JPH02163651A - Gas chromatograph mass spectrographic apparatus - Google Patents

Gas chromatograph mass spectrographic apparatus

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JPH02163651A
JPH02163651A JP31929088A JP31929088A JPH02163651A JP H02163651 A JPH02163651 A JP H02163651A JP 31929088 A JP31929088 A JP 31929088A JP 31929088 A JP31929088 A JP 31929088A JP H02163651 A JPH02163651 A JP H02163651A
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JP
Japan
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signal
section
mass
threshold value
gas
Prior art date
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Pending
Application number
JP31929088A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Norio Kameshima
亀島 紀夫
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Shimadzu Corp
Original Assignee
Shimadzu Corp
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To obtain analysis results with good accuracy by calculating the intensity ratios of detection signals which are respectively detected with channel selection by a detector and comparing the ratios with a preset threshold value. CONSTITUTION:The intensity ratios of the detection signals which are respectively detected with the channel selection by the detector 12 are calculated. A comparison discrimination section 48 compares the intensity ratios with the preset threshold value and discriminates the differences thereof. The discrimination results are applied to a level control section 50. The level control section 50 outputs the correction signal to maintain the detection signals at a base line only when the intensity ratios are below the threshold value in accordance with the discrimination results. The correction signal is not outputted if the intensity ratio are above the threshold value. The ghost peak occurring in the reaction of gaseous O2 and hydrocarbon does no longer appear on the mass fragmentgrams to be measured in this way.

Description

【発明の詳細な説明】 (イ)産業上の利用分野 本発明は、ガスクロマトグラフ質量分析装置(GC/M
S)に係り、特には、O,ガス中の不純物ガス(H2C
、G O,COを等)の測定技術の改善に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (a) Industrial application field The present invention is applicable to gas chromatograph mass spectrometry
S), especially O, impurity gas in the gas (H2C
, GO, CO, etc.).

(ロ)従来の技術 一般に、O,ガスには、H20、COSC02等の不純
物ガスが含まれている。このような不純物ガスをガスク
ロマトグラフ質量分析装置を適用して分析する場合、質
量分離を行わないl・−タルイオン(ガスクロマトグラ
ム)を測定すると、0.とCOのイオンは保持時間が比
較的近似しているため、第3図(a)に示すように、大
量に存在するO7のイオンのピークによってcoのイオ
ンのピークが贈れて認識できなくなる。そのため、定性
、定量分析を行えない。
(b) Prior art Generally, O gas contains impurity gases such as H20 and COSC02. When such impurity gases are analyzed using a gas chromatograph mass spectrometer, when measuring l·-tal ions (gas chromatogram) without mass separation, the result is 0. Since the retention times of the and CO ions are relatively similar, as shown in FIG. 3(a), the co ion peak becomes unrecognizable due to the peak of the O7 ion, which is present in large quantities. Therefore, qualitative and quantitative analysis cannot be performed.

かかる場合、従来技術では、質量分別部に印加する加速
電圧を高速でスイッチングして予め設定した特定の質量
数をもつイオンのみを選択的に検出する、いわゆるマス
フラグメントグラフィ(以下、MFという)の手法が採
られる。このMPによれば、たとえば、m/z(mは質
量数、2は電荷)を“28”と“44”に設定しておき
、各チャンネルを時分割で交互にスイッチングすること
により、m/z=28でCOのイオンを、m/z=44
でCO7のイオンをそれぞれ分離して検出することがで
きる。
In such a case, the conventional technology uses so-called mass fragmentography (hereinafter referred to as MF), which selectively detects only ions having a preset specific mass number by switching the accelerating voltage applied to the mass separation section at high speed. method is adopted. According to this MP, for example, by setting m/z (m is mass number, 2 is electric charge) to "28" and "44" and switching each channel alternately in time division, m/z CO ion at z=28, m/z=44
It is possible to separate and detect each CO7 ion.

(ハ)発明が解決しようとする課題 ところが、MPの手法を採る場合においても、O,ガス
が大量に存在するときには、次の問題を生じる。
(c) Problems to be Solved by the Invention However, even when the MP method is adopted, the following problem occurs when a large amount of O gas is present.

