JPH0216566A - Photosensitive resin composition - Google Patents

Photosensitive resin composition

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JPH0216566A
JPH0216566A JP63168453A JP16845388A JPH0216566A JP H0216566 A JPH0216566 A JP H0216566A JP 63168453 A JP63168453 A JP 63168453A JP 16845388 A JP16845388 A JP 16845388A JP H0216566 A JPH0216566 A JP H0216566A
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JP
Japan
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meth
acrylate
resin composition
photosensitive resin
denotes
Prior art date
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JP63168453A
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Japanese (ja)
Inventor
Shigeru Kubota
繁 久保田
Katsue Masui
増井 克江
Norimoto Moriwaki
森脇 紀元
Torahiko Ando
虎彦 安藤
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Mitsubishi Electric Corp
Mitsubishi Rayon Co Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Mitsubishi Rayon Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To provide heat resistance and chemical resistance to the above compsn. and to improve the adhesive property to a substrate by incorporating specific polyurethane (meth)acrylate, linear high-polymer compd. and photopolymn. initiator which forms free radicals by receiving the irradiation of light and at least either of tetrazole and the deriv. thereof. CONSTITUTION:The polyvalent arom. isocyanate expressed by formula I and the polyurethane (meth)acrylate which is obtd. by bringing the (meth)acrylate monoester of dihydric alcohol into reaction and has >=2 (meth)acryloyl groups and >=2 urethane bonds in the molecule are incorporated as essential components into the compsn. The compsn. contains the linear high-polymer compd., the photopolymn. initiator which forms free radical by receiving the irradiation of light and at least either of tetrazole and the deriv. thereof. In formula, (k) denotes 1 or 2, (i) denotes 1 or 2; (m) denotes 1 or 2; P1 - (k-k) and Q1 - (4-1) and R1 - (5-m) denote a hydrogen atom or methyl group; (n) denotes 0-20 integer. The high crosslinking degree is attained and the wet heat resistance are improved in this way; in addition, the adhesive property of a photoresist to a metallic sheet is improved.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は感光性樹脂組成物に関する。さらに詳しくは
、印刷配線板の製造に使用しうる優れた特性を有し、か
つ半田マスクや化学めっき用の保護膜を形成するために
使用しうる感光性樹脂生物に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] This invention relates to a photosensitive resin composition. More specifically, the present invention relates to a photosensitive resin material that has excellent properties that can be used in the production of printed wiring boards and can be used to form solder masks and protective films for chemical plating.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

半田マクスは、半田付を行なう際の半田付領域を制限す
る。S食から銅導体を保護する。導体間の電気絶縁性を
保つなどの目的のためにほどこされる。従来は、エポキ
シ樹脂に代表される熱硬化性樹脂をスクリーン印刷して
いたが、配線パターンの微細化に伴なってスクリーン印
刷方式では満足しうる精度かえられなくなってきており
、ファインパターンをうるためには写真製版法が必要に
なってきている、また、配線密度の向上にともない、導
体間の絶縁性に対する信転性が一層求められるようにな
っており、これらに対する要求も厳しくなってきている
。スクリーン印刷方式では厚い膜を1回の塗布で形成す
ることは困難であり、基板への均一な塗布も困難である
。このばあい、2回3回と重ね印刷を行な、えばそれら
の問題は解決されうるが、印刷の精度は回数が増えるに
したがって低下するとともに工程の煩雑化が問題となる
。このような理由から、半田マスク形成用の感光性樹脂
組成物の開発が望まれている。
The solder mask limits the soldering area when soldering is performed. Protect copper conductors from S corrosion. It is used for purposes such as maintaining electrical insulation between conductors. In the past, thermosetting resins such as epoxy resins were screen printed, but as wiring patterns became finer, screen printing methods were no longer able to achieve satisfactory accuracy. In addition, with the increase in wiring density, the reliability of the insulation between conductors is becoming increasingly required, and the requirements for these are also becoming stricter. . In the screen printing method, it is difficult to form a thick film in one coating, and it is also difficult to uniformly coat the substrate. In this case, these problems can be solved by repeating printing two or three times, but the accuracy of printing decreases as the number of times increases, and the process becomes more complicated. For these reasons, it is desired to develop a photosensitive resin composition for forming a solder mask.

一方、感光性ドライフィルムと称する印刷配線の導体パ
ターン形成に用いられるフォトレジストがあるが、これ
らは半田マスクや化学メツキ用の保護膜の形成に使用し
たとき、耐熱性、耐薬品性などが充分でなく、これらの
用途に使用することができないという問題点がある。
On the other hand, there are photoresists called photosensitive dry films used to form conductor patterns for printed wiring, but these have sufficient heat resistance and chemical resistance when used to form protective films for solder masks and chemical plating. However, there is a problem in that it cannot be used for these purposes.

このような問題を解決するため、半田マスク形成用に使
用可能な感光性エレメントの提案、例えば難燃性を与え
たものに関する特開昭53−56018号公報に記載の
方法、耐冷熱衝撃性を向上させた組成に関する特公昭5
9−23723号公報や特公昭60−1885号公報な
どに記載の方法などの提案がなされている。
In order to solve these problems, we have proposed a photosensitive element that can be used for forming a solder mask, such as the method described in Japanese Patent Application Laid-open No. 53-56018 regarding a photosensitive element that has flame retardancy, and has improved cold and thermal shock resistance. Special Publication on Improved Composition in 1973
The methods described in Japanese Patent Publication No. 9-23723 and Japanese Patent Publication No. 60-1885 have been proposed.

