JPH02156449A - Production of magneto-optical disk medium - Google Patents

Production of magneto-optical disk medium

Info

Publication number
JPH02156449A
JPH02156449A JP31165988A JP31165988A JPH02156449A JP H02156449 A JPH02156449 A JP H02156449A JP 31165988 A JP31165988 A JP 31165988A JP 31165988 A JP31165988 A JP 31165988A JP H02156449 A JPH02156449 A JP H02156449A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
stamper
magneto
substrate
optical disk
resin
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP31165988A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takashi Tokita
時田 崇
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP31165988A priority Critical patent/JPH02156449A/en
Publication of JPH02156449A publication Critical patent/JPH02156449A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

PURPOSE:To easily produce the magneto-optical disk medium having high quality by molding guide grooves on both surfaces of a sheet of a substrate and forming recording films on both the surfaces of a sheet of the substrate. CONSTITUTION:A central shaft 30 is fixed to the central position of a lower stamper 27a and the outside diameter of this central shaft is previously set equal to the inside diameter of the substrate 1a and the inside diameter of an upper stamper 28, then if the substrate 1a and the upper stamper 28 are fitted and inserted onto the central shaft 30, the respective central points align eventually. A transparent material is, therefore, used for the one stamper and after a spacer 29 is disposed to the lower stamper 27a, a 2P resin 5c is coated thereon and the substrate 1a is placed thereon at the time of transferring the guide grooves and pits of the magneto-optical disk medium. The spacer 29 is then disposed and the 2P resin 5c is applied, on which the stamper 28 is placed. The three layers consisting of the resin 5c, the substrate 1a and the resin are inserted between the stampers 27a and 28 and are molded. The molding is irradiated with UV rays through the transparent stamper to cure the resins 5c, 5d. The photoset resin is thus obtd.

Description

【発明の詳細な説明】 〔1既要〕 コンピュータシステムにおけるファイル装置として使用
される光磁気ディスク装置の、光磁気ディスク媒体の製
造方法に関し、 基板の両面に記録膜を形成することによって、光磁気デ
ィスクの貼り合わせ作業をな(し、ハリの影響を排除す
るとともに、基板材料に、不透明な材料でも使用できる
ようにすることを目的とし、光磁気ディスク媒体の、案
内溝およびピットを転写する下側スタンパと上側スタン
パのうち、少なくとも一方のスタンパを透明な材質とし
、下側スタンパに光硬化性樹脂を塗布し、その上に基板
をのせ、次に、該基板上に光硬化性樹脂を塗布し、その
上に上側スタンパをのせ、前記2つの光硬化性樹脂層と
基板の3層を、下側スタンパと上側スタンパの間に挟み
込んで成型し、その後、硬化光を照射して該光硬化性樹
脂を硬化させることによって、基板の両面に、案内溝と
ピットを有する光硬化性樹脂層を形成する。
Detailed Description of the Invention [1 Already Required] Regarding a method for manufacturing a magneto-optical disk medium for a magneto-optical disk device used as a file device in a computer system, the present invention relates to a method for producing a magneto-optical disk medium by forming a recording film on both sides of a substrate. The purpose is to perform the disk bonding work (to eliminate the effects of firmness and to enable the use of opaque substrate materials). At least one of the side stamper and the upper stamper is made of a transparent material, a photocurable resin is applied to the lower stamper, a substrate is placed on top of it, and then the photocurable resin is applied onto the substrate. Then, an upper stamper is placed on top of the stamper, and the two photocurable resin layers and the substrate are sandwiched and molded between the lower stamper and the upper stamper, and then curing light is irradiated to cure the photocurable resin. By curing the photocurable resin, a photocurable resin layer having guide grooves and pits is formed on both sides of the substrate.

[産業上の利用分野〕 本発明は、コンピュータシステムにおけるファイル装置
として使用される光磁気ディスク装置の、光磁気ディス
ク媒体の製造方法に関する。
[Field of Industrial Application] The present invention relates to a method of manufacturing a magneto-optical disk medium for a magneto-optical disk device used as a file device in a computer system.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

第4図は、光磁気ディスク媒体の全容を示す斜視図であ
る。
FIG. 4 is a perspective view showing the entire structure of the magneto-optical disk medium.

光磁気ディスク媒体は、記録媒体である光磁気ディスク
17と、光磁気ディスク装置に該光磁気ディスク媒体を
取り付けた際に、該光磁気ディスク媒体の駆動軸が挿入
される2つのハブ22と23から構成されている。
The magneto-optical disk medium includes a magneto-optical disk 17 which is a recording medium, and two hubs 22 and 23 into which the drive shaft of the magneto-optical disk medium is inserted when the magneto-optical disk medium is attached to a magneto-optical disk device. It consists of

光磁気ディスク17は、ディスク面の両面を記録面とし
て使用できるように、2枚の光磁気ディスクを貼り合わ
せてあり、更に2個のハブ22.23で挟み込んで成る
ものである。
The magneto-optical disk 17 is made by bonding two magneto-optical disks together so that both sides of the disk surfaces can be used as recording surfaces, and sandwiching the disks between two hubs 22 and 23.

次に、この光磁気ディスク媒体の従来の製造プロセスを
説明する。
Next, a conventional manufacturing process for this magneto-optical disk medium will be explained.

第5図は、光磁気ディスク媒体の製造プロセスを説明す
る工程図である。製造プロセスは、大別して3つのプロ
セスから成り、基板プロセス、成膜プロセス、組み立て
プロセス、を経て光磁気ディスク媒体が完成する。
FIG. 5 is a process diagram illustrating the manufacturing process of a magneto-optical disk medium. The manufacturing process is roughly divided into three processes, and a magneto-optical disk medium is completed through a substrate process, a film forming process, and an assembly process.

第6図は、2 P (photo−polymer)転
写法による、基板プロセスを説明する図である。第5図
の工程図に沿って、該基板プロセスを説明する。
FIG. 6 is a diagram illustrating a substrate process using a 2 P (photo-polymer) transfer method. The substrate process will be explained along the process diagram of FIG.

