JPH02163622A - Fourier-transformation infrared spectrophotometer - Google Patents

Fourier-transformation infrared spectrophotometer

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JPH02163622A
JPH02163622A JP31926288A JP31926288A JPH02163622A JP H02163622 A JPH02163622 A JP H02163622A JP 31926288 A JP31926288 A JP 31926288A JP 31926288 A JP31926288 A JP 31926288A JP H02163622 A JPH02163622 A JP H02163622A
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JP
Japan
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circuit
fourier transform
abnormality
averaging
interferometer
Prior art date
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Pending
Application number
JP31926288A
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Japanese (ja)
Inventor
Wataru Hirose
渉 廣瀬
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Horiba Ltd
Original Assignee
Horiba Ltd
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To improve the S/N of a spectrum, the stability and the reproducibility as a result of Fourier-transformation and a result of a final measurement by preventing an interferogram outputted from an analyzing part from being supplied to a data processing part, when an abnormality detecting circuit detects abnormality of the analyzing part. CONSTITUTION:The spectrophotometer is provided with an analyzing part A consisting of a light source 2, an interferometer 1, an interferometer driving circuit 3, a sample chamber 4, a detector 5, etc., and a data processing part consisting of an adding and averaging circuit 6 for adding and averaging an interferogram outputted from the analyzing part A, a Fourier-transformation circuit 7 for performing a Fourier- transformation processing to output data from the circuit 6, a spectrum arithmetic circuit 8 for calculating a spectrum related to an object to be measured, based on the output data from the circuit 7, etc. On this spectrophotometer, an abnormality detecting circuit X for detecting abnormality generated in the analyzing part A is provided. Also, the detecting circuit X is constituted so that when abnormality of the analyzing part A is detected, the interferogram outputted from the analyzing part A at that time is not supplied to the adding and averaging circuit 6 of the processing part B.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、光源、干渉計、干渉計駆動回路、試料室、検
出器等から成る分析部と、その分析部から出力されるイ
ンターフェログラムを加算平均する加算平均回路、その
加算平均回路からの出力データにフーリエ変換処理を施
すフーリエ変換回路そのフーリエ変換回路からの出力デ
ータに基いて測定対象に関するスペクトルを演算するス
ペクトル演算回路等から成るデータ処理部とを備えてい
るフーリエ変換赤外分光光度針(一般ムこFT−NRと
称される)に係り、特に、そのFT−IHにおける新規
なデータザンプリング技術に関する。
[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to an analysis section comprising a light source, an interferometer, an interferometer drive circuit, a sample chamber, a detector, etc., and an interferogram output from the analysis section. data consisting of an averaging circuit that adds and averages the average of The present invention relates to a Fourier transform infrared spectrophotometric needle (generally referred to as FT-NR) equipped with a processing section, and particularly relates to a novel data sampling technique in the FT-IH.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

従来一般のフーリエ変換赤外分光光度計は、第6図の全
体概略ブロック回路構成図に示すように、干渉計1に対
して赤外光を発する光源2.その干渉計1を駆動するた
めのモーター等から成る干渉計駆動回路3.前記干渉計
1から照射されて試料室4を通過した赤外光を検出する
だめの検出器5等から成る分析部へと、その分析計Aに
おける検出器5から出力される測定データ(一般にイン
ターフェログラムと称される)を加算平均するだめの加
算平均回路6と、その加算平均回路6から出力されるデ
ータ(加算平均されたインターフェログラム)にフーリ
エ変換処理を施すための高速フーリエ変換回路7 (一
般にFFTと称される)およびそのフーリエ変換回路7
による処理データに基いて測定対象に関するスペクトル
を得るためのスペクトル演算回路8等で構成されるデー
タ処理部Bと、前記分析部Aにおける干渉計駆動回路3
および前記データ処理部Bにおける加算平均回路6、フ
ーリエ変換回路7.スペクトル演算回路8等を所定のシ
ーケンスで制御するシーケンサ−Cとで構成されている
A conventional general Fourier transform infrared spectrophotometer has a light source 2 that emits infrared light for an interferometer 1, as shown in the overall schematic block circuit diagram of FIG. An interferometer drive circuit 3 consisting of a motor etc. for driving the interferometer 1. Measurement data output from the detector 5 in the analyzer A (generally an interface An averaging circuit 6 for averaging the data (referred to as a ferrogram), and a fast Fourier transform circuit for performing Fourier transform processing on the data output from the averaging circuit 6 (the averaged interferogram). 7 (commonly referred to as FFT) and its Fourier transform circuit 7
a data processing section B comprising a spectrum calculation circuit 8 and the like for obtaining a spectrum related to the measurement object based on processed data; and an interferometer drive circuit 3 in the analysis section A.
and an averaging circuit 6 and a Fourier transform circuit 7 in the data processing section B. It is comprised of a sequencer C that controls the spectrum calculation circuit 8 and the like in a predetermined sequence.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problem to be solved by the invention]