又、特開昭60−240715号公報に、耐電気めっき
性を与えた組成物について記載されている。
Furthermore, JP-A No. 60-240715 describes a composition that provides resistance to electroplating.

又、アディティブ法には多くの利点があるため、基板を
孔あけしたのち全面活性化処理した基板または触媒入り
基板にめっき保護膜を印刷し、必要な導体パターンを無
電解銅めっき法のみにより付加するフル・アディティブ
法、全面に無電解銅めっきを施してめっき保護膜を印刷
し、電気めっき法により必要な導体パターンを形成した
のちめっき保3i膜の導体パターン部分以外の無電解銅
めっきを除去するセミ・アディティブ法および銅張り積
層板を用いスルーホール部分を無電解銅めっき法を用い
て形成するパートリ−・アディティブ法などの方法につ
いて検討がなされている。
In addition, since the additive method has many advantages, after drilling holes in the board, a plating protective film is printed on the board that has been fully activated or a board containing a catalyst, and the necessary conductor pattern is added only by electroless copper plating. Full additive method: Apply electroless copper plating to the entire surface, print a plating protective film, form the necessary conductor pattern by electroplating, and then remove the electroless copper plating other than the conductor pattern part of the plating protection 3i film. Studies have been conducted on methods such as a semi-additive method in which a copper-clad laminate is used and a part-additive method in which through-hole portions are formed using an electroless copper plating method.

これらアディティブ法用の保護膜として、例えば特公昭
61−47182号公報に耐熱性および耐薬品性に優れ
た組成物が提案されている。
As a protective film for these additive methods, a composition having excellent heat resistance and chemical resistance is proposed, for example, in Japanese Patent Publication No. 47182/1982.

〔発明が解決しようとするi!l!題〕しかし、上記特
開昭53−56018号公報、特公昭59−23723
号公報および特公昭60−1885号公報などに提案さ
れているものは、提案の目的である耐熱性あるいは冷熱
衝撃性に優れてはいるが、下記化学めっき用レジストと
して使用するばあいにつぎの問題で発生する。
[The invention tries to solve i! l! Title] However, the above-mentioned Japanese Patent Application Laid-Open No. 53-56018, Japanese Patent Publication No. 59-23723
The products proposed in Japanese Patent Publication No. 1885/1985 have excellent heat resistance or thermal shock resistance, which is the purpose of the proposal, but when used as resists for chemical plating described below, they have the following properties. Occurs with a problem.

すなわち、従来のサブトラクティブ法で配線パターンを
形成する方法に替わって、無電解で必要部分にのみ銅配
線を形成することがきるっために、銅箔のエツチングや
その廃液の処理を省略できる、低コスト化がはかれる。
In other words, instead of the conventional subtractive method of forming wiring patterns, copper wiring can be formed electrolessly only in the necessary areas, so etching of copper foil and treatment of its waste liquid can be omitted. Cost reduction can be achieved.

スルーホール、とくに小径(0,4ta以下)でのスル
ーホールの信輔性を高めることができるなどの多くの利
点を有し、普及してきているアディティブ法用の化学め
っき浴は、PH12〜13 (20℃)の強アルカリ性
で、しかも60〜80℃の高温で処理されるが、このよ
うな苛酷な条件では使用することができない。
Chemical plating baths for additive methods, which have many advantages such as being able to improve the reliability of through holes, especially those with small diameters (0.4 ta or less), have a pH of 12 to 13 (20 Although it is treated under strong alkaline conditions of 60 to 80 degrees Celsius, it cannot be used under such harsh conditions.

又、上記特開昭60−240715号公報に記載の組成
物は、アルカリ現像液でパターン形成を行なうため、本
質的に強アルカリ性の化学めっきに対する耐性を有して
いる。
Furthermore, the composition described in JP-A-60-240715 is essentially resistant to strong alkaline chemical plating because the pattern is formed using an alkaline developer.

又、上記特公昭61−47182号公報に記載の組成物
は、感光性を有しないため写真製版することができず、
微細配線パターンには対処できず、使用しうる範囲に制
限がある。
Furthermore, the composition described in the above-mentioned Japanese Patent Publication No. 61-47182 cannot be photoengraved because it does not have photosensitivity.
It cannot handle fine wiring patterns, and there are limits to its usable range.

この発明はかかる課題を解決するためになされたもので
、耐熱性および耐薬品性を有し、特に化学めっき用保護
膜の形成に使用でき、基板との密着性の向上した感光性
樹脂組成物を得ることを目的とする。
This invention was made in order to solve such problems, and it provides a photosensitive resin composition that has heat resistance and chemical resistance, can be used particularly for forming a protective film for chemical plating, and has improved adhesion to a substrate. The purpose is to obtain.

