JPH02190283A - Robot hand - Google Patents

Robot hand

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JPH02190283A
JPH02190283A JP1262289A JP1262289A JPH02190283A JP H02190283 A JPH02190283 A JP H02190283A JP 1262289 A JP1262289 A JP 1262289A JP 1262289 A JP1262289 A JP 1262289A JP H02190283 A JPH02190283 A JP H02190283A
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JP
Japan
Prior art keywords
belt
moving mechanism
robot hand
fingers
dust
Prior art date
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Pending
Application number
JP1262289A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yasuki Yamamoto
山本 泰機
Nobuhiko Onda
信彦 恩田
Hitoshi Komoriya
均 小森谷
Fumiaki Akitani
秋谷 文明
Hidetoshi Nogo
野吾 英俊
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
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Publication of JPH02190283A publication Critical patent/JPH02190283A/en
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Abstract

PURPOSE:To prevent diffusion of dust by a method wherein fingers are secured to a moving mechanism through a belt, and a suction means to bring the interior covered with the belt into a negative pressure state is provided. CONSTITUTION:A moving mechanism 11 is arranged in a belt 13 maintained in a negative pressure state by a suction means 15. Fingers 14a and 14b are moved together with the belt 13 by means of the moving mechanism 11, and a part is grasped by means of the fingers 14a and 14b. Dust generated by operation of the moving mechanism 11 is sucked by the suction means 15, and is prevented from diffusion to the outside. In this case, since the belt 13 is in a state to make non-contact with frames 9 and 10, dust is prevented from generation due to slide.

Description

【発明の詳細な説明】 〔概 要〕 ロボットハンドの構造に関し、 ロボットハンドから発生する塵埃のクリーンルーム内へ
の飛散を防止することを目的とし、上フレームと下フレ
ームとの間に設けられた移動機構と、上フレームと下フ
レームの対向面に移動機構を囲むように設けられた無端
状の溝と、溝に両側縁部を無接触に嵌入して回動自在に
移動機構を覆う無端帯状のベルトと、移動機構にベルト
を介して固定され、移動機構に依ってベルトと共に移動
する指と、ベルトで覆われた内部を負圧にする吸引手段
とを設けて構成する。
[Detailed Description of the Invention] [Summary] Regarding the structure of the robot hand, a movable structure is provided between the upper frame and the lower frame for the purpose of preventing dust generated from the robot hand from scattering into the clean room. the mechanism, an endless groove provided on the opposing surfaces of the upper frame and the lower frame to surround the moving mechanism, and an endless band-shaped groove that fits into the groove without contact and rotatably covers the moving mechanism. The device includes a belt, a finger that is fixed to a moving mechanism via the belt and moves together with the belt by the moving mechanism, and a suction means that applies negative pressure to the inside covered with the belt.

〔産業上の利用分野〕[Industrial application field]

本発明は、ロボットハンドの構造に関する。 The present invention relates to the structure of a robot hand.

工場自動化(F A : Factory Autom
ation)の進展に伴い、各種の作業にロボットの導
入が活発に行われている。
Factory Automation (FA)
With the advancement of technology, robots are being actively introduced for various tasks.

クリーンルーム内での作業も多くなり、ロボット自体が
作業に伴って発生する塵埃の拡散が問題となっており、
対策が要望されている。
As more and more work is being done in clean rooms, the spread of dust generated by the robots themselves has become a problem.
Measures are required.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

第4図の斜視図に示す如くロボットハンド4は、2本の
対向した指1a及び1bを有し、ケース2に設けられた
スリン1−3aをケース内の移動機構(図示省略)に依
って対向方向に正逆移動し、部品を把持するようになっ
ている。
As shown in the perspective view of FIG. 4, the robot hand 4 has two opposing fingers 1a and 1b, and moves the ring 1-3a provided in the case 2 by a moving mechanism (not shown) in the case. It moves forward and backward in opposite directions to grip parts.

同図に示すロボットハンド4は、移動機構として例えば
モータやボールネジ或いはベルト等を使用し、モータの
回転運動を直線運動に変換するようにしたもので、指1
a及び1bのストロークが例えば0〜50fflI11
と大きいものである。
The robot hand 4 shown in the figure uses, for example, a motor, a ball screw, or a belt as a moving mechanism, and converts the rotational motion of the motor into linear motion.
The strokes of a and 1b are, for example, 0 to 50fflI11
It's a big one.