上記したような従来構成のフーリエ変換赤外分光光度針
においては、分析計Aにおける検出器5から出力される
測定データ(インターフェログラム)が全てデータ処理
部Bにおける加算平均回路6へ入力されて加算平均処理
されるように構成されていたために、次のような問題が
あった。
In the conventional Fourier transform infrared spectrometer needle as described above, all measurement data (interferogram) output from the detector 5 in the analyzer A is input to the averaging circuit 6 in the data processing section B. Since the system was configured to perform averaging processing, the following problems occurred.

即ち、例えば、測定中に装置本体に物体が直接接触して
衝撃が加わったり、あるいは、装置本体を支持している
台や床に何らかの原因で振動が生してその振動が装置本
体に伝達されたりすると、分析部A(特に干渉計1)が
その影響を受けて検出器5から出力されるインターフェ
ログラムが一時的に乱れるが、その乱れたインターフェ
ログラムも加算平均回路6へ入力されてカロ算平均処理
されるため、爾後それに基いて得られるフーリエ変換結
果ならびにスペクトルも乱れ−ζし7まい、測定結果の
S/N比、安定性および再現性の劣化を招くことになる
In other words, for example, an object may come into direct contact with the device body during measurement and a shock is applied, or vibrations may be generated for some reason in the table or floor supporting the device body and the vibrations may be transmitted to the device body. When this occurs, the analysis unit A (particularly the interferometer 1) is affected by this, and the interferogram output from the detector 5 is temporarily disturbed, but the disturbed interferogram is also input to the averaging circuit 6. Since the Calorie calculation averaging process is performed, the Fourier transform results and spectra obtained thereafter are also disturbed, leading to deterioration of the S/N ratio, stability, and reproducibility of the measurement results.

従って、測定の途中で1=記のような振動が作用したこ
とが判明した場合には、測定を最初からやり直す必要が
あるが、1回の測定には数回ないし数百回分のインター
フェログラムの加算平均を行うのが普通であるため、非
常に大きな時間の無駄が生してしまう。
Therefore, if it is found that vibrations as described in 1=acted during the measurement, it is necessary to restart the measurement from the beginning, but one measurement requires interferograms from several to hundreds of times. Since it is common practice to perform the arithmetic averaging of

そして、このような問題は、上記のような一時的な振動
が装置本体に作用した場合のみならず、干渉計駆動回路
3に一時的に過大な電流が流れた場合や、検出器5に一
時的にパルス状のノイズが発生した場合など、つまり、
分析部に一時的な異常が発生した場合には共通に生しる
ものであり、そのような不都合な事態が発生する可能性
はかなり大きい。
Such problems occur not only when temporary vibrations as mentioned above act on the main body of the device, but also when an excessive current temporarily flows in the interferometer drive circuit 3 or when the detector 5 temporarily In other words, when pulse-like noise occurs,
This commonly occurs when a temporary abnormality occurs in the analysis section, and the possibility that such an inconvenient situation will occur is quite large.

