JPH02165955A - インクジェット記録装置 - Google Patents

インクジェット記録装置

Info

Publication number
JPH02165955A
JPH02165955A JP63321507A JP32150788A JPH02165955A JP H02165955 A JPH02165955 A JP H02165955A JP 63321507 A JP63321507 A JP 63321507A JP 32150788 A JP32150788 A JP 32150788A JP H02165955 A JPH02165955 A JP H02165955A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
recording head
recording
functional element
diode
ink
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP63321507A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2644021B2 (ja
Inventor
Asao Saito
斉藤 朝雄
Ryoichi Koizumi
小泉 亮一
Yoshiaki Takayanagi
義章 高柳
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP32150788A priority Critical patent/JP2644021B2/ja
Priority to EP89123249A priority patent/EP0374762B1/en
Priority to DE68921712T priority patent/DE68921712T2/de
Priority to KR1019890018699A priority patent/KR940002176B1/ko
Publication of JPH02165955A publication Critical patent/JPH02165955A/ja
Priority to US08/131,409 priority patent/US5638097A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP2644021B2 publication Critical patent/JP2644021B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J25/00Actions or mechanisms not otherwise provided for
    • B41J25/34Bodily-changeable print heads or carriages
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/14Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2002/14379Edge shooter

Landscapes

  • Ink Jet (AREA)
  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明はインクジェット記録装置および該装置に装着さ
れる記録ヘッドに関する。
[従来の技術] この種のインクジェット記録ヘッドのうち吐出エネルギ
ー発生素子として電気熱変換素子を用いた記録ヘッドは
、記録用のインク液滴を吐出して飛翔液滴を形成するた
めのインク吐出口を高密度に配列することができるため
、解像度の高い記録を行なうことが可能であり、また、
記録ヘッドとして全体的なコンパクト化も容易であると
いう利点を有する。また、この種の記録ヘッドは最近の
半導体分野における技術の進歩と信頼性の向上が著しい
IC技術やマイクロ加工技術の長所を十二分に活用して
製造できるため、上述したようなマルチノズル化および
高密度実装化が容易で、しかも大量生産時の生産性が良
く製造コストの低廉化が可能となる。
第7図はこの種の記録ヘッドの構成例を示す分解斜視図
である。図において、27は例えばシリコン基板形態の
ヒータボードであり、ヒータボード27上には吐出エネ
ルギー発生手段としての電気熱変換体(吐出ヒータ)2
9と、これに電力を供Mするへ1等の配線28とが成膜
技術によって形成される。
30はヒータボード27と接着されることによりインク
ジェット記録ヘッドを構成する天板であり、天板30に
はインク吐出口26に連通ずる熱作用室としてのインク
液路25と各々のインク液路25にインクを安定して供
給するための共通液室23とを構成するための凹部が形
成される。また、天板3oには共通液室23にインクを
供給するための供給口24が設けられる。
この構成において、記録信号に応じた通電を行なうと、
ヒータ29が発熱することによりインク液室25内のイ
ンク中に気泡が発生し、この気泡の膨張収縮によって吐
出口26からインク液滴が吐出される。
一方、インクジェット記録ヘッドは、装置において、記
録動作に伴なう劣下が最も著しい部分である。とりわけ
電気熱変換素子を用いた記録ヘッドは上述したようにイ
ンク吐出動作にかかる熱作用の影當を最も受ける部分で
あり、この熱作用によるヘッド構成部材の変質、変形が
進行し、記録ヘッドが本来有する性能を十分に発揮でき
なくなる恐れがある。