すなわち、質量分析計のハウジングの内壁や空間には汚
染や真空ポンプからの油の逆流等によって炭化水素(C
nHm)が存在しており、そのため、大量のO,ガスが
ハウジング内に導入された場合には、この0.ガスと炭
化水素とが次の反応を起こす。
In other words, the inner walls and spaces of the mass spectrometer housing are contaminated with hydrocarbons (C) due to contamination or backflow of oil from the vacuum pump.
nHm) is present, so that if a large amount of O, gas is introduced into the housing, this 0. The gas and hydrocarbon undergo the following reaction.

Ot+CnHm−4CO+ CO2+ H3O+ Cn
  tHmt+−そのため、測定されるマスフラグメン
トグラフィ度、第3図(b)、(C)に示すように、0
.の保持時間に該当するところにCQやCO7のいイっ
ゆるゴーストピークPいP、が現れる。
Ot+CnHm-4CO+ CO2+ H3O+ Cn
tHmt+- Therefore, the measured mass fragment graffiti, as shown in Figure 3(b) and (C), is 0.
.. A so-called ghost peak P of CQ and CO7 appears at a location corresponding to the retention time of .

このようなゴーストピークが出現すると、これを真のC
OやCO2のイオンのピークとして誤って認識する場合
があり、また、ピーク分離が不十分となって定量計算の
精度が悪くなる等、精度良い分析結果が得られなくなる
When such a ghost peak appears, it can be compared to the true C
It may be mistakenly recognized as a peak of O or CO2 ions, and peak separation may become insufficient, resulting in poor quantitative calculation accuracy, making it impossible to obtain accurate analytical results.

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであっ
て、M Pにより02ガス中のH2O、C01CO7等
の不純物ガスを分析する場合に、測定されるマスフラグ
メントグラムにO,ガスに起因するゴーストビークが出
現しないようにして、精度良い分析結果が得られるよう
にすることを目的とする。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and when analyzing impurity gases such as H2O and CO1CO7 in 02 gas by MP, the measured mass fragmentogram shows that O, gas-induced The purpose is to prevent ghost beaks from appearing and obtain highly accurate analysis results.

(ニ)課題を解決するための手段 0、ガス中の820、co、COz等の不純物ガスがガ
スクロマトグラフで分離される保持時間は互いに異なる
ので、原理上、測定される各マスフラグメントグラムに
おいて、これらのピークが同じタイミングで出現するこ
とはない。しかるに、ピークが同じタイミングで出現す
るとすれば、これはガスクロマトグラフを通過した後の
0.ガスと炭化水素との反応に起因するゴーストピーク
と見なすことができる。そして、このようにピークが同
じタイミングで出現する場合には、両検出信号の比は一
定である。これに対して、ピークが異なるタイミングで
出現する場合には、両検出信号の比は大きくなる。した
がって、両検出信号の比を予め設定したしきい値と比較
すれば、ゴース)・ピークか否かを判別することができ
る。
(d) Means for Solving the Problem 0. Since the retention time during which impurity gases such as 820, co, and COz in the gas are separated by a gas chromatograph is different from each other, in principle, in each mass fragmentogram to be measured, These peaks never appear at the same time. However, if the peaks appear at the same timing, this would mean 0. It can be considered as a ghost peak resulting from the reaction between gas and hydrocarbon. When the peaks appear at the same timing in this way, the ratio of both detection signals is constant. On the other hand, when the peaks appear at different timings, the ratio of both detection signals becomes large. Therefore, by comparing the ratio of both detection signals with a preset threshold, it is possible to determine whether it is a goose peak or not.

本発明は、かかる点に着目したものであって、上記の目
的を達成するために、チャンネル切換信号を発生ずる切
換信号発生部と、このチャンネル切換信号に同期して該
当する質量数をもつイオンを選択分離する質量分別部と
、この質量分別部で質量分離された各イオンを検出する
検出器とを備えたガスクロマトグラフ質量分析装置にお
いて、次の構成を採る。
The present invention focuses on this point, and in order to achieve the above object, it includes a switching signal generating section that generates a channel switching signal, and ions having a corresponding mass number in synchronization with the channel switching signal. A gas chromatograph mass spectrometer equipped with a mass fractionating section that selectively separates ions and a detector that detects each ion mass-separated in this mass fractionating section has the following configuration.