まず、強化ガラス基板lの表面に、ポリソシュ工程2で
ポリッシュを行い、その後、該強化ガラス基板を洗浄工
程3で洗浄する。
First, the surface of the tempered glass substrate l is polished in a polishing step 2, and then the tempered glass substrate is cleaned in a cleaning step 3.

次に、スタンパ−4と強化ガラス基板lの間に、2 P
 (photo−polymer)樹脂5を充填して成
型し、紫外線15を照射する。2P樹脂は、紫外線が照
射されると硬化する性質の樹脂であるので、2P樹脂硬
化後にスタンパ−4を引き離すと、2P転写工程6が完
了し、強化ガラス基板1に2P樹脂層5が形成された転
写法基板16が完成する。このとき、スタンパ−4によ
って、スパイラル状の案内溝18aが転写法基板16に
形成される。転写法基板16の厚さは、1.211II
11程度である。
Next, between the stamper 4 and the tempered glass substrate l, 2P
(Photo-polymer) Filled with resin 5, molded, and irradiated with ultraviolet rays 15. Since the 2P resin is a resin that hardens when exposed to ultraviolet rays, when the stamper 4 is separated after the 2P resin has hardened, the 2P transfer step 6 is completed and the 2P resin layer 5 is formed on the tempered glass substrate 1. A transfer method substrate 16 is completed. At this time, a spiral guide groove 18a is formed on the transfer substrate 16 by the stamper 4. The thickness of the transfer method substrate 16 is 1.211II
It is about 11.

このようにして製造された転写法基板16に、記録膜 
形成するプロセスが成膜プロセスである。
A recording film is placed on the transfer method substrate 16 manufactured in this way.
The process of forming is a film formation process.

第7図は、成膜プロセスによって記録膜が形成された光
磁気ディスク17を、部分的に切断した斜視図と、切断
部端面の拡大図である。
FIG. 7 is a partially cutaway perspective view of the magneto-optical disk 17 on which a recording film has been formed by the film-forming process, and an enlarged view of the end face of the cut portion.

成膜プロセスは、下地膜スバツタ工程7、記録膜スバツ
タ工程8、保護膜スバツタ工程9がら成り、案内溝18
a上に下地膜19、記録膜2o、保護膜21を、順次ス
パッタリングすることによって、形成する。このとき、
各膜の厚さは0.1 μm程度であり、案内溝18の幅
Wは0.6μm程度、案内溝18間の間隔Pはlumμ
m程度内溝18の深さHは0゜05μm程度である。
The film forming process consists of a base film sputtering step 7, a recording film sputtering step 8, a protective film sputtering step 9, and a guide groove 18.
A base film 19, a recording film 2o, and a protective film 21 are formed by sputtering in order on the film 2a. At this time,
The thickness of each film is about 0.1 μm, the width W of the guide grooves 18 is about 0.6 μm, and the interval P between the guide grooves 18 is lumμ.
The depth H of the inner groove 18 is approximately 0.05 μm.

成膜された光磁気ディスクは、組み立てプロセスで、光
磁気ディスク媒体として完成される。第8図は、この組
み立てプロセスを説明する斜視図である。
The formed magneto-optical disk is completed as a magneto-optical disk medium through an assembly process. FIG. 8 is a perspective view illustrating this assembly process.

組み立てプロセスは、2枚の光磁気ディスク17aと1
7bを接着剤で貼り合わせ、この光磁気ディスクに、2
個のハブ22と23を接着して完了するものであるが、
光磁気ディスクは、記録膜初期化工程10で初期化して
から貼り合わせる。また、組み立て完了後は、該光磁気
ディスク媒体を単体試験工程13で、試験を行ってから
出荷する。
The assembly process consists of two magneto-optical disks 17a and 1
7b with adhesive, and put 2 on this magneto-optical disk.
This is completed by gluing the hubs 22 and 23 together.
The magneto-optical disk is initialized in a recording film initialization step 10 and then bonded together. Further, after the assembly is completed, the magneto-optical disk medium is tested in a unit test step 13 before being shipped.

ここで、該組み立てプロセスを詳しく説明する。The assembly process will now be described in detail.

第9図は、従来の組み立てプロセスを説明する図で、説
明を分かりやすくするために、光磁気ディスク媒体を、
その中央から軸方向に切断した、切断部の端面図で示し
である。
FIG. 9 is a diagram illustrating the conventional assembly process. To make the explanation easier to understand, the magneto-optical disk medium is
FIG. 6 is an end view of the cut section taken axially from its center.

工程■ 光磁気ディスク17aを、記録膜を上向きにして、図に
示されないステージにセットし、該光磁気ディスク17
aの、案内溝の回転中心点をステージの回転中心点に合
わせる。
Step 2: Set the magneto-optical disk 17a on a stage (not shown) with the recording film facing upward;
Align the rotational center point of the guide groove with the rotational center point of the stage in a.

このとき、光磁気ディスクの案内溝の中心点は、該ステ
ージを回転させて、該光磁気ディスクの案内溝を、光ピ
ツクアップによってトレースし、案内溝の偏心量を測定
することによって求める。
At this time, the center point of the guide groove of the magneto-optical disk is determined by rotating the stage, tracing the guide groove of the magneto-optical disk using an optical pickup, and measuring the eccentricity of the guide groove.

以後行われる、案内溝の中心点測定は同様にして行なう
The subsequent measurement of the center point of the guide groove is performed in the same manner.

工程■ 光磁気ディスク17aに、接着剤24aを塗布し、もう
1枚の光磁気ディスク17bを、記録膜を下向きにして
、貼り合わせる。このとき使用される接着剤は、たとえ
ば、エポキシ系の接着剤である。
Step (2) Apply adhesive 24a to the magneto-optical disk 17a, and attach another magneto-optical disk 17b with the recording film facing downward. The adhesive used at this time is, for example, an epoxy adhesive.