従って、インクジェット記録装置において、記録ヘッド
を交換可能な構成とすること、すなわち、いわゆるディ
スポーザブルな記録ヘッドを用いた構成とすることは必
然的な要請であり、また、上述したヘッド製造コストの
低廉化は記録ヘッドのディスポーザブル化を可能とする
ものであり、従来よりこのような記録ヘッドが種々提案
されてぎた。
また、インク供給源としてのインクタンクと記録ヘッド
とを一体化したカートリッジタイプのものをディスポー
ザブル化し、装置本体に容易に着脱できるようにした構
成も種々提案されている。
これら記録ヘットのディスポーザブルな構成により、記
録ヘッドの故障等に容易かつ迅速に対処できるようにな
り、また上記カートリッジタイプのものではインク補給
も簡単に行うことが可能となる。
このようなディスポーザブルの記録ヘッドまたはカート
リッジを装着本体に装着するにあたっては、双方に設け
たコネクタ形態の電気結合部を結合させることにより電
気的接続が得られるようにするのが一般的である。これ
により装置本体側の制御部から記録ヘッドの電気熱変換
体への駆動信号の伝達が可能となるとともに、記録ヘッ
ドあるいはカートリッジから制御部への各種状態信号の
送信が可能となる。
[発明が解決しようとする課題] ところで、ディスポーザブルな記録ヘッドを用いる装置
にあっては、新たな記録ヘッドを装着した場合、あるい
は−度取りはずした記録ヘッドを再装着した場合に記録
画像の画質が劣下したり、装置に不具合が生じる可能性
がある。これは、装着される記録ヘッド個々の動作特性
が、記録装置本体に対する相対的なばらつきを有するこ
とに起因するものであり、この相対的な動作特性のばら
つきは、製造過程、経時変化、製品管理条件等によるば
らつきが累積されて生じる。
また、仕様の異なる記録ヘッドを誤って装着することに
よって上記不具合が生じる可能性もある。すなわち、仕
様の異なる記録ヘッドが、例えば製造コストを低廉化す
るために同一の外装で製造される場合には、上述のよう
に誤って装着する可能性がある。このような仕様の異な
った記録ヘッドが装着された場合、例えば電気熱変換体
やこれを駆動するための機能素子の特性と本体側制御部
との不適合により、記録画像の画質が劣下するばかりで
なく、記録ヘッドや装置本体そのものに悪影響を与える
場合がある。
本発明は上述のような問題点を解消するためになされた
ものであり、その目的とするところは記録ヘッド個々が
有する特性を顕著に表わす部分の一つであり、吐出エネ
ルギー発生素子を選択的に駆動するために配設される機
能素子の動作特性を予め調べることにより、装着される
記録ヘッドが適正なものか否かを判別することが可能な
インクジェット記録装置および該装置に装着される記録
ヘッドを提供することにある。
[課題を解決するための手段] そのために本発明では、インクを吐出するための吐出口
と、吐出口からインクを吐出するために利用されるエネ
ルギーを発生する吐出エネルギー発生素子と、吐出エネ
ルギー発生素子を画像データに応じて駆動するための半
導体機能素子とを有する記録ヘッドと、記録ヘッドを着
脱自在に保持する保持手段と、保持手段によって記録ヘ
ッドが保持されているときに、半導体機能素子に所定の
逆耐電圧を印加し、印加の後、半導体機能素子の導通を
調べ、導通しているか否かに基き記録ヘッドの適否を判
別する記録ヘッド検査処理手段を有する装置本体とを具
えたことを特徴とする。
[作 用] 以上の構成によれば、半導体機能素子に装置本体に応じ
て定められる所定の逆耐電圧を印加し、この印加による
半導体機能素子の導通が検査され、この結果によって装
着された記録ヘッドの装置本体に相対した適否が判別さ
れる。
[実施例] 以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する
第1図は本発明の一実施例に係るインクジェット記録ヘ
ッドの外観斜視図を示し、インクタンクを一体としたデ
ィスポーザブルなものである。なお、同図において第7
図に示したのと同様の要素には同一の符号を付してその
説明を省略する。
同図に示すようにインクタンクを一体としたヘッドカー
トリッジは、インク吐出口26を有しヒータボード27
と天板30とを接合して構成される記録ヘッドと、イン
クを貯留するためのインクタンク50とから構成される
。インクタンク5oはその内部にインク吸収体を配設し
て貯留するインクを含浸する。また、51はインクタン
ク5oから供給されるインクを一時貯留し記録ヘッドに
直接インクを供給するための供給タンクである。
第2図は第1図に示したヘッドカートリッジ14が装着
されるインクジェット記録装置の斜視図である。
同図に示すように、ヘッドカートリッジ14は、保持手
段としての押さえ部材41によりキャリッジ15の上に
固定され、この固定時には不図示のスイッチが動作して
後述のCPUに記録ヘッドの装着を知らせる。これら記
録ヘッドはシャフト21に沿って長平方向に往復動可能
となっている。記録ヘッドより吐出されたインクは、記
録ヘッドと微少間隔をおいて、プラテン19に記録面を
規制された記録媒体18に到達し、記録媒体18上に画
像を形成する。
記録ヘッドには、ケーブル16およびこれに結合する結
合部を介して適宜のデータ供給源より画像データに応じ
た吐出信号が供給される。ヘッドカートリッジは、用い
るインク色等に応じて、1ないし複数個(図では2個)
を設けることができる。
なお、第2図において、17はキャリッジ15をシャフ
ト21に沿って走査させるためのキャリッジモータ、2