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

この発明の感光性樹脂組成物は、 tal−数式 (式中、kは1又は2.lは1又は2.mはl又は2、
Pl〜(5−k)は水素原子又はメチル基、口、〜(4
−1)は水素原子又はメチル基、R1−(5−■)は水
素原子又はメチル基、nはO〜20の整数を示す)で示
される多価芳香族イソシアネートおよび2価アルコール
の(メタ)アクリル酸モノエステルを反応させてえられ
、1分子中に2個以上の(メタ)アクリルロイル基及び
2個以上のウレタン結合を有するポリウレタンポリ (
メタ)アクリレート、 [bl線状高分子化合物 fcl光照射を受けて遊離ラジカルを生成する重合開始
剤並びに fdlテトラゾールおよびその誘導体の内の少なくとも
一種を含有するものである。
The photosensitive resin composition of the present invention has the following formula: tal-formula (where k is 1 or 2; l is 1 or 2; m is l or 2;
Pl~(5-k) is a hydrogen atom or a methyl group, ~(4
-1) is a hydrogen atom or a methyl group, R1-(5-■) is a hydrogen atom or a methyl group, n is an integer from O to 20) A polyurethane polyurethane obtained by reacting acrylic monoester and having two or more (meth)acryloyl groups and two or more urethane bonds in one molecule.
meth)acrylate, [bl linear polymer compound fcl A polymerization initiator that generates free radicals upon irradiation with light, and at least one of fdl tetrazole and its derivatives.

〔作用〕[Effect]

この発明の感光性樹脂組成物は、−a式(1)で示され
る多価芳香族イソシアネートのウレタン(メタ)アクリ
レートを必須成分として用いるため、多価芳香族イソシ
アネートを除くイソシアネートからのウレタンアクリレ
ートを感光性樹脂組成物として用いる方法(特公昭59
−23723号公報など)が化学めっき液に対して充分
な耐性を示さないのと比較して、高い温熱耐性を示す。
Since the photosensitive resin composition of the present invention uses urethane (meth)acrylate of polyvalent aromatic isocyanate represented by formula (1) as an essential component, urethane acrylate from isocyanates other than the polyvalent aromatic isocyanate is used as an essential component. Method for use as a photosensitive resin composition (Special Publication No. 59
-23723, etc.) which do not show sufficient resistance to chemical plating solutions, show high thermal resistance.

なお、ポリウレタンの温熱耐性についての研究例が[高
分子論文集、 Vol、35. No、 3 、161
頁、 1978年]に記載されており、芳香族イソシア
ネートからのポリウレタンは最も高い温熱耐性を示すこ
とが明らかになっている。しかも、この発明においては
、芳香族イソシアネートの使用のみならず、芳香族イソ
シアネートとして多官能成分を選定したため、高い架橋
密度を達成することができ、これらがさらに温熱耐性の
向上を可能とならしめる。
An example of research on the thermal resistance of polyurethane is given in [Kobunshi Ronshu, Vol. 35. No. 3, 161
Page, 1978], and it has been shown that polyurethanes made from aromatic isocyanates exhibit the highest thermal resistance. Moreover, in this invention, not only the aromatic isocyanate is used, but also a polyfunctional component is selected as the aromatic isocyanate, so a high crosslinking density can be achieved, which makes it possible to further improve thermal resistance.

又、この発明において、複素環式窒素含有化合物は、こ
の発明の感光性樹脂組成物の層を例えば金属板の基板に
設けた場合、フォトレジストの金属板への密着性を改良
するための極めて有効な成分であり、特に強アルカリ性
のめっき液を使用した場合でも、金属板への密着性が良
好で、この発明の感光性樹脂組成物の層の浮き、金属板
の変色等の発生を防止する。
Further, in the present invention, the heterocyclic nitrogen-containing compound is used as an extremely effective material for improving the adhesion of a photoresist to a metal plate when a layer of the photosensitive resin composition of the present invention is provided on a substrate such as a metal plate. It is an effective ingredient, and has good adhesion to metal plates, especially when using a strongly alkaline plating solution, and prevents the occurrence of lifting of the layer of the photosensitive resin composition of this invention, discoloration of metal plates, etc. do.

〔実施例〕〔Example〕

この発明の感光性樹脂組成物は、 +a)−数式 (式中、kは1又は2.tは1又は22mは1又は2、
P、〜(5−k)は水素原子又はメチル基、g1〜(4
−1)は水素原子又はメチル基、R1−(5−m)は水
素原子又はメチル基、nはO〜20の整数を示す)で示
される多価芳香族イソシアネートおよび2価アルコール
の(メタ)アクリル酸モノエステルを反応させてえられ
る1分子中に2個以上の(メタ)アクリルロイル基及び
2個以上のウレタン結合を有するポリウレタンポリ (
メタ)アクリレート、が必須成分として含有される。−
数式(1)において、P、〜(5−k)は水素原子又は
メチル基、Q1〜(4−1)は水素原子又はメチル基、
R1−(5−−)は水素原子又はメチル基であり、例え
ばに=2の場合、Pl+ P2+ p、は同しでも、異
なっても良いことを示す。又、エチル基以上のアルキル
基は、入手が困難なため一般的ではない。さらにk。
The photosensitive resin composition of the present invention has the following formula:
P, ~(5-k) is a hydrogen atom or a methyl group, g1 ~(4
-1) is a hydrogen atom or a methyl group, R1-(5-m) is a hydrogen atom or a methyl group, n is an integer from O to 20) Polyurethane poly(meth)acryloyl group and two or more urethane bonds in one molecule obtained by reacting acrylic acid monoester.
Contains meth)acrylate as an essential component. −
In formula (1), P, ~(5-k) are hydrogen atoms or methyl groups, Q1 ~ (4-1) are hydrogen atoms or methyl groups,
R1-(5--) is a hydrogen atom or a methyl group, and for example, when =2, Pl+ P2+ p indicates that they may be the same or different. Furthermore, alkyl groups greater than ethyl are not common because they are difficult to obtain. More k.