すなわち、本発明のガスクロマトグラフ質量分析装置で
は、検出器でチャンネル切り換えに伴ってそれぞれ検出
される検出信号についての強度比を算出する強度比演算
部と、この強度比演算部の演算結果を予め設定されたし
きい値と比較してその大小を判別する比較判別部と、こ
の比較判″iI+J @からの判別信号に基づき、前記
強度比がしきい値以下の場合にのみ前記検出信号のレベ
ルをベースラインに維持する補正信号を出力するレベル
制御部とを備えている。
That is, the gas chromatograph mass spectrometer of the present invention includes an intensity ratio calculation section that calculates the intensity ratio of detection signals detected by the detector as channels are switched, and a calculation result of this intensity ratio calculation section that is set in advance. and a comparison/discrimination unit that determines the magnitude of the detected signal by comparing it with the determined threshold, and a comparison/discrimination unit that determines the level of the detection signal only when the intensity ratio is less than or equal to the threshold. and a level control section that outputs a correction signal to maintain the baseline.

(ホ)作用 上記構成において、強度比演算部は、検出器でチャンネ
ル切り換えに伴ってそれぞれ検出される検出信号につい
ての強度比を算出する。比較判別部はけ、この強度比を
予め設定されたしきい値と比較してその大小を判別する
。そして、その判別結果がレベル制御部に与えられる。
(e) Effect In the above configuration, the intensity ratio calculation unit calculates the intensity ratio of the detection signals detected by the detector as the channels are switched. The comparison/determination section compares this intensity ratio with a preset threshold value to determine its magnitude. Then, the determination result is given to the level control section.

レベル制御部は、その判別結果に基づき、強度比がしき
い値以下の場合にのみ検出信号をベースラインに維持す
る補正信号を出力し、強度比がしきい値以五の場合に補
正信号は出力しない。
Based on the determination result, the level control section outputs a correction signal that maintains the detection signal at the baseline only when the intensity ratio is less than or equal to the threshold value, and outputs a correction signal that maintains the detection signal at the baseline when the intensity ratio is less than or equal to the threshold value. No output.

したがって、m/zの異なる各マスフラグメントグラム
について、同一の保持時間にゴーストピークが同時に出
現するような場合、および、いずれのマスフラグメント
グラムにもピークが全く存在しないような場合には、検
出信号のレベルの変化は相殺されてベースラインに維持
される。一方、ガスクロマトグラフで実際に分離される
ガスのピークが存在する場合には、MPで測定されるマ
スフラグメントグラムには対応する成分ガスのピークが
そのまま現れる。
Therefore, if ghost peaks appear simultaneously at the same retention time for mass fragmentograms with different m/z, or if there is no peak at all in any of the mass fragmentograms, the detection signal Changes in the level of are canceled out and maintained at the baseline. On the other hand, if a peak of a gas actually separated by the gas chromatograph exists, the peak of the corresponding component gas appears as it is in the mass fragmentogram measured by the MP.