2はモータ17の駆動力をキャリッジ15に伝達するワ
イヤである。また、20はプラテンローラ19に結合し
て記録媒体18を搬送させるためのフィードモータであ
る。
第3図は、第1図、第2図に示したインクジェット記録
ヘッドを構成するヒータボードの平面図であり、具体的
には第7図示の構成に適用可能なものである。
同図において27は本例に係るヒータボード、3は後述
される電気熱変換素子よりなる吐出ヒータ部である。4
は端子であり、ワイヤボンディングにより外部と接続さ
れる。2は記録ヘッドの温度を検出しヘッド温度を適切
に制御するために設けられた温度センサであり、吐出ヒ
ータ部3等と同じ成膜プロセスにより吐出ヒータ部3に
形成しである。5は吐出エネルギー発生素子としての吐
出ヒータ(電気熱変換素子)である。また、8はセンサ
2と同様ヘッド温度を適切に制御するために設けられた
加熱素子としての保温ヒータである。
また、10は吐出ヒータ5を画像データに応じて選択的
に駆動するために設けられたダイオードアレイである。
さらに、9は抵抗線であり、後述の逆耐電圧検査処理に
て用いられる。
第4図は第3図に示したヒータボードの部分的な縦断面
図であり、吐出ヒータ5とこれに対応するダイオードア
レイ10の1つのダイオードセル100を共通のN型シ
リコン基板上に設けた構成を示す。図において、N型シ
リコン基板101の一部にpウェル拡散層102が形成
される。pウェル層102の周囲にはダイオードのアノ
ード電極110を具えた30層103が形成される。ま
た、シリコン基板101にはダイオードのカソード電極
111および個々のダイオード間の寄生トランジスタ動
作を規制するためのキャップ電極109をそれぞれ具え
たn“層107および105が各々形成される。
これらのダイオード構造の上部は絶縁層108で被覆さ
れ、各電極110,111にはそれぞれ抵抗体配線およ
びアルミ配線112および113,114および115
がそれぞれ接続される。このアルミ配線115および抵
抗体配線114によって発熱抵抗体としての吐出ヒータ
5が構成される。
キャップ電極用n“層105の上のアルミ電極109は
n“層105と同様ダイオードの周囲を囲むように配線
され、図示されていない引出し配線により、外部からキ
ャップ電位が与えられる。ダイオードはアノード電極1
10とカソード電極111との間に形成され、アノード
電極110は抵抗体配線112およびアルミ配線113
により記録ヘッドの外部端子まで引き出され、このアノ
ード電極110は駆動方式に応じ、通常複数個のアノー
ド電極を接続するコモン電極に接続する。
第S図(A)は第3図に示したヒータボードの吐出ヒー
タとダイオードアレイよりなる回路の等価回路、および
本発明の一実施例にかかる逆耐電圧検査制御の構成を示
す回路ブロック図である。
図において、5および100はそれぞれ前述した吐出ヒ
ータおよびダイオードセルであり、これらダイオードセ
ル100によってダイオードアレイlOが形成される。
313はコモン電極配線であり、第4図にて上述したア
ノード電極に接続する。
また、500はCPUであり、第6図にて後述される処
理手順を格納するROM 、およびこの処理においてワ
ークエリアとして用いられるRAMを有し、ダイオード
に逆耐電圧を印加する処理を実行する。なお、CPU5
00は記録装置全体の制御をも行うものであり、またt
l:PU500により吐出ヒータ5を駆動するための駆
動回路および信号線等の構成は同図において省略されて
いる。501はCPU500の制御に基き、抵抗線9へ
の検査電圧の印加9ダイオードセルIOQへの逆耐電圧
の印加、および印加後のダイオードセル100の導通を
調べるための電圧印加を行う逆耐電圧検査回路であるに
れらCPt1500および逆耐電圧検査回路501は装
置本体側に配設される。
第6図は本発明の一実施例にかかる処理手順のフローチ
ャートであり、本処理は記録ヘッドを装置本体に装着し
たときに起動され、電気熱変換素子を駆動するために設
けられたダイオードの特性を検査するための処理である
まず、ステップ560において、記録ヘッドの装着に伴
うスイッチ動作により、cpusooへ信号が出力され
、記録ヘッド装着を検知するとステップS81へ進み、
抵抗線9に微少電流が流れるよう通電し、ステップS6
2で抵抗線9が導通しているか否かを判断する。
否定判断であれば本処理を終了し、肯定判断であればス
テップS63へ進み、ダイオードセル100に所定の逆
耐電圧を印加する。この逆耐電圧の値は装置本体が正規
に装着すべき記録ヘッドを構成するダイオードによって
定まるもの、であり、実際のダイオードの逆耐電圧より
も小さい電圧値に設定されている。また、逆耐電圧の印
加は必ずしも全てのダイオードセルに行われる必要はな
く、例えば共通のコモン電極配線毎に1個ずつ印加する
ようにしてもよい。次に、ステップ564でダイオード
の導通を検査するため逆耐電圧を印加したダイオードセ
ルに所定の順方向電圧を印加し、ステップS65におい
てダイオードセルが導通しているか否かを判断する。
ここで、導通していればステップS86へ進み、記録装
置による記録動作を許可するフラグをONとし、ステッ
プS67で抵抗線9に許容量以上の電流を流し、熱溶断
して本処理を終了する。このステップS67の処理およ
びステップ562の判断によって、逆耐電圧の印加は装
着時の1回のみ行われ、例えば同一の記録ヘッドを再装
着した場合などは逆耐電圧の印加は行われない、これに
より、いたずらにダイオードに逆耐電圧を印加してダイ
オードを劣化させることを防止することが可能となる。