1、mが3以上の一般式(りで示される多価芳香族イソ
シアネートを工業的に入手することが困難であり、好ま
しくない。
It is difficult to industrially obtain a polyvalent aromatic isocyanate represented by the general formula (RI) in which 1 and m is 3 or more, and this is not preferred.

nはθ〜20までの整数である。n is an integer from θ to 20.

nが20を越える場合は、得られるポリウレタンポリ 
(メタ)アクリレートの粘度がきわめて高くなり、この
発明の使用には適さなくなる。
When n exceeds 20, the resulting polyurethane polyester
The viscosity of the (meth)acrylate becomes very high, making it unsuitable for use in this invention.

前記2価アルコールの(メタ)アクリル酸モノエステル
としては、例えば2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリ
レート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート
などがあげられ、好ましく用いられる。
Examples of the (meth)acrylic acid monoester of dihydric alcohol include 2-hydroxyethyl (meth)acrylate and 2-hydroxypropyl (meth)acrylate, which are preferably used.

これらの反応−数式(1)で示されるイソシアネートの
NCO当量と2価アルコール アクリル酸モノエステルの水産基当量とほぼ等しくなる
ように反応させることが好ましいが、NGO当量が水産
基当量に対して少し不足してもかまわない。
These reactions - It is preferable to carry out the reaction so that the NCO equivalent of the isocyanate shown in formula (1) is approximately equal to the aquatic group equivalent of the dihydric alcohol acrylic acid monoester, but if the NGO equivalent is slightly smaller than the aquatic group equivalent, It doesn't matter if you run out.

なお、この明細書における(メタ)アクリルなる記載は
、アクリルおよび(または)メタクリルを表わす。
In this specification, the term (meth)acrylic refers to acrylic and/or methacryl.

この発明の感光性樹脂組成物に含有される山)成分であ
る線状高分子化合物としては、ビニル共重合系高分子、
縮重合共重合系高分子を問わず、いずれのものも使用可
能である。しかしながら、前述のノボラック型ウレタン
(メタ)アクリレート化合物との相溶性や、配線基板と
樹脂組成物層との密着性などとのかねあいから、ビニル
共重合線状高分子が好ましい、また、これら線状高分子
化合物の分子量としては10.000〜soo、ooo
の範囲のものが好ましい。
The linear polymer compound as the component contained in the photosensitive resin composition of the present invention includes vinyl copolymer polymers,
Any condensation/copolymer polymer can be used. However, vinyl copolymer linear polymers are preferable due to compatibility with the above-mentioned novolac type urethane (meth)acrylate compound and adhesion between the wiring board and the resin composition layer. The molecular weight of the polymer compound is 10.000~soo, ooo
Preferably, the range is .

分子110.000以下のものは冷熱衝撃性が低下し、
500.000以上のものは相和溶性が低下する。
If the molecular weight is less than 110,000, the thermal shock resistance decreases.
If it is more than 500.000, the compatibility will decrease.

前記ビニル共重合線状高分子を構成するビニル単量体の
例としては、例えばメタクリル酸メチル。
An example of the vinyl monomer constituting the vinyl copolymer linear polymer is methyl methacrylate.

メタクリル酸ブチル、アクリル酸エチル、メタクリル酸
イソブチル、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、2
−ヒドロキシプロピルメタクリレート、2−ヒドロキシ
エチルアクリレート、アクリル酸、メタクリル酸、グリ
シルメタクリレート。
Butyl methacrylate, ethyl acrylate, isobutyl methacrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, 2
-Hydroxypropyl methacrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, acrylic acid, methacrylic acid, glycyl methacrylate.

2.3−ジブロモプロピルメタクリレート、アクリルア
ミド、アクリロニトリル、トリブロモフェニルメタクリ
レート、ロリプロモフェニルアクリレート、ビニルトル
エン、スチレン、α−メチルスチレン、マレイミド、N
−フェニルマレイミド。
2.3-dibromopropyl methacrylate, acrylamide, acrylonitrile, tribromophenyl methacrylate, lolipromophenyl acrylate, vinyltoluene, styrene, α-methylstyrene, maleimide, N
-Phenylmaleimide.

N−イソプロピルマレイミドなどがあげられるが、これ
らに限定されるものではない。
Examples include, but are not limited to, N-isopropylmaleimide.

この発明の感光性樹脂組成物に含有されるtc)成分で
ある光照射を受けて遊離ラジカルを生成する重合開始剤
としては、例えば2−エチルアントラキノン、2−tブ
チルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、1
.2−ヘンズアントラキノン、2.3−ジフェニルアン
トラキノンなどのキノン類や、ベンヅイン、ピバロイン
、アシロインエーテルなどのα−ケタルドニルアルコー
ル類やエーテル類、α−フェニルベンゾイン、α、α゛
ジェトキシアセトフェノン5 ベンゾフェノン。
Examples of the polymerization initiator, which is the tc) component contained in the photosensitive resin composition of the present invention and which generates free radicals upon irradiation with light, include 2-ethylanthraquinone, 2-t-butylanthraquinone, octamethylanthraquinone, 1
.. Quinones such as 2-henzanthraquinone and 2.3-diphenylanthraquinone, α-ketaldonyl alcohols and ethers such as benzin, pivaloin, and acyloin ether, α-phenylbenzoin, α, α゛jetoxyacetophenone 5 benzophenone.