(へ)実施例 第1図は本発明の実施例に係るガスクロマトグラフ質量
分析装置のブロック図である。同図において、符号1は
ガスクロマトグラフ質量分析装置の全体を示し、2は試
料ガス(ここでは、Ht 01Co、COz等の不純物
ガスを含む0.ガス)を気相分離するガスクロマトグラ
フ、4はガスクロマトグラフで気相分離されたガスのイ
オンを質量分離して検出する質量分析計、6はガスクロ
マトグラフと質量分析計との間に設けられたインターフ
ェイスである。そして、質量分析計4は、ガスをイオン
化するイオン源8、イオンを質量分離する質量分別部1
0、質量分別部10で質量分離されたイオンを検出する
検出器I2を備える。  14はチャンネル数、m/z
(mは質量数、Zは電荷)、バックグラウンド除去用の
オフセット量、および後述する比較判別部の基準となる
しきい値をそれぞれ予め設定するための入力部で、たと
えばキーボードで構成される。■6は前記入力部14で
設定されたチャンネル数に応じたチャンネル切換信号を
出力する切換信号発生部、18は入力部14で設定され
たm/zのデータを保持するm/zラッラッ、20はm
/zラッチ部■8で保持されたm/zの値をこれに対応
するアナログの印加電圧制御信号に変換して出力するm
/z制御信号出力部、22はm/z制御信号出力部から
の印加電圧制御信号を切換信号発生部I6からのチャン
ネル切換信号に応答して切り換える第1切り換え部であ
る。  24は検出器12からの検出信号を増幅する第
1増幅器、26は第1増幅器24の出力に後述するオフ
セット信号出力部とレベル制御部の各出力信号を重畳す
る加算器、28は加算器26の出力をデジタル化するA
/D変換器、30はA/D変換された検出信号を読み取
る信号読取部、32はチャンネル切換信号に同期して各
チャンネルごとの検出信号を選択切り換えする第2切換
部、34は記録計である。
(F) Embodiment FIG. 1 is a block diagram of a gas chromatograph mass spectrometer according to an embodiment of the present invention. In the figure, reference numeral 1 indicates the entire gas chromatograph mass spectrometer, 2 indicates a gas chromatograph that separates the sample gas (here, 0.0 gas containing impurity gases such as Ht 01 Co and COz) into the gas phase, and 4 indicates the gas chromatograph. 6 is an interface provided between the gas chromatograph and the mass spectrometer. The mass spectrometer 4 includes an ion source 8 that ionizes gas, and a mass fractionator 1 that separates ions by mass.
0, a detector I2 for detecting ions mass-separated by the mass separation unit 10 is provided. 14 is the number of channels, m/z
(m is a mass number, Z is a charge), an offset amount for background removal, and a threshold value serving as a reference for a comparison/determination section to be described later. The input section is configured of, for example, a keyboard. (2) 6 is a switching signal generation unit that outputs a channel switching signal according to the number of channels set in the input unit 14; 18 is an m/z rara that holds m/z data set in the input unit 14; 20 is m
/z latch unit ■Converts the m/z value held in 8 into a corresponding analog applied voltage control signal and outputs it.
The /z control signal output section 22 is a first switching section that switches the applied voltage control signal from the m/z control signal output section in response to the channel switching signal from the switching signal generation section I6. 24 is a first amplifier that amplifies the detection signal from the detector 12; 26 is an adder that superimposes each output signal of an offset signal output section and a level control section, which will be described later, on the output of the first amplifier 24; 28 is an adder 26; A to digitize the output of
30 is a signal reading unit that reads the A/D converted detection signal, 32 is a second switching unit that selects and switches the detection signal for each channel in synchronization with the channel switching signal, and 34 is a recorder. be.

36は入力部14で設定されるバックグラウンド除去用
のオフセット量をラッチするオフセットランチ部、38
はオフセットラッチ部36でラッチされたオフセット量
を対応するアナログ信号に変換して出力するオフセット
信号出力部、40はオフセット信号出力部38の出力を
切換信号発生部16からのチャンネル切換信号に応答し
て切り換える第3切り換え部である。
36 is an offset launch unit that latches the offset amount for background removal set by the input unit 14; 38;
40 is an offset signal output unit that converts the offset amount latched by the offset latch unit 36 into a corresponding analog signal and outputs it; This is the third switching section that switches the switch.

42は入力部I4で設定されたしきい値をラッチするし
きい値ラッチ部、44はチャンネル切換信号に同期して
信号読取部30で読み取られる各検出信号を選択する第
4切換部、46は各ヂャンネル切り換えに伴ってそれぞ
れ得られる検出信号の比を算出する強度比演算部、48
は強度比演算部46の演算結果をしきい値ラッチ部でラ
ッチされているしきい値と比較してその大小を判別する
比較判別部、50は比較判別部48からの判別信号に基
づき、強度比がしきい値以下の場合にのみ検出器I2か
らの検出信号のレベルをベースラインに維持する補正信
号を出力するレベル制御部、52はチャンネル切換信号
に同期してレベル制御部50の出力を切り換える第5切
換部、54は第3、第5切換部の両出力をアナログ化す
るD/A変換器、56はD/A変換器54の出力を増幅
する第2増幅器である。
42 is a threshold latch unit that latches the threshold value set by the input unit I4; 44 is a fourth switching unit that selects each detection signal read by the signal reading unit 30 in synchronization with the channel switching signal; and 46 is a an intensity ratio calculation unit 48 that calculates the ratio of detection signals obtained with each channel switching;
Reference numeral 50 indicates a comparison/discrimination unit that compares the calculation result of the intensity ratio calculation unit 46 with the threshold value latched by the threshold latch unit and determines the magnitude thereof. A level control section 52 outputs a correction signal to maintain the level of the detection signal from the detector I2 at the baseline only when the ratio is below a threshold value, and a level control section 52 controls the output of the level control section 50 in synchronization with the channel switching signal. The fifth switching section 54 is a D/A converter that converts both the outputs of the third and fifth switching sections into analogs, and the reference numeral 56 is a second amplifier that amplifies the output of the D/A converter 54.