本発明は、上記従来実情に鑑みてなされたものであって
、その目的は、たとえ分析部に一時的な異常が発生した
としても、その異常が測定結果には影響しないようにせ
んとすることにある。
The present invention has been made in view of the above-mentioned conventional situation, and its purpose is to prevent the abnormality from affecting the measurement results even if a temporary abnormality occurs in the analysis section. It is in.

〔課題を解決するだめの手段〕[Failure to solve the problem]

」1記目的を達成するために、本発明によるフーリエ変
換赤外分光光度計は、冒頭に記載したような基本的構成
を有するものにおいて、 前記分析部に発生した異常を検出するための異常検出回
路を設けると共に、その異常検出回路が前記分析部の異
常を検出したときには、そのときに前記分析部から出力
されるインターフェログラムを前記データ処理部におけ
る加算平均回路へ供給しないように構成しである、 という特徴を備えている。
In order to achieve the above object, the Fourier transform infrared spectrophotometer according to the present invention has the basic configuration as described at the beginning, and includes an abnormality detection function for detecting an abnormality occurring in the analysis section. In addition to providing a circuit, when the abnormality detection circuit detects an abnormality in the analysis section, the interferogram outputted from the analysis section at that time is configured not to be supplied to the averaging circuit in the data processing section. It has the following characteristics.

〔作用〕[Effect]

かかる特徴ある手段を採用したことにより発揮される作
用は次の通りである。
The effects achieved by employing such distinctive means are as follows.

即ち、上記本発明によるフーリエ変換赤外分光光度計に
よれば、後述する実施例の記載からもより一層明らかと
なるように、振動その他の原因により分析部に一時的な
異常が発生したことが検出された場合には、そのときの
乱れたインターフェログラムは従来構成のもののように
データ処理部における加算平均回路へは供給されずに、
無視ないしは棄却され、加算平均回路においては乱れの
ない本来のデータのみの加算平均が行われることになり
、従って、爾後それに基いて得られるフーリエ変換結果
ならびに最終測定結果としてのスペクトルのS/N比、
安定性および再現性の向上を達成することができる。
That is, according to the Fourier transform infrared spectrophotometer according to the present invention, as will become clearer from the description of the examples described later, it is possible to prevent temporary abnormality from occurring in the analysis section due to vibration or other causes. When detected, the disturbed interferogram at that time is not supplied to the averaging circuit in the data processing section as in the conventional configuration, but is
It is ignored or rejected, and the averaging circuit averages only the undisturbed original data. Therefore, the Fourier transform result obtained based on it and the S/N ratio of the spectrum as the final measurement result. ,
Improved stability and reproducibility can be achieved.

また、測定の途中で分析部に振動等による−時的な異常
が発生したとしても、そのときの乱れたインターフェロ
グラムが自動的に無視ないしは棄却されるので、必要が
あればそれを補う回vl(例えば1〜2回)だけのイン
ターフェログラムの加算平均回路への供給を追加するだ
けで1シリーズの測定を完了することができ、従来のよ
うに最初から測定をやり直す必要はなく、非常に効率的
な測定を行うことができる。
In addition, even if a temporal abnormality occurs in the analyzer due to vibration or the like during measurement, the disturbed interferogram at that time will be automatically ignored or rejected, so if necessary, there will be a process to compensate for it. One series of measurements can be completed by simply adding vl (for example, 1 or 2 times) of interferograms to the averaging circuit, and there is no need to repeat measurements from the beginning as in the past, making it very easy to measure. can perform efficient measurements.

(実施例〕 以下、本発明の一実施例を図面(第1図ないし第5図)
に基いて説明する。
(Example) Below, an example of the present invention is illustrated in the drawings (Figures 1 to 5).
I will explain based on.