ステップ555で否定判断の場合、すなわち逆耐電圧の
印加によりダイオードセルもしくは、吐出ヒータが破損
し導通しなくなった場合は装着された記録ヘッドが装置
本体に相対して不適なものであると判断し、記録動作を
不許可にするフラグをONとして本処理を終了する。な
お、このフラグをONとする処理と同時にその旨を音声
1表示等で告知するようにしてもよい。
なお、上記実施例では記録ヘッド駆動のための機能素子
としてダイオードが通用される場合を示したが、記録ヘ
ッドとしてトランジスタが用いられる構成も可能である
。この実施例の等価回路図を第5図(B)に示す。この
回路において、トランジスタ402〜404は駆動すべ
き吐出ヒータ5を選択するスイッチング素子として機能
する。この実施例においてもトランジスタに逆耐電圧を
印加する処理を行い本発明の目的を達成することは可能
である。
また、吐出エネルギー発生素子としては吐出ヒータ(電
気熱変換素子)に限定されるものではなく、ピエゾ素子
等の圧力により吐出エネルギーを発生させる素子でもよ
い。
なお、本実施例では、記録ヘッドを最初に装着したと籾
に所定の逆耐電圧をダイオード虹逆方向に印加する構成
であったが、これに限るものではない。例えば電源投入
毎に行うよう構成してもよい。
[発明の効果] 以上の説明から明らかなように、本発明によれば半導体
機能素子に装置本体に応じて定められる所定の逆耐電圧
を印加し、この印加による半導体機能素子の導通が検査
され、この結果によって装着された記録ヘッドの装置本
体に相対した適否が判別される。
この結果、記録ヘッドを装着した後、記録動作を開始す
る前に装着された記録ヘッドが装置本体にとって適切な
ものか否かが判断されるため、不適な2龜ヘッドが装着
されたことによる画質の劣化や装置への悪影響を未然に
防止することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例に係るインクジェット記録ヘ
ッドの外観斜視図、 第2図は第1図に示した記録ヘッドが装置されるインク
ジェット記録装置の斜視図、 第3図は第1図および第2図に示したインクジェット記
録ヘッドを構成するヒータボードの平面図、 第4図は第3図に示したヒータボードの詳細な縦断面図
、 第5図(A)は本発明の一実施例を示す回路ブロック図
、 第5図(B)は本発明の他の実施例に係る回路ブロック
図、 第6図は第5図(A)に示す構成による処理手順のフロ
ーチャート、 第7図はインクジェット記録ヘッドの一般的な主要部構
成を示す分解斜視図である。 5・・・吐出ヒータ(電気熱変換素子)9・・・抵抗線
、 10・・・ダイオードアレイ、 100・・・ダイオードセル、 313.401・・・コモン電極配線、402〜404
・・・トランジスタ、 500・・・cpu 。 501・・・逆耐電圧検査回路。 第1図 第2図 第3図 図 第7図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1)インクを吐出するための吐出口と、該吐出口から前
    記インクを吐出するために利用されるエネルギーを発生
    する吐出エネルギー発生素子と、該吐出エネルギー発生
    素子を画像データに応じて駆動するための半導体機能素
    子とを有する記録ヘッドと、 該記録ヘッドを着脱自在に保持する保持手段と、 該保持手段によって前記記録ヘッドが保持されていると
    きに、前記半導体機能素子に所定の逆耐電圧を印加し、
    当該印加の後、前記半導体機能素子の導通を調べ、当該
    導通しているか否かに基き前記記録ヘッドの適否を判別
    する記録ヘッド検査処理手段を有する装置本体と を具えたことを特徴とするインクジェット記録装置。 2)前記半導体機能素子はダイオード機能素子であるこ
    とを特徴とする請求項1に記載のインクジェット記録装
    置。 3)前記半導体機能素子はトランジスタ機能素子である
    ことを特徴とする請求項1に記載のインクジェット記録
    装置。 4)請求項1ないし3のいずれかの項に記載のインクジ
    ェット記録装置を構成するインクジェット記録ヘッド。
JP32150788A 1988-12-16 1988-12-20 インクジェット記録装置 Expired - Fee Related JP2644021B2 (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP32150788A JP2644021B2 (ja) 1988-12-20 1988-12-20 インクジェット記録装置
EP89123249A EP0374762B1 (en) 1988-12-16 1989-12-15 Recording apparatus to which recording head is detachably mountable
DE68921712T DE68921712T2 (de) 1988-12-16 1989-12-15 Aufzeichnungsvorrichtung mit abnehmbarem Aufzeichnungskopf.
KR1019890018699A KR940002176B1 (ko) 1988-12-16 1989-12-16 기록헤드 착탈형 기록장치
US08/131,409 US5638097A (en) 1988-12-16 1993-10-04 Recording apparatus to which recording head is detachably mounted