次に、上記構成のガスクロマトグラフ質量分析装置1に
おいて、0.ガス中に含まれる不純物ガスを分析してマ
スフラグメントグラムを測定する場合の制御動作につい
て説明する。なお、この実施例では、説明の簡略化のた
めに、不純物ガスとしてCOと002ガスのみを分析す
る場合について説明する。
Next, in the gas chromatograph mass spectrometer 1 having the above configuration, 0. Control operations when analyzing impurity gases contained in gas and measuring mass fragmentograms will be described. In this example, in order to simplify the explanation, a case will be described in which only CO and 002 gas are analyzed as impurity gases.

予め、入力部I4で、COガスを対象としてm/z=2
8を、CO,ガスを対象としてm/z=4.4をそれぞ
れ設定し、これに対応してチャンネルを“2”に設定す
る。また、他の実測値等を参照してバックグラウンド除
去用のオフセット量ならびに検出信号の強度比の比較対
象となるしきい値をそれぞれ設定する。これらの入力部
14で設定された各値は、m/zラッラッ18、オフセ
ットラッチ部36、およびしきい値ラッチ部42てそれ
ぞれラッチされる。
In advance, input unit I4 sets m/z=2 for CO gas.
8, CO and gas are set to m/z=4.4, and the channel is set to "2" correspondingly. Further, with reference to other measured values, etc., the offset amount for background removal and the threshold value to which the intensity ratio of the detection signal is compared are respectively set. Each value set by these input sections 14 is latched by the m/z latch 18, the offset latch section 36, and the threshold latch section 42, respectively.

分析が開始されると、ガスクロマトグラフ2に不純物ガ
ス(CO+C02)を含む02ガスか導入されて気相分
離された後、インターフェイス6を介してイオン源8に
導入される。そして、イオン源8でイオン化された後、
質量分別部IOに導かれる。また、切換信号発生部16
からは、たとえば20mm5ecごとにチャンネル切換
信号が出力され、このチャンネル切換信号が第1〜第5
切換部22.32.40.44.52に共に与えられる
ので、この信号に同期して第1〜第5切り換え部が切り
換え動作する。したがって、まず、III/Z制御信号
出力部20からは、m/zラッチ部18でラッチされた
各m/z(−28,44)の値に対応するアナログの印
加電圧制御信号が第1切換え部22を介して出力され、
これが質量分別部10に与えられる。これ?こより、質
量分別部10に印加される加速電圧がチャンネル切換信
号に同期してスイッチングされ、予め設定した特定のm
/z(=28.44)をもつイオン(Go、C07)の
みが選択的に検出器12で検出される。
When analysis is started, 02 gas containing impurity gas (CO+C02) is introduced into the gas chromatograph 2, separated into a gas phase, and then introduced into the ion source 8 via the interface 6. After being ionized by the ion source 8,
It is guided to the mass fractionating section IO. In addition, the switching signal generator 16
For example, a channel switching signal is output every 20mm5ec, and this channel switching signal is used for the first to fifth channels.
Since this signal is also applied to the switching units 22, 32, 40, 44, and 52, the first to fifth switching units switch in synchronization with this signal. Therefore, first, from the III/Z control signal output section 20, the analog applied voltage control signal corresponding to each m/z (-28, 44) value latched by the m/z latch section 18 is outputted as the first switching signal. outputted through the section 22,
This is given to the mass fractionator 10. this? As a result, the accelerating voltage applied to the mass sorting section 10 is switched in synchronization with the channel switching signal, and
Only the ion (Go, C07) with /z (=28.44) is selectively detected by the detector 12.

一方、第3切換部40は、チャンネル切換信号に同期し
てオフセット信号出力部38の出力を選択的に切り換え
るので、オフセットラッチ部36で予めラッチされてい
るオフセット信号が第3切換部40からD/A変換器5
4、第2増幅器56を順次介して出力され、これが加算
器26に与えられる。加算器26は、第1増幅器24か
らの検出信号にオフセット信号を重畳するので、加′I
l器26からは各チャンネルごとに、バックグラウンド
に相当する分だけ信号レベルが低下された検出信号が出
ツノされる。
On the other hand, the third switching section 40 selectively switches the output of the offset signal output section 38 in synchronization with the channel switching signal, so that the offset signal latched in advance by the offset latch section 36 is transferred from the third switching section 40 to the /A converter 5
4. The signals are sequentially outputted via the second amplifier 56 and applied to the adder 26. Since the adder 26 superimposes the offset signal on the detection signal from the first amplifier 24, the adder 26
A detection signal whose signal level has been lowered by an amount corresponding to the background is outputted from the detector 26 for each channel.