工程■ 貼り合わせた光磁気ディスク17bの、案内溝の中心点
を、光磁気ディスク17aの、案内溝の中心点に合わせ
る。
Step (2) Align the center point of the guide groove of the bonded magneto-optical disk 17b with the center point of the guide groove of the magneto-optical disk 17a.

工程■ 光磁気ディスク17aと17bの側面外周に、UV樹脂
25aを数個所塗布し、UV光を照射してUV樹脂を硬
化させる。このとき、UV樹脂はUV光を照射すると、
数秒で硬化する。
Step (2) UV resin 25a is applied to several places on the outer periphery of the side surfaces of the magneto-optical disks 17a and 17b, and UV light is irradiated to harden the UV resin. At this time, when the UV resin is irradiated with UV light,
Hardens in seconds.

この工程で、UV樹脂を光磁気ディスク17aと17b
の側面外周に使用する理由は、工程■で使用した接着剤
の硬化時間が長いため、硬化時間中に、貼り合わせた光
磁気ディスク17aと17bの案内溝の中心点に、ズレ
が生じないようにするためである。すなわち、仮止めで
ある。
In this process, the UV resin is applied to the magneto-optical disks 17a and 17b.
The reason why it is used on the outer periphery of the side surface of This is for the purpose of In other words, it is a temporary fix.

工程■ 内側のハブ22aを、図に示されないステージにセット
して、光磁気ディスクとの接着面に接着剤24bを塗布
する。その後、工程■で製造した光磁気ディスクを、ハ
ブ22aに貼り合わす。
Step (2) The inner hub 22a is set on a stage not shown, and adhesive 24b is applied to the adhesive surface with the magneto-optical disk. Thereafter, the magneto-optical disk manufactured in step (2) is bonded to the hub 22a.

工程■ 光磁気ディスクの案内溝の中心点を、ハブ22aの中心
点に合わせる。
Step (2) Align the center point of the guide groove of the magneto-optical disk with the center point of the hub 22a.

工程■ ハブ22aと光磁気ディスク間に、UV樹脂25bを数
個所塗布し、UV光を照射してUV樹脂を硬化させ、仮
止めする。
Step 2: Apply UV resin 25b to several places between the hub 22a and the magneto-optical disk, irradiate UV light to harden the UV resin, and temporarily fix the disk.

工程■ 光磁気ディスクとの接着面に接着剤24cを塗布した外
側のハブ23aを、ハブ22aの外側に挿入する。次に
、ハブ22aと23aの間にUV樹脂25cを数個所塗
布し、UV光を照射して、UV樹脂を硬化させ、仮止め
する。
Step (2) The outer hub 23a whose adhesive surface with the magneto-optical disk is coated with adhesive 24c is inserted into the outer side of the hub 22a. Next, UV resin 25c is applied to several places between the hubs 22a and 23a, and UV light is irradiated to cure the UV resin and temporarily fasten the hubs 22a and 23a.

以上の工程によって、光磁気ディスク媒体の組み立てが
完了する。
Through the above steps, assembly of the magneto-optical disk medium is completed.

〔発明が解決しようとする課題〕 光磁気ディスク媒体に対して、情報を読み書きするとき
は、該光磁気ディスク媒体を回転させ、案内溝を光ピン
クアップによってトレースすることによって行なう。
[Problems to be Solved by the Invention] Information is read and written to and from a magneto-optical disk medium by rotating the magneto-optical disk medium and tracing the guide groove using optical pink-up.

したがって、該光磁気ディスク媒体を光磁気ディスク装
置で使用したときに、案内溝の回転中心点に偏心がない
ことが重要である。
Therefore, when the magneto-optical disk medium is used in a magneto-optical disk device, it is important that the center of rotation of the guide groove is not eccentric.

そのため、光磁気ディスク媒体の各製造プロセスにおい
ても、案内溝の回転中心点に偏心が生じないように、作
業を行っている。
Therefore, in each manufacturing process of magneto-optical disk media, work is carried out to prevent eccentricity from occurring at the center of rotation of the guide groove.

第10図は、基板プロセスの2P転写工程で発生するバ
リを説明する断面図である。2P転写工程においては、
スタンパ4の中心点と強化ガラス基板1の中心点を一致
させるために、スタンパの内径D1を強化ガラス基板の
内径D2より大きくし、スタンパ下部から治具を挿入し
て、強化ガラス基板の中心点をスタンパの中心点に一致
させるようにしている。
FIG. 10 is a cross-sectional view illustrating burrs generated in the 2P transfer step of the substrate process. In the 2P transfer process,
In order to match the center point of the stamper 4 with the center point of the tempered glass substrate 1, the inner diameter D1 of the stamper is made larger than the inner diameter D2 of the tempered glass substrate, and a jig is inserted from the bottom of the stamper so that the center point of the tempered glass substrate is made to match the center point of the stamper.

そのため、強化ガラス基Fi1とスタンパ4の間に、2
P樹脂5を充填して成型する際に、2P樹脂5がスタン
パ4の内径側壁にはみ出すと、バリ26が発生する。ま
た逆に、スタンパ4の外径を強化ガラス基板1の外径よ
り小さくすると、今度は、スタンパの外径側壁にバリが
発生する。
Therefore, between the tempered glass base Fi1 and the stamper 4, 2
When the 2P resin 5 is filled and molded, if the 2P resin 5 protrudes onto the inner diameter side wall of the stamper 4, burrs 26 are generated. Conversely, if the outer diameter of the stamper 4 is made smaller than the outer diameter of the tempered glass substrate 1, burrs will occur on the outer diameter side walls of the stamper.

該バリ26は、強化ガラス基板の表面に対して垂直方向
に生じるため、組み立てプロセスにおいて、光磁気ディ
スクを貼り合わせる際に、支障を生じる。
Since the burr 26 is generated in a direction perpendicular to the surface of the tempered glass substrate, it causes trouble when the magneto-optical disks are bonded together in the assembly process.

第11図は、光磁気ディスクの貼り合わせの際の、バリ
26の影響を説明する断面図である。
FIG. 11 is a cross-sectional view illustrating the influence of burrs 26 when bonding magneto-optical disks together.