第1図は本発明の実施例に係るフーリエ変換赤外分光光
度計の全体概略プロ、り回路構成図を示し、この第1図
において、Aは分析部であって、干渉計1に対して赤外
光を発する光源2.その干渉計1を駆動するためのモー
ター等から成る干渉計駆動回路3.前記干渉計1から照
射されて試料室4を通過した赤外光を検出するための検
出器5等から構成され、また、Bはデータ処理部であっ
て、前記分析計Aにおける検出器5から出力される測定
データ(インターフェログラム)を−回分づつ記憶する
バッファメモリー9と、後で詳述するように0N10F
FIIII?卸されるゲートスイッチ10と、そのデー
l−スイッチ10がON制御されたときに前記バッファ
メモリー9から入力供給されるインターフェログラムを
加算平均するための加算平均回路6と、その加算平均回
路6から出力されるデータ(加算平均されたインターフ
ェログラム)にフーリエ変換処理を施すための高速フー
リエ変換回路7 (FFT)およびそのフーリエ変換回
路7による処理データに基いて測定対象に関するスペク
トルを得るためのスペクトル演算回路8等から構成され
ている。
FIG. 1 shows an overall schematic circuit configuration diagram of a Fourier transform infrared spectrophotometer according to an embodiment of the present invention. In FIG. A light source that emits infrared light2. An interferometer drive circuit 3 consisting of a motor etc. for driving the interferometer 1. It is composed of a detector 5 and the like for detecting infrared light emitted from the interferometer 1 and passed through the sample chamber 4, and B is a data processing section that detects the infrared light emitted from the interferometer 1 and passed through the sample chamber 4. A buffer memory 9 that stores the measured data (interferogram) to be output one by one, and 0N10F as will be explained in detail later.
FIII? A gate switch 10 to be opened, an averaging circuit 6 for averaging interferograms input and supplied from the buffer memory 9 when the data switch 10 is turned on, and the averaging circuit 6 A fast Fourier transform circuit 7 (FFT) for performing Fourier transform processing on the data (averaged interferogram) output from It is composed of a spectrum calculation circuit 8 and the like.

更に、前記分析部へには、その内部に発生した異常(例
えば−時的な振動が干渉計1に作用したり、干渉計駆動
回路3に一時的に過大な電流が流れたり、検出器5に一
時的にパルス状のノイズが発生したり、といったように
インターフェログラムの乱れの原因となる異常)を検出
するための異常検出回路Xが設けられており、その異常
検出回路Xが前記分析部Aの異常を検出したときには、
前記分析部Aにおける干渉計駆動回路3および前記デー
タ処理部Bにおけるバッファメモリー9ゲートスイツチ
10.加算平均回路6.フーリエ変換回路7.スペクト
ル演算回路8等を所定のシーケンスで制御するシーケン
ザーCへ、異常信号を送信するように構成されている。
Furthermore, the analysis section may be affected by abnormalities occurring inside it (for example, - temporal vibrations acting on the interferometer 1, excessive current flowing temporarily in the interferometer drive circuit 3, An abnormality detection circuit When an abnormality in part A is detected,
An interferometer drive circuit 3 in the analysis section A and a buffer memory 9 gate switch 10 in the data processing section B. Adding average circuit 6. Fourier transform circuit7. It is configured to send an abnormality signal to a sequencer C that controls the spectrum calculation circuit 8 and the like in a predetermined sequence.

そして、そのような異常信号がシーケンサ−Cへ入力さ
れると、シーケンサ−Cは前記ゲートスイッチ10をO
FF状態に維持させるように制御することによって、そ
のときに分析部Aから出力される乱れたインターフェロ
グラムがデータ処理部Bにおける加算平均回路6へ供給
されないように構成されている。
When such an abnormal signal is input to the sequencer-C, the sequencer-C turns the gate switch 10 on.
By controlling to maintain the FF state, the disturbed interferogram outputted from the analysis section A at that time is configured not to be supplied to the averaging circuit 6 in the data processing section B.