4.4′ −ビスジアルキルアミノベンゾフェノンなど
のケトン類や、2.4.5−)リアリールイミダゾール
ニ量体などをあげることができ、それらの単量体または
混合体として用いることができる。
Examples include ketones such as 4.4'-bisdialkylaminobenzophenone and 2.4.5-) realarylimidazole dimers, which can be used as monomers or mixtures thereof.

この発明の実施例の感光性樹脂組成物は9例えば(al
成分、(b)成分、(C)成分の合計量が100重量部
になるようにfat成分20〜80重量部、好ましくは
30〜60重量部、中)成分20〜80重量部、好まし
くは30〜60重量部、(C)成分1〜10重量部、好
ましくは3〜7重量部、配合することにより調整される
The photosensitive resin composition of the example of this invention is 9, for example (al
20 to 80 parts by weight, preferably 30 to 60 parts by weight of the fat component, and 20 to 80 parts by weight, preferably 30 parts by weight of the middle component, so that the total amount of component (b) and component (C) is 100 parts by weight. 60 parts by weight, and 1 to 10 parts by weight of component (C), preferably 3 to 7 parts by weight.

前記(al成分の使用割合が20重量部未満になると化
学めっき液耐性が低下し、8帽1部をこえると耐冷熱衝
撃性が劣る。また、伽)成分の使用割合が前記配回をは
ずれると耐冷熱衝撃性、化学めっき液耐性が低下する。
If the proportion of the Al component used is less than 20 parts by weight, chemical plating solution resistance will decrease, and if it exceeds 1 part by weight, the thermal shock resistance will be poor. This reduces thermal shock resistance and chemical plating solution resistance.

そしてtc+成分が1重量部未満になると紫外線による
硬化性が低下し、感度の低下を引き起こし、10重量部
をこえると感度は向上するが、上述の物性の低下をきた
す。
If the tc+ component is less than 1 part by weight, the curability with ultraviolet rays will be lowered, causing a decrease in sensitivity, and if it exceeds 10 parts by weight, the sensitivity will improve, but the above-mentioned physical properties will deteriorate.

この発明の感光性樹脂組成物に含有される[dl成分で
あるテトラゾールおよびその誘導体の内の少なくとも一
種は、例えば上記感光性樹脂組成物の層を金属板に設け
た場合、フォトレジストの金属板への密着性を改良する
ための極めて有効な成分であり、特に強アルカリ性のめ
っき液を使用した場合でも、金属板への密着性が良好で
、上記感光性樹脂組成物層の浮き、金属板の変色等の発
生を防止する。上記化合物としては、例えばノーフェニ
ルテトラゾール、5−フェニルテトラゾール。
At least one of tetrazole and its derivatives, which are the dl components contained in the photosensitive resin composition of the present invention, can be added to the metal plate of the photoresist, for example, when a layer of the photosensitive resin composition is provided on a metal plate. It is an extremely effective component for improving the adhesion to the metal plate, and it has good adhesion to the metal plate even when a strong alkaline plating solution is used. Prevent the occurrence of discoloration, etc. Examples of the above compounds include nophenyltetrazole and 5-phenyltetrazole.

5−アミノテトラゾール、5−アミノ−1メチルテトラ
ゾール、5−アミノ−2フエニルテトラゾール、5−メ
ルカプト−1フエニルテトラゾール。
5-aminotetrazole, 5-amino-1 methyltetrazole, 5-amino-2 phenyltetrazole, 5-mercapto-1 phenyltetrazole.

5−メルカプト−1メチルテトラゾール等があげられる
。これらの化合物の組成物への添加量は、フォトレジス
トの組成成分と組成比および光硬化後のフォトレジスト
の硬さによって一種に決められないが、有効な密着硬化
を得るための量は組成物中0.001〜2重9%、好ま
しくは0.01〜1.0重量%の範囲である。多すぎる
と感度が低下する。
Examples include 5-mercapto-1 methyltetrazole. The amount of these compounds added to the composition is not determined depending on the composition components and composition ratio of the photoresist and the hardness of the photoresist after photocuring, but the amount to obtain effective adhesion curing is determined depending on the composition of the composition. The content ranges from 0.001 to 9% by weight, preferably from 0.01 to 1.0% by weight. If it is too large, the sensitivity will decrease.

この発明の実施例の感光性樹脂組成物には、必要ならば
他の副次成分、たとえば着色のための染料および顔料、
保存安定剤としての熱重合・防止剤。
The photosensitive resin composition of the embodiments of the present invention may contain other accessory components, such as dyes and pigments for coloring, if necessary.
Thermal polymerization/inhibitor as a storage stabilizer.

難燃剤および難年助剤など適宜添加することができる。Flame retardants, anti-aging additives, etc. can be added as appropriate.

この発明の感光性樹脂組成物は、希釈剤の不存在下でも
使用可であるが、ベース樹脂を溶解させ、かつ沸点のあ
まり高(ない溶剤、例えばメチルエチルケトン、メチレ
ンクロリド、塩化メチレン/メチルアルコール混合物、
およびイソプロピルアルコール等を併用した方が好まし
い結果が得られる。溶剤の使用量は、組成物に対して2
00重量%以下、好ましくは100〜200重量%であ
る。
Although the photosensitive resin composition of the present invention can be used in the absence of a diluent, it is possible to use solvents that dissolve the base resin and do not have a very high boiling point, such as methyl ethyl ketone, methylene chloride, or a methylene chloride/methyl alcohol mixture. ,
Preferable results can be obtained by using in combination with isopropyl alcohol and isopropyl alcohol. The amount of solvent used is 2
00% by weight or less, preferably 100 to 200% by weight.