一方、第5図の斜視図に示すロボットハンド5は、基本
構造が第4図と同一のもので、移動機構として例えばモ
ータやエアシリンダを使用したもので、ストロークが例
えば0〜10+n+nと小さいものである。
On the other hand, the robot hand 5 shown in the perspective view of FIG. 5 has the same basic structure as that in FIG. It is.

斯かる構成のロボットハンド4及び5をクリーンルーム
内で駆動する場合には、ロボットハンドの部品類の摺動
等に依って発生する塵埃の拡散が問題となる。
When the robot hands 4 and 5 having such a configuration are driven in a clean room, there is a problem of the diffusion of dust generated due to the sliding of parts of the robot hands.

この拡散を防止する為に、第5図に示すストロークが小
さいロボットハンド5に於いては、指1a及び1bに夫
々円筒型蛇腹7を取付けてスリット3bを覆うようにし
ている。
In order to prevent this diffusion, in the robot hand 5 with a small stroke shown in FIG. 5, cylindrical bellows 7 are attached to each of the fingers 1a and 1b to cover the slit 3b.

然し乍ら、第4図に示すストロークが大きいロボットハ
ンド4は、スリット3aのストロークが長い為に円筒型
蛇腹7を用いるわけにはいかず、ケース2に吸引バイブ
ロを設け、図示省略した真空ポンプに依って内部を負圧
にし、発生した塵埃を吸引するようにしている。
However, since the stroke of the slit 3a is long, the robot hand 4 shown in FIG. Negative pressure is created inside to suck out generated dust.

この吸引の効率を上げる為に、出来るだけスリン)3a
の幅を狭くしているが、更に効果を上げる為に構造部品
類として特別に塵埃の発生を抑えたクリーンルーム用部
品を使用したり、或いは図示の如くハンド自体を密閉カ
バー8で覆ったりしていた。
In order to increase the efficiency of this suction, as much as possible) 3a
Although the width of the hand is narrowed, in order to further improve the effect, clean room parts specially designed to suppress the generation of dust are used as structural parts, or the hand itself is covered with an airtight cover 8 as shown in the figure. Ta.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problem to be solved by the invention]

以上の説明のようにして、塵埃のクリーンルーム内への
放散を防止していたが、スリンt−3aの幅を狭くする
にも限界があり、クリーンルーム用部品は極めて高価で
あり、密閉カバーは寿命が短く且つ信頬性に欠けると言
う問題点があった。
As explained above, dust was prevented from dispersing into the clean room, but there is a limit to narrowing the width of Surin T-3A, clean room parts are extremely expensive, and the airtight cover has a limited lifespan. The problem was that it was short and lacked credibility.

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

上記目的を達成する為に本発明に於いては、第1図の原
理説明斜視図に示す如く、上フレーム9と下フレーム1
0との間に設けられた移動機構11と、上フレーム9と
下フレーム10の対向面に移動機構11を囲むように設
けられた無端状の溝12a、12bと、溝12a、12
bに両側縁部13a、13bを無接触に嵌入して回動自
在に移動機構11を覆う無端帯状のベルト13と、移動
機構11にベルト13を介して固定され、移動機構11
に依って該ベルト13と共に移動する指14a、14b
と、ベルト13で覆われた内部を負圧にする吸引手段1
5とを設けて成るものである。
In order to achieve the above object, the present invention has an upper frame 9 and a lower frame 1 as shown in a perspective view explaining the principle in FIG.
a moving mechanism 11 provided between the upper frame 9 and the lower frame 10, endless grooves 12a and 12b provided so as to surround the moving mechanism 11, and grooves 12a and 12
an endless belt-shaped belt 13 that rotatably covers the moving mechanism 11 by fitting both side edges 13a and 13b without contact into b;
fingers 14a, 14b that move together with the belt 13 depending on the
and a suction means 1 that creates a negative pressure inside the belt 13.
5.

〔作用〕[Effect]

移動@構に依る指の移動はベルトを介して行われる。 Movement of the fingers according to the movement mechanism is carried out via a belt.

移動機構は吸引手段に依って負圧となっているベルト内
に位置し、移動機構が発生する塵埃は外部に拡散される
こと無く吸引される。
The moving mechanism is located within the belt which is under negative pressure by a suction means, and the dust generated by the moving mechanism is sucked without being diffused to the outside.

又、ベルトは上下フレームとは無接触であって摺動に依
る塵埃の発生は無い。
Furthermore, the belt does not come into contact with the upper and lower frames, and no dust is generated due to sliding movement.

〔実施例] 第1図乃至第3図は本発明の一実施例である。〔Example] 1 to 3 show one embodiment of the present invention.