組み立てプロセスにおいて、光磁気ディスク17aと光
磁気ディスク17bを、接着剤24aで貼り合わせる場
合、接着剤24aの層としての厚さは20〜30μmで
あり、他方、バリ26の高さはimに達する程度のもの
である。
In the assembly process, when the magneto-optical disk 17a and the magneto-optical disk 17b are bonded together with the adhesive 24a, the thickness of the adhesive 24a as a layer is 20 to 30 μm, while the height of the burr 26 reaches im. It is of a certain degree.

したがって、光磁気ディスクの貼り合わせの際に、該バ
リ26によって次の問題を生じている。
Therefore, when the magneto-optical disks are bonded together, the burr 26 causes the following problem.

(イ)光磁気ディスク17bのバリ26が、光磁気ディ
スク17aに突き当たり、前記接着剤層の厚さを、所定
の厚さに設定できなくなる。
(a) The burr 26 of the magneto-optical disk 17b hits the magneto-optical disk 17a, making it impossible to set the thickness of the adhesive layer to a predetermined thickness.

(ロ)バリ26が折れて、光磁気ディスク17aと17
bの記録膜を損傷してしまう。
(b) The burr 26 is broken and the magneto-optical disks 17a and 17
The recording film of b is damaged.

また、組み立てプロセスにおいて、2枚の光磁気ディス
クを貼り合わせるため、次の問題が生じている。
Furthermore, in the assembly process, the following problem arises because two magneto-optical disks are pasted together.

(ハ)回転中心点合わせか、3回必要であり、作業時間
が長くなる。
(c) It is necessary to align the center of rotation three times, which increases the working time.

すなわち、工程■で光磁気ディスク17aの案内溝の回
転中心点を求めた後に、工程■で前記回転中心点に、光
磁気ディスク17bの案内溝の回転中心点を合わせ、さ
らにその後、工程■で前記光磁気ディスクとハブ22a
の回転中心点を合わせるために、回転中心点合わせか、
合計3回必要である。
That is, after determining the rotation center point of the guide groove of the magneto-optical disk 17a in step (2), aligning the rotation center point of the guide groove of the magneto-optical disk 17b with the rotation center point in step (2), and then, in step (2) The magneto-optical disk and hub 22a
In order to match the rotation center of the
A total of 3 times is required.

(ニ)工程■と工程■の間に、接着剤24aの硬化時間
が必要であり、この間、次の作業に移れない。
(d) Between step (2) and step (2), the adhesive 24a needs time to harden, and during this time it is not possible to move on to the next operation.

すなわち、接着剤24aが完全に硬化した後でないと、
該光磁気ディスク相互の案内溝の回転中心点に、ズレを
生じる恐れがあるからであり、接着強度などの点から、
接着剤24aの硬化時間を短かくできないからである。
That is, only after the adhesive 24a is completely cured.
This is because there is a risk that the rotation centers of the guide grooves between the magneto-optical disks may be misaligned, and from the viewpoint of adhesive strength, etc.
This is because the curing time of the adhesive 24a cannot be shortened.

(ホ)記録膜を内側にして貼り合わせているため、光磁
気ディスク媒体に記録や読み出しを行なう際に、強化ガ
ラス基板などの透明な基板を通してレーザ光が記録膜に
照射されることになる。したがって、この透明な基板、
たとえば強化ガラス基板は、屈折率、透過率、複屈折な
どの光学特性が均質で、かつ優れた値が要求される。ま
た、表面粗さ、キズ、ビットなどの表面仕上げも、高品
質が要求され、高価なものとなっている。
(e) Since they are bonded together with the recording film on the inside, when recording or reading from a magneto-optical disk medium, the recording film is irradiated with laser light through a transparent substrate such as a reinforced glass substrate. Therefore, this transparent substrate,
For example, a tempered glass substrate is required to have uniform and excellent optical properties such as refractive index, transmittance, and birefringence. In addition, high quality surface finishes such as surface roughness, scratches, and bits are required, making them expensive.

(へ)透明な基板としては、はぼ強化ガラス基板に限定
されるため、特定の組成からなる記録膜を形成すると、
その光磁気ディスク媒体に対する記録・読み出し感度が
一義的に決まってしまう。すなわち、強化ガラス基板の
光学特性および熱伝導度、比熱などの熱特性、また、磁
気特性を自由に選択することができない為である。した
がって、各種の記録・読み出し感度が要求される場合は
、記録膜の材質や組成などを変更するが、その場合、光
学特性、熱特性、磁気特性などの特性は、必ずしも良好
な値が得られるとは限らないのである。
(f) Transparent substrates are limited to tempered glass substrates, so if a recording film with a specific composition is formed,
The recording/reading sensitivity for the magneto-optical disk medium is uniquely determined. That is, this is because the optical properties, thermal properties such as thermal conductivity and specific heat, and magnetic properties of the tempered glass substrate cannot be freely selected. Therefore, when various recording/reading sensitivities are required, the material and composition of the recording film are changed, but in that case, good values for optical, thermal, magnetic, and other properties cannot necessarily be obtained. This is not necessarily the case.

本発明の技術的課題は、光磁気ディスク媒体の製造プロ
セスにおけるこのような問題を解消し、基板の両面に記
録膜を形成することによって、光磁気ディスクの貼り合
わせ作業をなくし、バリの影響を排除するとともに、基
板材料に、不透明な材料でも使用できるようにすること
によって、記録・読み出し感度を自由に設定できるよう
にすることにある。
The technical problem of the present invention is to eliminate such problems in the manufacturing process of magneto-optical disk media, eliminate the need for bonding work of magneto-optical disks, and reduce the effects of burrs by forming recording films on both sides of the substrate. The objective is to eliminate this problem and also to enable the use of opaque materials for the substrate material, thereby making it possible to freely set the recording/reading sensitivity.