又、この発明の感光性樹脂組成物は、金属面例えば銅、
ニッケル、クロム好ましくは銅の上にラミネートして用
いられる。使用法としては液状のレジストとして金属面
に塗布し、乾燥後、保護フィルムを被覆して用いるか、
またはドライフィルムフォトレジストとしてそれを金属
面にラミネートしたものとして用いられる。フォトレジ
スト層の厚みは用途によって異なるが、乾燥後の厚みで
5〜100μm程度が好ましい。
Further, the photosensitive resin composition of the present invention can be applied to metal surfaces such as copper,
It is used by laminating it on nickel, chromium, preferably copper. How to use it: Apply it as a liquid resist to the metal surface, cover it with a protective film after drying, or use it as a liquid resist.
Alternatively, it can be used as a dry film photoresist laminated onto a metal surface. The thickness of the photoresist layer varies depending on the application, but the thickness after drying is preferably about 5 to 100 μm.

液状レジストとした時の保護フィルムとしてはポリエチ
レン。ポリプロピレンのような不活性なポリオレフィン
フィルムが好ましく用いられる。
Polyethylene is used as a protective film when used as a liquid resist. An inert polyolefin film such as polypropylene is preferably used.

ドライフィルムフォトレジストはポリエステルの支持フ
ィルム上に光重合性樹脂組成物を塗布し、乾燥後、ポリ
オレフィンの保護フィルムを積層して作られる。
Dry film photoresists are made by coating a photopolymerizable resin composition on a polyester support film, and after drying, laminating a polyolefin protective film.

積層後の露光および現像処理は常法により行なうことが
できる。すなわら、高圧水銀灯あるいは超高圧水銀灯の
光源を用い、ネガマスクを通して露光を行なう。露光後
、50〜100℃で10〜30分間加熱処理を行ない。
Exposure and development treatment after lamination can be carried out by conventional methods. That is, exposure is performed through a negative mask using a light source of a high-pressure mercury lamp or an ultra-high-pressure mercury lamp. After exposure, heat treatment is performed at 50 to 100°C for 10 to 30 minutes.

支持体フィルムを剥離したのち現像液にて、現像を行な
う。現像液は1.1.1トリクロロエタンなどの?容剤
が用いられる。不熱性溶剤の使用は安全上好ましい。
After peeling off the support film, development is performed using a developer. Is the developer 1.1.1 such as trichloroethane? A container is used. The use of non-thermal solvents is preferred for safety reasons.

このような方法でえられた像的な保護被膜は通常のエツ
チング、めっきなどのための耐食膜となるが、現像後の
80〜200℃での加熱処理および活性光の照射により
さらに優れた特性を有する保護被膜となる。この処理は
通常、活性光の照射を行なったのち、加熱処理を30〜
60分間行なうのが好ましい。
The image-like protective film obtained by this method serves as a corrosion-resistant film for ordinary etching, plating, etc., but even better properties can be obtained by heat treatment at 80-200°C and irradiation with actinic light after development. It becomes a protective film with This treatment usually involves irradiation with active light, followed by heat treatment for 30 to 30 minutes.
Preferably, this is carried out for 60 minutes.

現像後の加熱処理および活性光の露光によってえられる
保護被膜はトリクレン、メチルエチルケトン、イソプロ
ピルアルコール、トルエンなどの有機溶剤に充分耐え、
酸性水溶液またはアルカリ水溶液にも耐える。さらに、
耐熱性に優れ、耐冷熱衝撃性にも優れているので長期の
信鎖性を要求される半田マスクなどの永久的な保護被膜
として好適である。
The protective film obtained by heat treatment after development and exposure to active light has sufficient resistance to organic solvents such as trichlene, methyl ethyl ketone, isopropyl alcohol, and toluene.
Resistant to acidic or alkaline aqueous solutions. moreover,
Since it has excellent heat resistance and cold shock resistance, it is suitable as a permanent protective coating for solder masks and the like that require long-term reliability.

次にこの発明の実施例について述べる。ここで示す実施
例は実施態様を示すものであり、この発明はこれらによ
って限定されるものではない。
Next, embodiments of this invention will be described. The examples shown here are illustrative of embodiments, and the invention is not limited thereto.

実施例1〜1〇 −S式(りで示される多価芳香族イソシアネートとして
、商品名、ミリオネートMR−400(日本ポリウレタ
ン工業に、に製)450重量部と、2−ヒドロキシエチ
ルアクリレート400重量部とを反応させて、ポリウレ
タンアクリレート(PUA■)を得た。
Examples 1 to 1 As a polyvalent aromatic isocyanate represented by the formula (RI), 450 parts by weight of Millionate MR-400 (manufactured by Nippon Polyurethane Industries) and 400 parts by weight of 2-hydroxyethyl acrylate. Polyurethane acrylate (PUA■) was obtained by reacting with.

次に表1に示す割合に、上記ポリウレタンアクリレート
(PUA−1) 、線状高分子および光重合開始剤その
他を混合してこの発明の実施例の感光性樹脂組成物を得
た。なお、表1中の数値は重量部を示す。更に、メチル
エチルケトンを溶媒として樹脂液を調製しく40〜60
%濃度) この樹脂液をポリエチレンテレフタレートフ
ィルム状に塗布して、加熱乾燥し、感光性樹脂組成物の
層の厚さ が約50μmの感光性ドライフィルムを得た。
Next, the polyurethane acrylate (PUA-1), a linear polymer, a photopolymerization initiator, and others were mixed in the proportions shown in Table 1 to obtain photosensitive resin compositions of Examples of the present invention. Note that the numerical values in Table 1 indicate parts by weight. Furthermore, prepare a resin liquid using methyl ethyl ketone as a solvent.
% concentration) This resin liquid was applied in the form of a polyethylene terephthalate film and dried by heating to obtain a photosensitive dry film having a layer thickness of the photosensitive resin composition of about 50 μm.