上記のように構成されたフーリエ変換赤外分光光度計に
おいては、分析部Aが正常に作動している(異常がない
)かぎり、検出器5から得られるインターフェログラム
が一旦バソファメモリー9にストアされ、ゲートスイッ
チ10がOFF状態からON状態に切り換えられて、前
記バッファメモリー9にストアされているそのときのイ
ンタフエログラムが、データ処理部Bにおける加算平均
回路6へ供給され、しかる後、前記バッファメモリー9
がりセットされると共に、前記ゲートスイッチ10もリ
セットされてOFF状態に切り換えられる、という動作
が1回分の所定スキャン回数(例えば1000回)だけ
繰り返されるのであるが、測定途中において前述したよ
うな一時的な異常が発生したことが前記異常検出回路X
により検出された場合には、前記ゲートスイッチIOが
強制的にOFF状態に維持させられるので、そのスキャ
ンの乱れたインターフェログラムはデータ処理部Bにお
ける加算平均回路6へは供給されずに棄却されることに
なる。
In the Fourier transform infrared spectrophotometer configured as described above, as long as the analysis section A is operating normally (no abnormalities), the interferogram obtained from the detector 5 is temporarily stored in the bathophore memory 9. When the gate switch 10 is switched from the OFF state to the ON state, the current interface program stored in the buffer memory 9 is supplied to the averaging circuit 6 in the data processing section B, and then, The buffer memory 9
At the same time, the gate switch 10 is also reset and switched to the OFF state, which is repeated for a predetermined number of scans (for example, 1000 times). The abnormality detection circuit
If detected, the gate switch IO is forcibly maintained in the OFF state, so that the interferogram whose scan is disturbed is not supplied to the averaging circuit 6 in the data processing section B and is discarded. That will happen.

なお、上記のような一時的な異常によりインターフェロ
グラムが棄却された場合には、その棄却された分のスキ
ャン回数だけ測定を追加(補足)する必要があるが、定
常的なあるいは大きな振動などが作用したときには補足
スキャンが長時間継続してしまうことが考えられるため
、予め補足測定回数の上限を設定しておくことにより、
ある程度で測定を中止させるようにしておくのが望まし
い。
Note that if the interferogram is rejected due to a temporary abnormality as mentioned above, it is necessary to add (supplement) measurements for the number of scans that were rejected. When this occurs, supplementary scans may continue for a long time, so by setting an upper limit on the number of supplementary measurements in advance,
It is desirable to stop the measurement at a certain point.

第2図ないし第5図は、前記異常検出回路Xの具体的な
一構成例を示している。
2 to 5 show a specific example of the configuration of the abnormality detection circuit X.

即ち、第2図は装置(特に干渉計1)に作用した振動が
設定値を越える過大なものであったときに異常信号を発
するように構成された過大振動検出回路aを示し、これ
は、干渉計1に付設されたピエゾ式加速度計などの振動
センサ11 (第1図を参照)と、それに対するプリア
ンプI2と、そのプリアンプ12からの出力を平均化す
る平滑回路13と、その平滑回路13からの出力電圧■
と設定電圧VCCとを比較してV>Vccとなったとき
に異常信号を発するコンパレータ14とで構成されてい
る。
That is, FIG. 2 shows an excessive vibration detection circuit a configured to issue an abnormal signal when the vibration acting on the device (particularly the interferometer 1) exceeds a set value. A vibration sensor 11 such as a piezo-type accelerometer attached to the interferometer 1 (see FIG. 1), a preamplifier I2 corresponding to the vibration sensor 11, a smoothing circuit 13 for averaging the output from the preamplifier 12, and the smoothing circuit 13. Output voltage from ■
and a comparator 14 that compares the voltage and the set voltage VCC and issues an abnormal signal when V>Vcc.