〔課題を解決するための手段] 第1図は、本発明による光磁気ディスク媒体の製造方法
を説明する基本原理図で、スタンパを中心から縦に切断
した断面図である。
[Means for Solving the Problems] FIG. 1 is a basic principle diagram illustrating a method for manufacturing a magneto-optical disk medium according to the present invention, and is a sectional view taken vertically from the center of a stamper.

光磁気ディスク媒体の、案内溝およびビットを転写する
ときに、下側スタンパ27と上側スタンパ28を用い、
この場合、前記の両スタンパの大きさを、下側スタンパ
27の凹部に上側スタンパ28が嵌合する大きさとし、
少なくとも一方のスタンパに透明な材質を用いる。
When transferring the guide grooves and bits of the magneto-optical disk medium, the lower stamper 27 and the upper stamper 28 are used,
In this case, the size of both stampers is set so that the upper stamper 28 fits into the recess of the lower stamper 27,
A transparent material is used for at least one stamper.

そして、まず下側スタンパ27に光硬化性樹脂5aを塗
布し、その上に基板1aをのせる。
First, a photocurable resin 5a is applied to the lower stamper 27, and the substrate 1a is placed thereon.

次に、該基板1a上に光硬化性樹脂5bを塗布し、その
上に上側スタンパ28をのせる。
Next, a photocurable resin 5b is applied onto the substrate 1a, and an upper stamper 28 is placed thereon.

前記の光硬化性樹脂5aと基板1aと光硬化性樹脂5b
の3層を、下側スタンパ27と上側スタンパ28の間に
挟み込んで成型し、その後、紫外線などの硬化光15a
を透明なスタンパを通して照射し、該光硬化性樹脂5a
、5bを硬化させることによって、基板1aの両面に、
案内溝とビットを有する光硬化性樹脂層を形成する。
The photocurable resin 5a, the substrate 1a, and the photocurable resin 5b
The three layers are sandwiched and molded between the lower stamper 27 and the upper stamper 28, and then cured with ultraviolet light or other curing light 15a.
is irradiated through a transparent stamper, and the photocurable resin 5a is
, 5b, on both sides of the substrate 1a,
A photocurable resin layer having guide grooves and bits is formed.

〔作用〕 第2図は、本発明による光磁気ディスク媒体の製造方法
を説明する図で、スタンパを中心から縦に切断した断面
図である。
[Function] FIG. 2 is a diagram illustrating the method for manufacturing a magneto-optical disk medium according to the present invention, and is a cross-sectional view taken vertically from the center of the stamper.

製造方法を工程番号順に説明する。The manufacturing method will be explained in order of step numbers.

工程■ 下側スタンパ27の凹部側周27aに、下側スタンパ2
7の凹部内径と同じ径を持つリング状のスペーサ29a
を入れ、光硬化性樹脂である2P樹脂5Cを下側スタン
パ27のスタンプ面に塗布する。
Process ■ Place the lower stamper 2 on the concave side periphery 27a of the lower stamper 27.
A ring-shaped spacer 29a having the same diameter as the inner diameter of the recess 7
2P resin 5C, which is a photocurable resin, is applied to the stamp surface of the lower stamper 27.

この場合スペーサ29aは、2P樹脂5Cの転写厚を規
制するものであり、必要に応して入れて使用すればよく
、必ずしも必要ではない。また、リング状でなくともボ
ール状の部材を数個配置してもよい。
In this case, the spacer 29a regulates the transfer thickness of the 2P resin 5C, and may be inserted and used as necessary, and is not necessarily required. Moreover, several ball-shaped members may be arranged instead of ring-shaped members.

工程■ 下側スタンパ27に基板1aを入れる。Process■ The substrate 1a is placed in the lower stamper 27.

この場合、下側スタンパ27の凹部内径は、基板1aの
外径と同じ大きさにしておくことにより、基板1aが下
側スタンパ27の凹部に嵌合することによって、下側ス
タンパ27の中心点と基板1aの中心点とが一致し、該
下側スタンパ27によって成型転写される案内溝の回転
中心点が、基板1aの中心点と一致する。
In this case, by making the inner diameter of the recess of the lower stamper 27 the same as the outer diameter of the substrate 1a, the center point of the lower stamper 27 can be adjusted by fitting the substrate 1a into the recess of the lower stamper 27. The center point of the substrate 1a coincides with the center point of the substrate 1a, and the rotational center point of the guide groove formed and transferred by the lower stamper 27 coincides with the center point of the substrate 1a.

工程■ 基板1aの上で、かつ下側スタンパ27の凹部側周に、
スペーサ29bを入れ、2P樹脂5dを該基板1a上に
塗布する。
Step ■ On the substrate 1a and around the recessed part of the lower stamper 27,
A spacer 29b is inserted, and 2P resin 5d is applied onto the substrate 1a.

スペーサ29bの目的は、前記工程■と同じである。The purpose of the spacer 29b is the same as in step (2) above.

工程■ 上側スタンパ28を、下側スタンパ27の凹部に入れ、
加圧する。
Process■ Insert the upper stamper 28 into the recess of the lower stamper 27,
Apply pressure.

この場合、上側スタンパ28の外径は、下側スタンパ2
7の凹部内径と同じ大きさにしであるので、上側スタン
パ28が下側スタンパ27に嵌合することによって、下
側スタンパ27の中心点と上側スタンパ28の中心点と
が一致し、基板1a上に成型転写される案内溝の回転中
心点は、その両面相互で一致し、基板1aの中心点とも
一致する。
In this case, the outer diameter of the upper stamper 28 is the same as that of the lower stamper 28.
Since the size is the same as the inner diameter of the recess 7, when the upper stamper 28 fits into the lower stamper 27, the center point of the lower stamper 27 and the center point of the upper stamper 28 coincide, and the upper stamper The rotation center points of the guide grooves molded and transferred on both surfaces coincide with each other, and also coincide with the center point of the substrate 1a.