特性評価試験 基材厚さ1.6am、銅箔厚さ18μmのガラスエポキ
シ銅張り積層板に、スルーホールおよび部品孔を形成し
た。次いで無電解めっき用の触媒処理を行なったのち、
配線パターンの形成を行なった。
Characteristic Evaluation Test Through holes and component holes were formed in a glass epoxy copper-clad laminate having a base material thickness of 1.6 am and a copper foil thickness of 18 μm. Next, after performing catalyst treatment for electroless plating,
A wiring pattern was formed.

この基板上に上記感光性ドライフィルムを、ラミネータ
を用いて積層した。積層後、ネガマスクを用いて露光し
、次いで80℃で10分間加熱したのち、1.1.1 
− )リクロロエタンを用いてスプレー現像を行なった
(20℃、 80秒間)。現像後、80℃で5分間乾燥
し、高圧水銀灯(80W / cm )を用いて2.5
 J / ci前照射た。その後、15(1℃で30分
間加熱処理を行ない保護膜を形成した。
The photosensitive dry film was laminated onto this substrate using a laminator. After laminating, it was exposed using a negative mask, and then heated at 80°C for 10 minutes, and then 1.1.1
-) Spray development was performed using dichloroethane (20°C, 80 seconds). After development, it was dried at 80 °C for 5 minutes, and then heated at 2.5 °C using a high-pressure mercury lamp (80 W/cm).
J/ci pre-irradiation. Thereafter, heat treatment was performed at 15° C. for 30 minutes to form a protective film.

次に無電解めっき浴(pit、 12.5 (20℃)
60℃)に基板を15時間、20時間、25時間浸漬し
、それぞれ、厚さ約23μm、30μm、38μmの銅
めっきをスルーホールに施した。無電解めっき処理後、
充分水洗を行なったのち、80℃で10分間乾燥させ、
さらに130℃で60分間加熱処理を行なった。この一
連の無電解めっき処理の間、保護膜の劣化、ふくれ、剥
離は起こらず、充分な耐性を示した・さらに半田耐熱試
験として255〜265℃の半田浴で10秒間浸漬した
が、保護膜は安定であり、クランクの発生および剥離は
認められず、半田マスクとして充分用いうろことが判明
した。
Next, electroless plating bath (PIT, 12.5 (20℃)
60° C.) for 15 hours, 20 hours, and 25 hours, and copper plating with a thickness of approximately 23 μm, 30 μm, and 38 μm was applied to the through holes, respectively. After electroless plating treatment,
After thoroughly rinsing with water, dry at 80℃ for 10 minutes,
Further, heat treatment was performed at 130° C. for 60 minutes. During this series of electroless plating treatments, the protective film did not deteriorate, blister, or peel, and showed sufficient resistance.Furthermore, as a soldering heat resistance test, it was immersed in a solder bath at 255 to 265°C for 10 seconds, but the protective film It was found to be stable, with no cracking or peeling observed, and was found to be suitable for use as a solder mask.

これらの結果を表2にまとめて示した。These results are summarized in Table 2.

表 比較例1 ヘキサメチレンジイソシアネー)336g(4当量)ヒ
ドロキシエチルメタクリレート533g (4,1モル
)を用いて、実施例1と同様にしてウレタンアクリレー
トを合成した0次に下記組成で、実施例と同様の操作に
より、感光性樹脂組成物の溶液を調整し、感光性ドライ
フィルムを作製した争なお、配合比は以下の通りである
Table Comparative Example 1 Urethane acrylate was synthesized in the same manner as in Example 1 using 336 g (4 equivalents) of hexamethylene diisocyanate and 533 g (4.1 mol) of hydroxyethyl methacrylate. A photosensitive dry film was prepared by preparing a solution of the photosensitive resin composition using the same procedure as above.The blending ratio was as follows.

ウレタンアクリレート55重量部 PMB?lA              40重量部
M、 K (ミヒラーケトン)0.5重量部B、  P
 (ベンゾフェノン)4.5重量部比較例2 表1に示した配合により、実施例と同様にして感光性樹
脂組成物を得、さらに感光性ドライフィルムを得た。
Urethane acrylate 55 parts by weight PMB? lA 40 parts by weight M, K (Michler ketone) 0.5 parts by weight B, P
(Benzophenone) 4.5 parts by weight Comparative Example 2 A photosensitive resin composition was obtained in the same manner as in the example using the formulation shown in Table 1, and a photosensitive dry film was also obtained.

特性評価試験 上記のようにして得られた感光性ドライフィルムを用い
て、実施例と同様にして基板の上に保護膜を形成し、無
電解めっき処理、半田耐熱試験を行なった。その結果、
比較例1の感光性ドライフィルムを用いたものは、無電
解めっき処理後、保護膜の表面の一部は白濁化し、その
一部が剥離していた。半田耐熱試験では、剥離部でさら
にふくれが見られたものの、他の部分では変化なかった
Characteristic Evaluation Test Using the photosensitive dry film obtained as described above, a protective film was formed on a substrate in the same manner as in the examples, and electroless plating treatment and a soldering heat resistance test were performed. the result,
In the case where the photosensitive dry film of Comparative Example 1 was used, after the electroless plating treatment, part of the surface of the protective film became cloudy and part of it was peeled off. In the solder heat resistance test, further blistering was observed at the peeled part, but no change was observed in other parts.