さらに、加算器26の出力はA/D変換器28でデジタ
ル化された後、信号読取部30、第4切換部44を介し
て強度比演算F446に与えられる。
Furthermore, the output of the adder 26 is digitized by the A/D converter 28, and then is given to the intensity ratio calculation F446 via the signal reading section 30 and the fourth switching section 44.

したがって、強度比演算部46は、信号読み取り部30
で読み取られた各チャンネルごとの検出信号についての
強度比を算出する。すなわち、m/z−28のイオン(
CO)の検出信号のレベルを■。、m/z=4.4のイ
オン(c O2)の検出信号のレベルを■1とすれば、
強度比演算部46はI。/IIを算出する。この強度比
の値は、比較判別部48に送出されるので、比較判別部
48は、この強度比■。/r1を予め設定されたしきい
値Sと比較してその大小を判別する。そして、強度比■
。/■tがしきい値S以下の場合(to/i+≦S)に
は、本例ではハイレベルの判別信号を出力する。また、
強度比r。/[、がしきい値Sよりも大きい場合(■o
/i>S)には、ローレベルの判別信号を出力する。
Therefore, the intensity ratio calculation unit 46
The intensity ratio of the detected signals for each channel read in is calculated. That is, the ion of m/z-28 (
CO) detection signal level ■. , if the level of the detection signal of the ion (c O2) with m/z = 4.4 is 1, then
The intensity ratio calculation unit 46 is I. /II is calculated. The value of this intensity ratio is sent to the comparison/discrimination section 48, so the comparison/discrimination section 48 calculates this intensity ratio (■). /r1 is compared with a preset threshold value S to determine its magnitude. And the strength ratio ■
. When /■t is less than the threshold value S (to/i+≦S), a high-level discrimination signal is output in this example. Also,
intensity ratio r. /[, is larger than the threshold S (■o
/i>S), a low level discrimination signal is output.

これらの判別信号は次段のレベル制御部50に与えられ
る。レベル制御部50は、ハイレベルの判別信号が与え
られた場合には、ゴーストビークの発生の可能性がある
と判断して検出信号をベースラインに維持する補正信号
データを出力する。この補正信号データは、第5切換部
52、D/A変換器54、第2増幅器56を介して加算
器26に与えられる。この場合、加算器2Gは、第1増
幅器24の検出信号出力に対して、第3切換部40から
のオフセット信号と第5切換部52からの補正信号とを
共に重畳する。したがって、加算器26からは、バック
グラウンドに相当する分だけ信号レベルが低下され、さ
らに、ゴーストピークに起因するレベル変化が相殺され
た検出信号が出力されることになる。また、比較判別部
48からローレベルの信号がレベル制御部50に出力さ
れた場合には、レベル制御部50は、ガスクロマトグラ
フで分離されたガス(Go、Go、)のイオンのピーク
が存在するものと判断し、このときには、同等補正信号
を出力しない。したがって、この場合には、加算器26
からは、バックグラウンドのみ除去された検出信号が出
力される。
These discrimination signals are given to the level control section 50 at the next stage. When the level control unit 50 receives a high-level discrimination signal, it determines that there is a possibility that a ghost beak may occur, and outputs correction signal data that maintains the detection signal at the baseline. This correction signal data is given to the adder 26 via the fifth switching section 52, the D/A converter 54, and the second amplifier 56. In this case, the adder 2G superimposes both the offset signal from the third switching section 40 and the correction signal from the fifth switching section 52 on the detection signal output of the first amplifier 24. Therefore, the adder 26 outputs a detection signal in which the signal level is lowered by an amount corresponding to the background, and the level change caused by the ghost peak is canceled out. Further, when a low level signal is output from the comparison/discrimination section 48 to the level control section 50, the level control section 50 determines that there is a peak of ions of the gas (Go, Go,) separated by the gas chromatograph. In this case, the equivalence correction signal is not output. Therefore, in this case, adder 26
A detection signal from which only the background has been removed is output.