次に、紫外線などの硬化光15を上側スタンパ28上か
ら照射して、2P樹脂5c、 5dを硬化させると、基
板1aの両面に、案内溝18が成型された2P樹脂5c
、5dが転写されて、基板1aの両面に案内溝を有する
基板が完成する。
Next, when the 2P resins 5c and 5d are cured by irradiating curing light 15 such as ultraviolet rays from above the upper stamper 28, the 2P resin 5c with guide grooves 18 molded on both sides of the substrate 1a is formed.
, 5d are transferred, and a substrate having guide grooves on both sides of the substrate 1a is completed.

この場合、基板1aが不透明の部材である場合は、下側
スタンパ27と上側スタンパ28とは共に透明の材質の
部材とし、下側スタンパ27と上側スタンパ28の両面
から、紫外線などの硬化光を照射してやればよい。また
、基Fi1aが透明の部材である場合には、下側スタン
パ27と上側スタンパ28の、どちらか一方のスタンパ
を透明の材質の部材とし、透明の材質の部材を使用した
スタンパ側から、紫外線などの硬化光を照射すればよい
In this case, when the substrate 1a is an opaque member, both the lower stamper 27 and the upper stamper 28 are made of transparent material, and curing light such as ultraviolet rays is applied from both sides of the lower stamper 27 and the upper stamper 28. All you have to do is irradiate it. In addition, when the base Fi1a is a transparent member, one of the lower stamper 27 and the upper stamper 28 is made of a transparent material, and ultraviolet rays are transmitted from the stamper side using the transparent material. What is necessary is to irradiate a curing light such as

以上の工程をもって、基板プロセスが完了する。With the above steps, the substrate process is completed.

その後、成膜プロセスで、下地膜と記録膜と保護膜をス
パッタリングで形成し、組み立てプロセスで、ハブを取
り付けると光磁気ディスク媒体が完成し、光磁気ディス
ク同士の貼り合わせは不要となる。
Then, in the film formation process, a base film, recording film, and protective film are formed by sputtering, and in the assembly process, a hub is attached to complete the magneto-optical disk medium, eliminating the need to bond the magneto-optical disks together.

もし、工程■で下側スタンパ27側に、パリ 26aが
発生したとしても、パリ発生部位は、光磁気ディスク媒
体を光磁気ディスク装置に使用したときに、光ヘッドの
移動範囲外となるため、高さが1−程度のパリについて
は、そのままにしておいても許容できるものである。
Even if a flash 26a were to occur on the lower stamper 27 side in step (3), the region where the flash occurred would be outside the movement range of the optical head when the magneto-optical disk medium is used in a magneto-optical disk device. A paris with a height of about 1- is tolerable even if left as is.

〔実施例] 第3図は、本発明の製造方法の実施例を説明する断面図
である。
[Example] FIG. 3 is a sectional view illustrating an example of the manufacturing method of the present invention.

本実施例の場合、下側スタンパ27aと基板1aと上側
スタンパ28の中心点を合わせるために、中心軸30を
使用している点板外は、第1図に示した基本原理と全(
同様である。すなわち、中心軸30を下側スタンパ27
aの中心位置に固定し、該中心軸30の外径を、基板1
aの内径、および上側スタンパ28の内径と等しくして
おくことにより、基板1aおよび上側スタンパ28を、
中心軸30に嵌合・挿入すると、各々の中心点が必然的
に一致するわけである。
In the case of this embodiment, the basic principle shown in FIG. 1 and the entire (
The same is true. That is, the central axis 30 is aligned with the lower stamper 27.
a, and the outer diameter of the central axis 30 is fixed at the center position of the substrate 1.
By making the inner diameter of a and the inner diameter of the upper stamper 28 equal, the substrate 1a and the upper stamper 28 are
When fitted and inserted into the central shaft 30, their respective center points inevitably coincide.

したがって、光磁気ディスク媒体の、案内溝およびピッ
トを転写するときに、少なくとも一方のスタンパに透明
な材質を用い、まず下側スタンパ27aにスペーサ29
を配置した後、2P樹脂5Cを塗布し、その上に基板1
aをのせる。
Therefore, when transferring the guide grooves and pits of the magneto-optical disk medium, at least one stamper is made of a transparent material, and the spacer 29 is first attached to the lower stamper 27a.
After arranging the 2P resin 5C, the substrate 1 is placed on top of it.
Place a.

次に、該基板1a上にスペーサ29を配置した後、2P
樹脂5dを塗布し、その上に上側スタンパ28をのせる
Next, after placing the spacer 29 on the substrate 1a, the 2P
The resin 5d is applied, and the upper stamper 28 is placed on top of it.

前記の2P樹脂5cと基板1aと2P樹脂5dの3層を
、下側スタンパ27aと上側スタンパ2Bの間に挟み込
んで成型し、その後、紫外線15を透明なスタンパを通
して照射し、該2P樹脂5c、5dを硬化させることに
よって、基板1aの両面に、案内溝とピットを有する光
硬化性樹脂層を形成することができる。
The three layers of the 2P resin 5c, the substrate 1a, and the 2P resin 5d are sandwiched and molded between the lower stamper 27a and the upper stamper 2B, and then ultraviolet rays 15 are irradiated through the transparent stamper to form the 2P resin 5c, By curing 5d, a photocurable resin layer having guide grooves and pits can be formed on both sides of the substrate 1a.

また、必要に応じて、下側スタンパ27aと基板1aの
間と、基板1aと上側スタンパ28の間に、スペーサ2
9を入れて、2P樹脂の転写厚を規制してもよい。この
場合、2P転写後の基板両面の間隔および平行度が、均
一でしかも高い再現性で得られる利点がある。
Also, spacers 2 may be provided between the lower stamper 27a and the substrate 1a and between the substrate 1a and the upper stamper 28, if necessary.
9 may be included to regulate the transfer thickness of the 2P resin. In this case, there is an advantage that the spacing and parallelism on both sides of the substrate after 2P transfer are uniform and can be obtained with high reproducibility.

[発明の効果〕 本発明の製造方法によれば、1枚の基板の両面に案内溝
を成型することができるので、1枚の基板の両面に記録
膜を形成することができるようになる。
[Effects of the Invention] According to the manufacturing method of the present invention, guide grooves can be formed on both sides of one substrate, so recording films can be formed on both sides of one substrate.

したがって、光磁気ディスク同士を貼り合わせる必要が
なくなり、基板も透明である必要がない。
Therefore, there is no need to bond the magneto-optical disks together, and the substrate does not need to be transparent.

そのため、次の効果が得られる。Therefore, the following effects can be obtained.

(イ)基板プロセスで発生したパリは、光磁気ディスク
媒体の使用上問題とならなくなり、パリの突き当たり、
折損にともなう記録膜の損傷なども生じない。
(a) Paris generated in the substrate process no longer poses a problem when using magneto-optical disk media, and
There is no damage to the recording film due to breakage.

(ロ)組み立てプロセスにおいて、回転中心点合わせが
1回で済み、組み立てが極めて容易となる。
(b) In the assembly process, the center of rotation only needs to be aligned once, making assembly extremely easy.

すなわち、両面に記録膜を有する光磁気ディスクとハブ
との中心点合わせたけでよい。ちなみに、従来は3回行
っていた。
That is, it is sufficient to simply align the centers of the hub and the magneto-optical disk having recording films on both sides. By the way, we used to do this three times.

(ハ)光磁気ディスクの貼り合わせにともなう、接着時
間が不要となる。
(c) Adhesion time associated with bonding magneto-optical disks is not required.

(ニ)強化ガラス基板などの透明な基板を通さずに、記
録・読み出しを行なえるので、必ずしも強化ガラス基板
を使用する必要がなくなり、基板材料の選択範囲が広く
なる。したがって、安価な材料を選択できる。
(d) Since recording and reading can be performed without passing through a transparent substrate such as a reinforced glass substrate, it is no longer necessary to use a reinforced glass substrate, and the range of substrate material selection is widened. Therefore, inexpensive materials can be selected.

(ホ)強化ガラス基板などの透明な基板を通さずに、記
録・読み出しを行なえるので、記録膜の光学特性が基板
の影響を受けなくなる。また、基板の材料選択によって
、基板の熱伝導度や比熱などの熱特性および磁気特性を
自由に設定できるようになり、記録・読み出し感度の設
計自由度が増す。
(e) Since recording and reading can be performed without passing through a transparent substrate such as a reinforced glass substrate, the optical characteristics of the recording film are not affected by the substrate. In addition, by selecting the material for the substrate, it becomes possible to freely set the thermal properties and magnetic properties of the substrate, such as thermal conductivity and specific heat, increasing the degree of freedom in designing recording and reading sensitivities.

以上のように、本発明による光磁気ディスク媒体の製造
方法によれば、高品質で安価な光磁気ディスク媒体を容
易に製造できるようになる。
As described above, according to the method for manufacturing a magneto-optical disk medium according to the present invention, it becomes possible to easily manufacture a high-quality and inexpensive magneto-optical disk medium.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は、本発明の基本原理を説明する断面図、第2図
は、本発明の製造方法を説明する断面図、第3図は、本
発明の詳細な説明する断面図、第4図は、光磁気ディス
ク媒体の全容を示す斜視図、 第5図は、光磁気ディスク媒体の製造プロセスを説明す
る工程図、 第6図は、2 P (photo−polymer)転
写法による、基板プロセスを説明する断面図と斜視図、
第7図は、記録膜の構成を説明する、光磁気ディスク媒
体の部分的な切断図と、切断部端面の拡大図、 第8図は、組み立てプロセスを説明する斜視図、第9図
は、従来の組み立てプロセスを工程順に示す断面図、 第10図は、2P転写工程で発生するパリを説明する断
面図、 第11図は、パリのある光磁気ディスクの貼り合わせ状
態を説明する断面図である。 図において、1は強化ガラス基板、2はポリッシュ工程
、3は洗浄工程、4はスタンパ−15,5c、5dは2
P樹脂、5a、5bは光硬化性樹脂、6は2P転写工程
、7は下地膜スバツタ工程、8は記録膜スバツタ工程、
9は保護膜スバツタ工程、10は記録膜初期化工程、1
1は単板接着工程、12はハブ接着工程、13は単体試
験工程、14は完成した光磁気ディスク媒体、15は紫
外線、15aは硬化光、16は転写済基板、17と17
aおよび17bは光磁気ディスフ、18は案内溝、19
は下地膜、20は記録膜、21は保護膜、22.23は
ハブ、24a、 24b、 24cは接着剤、25a、
25b、25cはUV樹脂、26はパリ、27.27a
は下側スタンパ、28は上側スタンパ、29.29a、
 29bはスペーサ、30は中心軸をそれぞれ示してい
る。 特許出願人     富士通株式会社 復代理人 弁理士  福 島 康 文 ジ オン払天デンス7耀1へ 冨40 組が立ズブ0セス 第8図 膜構成 ・冥7凶 2plic写工木匠)二2月1−62マリのイし生箒1
0凹 八・すΦゐ七づ亡届良歌予スゲグー石り冶\杓七耳11
圀 第70 プロでス 一 グ乙 戚
FIG. 1 is a sectional view explaining the basic principle of the invention, FIG. 2 is a sectional view explaining the manufacturing method of the invention, FIG. 3 is a sectional view explaining the details of the invention, and FIG. is a perspective view showing the entire structure of the magneto-optical disk medium, FIG. 5 is a process diagram explaining the manufacturing process of the magneto-optical disk medium, and FIG. 6 is a substrate process using the 2P (photo-polymer) transfer method. A cross-sectional view and a perspective view to explain,
FIG. 7 is a partial cutaway view of the magneto-optical disk medium and an enlarged view of the end face of the cut portion, illustrating the structure of the recording film. FIG. 8 is a perspective view illustrating the assembly process. FIG. 10 is a cross-sectional view illustrating the conventional assembly process in the order of steps. FIG. 10 is a cross-sectional view illustrating the formation of paris that occurs in the 2P transfer process. FIG. be. In the figure, 1 is a tempered glass substrate, 2 is a polishing process, 3 is a cleaning process, 4 is a stamper 15, 5c, 5d is 2
P resin, 5a and 5b are photocurable resins, 6 is a 2P transfer process, 7 is a base film sputtering process, 8 is a recording film sputtering process,
9 is a protective film sputtering process, 10 is a recording film initialization process, 1
1 is a veneer adhesion process, 12 is a hub adhesion process, 13 is a unit test process, 14 is a completed magneto-optical disk medium, 15 is an ultraviolet ray, 15a is a curing light, 16 is a transferred substrate, 17 and 17
a and 17b are magneto-optical disks, 18 is a guide groove, 19
20 is a base film, 20 is a recording film, 21 is a protective film, 22.23 is a hub, 24a, 24b, 24c is an adhesive, 25a,
25b, 25c are UV resin, 26 is Paris, 27.27a
is the lower stamper, 28 is the upper stamper, 29.29a,
29b represents a spacer, and 30 represents a central axis. Patent Applicant: Fujitsu Limited Sub-Agent Patent Attorney Yasushi Fukushima 62 Mari's raw broom 1
0 concave 8, Φゐ 7zu death notification Ryokayo Sugegu Ishiriji \ Dakishichimi 11
Kuni No. 70 Professional match

