.
) are each loaded with four types of pellets (71).

この両データを基に任意の吸着コレラh(76)を使用
して任意のペレット(71)を吸着し、その吸着状態も
しくは該吸着コレット(76)の交換完了状態を検知す
る際の前記所定高さ位置(光電検知装置(101)の発
光素子(99)、受光素子(100)の水平位置)への
移動量を変更する。即ち、例えばコレットナンバー’c
i、の吸着コレット(76〉を使用してベレットナンバ
ー「Pl」のペレット(71>を吸着する場合は、前記
両データを基に図示しない計算装置で前記設定上下動ピ
ッチにコレット長オフセットデークO〔μm〕及び該ベ
レット厚のにの値を加味した値を計算し、その値に前記
上下動ピッチを変更して吸着コレット(76)を移動さ
せる。
Based on these data, the predetermined height is used to adsorb any pellet (71) using any adsorption cholera h (76) and detect the adsorption state or the replacement completion state of the adsorption collet (76). The amount of movement to the horizontal position (horizontal position of the light emitting element (99) and light receiving element (100) of the photoelectric detection device (101)) is changed. That is, for example, collet number 'c
When adsorbing pellets with pellet number "Pl"(71>) using a suction collet (76>), a calculation device (not shown) calculates the collet length offset D O to the set vertical movement pitch based on both of the above data. [μm] and the value of the pellet thickness is calculated, and the suction collet (76) is moved by changing the vertical movement pitch to that value.

また、コレットナンバー1C2」の吸着コレット(76
)で厚さが前記ペレットナンバー「Pl」のペレッ1−
(71)と同じであるペレットナンバー「P2」のペレ
ッ1−(71)を吸着する場合は(第23図参照)は、
同様にして設定上下動ピッチにコレット長オフセットチ
ータ −5〔μm〕及び該ペレット厚のにの値を加味し
た値(上下動ピッチ−八ρ)を計算し、その値に前記上
下動ピッチを変更して吸着コレット(76)を移動させ
る(第24図参照)。
In addition, a suction collet with collet number 1C2 (76
) and the thickness of the pellet number "Pl" is 1-
When adsorbing pellet 1-(71) with pellet number "P2" which is the same as (71) (see Figure 23),
In the same way, calculate a value (vertical pitch - 8ρ) that takes into account the collet length offset cheetah -5 [μm] and the value of the pellet thickness to the set vertical pitch, and change the vertical pitch to that value. to move the suction collet (76) (see Fig. 24).

次に、コレットナンバー「C1」の吸着コレラ1−(7
6)でペレットナンバー’Pi、’P2」と厚きの違う
ペレットナンバー「P3」のペレット(71〉を吸着す
る場合(第25図参照)は、同様に各データを基に前記
設定上下動ピッチにコレット長オフセットデータ0〔μ
m〕及び該ペレット厚のにの値を加味した値(上下動ピ
ッチ−Δt)を計算し、その値に前記上下動ピッチを変
更して前記吸着コレット(76)を移動させる(第26
図参照)。
Next, the adsorbed cholera 1-(7
6) When adsorbing pellets with pellet numbers 'P3'(71>) which have different thicknesses from pellet numbers 'Pi and 'P2' (see Figure 25), the above-mentioned vertical movement pitch is similarly set based on each data. Collet length offset data 0 [μ
m] and the value of the pellet thickness (vertical pitch - Δt) is calculated, and the suction collet (76) is moved by changing the vertical pitch to that value (26th
(see figure).

以下、同様にして、コレット長、ペレット厚が変わる度
に上下動ピッチを変更する。
Thereafter, the vertical movement pitch is changed in the same manner every time the collet length and pellet thickness change.

尚、本実施例でペレット厚のにの値としたのは、光電検
知装置(101)がその下限時に吸着コレット(76)
で吸着されたペレット(71)を検知する光軸位置をペ
レット厚のにの所としたためである。
In this example, the value of the pellet thickness is set to 2, because the photoelectric detection device (101) detects the adsorption collet (76) at its lower limit.
This is because the optical axis position for detecting the pellets (71) adsorbed at is set at the thickness of the pellet.

また、本実施例ではペレット厚をそのままデータとして
記憶させたが、コレット長オフセットデータと同様に、
基準となるペレット(71)に対する他のペレット(7
1)の厚きの違いに関するペレット厚オフセットデータ
を記憶させるようにしても良い。
Also, in this example, the pellet thickness was stored as data as is, but like the collet length offset data,
Other pellets (7) relative to the standard pellet (71)
Pellet thickness offset data regarding the difference in thickness in 1) may be stored.

更に、吸着コレット(76)の上下動ピッチを変更して
光電検知装置(101)でのペレット(71〉の吸着状
態等の安定検出を行なうようにしでいるが、光電検知装
置(101)側を移動させるような構造としても良いし
、両側を移動させて吸着コレット(76)の長さ及びペ
レッ1−(71)の厚さの違いに対処するようにしても
良い。
Furthermore, the vertical movement pitch of the suction collet (76) is changed to ensure stable detection of the adsorption state of the pellet (71>) by the photoelectric detection device (101). The structure may be such that it is moved, or both sides may be moved to accommodate differences in the length of the suction collet (76) and the thickness of the pellet 1-(71).