そして、加算器26からの検出信号は、信号読取部30
、第2切換部32を介して記録計34に与えられる。こ
のため、記録計34には、第2図に示すように、トータ
ルイオン(ガスクロマトグラム)を測定した場合(同図
(a)参照)には、02のピークによってCOのイオン
を識別できないときでも、m/z(=28.44)ごと
に測定したマスフラグメントグラム(同図(b)、(C
)参照)には、ゴーストピークの現れないCOおよびC
O2の各ピークが記録されることになる。
Then, the detection signal from the adder 26 is sent to the signal reading section 30.
, is applied to the recorder 34 via the second switching section 32. Therefore, as shown in Figure 2, when measuring the total ions (gas chromatogram) (see figure (a)), the recorder 34 has a , m/z (=28.44) (Figure (b), (C
), CO and C do not have ghost peaks.
Each peak of O2 will be recorded.

(l・)効果 本発明によれば、MFにより0.ガス中のH20。(l・) Effect According to the present invention, 0. H20 in gas.

C01CO2等の不純物ガスを分析する場合に、各ヂャ
ンネルごとの検出信号の強度比をモニタし、強度比がし
きい値以下の場合には、検出信号のレベル変化を相殺し
てベースラインに維持するようにしているので、測定さ
れるマスフラグメントグラムには02ガスと炭化水素と
の反応に起因するゴーストピークは出現しなくなる。そ
のため、従来のように、ゴーストピークを真のCOやC
O2のイオンのピークとして誤って認識したり、定量計
算の精度の劣化等が解消され、常に、精度良い分析結果
が得られるようになる等の優れた効果が発揮される。
When analyzing impurity gases such as CO1CO2, the intensity ratio of the detection signal for each channel is monitored, and if the intensity ratio is below the threshold, the level change of the detection signal is offset to maintain the baseline. As a result, ghost peaks resulting from the reaction between 02 gas and hydrocarbons no longer appear in the measured mass fragmentogram. Therefore, as in the past, ghost peaks cannot be compared to true CO or C.
The erroneous recognition as an O2 ion peak and the deterioration in the accuracy of quantitative calculations are eliminated, and excellent effects such as always obtaining highly accurate analysis results are exhibited.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の実施例に係るガスクロマ)・グラフ質
量分析装置のブロック図、第2図は同装置で測定される
ガスクロマトグラムとマスフラグメントグラム、第3図
は従来の装置で得られるガスクロマトグラムとマスフラ
グメン)・グラムである。 1 ・ガスクロマトグラフ質量分析装置、10質量分別
部、■2・・・検出器、I6・・切換信号発生部、46
 ・強度比演算部、48 ・比較判別部、50・・・レ
ベル制御部。
Figure 1 is a block diagram of a gas chromatogram/graph mass spectrometer according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a gas chromatogram and mass fragmentogram measured with the same equipment, and Figure 3 is a gas chromatogram obtained with a conventional equipment. tograms and mass fragments) and grams. 1 Gas chromatograph mass spectrometer, 10 mass fractionation section, ■2...detector, I6... switching signal generation section, 46
- Intensity ratio calculation unit, 48 - Comparison/discrimination unit, 50...Level control unit.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)チャンネル切換信号を発生する切換信号発生部と
、このチャンネル切換信号に同期して該当する質量数を
もつイオンを選択分離する質量分別部と、この質量分別
部で質量分離された各イオンを検出する検出器とを備え
たガスクロマトグラフ質量分析装置において、 前記検出器でチャンネル切り換えに伴ってそれぞれ検出
される検出信号についての強度比を算出する強度比演算
部と、 この強度比演算部の演算結果を予め設定されたしきい値
と比較してその大小を判別する比較判別部と、 この比較判別部からの判別信号に基づき、前記強度比が
しきい値以下の場合にのみ前記検出信号のレベルをベー
スラインに維持する補正信号を出力するレベル制御部と
、 を備えることを特徴とするガスクロマトグラフ質量分析
装置。
(1) A switching signal generation section that generates a channel switching signal, a mass separation section that selectively separates ions with a corresponding mass number in synchronization with this channel switching signal, and each ion mass separated by this mass separation section. In a gas chromatograph mass spectrometer equipped with a detector for detecting a a comparison/discrimination unit that compares the calculation result with a preset threshold value to determine its magnitude; and based on the discrimination signal from the comparison/discrimination unit, the detection signal is output only when the intensity ratio is equal to or less than the threshold value. A gas chromatograph mass spectrometer, comprising: a level control unit that outputs a correction signal to maintain the level of at a baseline;
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2017126067A1 (en) * 2016-01-21 2017-07-27 株式会社日立ハイテクノロジーズ Mass spectrometry device and ion detection method therefor

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