また、第3図は干渉計駆動回路3に過大な電流が流れた
ときに異常信号を発するように構成された過大電流検出
回路すを示している。これは、通常の干渉計駆動回路3
には、駆動用モーター15の制御電流が過大になったと
きにその電流を遮断するために、モーター駆動用回路1
6とそれにより制御される過大電流防止用リレー17と
が設けられているのを利用して、前記過大電流防止用リ
レー17に対するモーター駆動用回路16からの制御信
号をそのまま異常信号としても取り出すように構成した
ものである。
Further, FIG. 3 shows an overcurrent detection circuit configured to issue an abnormal signal when an excessive current flows through the interferometer drive circuit 3. This is a normal interferometer drive circuit 3
In order to cut off the control current of the drive motor 15 when it becomes excessive, the motor drive circuit 1 is installed.
6 and an overcurrent prevention relay 17 controlled thereby, the control signal from the motor drive circuit 16 for the overcurrent prevention relay 17 is taken out as it is as an abnormal signal. It is composed of

更乙こ 第4図は検出器5からパルス状のノイズなどの
過大な電圧が出力されたときに異常信号を発するように
構成された過大出力検出回路Cを示し、これは、検出器
5に対して設けられたプリアンプ18と、そのプリアン
プ18からの出力を調整するゲイン調整アンプ19と、
通常時におけるそのゲイン調整アンプ19からの出力電
圧の最大波高値の平均値を記憶する波高値記憶回路20
と、前記ゲイン調整アンプ19からの出力電圧が波高値
記憶回路20からの出力電圧よりも大きくなったときに
異常信号を発するコンパレータ21とで構成されている
Figure 4 shows an excessive output detection circuit C configured to issue an abnormal signal when an excessive voltage such as pulse noise is output from the detector 5. a preamplifier 18 provided for the preamplifier 18; a gain adjustment amplifier 19 for adjusting the output from the preamplifier 18;
A peak value storage circuit 20 that stores the average value of the maximum peak values of the output voltage from the gain adjustment amplifier 19 during normal times.
and a comparator 21 that issues an abnormal signal when the output voltage from the gain adjustment amplifier 19 becomes larger than the output voltage from the peak value storage circuit 20.

そして、第5図に示すように、異常検出回路X】 2 全体としては、前記過大振動検出回路a、過大電流検出
回路すおよび過大出力検出回路CがOR回路22により
接続されており、それらのうち何れか一つでも異常信号
を発した場合には、シーケンサ−Cへ異常信号が送信さ
れるように構成されている。
As shown in FIG. 5, the abnormality detection circuit If any one of them generates an abnormal signal, the abnormal signal is transmitted to sequencer-C.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上詳述したところから明らかなように、本発明に係る
フーリエ変換赤外分光光度計によれば、分析部に発生し
た異常を検出するための異常検出回路を設けると共に、
その異常検出回路が前記分析部の異常を検出したときに
は、そのときに前記分析部から出力されるインターフェ
ログラムを前記データ処理部における加算平均回路へ供
給しないように構成しであるから、振動その他の原因に
より分析部に一時的な異常が発生したとしても、そのと
きの乱れたインターフェログラムは従来構成のもののよ
うにデータ処理部における加算平均回路へは供給されず
に、無視ないしは棄却され、加算平均回路においては乱
れのない本来のデータのみの加算平均が行われることに
なり、従って、爾後それに基いて得られるフーリエ変換
結果ならびに最終測定結果としてのスペクトルのS/N
比5比定安定性び再現性の向上を達成することができる
と共に、従来のように最初から測定をやり直す必要なく
非常に効率的な測定を行える、という顕著な効果が発揮
されるに至った。
As is clear from the detailed description above, according to the Fourier transform infrared spectrophotometer according to the present invention, an abnormality detection circuit is provided for detecting an abnormality occurring in the analysis section, and
When the abnormality detection circuit detects an abnormality in the analysis section, the interferogram outputted from the analysis section at that time is not supplied to the averaging circuit in the data processing section. Even if a temporary abnormality occurs in the analysis section due to the cause, the disturbed interferogram at that time is ignored or discarded without being supplied to the averaging circuit in the data processing section as in the conventional configuration. In the averaging circuit, only the undisturbed original data is averaged. Therefore, the Fourier transform result obtained based on this and the S/N of the spectrum as the final measurement result are
In addition to being able to improve the ratio 5 specific stability and reproducibility, it has also demonstrated the remarkable effect of being able to perform very efficient measurements without having to start over from the beginning as in the past. .