このように比較例1の感光性樹脂組成物では、半田マス
クとしての使用は可能なものの、この発明の感光性樹脂
組成物のように、化学めっき用保護膜として使用するこ
とは困難であった。
As described above, although the photosensitive resin composition of Comparative Example 1 could be used as a solder mask, it was difficult to use it as a protective film for chemical plating like the photosensitive resin composition of the present invention. .

比較例2の感光性ドライフィルムを用いたものは、15
時間の無電解銅めっきは良好に行なうことができた。し
かし、20時間の無電解銅めっき後、スルーホール近辺
のレジスト下の配線部に、めっき液のもぐり込みが認め
られた。さらに、25時間無電解銅めっきを行なった場
合、も同様の現象がみられた。
The photosensitive dry film of Comparative Example 2 was 15
Electroless copper plating for several hours was successfully performed. However, after 20 hours of electroless copper plating, it was observed that the plating solution had penetrated into the wiring area under the resist near the through holes. Furthermore, a similar phenomenon was observed when electroless copper plating was performed for 25 hours.

半田耐熱試験では、15時間、 20時間めっきを行な
ったものは良好であったが、25時間めっきを行なった
もので、めっき液のもぐり込んだ部分で、レジストのは
く離が発生した。
In the solder heat resistance test, those plated for 15 and 20 hours performed well, but those plated for 25 hours showed peeling of the resist in areas where the plating solution penetrated.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上説明したとおり、この発明は +81−数式 (dlテトラゾールおよびその誘導体の内の少なくとも
一種を含有するものを用いることにより、耐熱性および
耐薬品性を有し、特に化学めっき用保護被膜の形成に使
用でき、基板との密着性の向上した感光性樹脂組成物を
得ることができる。
As explained above, the present invention has heat resistance and chemical resistance by using the +81-formula (dl tetrazole and at least one of its derivatives), and is particularly suitable for forming a protective film for chemical plating. It is possible to obtain a photosensitive resin composition that can be used and has improved adhesion to a substrate.

代理人    大  岩  増  雄 (式中、kは1又は2.Iはl又は2.mは1又は2、
P1〜(5−k)は水素原子又はメチル基、口、〜(4
−1)は水素原子又はメチル基、R1−(5−m)は水
素原子又はメチル基、nはθ〜20の整数を示す)で示
される多価芳香族イソシアネートおよび2価アルコール
の(メタ)アクリル酸モノエステルを反応させてえられ
、1分子中に2個以上の(メタ)アクリルロイル基及び
2個以上のウレタン結合を有するポリウレタンポリ (
メタ)アクリレート、 (bl線状高分子化合物 TCI光照射を受けて遊離ラジカルを生成する重合開始
剤並びに
Agent Masuo Oiwa (In the formula, k is 1 or 2. I is l or 2. m is 1 or 2,
P1~(5-k) is a hydrogen atom or a methyl group, ~(4
-1) is a hydrogen atom or a methyl group, R1-(5-m) is a hydrogen atom or a methyl group, and n is an integer from θ to 20) (meth) of polyvalent aromatic isocyanate and dihydric alcohol A polyurethane polyurethane obtained by reacting acrylic monoester and having two or more (meth)acryloyl groups and two or more urethane bonds in one molecule.
meth)acrylate, (bl linear polymer compound) A polymerization initiator that generates free radicals upon irradiation with TCI light, and

Claims (1)

【特許請求の範囲】 (a)一般式 ▲数式、化学式、表等があります▼ (式中、kは1又は2,lは1又は2,mは1又は2、
P_1〜(5−k)は水素原子又はメチル基、Q_1〜
(4−l)は水素原子又はメチル基、R_1〜(5−m
)は水素原子又はメチル基,nは0〜20の整数を示す
)で示される多価芳香族イソシアネートおよび2価アル
コールの(メタ)アクリル酸モノエステルを反応させて
えられ、1分子中に2個以上の(メタ)アクリルロイル
基及び2個以上のウレタン結合を有するポリウレタンポ
リ(メタ)アクリレート、 (b)線状高分子化合物 (c)光照射を受けて遊離ラジカルを生成する重合開始
剤並びに (d)テトラゾールおよびその誘導体の内の少なくとも
一種を含有する感光性樹脂組成物
[Claims] (a) General formula ▲ Numerical formula, chemical formula, table, etc. ▼ (In the formula, k is 1 or 2, l is 1 or 2, m is 1 or 2,
P_1~(5-k) is a hydrogen atom or methyl group, Q_1~
(4-l) is a hydrogen atom or a methyl group, R_1~(5-m
) is a hydrogen atom or a methyl group, n is an integer of 0 to 20)) and a (meth)acrylic acid monoester of a dihydric alcohol are reacted, and each molecule contains 2 (b) a linear polymer compound; (c) a polymerization initiator that generates free radicals upon irradiation with light; (d) Photosensitive resin composition containing at least one of tetrazole and its derivatives
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0284652A (en) * 1988-09-21 1990-03-26 Hitachi Chem Co Ltd Photosensitive resin composition and laminate composed of photosensitive resin composition

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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