Claims (1)

【特許請求の範囲】 光磁気ディスク媒体の、案内溝およびピットを転写する
下側スタンパ(27)と上側スタンパ(28)のうち、
少なくとも一方のスタンパを透明な材質とし、 下側スタンパ(27)に光硬化性樹脂(5a)を塗布し
、その上に基板(1a)をのせ、 次に、該基板(1a)上に光硬化性樹脂(5b)を塗布
し、その上に上側スタンパ(28)をのせ、前記光硬化
性樹脂(5a)と基板(1a)と光硬化性樹脂(5b)
の3層を、下側スタンパ(27)と上側スタンパ(28
)の間に挟み込んで成型し、 その後、硬化光(15a)を照射して該光硬化性樹脂(
5a)、(5b)を硬化させることによって、基板(1
a)の両面に、案内溝とピットを有する光硬化性樹脂層
を形成することを特徴とする光磁気ディスク媒体の製造
方法。
[Claims] Of the lower stamper (27) and the upper stamper (28) for transferring guide grooves and pits of a magneto-optical disk medium,
At least one stamper is made of a transparent material, a photocurable resin (5a) is applied to the lower stamper (27), a substrate (1a) is placed on top of it, and then a photocurable resin is placed on the substrate (1a). The photocurable resin (5b) is coated with the photocurable resin (5b), the upper stamper (28) is placed thereon, and the photocurable resin (5a), the substrate (1a) and the photocurable resin (5b) are coated.
The lower stamper (27) and the upper stamper (28)
), and then irradiated with curing light (15a) to form the photocurable resin (
By curing 5a) and (5b), the substrate (1
A method for manufacturing a magneto-optical disk medium, which comprises forming a photocurable resin layer having guide grooves and pits on both sides of the method of (a).
JP31165988A 1988-12-08 1988-12-08 Production of magneto-optical disk medium Pending JPH02156449A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP31165988A JPH02156449A (en) 1988-12-08 1988-12-08 Production of magneto-optical disk medium

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP31165988A JPH02156449A (en) 1988-12-08 1988-12-08 Production of magneto-optical disk medium

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH02156449A true JPH02156449A (en) 1990-06-15

Family

ID=18019939

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP31165988A Pending JPH02156449A (en) 1988-12-08 1988-12-08 Production of magneto-optical disk medium

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH02156449A (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7286153B1 (en) 1991-10-11 2007-10-23 Hitachi, Ltd. Three-dimensional recording and reproducing apparatus
WO2010047023A1 (en) * 2008-10-22 2010-04-29 日本電気株式会社 Optical information recording medium and manufacturing method
WO2014132705A1 (en) * 2013-02-27 2014-09-04 富士フイルム株式会社 Method for producing optical information recording medium

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7286153B1 (en) 1991-10-11 2007-10-23 Hitachi, Ltd. Three-dimensional recording and reproducing apparatus
US7995082B2 (en) 1991-10-11 2011-08-09 Hitachi, Ltd. Three-dimensional recording and reproducing apparatus
WO2010047023A1 (en) * 2008-10-22 2010-04-29 日本電気株式会社 Optical information recording medium and manufacturing method
US8524347B2 (en) 2008-10-22 2013-09-03 Nec Corporation Optical information recording medium and method of manufacturing the same
WO2014132705A1 (en) * 2013-02-27 2014-09-04 富士フイルム株式会社 Method for producing optical information recording medium

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH08329523A (en) Optical disk
JP2515757B2 (en) Optical information recording disk manufacturing method
JPS61292245A (en) Method and apparatus for providing optical detection structure on substrate of optical reading information disc
JPH02156449A (en) Production of magneto-optical disk medium
JPS6396755A (en) Manufacture of optical information recording disk
JP2512710B2 (en) Optical disc and its manufacturing method
JPS60263354A (en) Production of information recording substrate
JP4433632B2 (en) Manufacturing method of optical recording medium
JPH0640426B2 (en) Optical disc manufacturing method
JPH0644356B2 (en) Light disk
JPH02146133A (en) Magneto-optical disk medium
JP2008027506A (en) Manufacturing method of multilayered optical recording medium
JP2533182B2 (en) Optical disc manufacturing method
JP2941313B2 (en) Optical disc manufacturing method
JPH01178149A (en) Manufacture of optical disk
JPS62167639A (en) Production of optical disk transfer mold
JPS621144A (en) Optical disk and its manufacture
JP2632062B2 (en) Optical disc manufacturing method
JP2721655B2 (en) Composite optical disk structure
JPS62164240A (en) Production of information recording substrate
JPH03295083A (en) Single plate type optical disk
JPS61280051A (en) Manufacture of stuck optical disk
JPH10112072A (en) Recording carrier and its production
JPH04121843A (en) Production of optical disk
JPS63222346A (en) Production of optical disk