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP32150788A JP2644021B2 (ja) 1988-12-20 1988-12-20 インクジェット記録装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH02165955A true JPH02165955A (ja) 1990-06-26
JP2644021B2 JP2644021B2 (ja) 1997-08-25

Family

ID=18133337

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP32150788A Expired - Fee Related JP2644021B2 (ja) 1988-12-16 1988-12-20 インクジェット記録装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2644021B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6050669A (en) * 1991-12-19 2000-04-18 Canon Kabushiki Kaisha Method of controlling an ink-jet recording apparatus according to recording apparatus in which the method is implemented

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6050669A (en) * 1991-12-19 2000-04-18 Canon Kabushiki Kaisha Method of controlling an ink-jet recording apparatus according to recording apparatus in which the method is implemented
US6476926B1 (en) 1991-12-19 2002-11-05 Canon Kabushiki Kaisha Method and apparatus for controlling the amount of ink and the life of the printhead in an ink-jet recording apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
JP2644021B2 (ja) 1997-08-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6293655B1 (en) Liquid ejecting head, head cartridge and liquid ejecting apparatus
EP0376314B1 (en) A liquid jet recording apparatus
US7909423B2 (en) Ink jet recording head
US7862157B2 (en) Ink jet recording head
US8197021B2 (en) Recording head driving method and recording apparatus
JPH1016230A (ja) プリントヘッドおよびプリント装置
KR0172194B1 (ko) 잉크 제트 기록 장치
US5975669A (en) Ink-jet recording apparatus and recording method
JPH0839829A (ja) 記録ヘッド及び該記録ヘッドを有するインクジェット記録装置
JP2793372B2 (ja) インクジェット記録ヘッド,該ヘッド用基板およびインクジェット記録装置
US6371604B1 (en) Ink jet recording head assembly having an urging member for contacting components thereof, the urging member having an ink supply mechanism, and ink jet head cartridge and ink jet apparatus having the same
US8303073B2 (en) Liquid discharge apparatus, connection inspecting method of the same and method for producing the same
JPH02165954A (ja) インクジェット記録装置および該装置に装着される記録ヘッド
JP2675163B2 (ja) インク残量検知装置、該インク残量検知装置を有するインクジェットヘッドカートリッジおよび該カートリッジを搭載したインクジェット記録装置
JP4240125B2 (ja) インクジェットヘッドの製造方法、インクジェットヘッドの検査方法及びインクジェット記録装置
JPH02165955A (ja) インクジェット記録装置
JP2009262510A (ja) インクジェットヘッド用基板、インクジェットヘッドおよび該インクジェットヘッドを備えたインクジェット記録装置
JP2728472B2 (ja) 液体噴射記録装置
JP2644019B2 (ja) インクジェット記録装置
JP2633939B2 (ja) インクジェット記録装置および該装置に装着される記録ヘッド
JP2633940B2 (ja) インクジェット記録装置および該装置に装着される記録ヘッド
US10875301B2 (en) Method of manufacturing an actuator device
JP3372834B2 (ja) インクジェット記録ヘッド、インクジェット記録装置及びインクジェット記録ヘッド用基体
US20220184950A1 (en) Element substrate, liquid ejection head, liquid ejection apparatus, and manufacturing method
JPH03140251A (ja) インクジェット装置

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees