JPH0220128U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0220128U JPH0220128U JP9893388U JP9893388U JPH0220128U JP H0220128 U JPH0220128 U JP H0220128U JP 9893388 U JP9893388 U JP 9893388U JP 9893388 U JP9893388 U JP 9893388U JP H0220128 U JPH0220128 U JP H0220128U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- force
- conversion element
- pressure sensor
- adjustment screw
- pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 4
- 230000036316 preload Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第1図は本考案を燃焼圧センサとして形成した
場合の好適な一例を示す説明図、第2図、第3図
は本考案の他の実施例の説明図である。 10……ダイヤフラム部、14……力変換素子
、20……ネジ孔、22……調整ネジ、28……
切込み部。
場合の好適な一例を示す説明図、第2図、第3図
は本考案の他の実施例の説明図である。 10……ダイヤフラム部、14……力変換素子
、20……ネジ孔、22……調整ネジ、28……
切込み部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 圧力をダイヤフラム部を介して力に変換し
力変換素子へ力として伝達し、力変換素子の出力
する電気信号に基づき圧力を測定する圧力センサ
において、 前記ダイヤフラム部表面に力印加方向に向け設
けられたネジ孔に調整ネジを螺合し、この調整ネ
ジを用い、ダイヤフラム部を力印加方向に変形さ
せ、力変換素子にプリロードを与えることを特徴
とする圧力センサ。 (2) 実用新案登録請求の範囲(1)記載のセンサに
おいて、 前記調整ネジには、所定のネジきり破壊強度の
切込み部が設けられてなることを特徴とする圧力
センサ。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9893388U JPH0526515Y2 (ja) | 1988-07-26 | 1988-07-26 | |
US07/384,817 US4993266A (en) | 1988-07-26 | 1989-07-25 | Semiconductor pressure transducer |
EP89113807A EP0352773B1 (en) | 1988-07-26 | 1989-07-26 | Piezoresistive si single crystal pressure transducer |
DE89113807T DE68905967T2 (de) | 1988-07-26 | 1989-07-26 | Piezoresistiver Si Einkristall Druckwandler. |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9893388U JPH0526515Y2 (ja) | 1988-07-26 | 1988-07-26 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0220128U true JPH0220128U (ja) | 1990-02-09 |
JPH0526515Y2 JPH0526515Y2 (ja) | 1993-07-05 |
Family
ID=31325632
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9893388U Expired - Lifetime JPH0526515Y2 (ja) | 1988-07-26 | 1988-07-26 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0526515Y2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7232969B1 (ja) * | 2023-01-30 | 2023-03-03 | シチズンファインデバイス株式会社 | 圧力検出装置 |
-
1988
- 1988-07-26 JP JP9893388U patent/JPH0526515Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7232969B1 (ja) * | 2023-01-30 | 2023-03-03 | シチズンファインデバイス株式会社 | 圧力検出装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0526515Y2 (ja) | 1993-07-05 |
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