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明に係るフーリエ変換赤外分光光度計の全
体概略ブロック回路構成図を示し、第2図、第3図、第
4図および第5図は夫々その要部の概略回路図である。 そして、第6図は本発明の技術的背景ならびに従来技4
4jの問題点を説明するためのものであって、従来構成
のフーリエ変換赤外分光光度計の全体概略ブロック回路
構成図を示している。 」 4 A・・・・・・分析部、 1・・・・・・干渉計、 2・・・・・・光源、 3・・・・・・干渉針駆動回路、 4・・・・・・試料室、 5・・・・・・検出器、 B・・・・・・データ処理部、 6・・・・・・加算平均回路、 7・・・・・・フーリエ変換回路、 8・・・・・スペクトル演算回路、 X・・・・・・異常検出回路。
FIG. 1 shows an overall schematic block circuit diagram of the Fourier transform infrared spectrophotometer according to the present invention, and FIGS. 2, 3, 4, and 5 are schematic circuit diagrams of the main parts thereof, respectively. be. FIG. 6 shows the technical background of the present invention and the conventional technique 4.
This is for explaining the problems of 4j, and shows an overall schematic block circuit configuration diagram of a Fourier transform infrared spectrophotometer having a conventional configuration. 4 A...Analysis section, 1...Interferometer, 2...Light source, 3...Interference needle drive circuit, 4...... Sample chamber, 5...Detector, B...Data processing section, 6...Additional averaging circuit, 7...Fourier transform circuit, 8... ...Spectrum calculation circuit, X...Abnormality detection circuit.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 光源、干渉計、干渉計駆動回路、試料室、検出器等から
成る分析部と、その分析部から出力されるインターフェ
ログラムを加算平均する加算平均回路、その加算平均回
路からの出力データにフーリエ変換処理を施すフーリエ
変換回路、そのフーリエ変換回路からの出力データに基
いて測定対象に関するスペクトルを演算するスペクトル
演算回路等から成るデータ処理部とを備えているフーリ
エ変換赤外分光光度計において、 前記分析部に発生した異常を検出するための異常検出回
路を設けると共に、その異常検出回路が前記分析部の異
常を検出したときには、そのときに前記分析部から出力
されるインターフェログラムを前記データ処理部におけ
る加算平均回路へ供給しないように構成してあることを
特徴とするフーリエ変換赤外分光光度計。
[Scope of Claims] An analysis section consisting of a light source, an interferometer, an interferometer drive circuit, a sample chamber, a detector, etc., an averaging circuit that adds and averages interferograms output from the analysis section, and the averaging circuit. A Fourier transform infrared device comprising a Fourier transform circuit that performs Fourier transform processing on the output data from the Fourier transform circuit, and a data processing section that includes a spectrum calculation circuit that calculates a spectrum related to the measurement target based on the output data from the Fourier transform circuit. In the spectrophotometer, an abnormality detection circuit is provided to detect an abnormality occurring in the analysis section, and when the abnormality detection circuit detects an abnormality in the analysis section, an interface output from the analysis section at that time is provided. A Fourier transform infrared spectrophotometer characterized in that the ferrogram is configured not to be supplied to the averaging circuit in the data processing section.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0435327A2 (en) * 1989-12-29 1991-07-03 Shimadzu Corporation Interference spectrophotometer
WO2017179520A1 (en) * 2016-04-14 2017-10-19 コニカミノルタ株式会社 Optical measurement device, malfunction determination system, malfunction determination method, and malfunction determination program

Cited By (2)

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