全図を通じて同一部分には同一符号を付して示した。Identical parts are designated by the same reference numerals throughout the figures.

本発明に於いては、第1図の原理説明斜視図に示ス如く
、上フレーム9と下フレーム10との間に設けられた移
動機構11と、上フレーム9と下フレーム10の対向面
に移動機構11を囲むように設けられた無端状の溝12
a、12bと、溝12a、12bに両側縁部13a、1
3bを無接触に嵌入して回動自在に移動機構11を覆う
無端帯状のベルト(例えばスチールベル))13と、移
動機構11にベルト13を介して固定され、移動機構1
1に依って該ベルト13と共に移動する指14a及び1
4b(図示省略)と、ベルト13で覆われた内部を負圧
にする吸引手段15とを設けて成るものであって、移動
機構11はモータ17と、モータ17の回転を検出する
エンコーダ18と、モータ17に依って回転するボール
ネジ19と、一端をボールネジ19に螺合し指の開閉方
向の力を検出する力検出用平行バネを内蔵した可動ユニ
ット20と、可動ユニット20の他端部を摺動自在に係
合してボールネジ19に並設したリニアガイド21とか
ら成る。
In the present invention, as shown in the perspective view explaining the principle in FIG. An endless groove 12 provided to surround the moving mechanism 11
a, 12b, and both side edges 13a, 1 in the grooves 12a, 12b.
3b without contact and rotatably covers the moving mechanism 11. An endless belt (for example, a steel bell) 13 that is fixed to the moving mechanism 11 via the belt 13, and
fingers 14a and 1 that move together with the belt 13 due to
4b (not shown) and a suction means 15 that makes the inside covered with a belt 13 a negative pressure. , a ball screw 19 rotated by a motor 17, a movable unit 20 incorporating a force-detecting parallel spring whose one end is screwed onto the ball screw 19 and detects the force in the opening/closing direction of the finger, and the other end of the movable unit 20. The linear guide 21 is slidably engaged with the ball screw 19 and arranged in parallel with the ball screw 19.

従ってモータ17の回転運動は、ボールネジ19及び可
動ユニット20に依って直線運動に変換され、可動ユニ
ット20にベルト13を挟んで取付けられた指14a、
14bは矢印A−Bのように移動する。
Therefore, the rotational motion of the motor 17 is converted into linear motion by the ball screw 19 and the movable unit 20, and the finger 14a attached to the movable unit 20 with the belt 13 in between,
14b moves in the direction of arrow A-B.

この時ベルト13は、可動ユニット20と指14a11
4bの移動と共に回動する。
At this time, the belt 13 is connected to the movable unit 20 and the finger 14a11.
It rotates with the movement of 4b.

この第1図に示す機構は、第2図(a)の平面図に示す
ように基板23(下フレームと同じ)上に2個並設され
てロボットハンド16を構成している。
Two of the mechanisms shown in FIG. 1 are arranged side by side on a substrate 23 (same as the lower frame) to form a robot hand 16, as shown in the plan view of FIG. 2(a).

実施例に於いて移動機構11は、第2図(b)の側面図
に示す如くモータ17とエンコーダ18を下段に、ボー
ルネジ19と可動ユニット20と、リニアガイド21(
同図(a)に図示)とを上段に上下2段に構成し、モー
タ17の回転は減速ギヤ22を介してボールネジ19に
伝達されるようになっている。
In the embodiment, the moving mechanism 11 includes a motor 17 and an encoder 18 in the lower stage, a ball screw 19, a movable unit 20, and a linear guide 21 (as shown in the side view of FIG. 2(b)).
The rotation of the motor 17 is transmitted to the ball screw 19 via the reduction gear 22.

又、ベルト13は、第1図及び第2図(a)及び同図俣
)に示す如く、その両端が例えばポリアミド樹脂或いは
セラミック等の円弧状の摺動ガイド24に依って摺動自
在に支持されており、ベルト13の内面に突設したピン
25が摺動ガイド24に設けたガイド溝26に係合し、
ベルト13の回動に伴う上下方向のずれを防止している
Further, as shown in FIGS. 1 and 2 (a), both ends of the belt 13 are slidably supported by arc-shaped sliding guides 24 made of polyamide resin or ceramic, for example. The pin 25 protruding from the inner surface of the belt 13 engages with the guide groove 26 provided in the sliding guide 24.
This prevents the belt 13 from shifting in the vertical direction due to its rotation.

指14a及び14bの先端はL字型に屈曲しており、基
板23のスリット23aのスリットから突出し、部品を
把持するようになっている。
The tips of the fingers 14a and 14b are bent into an L-shape and protrude from the slit 23a of the board 23 to grip the component.