(ト)発明の効果 以上の構成により、吸着コレットの長き及び電子部品の
厚さの違いに対応可能となり、安定した検出が行なえる
(G) Effects of the Invention With the above configuration, it is possible to deal with differences in the length of the suction collet and the thickness of electronic components, and stable detection can be performed.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図及び第2図及び第3図は本発明の電子部品自動装
着装置の構成回路図及び平面図及び正面図、第4図は装
着ヘッドの一部断面せる正面図、第5図は装着ヘッドの
縦断右側面図、第6図は装着ヘッドの一部切欠せる右側
面図、第7図は上下スライダーが上昇した状態の装着ヘ
ッドの一部切欠せる右側面図、第8図は吸着ノズル下端
部を縦断した状態及び吸着コレットの正面図、第9図は
吸着ノズル下端部の左側面図、第10図は吸着ノズル交
換装置の縦断正面図、第11図は同交換装置の平面図、
第12図は同交換装置の左側面図、第13図乃至第20
図は吸着コレットの交換動作を示す図、第21図はコレ
ット長オフセットデータを示す図、第22図はペレット
に関するデータを示す図、第23図及び第24図はコレ
ット長の異なる吸着コレットを使用した際の吸着コレッ
トの移動量を示す図、第25図及び第26図はぺレット
厚の異なるペレットを吸着する際の吸着コレットの移動
量を示す図を示す。 (71)・・・ペレット、(76)・・・吸着コレ・7
ト、(101)・・・光電検知装置、 (136)・・
・CPU、 (138)・・・RAM。
1, 2, and 3 are a configuration circuit diagram, a plan view, and a front view of the automatic electronic component mounting apparatus of the present invention, FIG. 4 is a partially sectional front view of the mounting head, and FIG. 5 is a mounting head. Vertical right side view of the head, Figure 6 is a partially cutaway right side view of the mounting head, Figure 7 is a partially cutaway right side view of the mounting head with the vertical slider raised, and Figure 8 is the suction nozzle. 9 is a left side view of the lower end of the suction nozzle, FIG. 10 is a vertical sectional front view of the suction nozzle exchange device, and FIG. 11 is a plan view of the exchange device.
Figure 12 is a left side view of the exchange device, Figures 13 to 20
Figure 21 shows collet length offset data, Figure 22 shows data related to pellets, and Figures 23 and 24 show the use of suction collets with different collet lengths. FIGS. 25 and 26 are diagrams showing the amount of movement of the suction collet when picking up pellets having different pellet thicknesses. (71)...Pellet, (76)...Adsorption collection・7
(101)...Photoelectric detection device, (136)...
・CPU, (138)...RAM.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)電子部品をプリント基板、リードフレーム等に装
着するためにXY移動可能な装着ヘッドに上下動可能に
部品を吸着する吸着コレットを設けると共に前記部品の
吸着状態を検知するセンサーを設けた電子部品自動装着
装置に於いて、ある基準となる部品の厚さに対する他の
部品の厚さに関するデータを記憶する記憶装置と、該記
憶装置に記憶されたデータを基に前記吸着コレットに吸
着された部品とセンサーとの相対位置を調整する制御装
置とを設けたことを特徴とする電子部品自動装着装置。
(1) In order to mount electronic components onto printed circuit boards, lead frames, etc., a mounting head that is movable in XY is equipped with a suction collet that can move up and down to suction the components, and a sensor that detects the suction state of the component. In an automatic component mounting device, there is provided a storage device that stores data regarding the thickness of another component with respect to the thickness of a certain standard component, and a component that is sucked by the suction collet based on the data stored in the storage device. An electronic component automatic mounting device characterized by comprising a control device that adjusts the relative position of the component and the sensor.
(2)電子部品をプリント基板、リードフレーム等に装
着するためにXY移動可能な装着ヘッドに上下動可能及
び着脱可能に部品吸着コレットを設けると共に前記部品
の吸着状態を検知するセンサーを設けた電子部品自動装
着装置に於いて、ある基準となる吸着コレットの長さに
対する他の吸着コレットの長さに関するデータを記憶す
る記憶装置と、該記憶装置に記憶されたデータを基に前
記吸着コレットに吸着された部品とセンサーとの相対位
置を調整する制御装置とを設けたことを特徴とする電子
部品自動装着装置。
(2) In order to mount electronic components onto printed circuit boards, lead frames, etc., a mounting head that is movable in XY is provided with a component suction collet that can be moved vertically and detachably, and a sensor that detects the suction state of the component is installed. In an automatic component mounting device, there is provided a storage device that stores data regarding the length of another suction collet with respect to the length of a certain standard suction collet, and a storage device that stores data regarding the length of another suction collet with respect to the length of a certain standard suction collet, and adsorption to the suction collet based on the data stored in the storage device. An electronic component automatic mounting device characterized by comprising a control device that adjusts the relative position of a mounted component and a sensor.
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