第3図(a)の平面図、及び同図(b)に示す同図(a
)のC−D断面図は、他の実施例のロボットハンド33
であって、第1の実施例の駆動系がボールネジであった
ものに対して、タイミングベルトを使用したことを特徴
としている。
The plan view of FIG. 3(a) and the same diagram (a) shown in FIG. 3(b).
) is a cross-sectional view of the robot hand 33 of another embodiment.
This embodiment is characterized in that a timing belt is used in contrast to the ball screw drive system of the first embodiment.

即ち、移動機構30は、モータ17と、エンコーダ18
(同図(b)に図示)と、タイミングプーリ28a及び
28bに依って張架されモータ17に依って回動するタ
イミングベルト27と、同図(a)に示す如くタイミン
グベルト27の長手方向に設けられたリニアガイド29
と、一端をタイミングベルト27に固定シ、他端部をリ
ニアガイド29に摺動自在に係合した可動ユニット31
とから構成されている。
That is, the moving mechanism 30 includes the motor 17 and the encoder 18.
(shown in FIG. 3(b)), a timing belt 27 stretched by timing pulleys 28a and 28b and rotated by a motor 17, and a timing belt 27 in the longitudinal direction as shown in FIG. Linear guide 29 provided
and a movable unit 31 having one end fixed to the timing belt 27 and the other end slidably engaged with the linear guide 29.
It is composed of.

移動機構30の周囲を回動可能に覆うベル1−13は、
タイミングベルト27を挟んで可動ユニット31に取付
けられた指間閉方向検出平行バネユニット32に固定さ
れ、更に指14a及び14bは、ベルト13を挟んで指
間閉方向検出平行バネユニット32に固定されている。
The bell 1-13 rotatably covers the moving mechanism 30,
The fingers 14a and 14b are fixed to a finger-to-finger closing direction detection parallel spring unit 32 attached to a movable unit 31 with the timing belt 27 in between, and the fingers 14a and 14b are fixed to the finger-to-finger closure direction detection parallel spring unit 32 with the belt 13 in between. ing.

従って、モータ17の回転でタイミングベルト27が回
動すると、指間閉方向検出平行バネユニット32及びベ
ルト13を介して指14a及び14bは夫々矢印A−B
の如く直線運動をする。
Therefore, when the timing belt 27 rotates due to the rotation of the motor 17, the fingers 14a and 14b are moved along the arrows A-B through the parallel spring unit 32 and the belt 13, respectively.
It moves in a straight line like this.

上記した何れのロボットハンド16及び33も図示省略
した真空ポンプに依る吸引手段15(図は吸引パイプを
示している)を備えており、ヘルド13の内部は常に負
圧になるように構成されている。
Both of the robot hands 16 and 33 described above are equipped with a suction means 15 (the figure shows a suction pipe) using a vacuum pump (not shown), and the inside of the heald 13 is configured to always have negative pressure. There is.

以上の説明のように、移動機構11或いは30に依る指
14a及び14bの移動は、移動機構11或いは30を
覆うベルト13を介して行われる。
As described above, the fingers 14a and 14b are moved by the moving mechanism 11 or 30 via the belt 13 that covers the moving mechanism 11 or 30.

この移動機構11或いは30は、吸引手段15に依って
負圧となっているベルト13内に位置しており、移動機
構が発生する塵埃は、外部に拡散されること無く真空ポ
ンプに依って速やかに吸引される。
The moving mechanism 11 or 30 is located within the belt 13 which is under negative pressure by the suction means 15, and the dust generated by the moving mechanism is quickly removed by the vacuum pump without being diffused to the outside. is attracted to.

又、ベルト13は上下フレーム9及び23(第3図に於
いては34.35)とは無接触であって摺動に依る塵埃
の発生は無い。
Further, the belt 13 does not come into contact with the upper and lower frames 9 and 23 (34.35 in FIG. 3), and no dust is generated due to sliding movement.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上説明したように、本発明のロボットハンドに依るク
リーンルーム内の作業に於いて、塵埃の拡散は無くなり
、又、構成部品として高価なりリーンルーム用の部品は
不要となる等、経済上及び産業上に多大の効果を奏する
As explained above, when working in a clean room using the robot hand of the present invention, there is no diffusion of dust, and there is no need for expensive components for lean rooms, which is economical and industrial. It has a great effect on

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明のロボットハンドの原理説明斜視図、 第2図(a)は本発明のロボットハンドの平面図、第2
図(b)は本発明のロボットハンドの側面図、第3図(
a)は他の実施例を示す平面図、第3図(b)は同図(
a)のC−D断面図、第4図はストロークが大きい従来
のロボットハンドの斜視図、 第5図はストロークが小さい従来のロボットハンドの斜
視図である。 図に於いて、 1 a、1 b、14a、、14bは指、2はケース、 3a、3b、23aはスリット、 4.5.16.33はロボットハンド、6は吸引パイプ
、    7は蛇腹、 8は密閉カバー    9.34は上フレーム、10.
35は下フレーム、 11.30は移動機構、12a、
12bは溝、    13はベルト、15は吸引手段、
     17はモータ、18はエンコーダ、    
19はボールネジ、20.31は可動ユニット、21.
29はリニアガイド、22は減速ギヤ、    23は
基板、24は摺動ガイド、   25はピン、26はガ
イド溝、     27はタイミングベルト、28a、
28bはタイミングプーリ、 32は相開閉方向検出平行バネユニットである。 イでこIフ焚8F!!4P1゛ε、Aミず」匹行わ〔〕
(0,) 子・発明n0乍・・トl\ンドn斤1里蓄地B月δ才視
記%/   記 署3記
FIG. 1 is a perspective view explaining the principle of the robot hand of the present invention, FIG. 2(a) is a plan view of the robot hand of the present invention, and FIG.
Figure (b) is a side view of the robot hand of the present invention, and Figure 3 (
a) is a plan view showing another embodiment, and FIG. 3(b) is a plan view showing another embodiment.
FIG. 4 is a perspective view of a conventional robot hand with a large stroke, and FIG. 5 is a perspective view of a conventional robot hand with a small stroke. In the figure, 1 a, 1 b, 14 a, 14 b are fingers, 2 is a case, 3 a, 3 b, 23 a are slits, 4, 5, 16, 33 are robot hands, 6 is a suction pipe, 7 is a bellows, 8 is a sealing cover, 9.34 is an upper frame, 10.
35 is the lower frame, 11.30 is the moving mechanism, 12a,
12b is a groove, 13 is a belt, 15 is a suction means,
17 is a motor, 18 is an encoder,
19 is a ball screw, 20.31 is a movable unit, 21.
29 is a linear guide, 22 is a reduction gear, 23 is a board, 24 is a sliding guide, 25 is a pin, 26 is a guide groove, 27 is a timing belt, 28a,
28b is a timing pulley, and 32 is a phase opening/closing direction detection parallel spring unit. Ideko I Futaki 8F! ! 4P1゛ε, A Mizu'' animals performed []
(0,) Child/invention n0 乍...tl\nd n catty 1 ri storage land B month δ yearly sightseeing %/notation 3 notes

Claims (1)

【特許請求の範囲】 上フレーム(9)と下フレーム(10)との間に設けら
れた移動機構(11)と、 前記上フレーム(9)と下フレーム(10)の対向面に
前記移動機構(11)を囲むように設けられた無端状の
溝(12a、12b)と、 前記溝(12a、12b)に両側縁部(13a、13b
)を無接触に嵌入して回動自在に前記移動機構(11)
を覆う無端帯状のベルト(13)と、 前記移動機構(11)に前記ベルト(13)を介して固
定され、該移動機構(11)に依って該ベルト(13)
と共に移動する指(14a、14b)と、 前記ベルト(13)で覆われた内部を負圧にする吸引手
段(15)とを設けて成ることを特徴とするロボットハ
ンド。
[Claims] A moving mechanism (11) provided between an upper frame (9) and a lower frame (10), and a moving mechanism provided on opposing surfaces of the upper frame (9) and lower frame (10). (11) and an endless groove (12a, 12b) provided so as to surround the groove (12a, 12b), and both side edges (13a, 13b)
) is inserted into the moving mechanism (11) without contact so as to be rotatable.
an endless belt-like belt (13) that covers the moving mechanism (11) via the belt (13);
A robot hand characterized in that it is provided with fingers (14a, 14b) that move together with the robot hand, and a suction means (15) that applies negative pressure to the inside covered with the belt (13).
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103386690A (en) * 2013-07-22 2013-11-13 山东省科学院自动化研究所 Double-finger double-driving translation clamping type flexible grip and control method
DE102008057307B4 (en) 2007-11-15 2024-02-29 GIMATIC S.r.l. Pneumatic linear gripper

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DE102008057307B4 (en) 2007-11-15 2024-02-29 GIMATIC S.r.l. Pneumatic linear gripper
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