JPH02154189A - Waveguide type speed sensor - Google Patents

Waveguide type speed sensor

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JPH02154189A
JPH02154189A JP30818588A JP30818588A JPH02154189A JP H02154189 A JPH02154189 A JP H02154189A JP 30818588 A JP30818588 A JP 30818588A JP 30818588 A JP30818588 A JP 30818588A JP H02154189 A JPH02154189 A JP H02154189A
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Hayami Hosokawa
速美 細川
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Abstract

PURPOSE:To simplify constitution by making reference light travel reciprocally in a 2nd optical waveguide and providing an acoustooptic effect type frequency shifter in the 2nd optical waveguide. CONSTITUTION:Incident light 76 of frequency fo is branched in a (y) shape through an optical waveguide 54 and the light 76 which is guided to the side of an optical waveguide 56 is more-converted by the frequency shifter 64, frequency-shifted by the frequency fr of a surface acoustic wave 75, reflected by an end surface reflecting mirror 66, and further shifted by a frequency fr through the shifter 64 again, so that the frequency of reference light 77 returning to the optical waveguide 56 is fo+2fr. Further, the light 76 which is guided to the side of an optical waveguide 58, on the other hand, is passed through an optical waveguide 62 and a collimator lens 68 and reflected by a reflecting mirror 70 to return to the optical waveguides 62 and 58, so that the frequency of the signal light 78 is fo+fS. Then, the signal light 78 and reference light 77 beat at the Y branch part and projection light 79 of frequency 2fr-fS is projected from the optical waveguide 54. The frequency of the projection light 79 is detected to obtain the moving speed of the mirror 70.

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、導波型速度センサに関する。[Detailed description of the invention] (Industrial application field) The present invention relates to a waveguide speed sensor.

(従来の技術) 第3図ば従来例の導波型速度センサの概略構成を示す平
面図である。第3図において、符号2は従来例の導波型
速度センサの全体を示している。
(Prior Art) FIG. 3 is a plan view showing a schematic configuration of a conventional waveguide type speed sensor. In FIG. 3, reference numeral 2 indicates the entire conventional waveguide type speed sensor.

この導波型速度センサ2において、4は基板、6〜26
は基板4に形成された光導波路、28は光導波路6への
入射光、30は光導波路6からの出射光、32は光導波
路10に設けられたモードスプリッタ、34は光導波路
12に設けられたモードコンバータ、36は光導波路2
4に設けられた電気光学効果タイプの周波数シフタ、3
8は光導波路!4の端面に設けられたミラー 40は光
導波路20の端面に設けられた光ファイバ、42は移動
速度が検出されるべきミラーである。
In this waveguide type speed sensor 2, 4 is a substrate, 6 to 26
is an optical waveguide formed on the substrate 4, 28 is light incident on the optical waveguide 6, 30 is light emitted from the optical waveguide 6, 32 is a mode splitter provided on the optical waveguide 10, and 34 is a mode splitter provided on the optical waveguide 12. 36 is the optical waveguide 2
an electro-optic effect type frequency shifter provided in 4;
8 is an optical waveguide! Mirror 40 is an optical fiber provided at the end surface of the optical waveguide 20, and 42 is a mirror whose moving speed is to be detected.

上記構成の導波型速度センサ2の作用について説明する
The operation of the waveguide type speed sensor 2 having the above configuration will be explained.

まず、光導波路6に周波数fOの入射光28が入射され
ると、その入射された光は光導波路6から光導波路8と
12とにY分岐される。光導波路8側に分岐された光は
、光導波路lOに導波されてモードスプリッタ32を介
して光導波路20に導波される。そして、その光導波路
20に導波された光は光ファイバ40を介して移動速度
を検出されるべき対象物体である反射ミラー42で反射
されてのち、ふたたび光ファイバ40を介して光導波路
20内に導波される。ここで、43は反射ミラー42へ
の入射光、45は反射ミラー42からの反射光である。
First, when the incident light 28 of frequency fO is incident on the optical waveguide 6, the incident light is Y-branched from the optical waveguide 6 into optical waveguides 8 and 12. The light branched to the optical waveguide 8 side is guided to the optical waveguide 10, and is then guided to the optical waveguide 20 via the mode splitter 32. The light guided into the optical waveguide 20 is reflected by the reflecting mirror 42, which is the target object whose moving speed is to be detected, through the optical fiber 40, and then returns to the optical waveguide 20 through the optical fiber 40. The wave is guided by the Here, 43 is the incident light on the reflecting mirror 42, and 45 is the reflected light from the reflecting mirror 42.

そして、この反射光45が信号光となる。このときの光
の周波数はミラー42の移動速度に対応した周波数(「
0→−fs)に変換されている。そして、その光は光導
波路20から光導波路18、さらに光導波路I6に導波
される。
This reflected light 45 becomes signal light. The frequency of the light at this time is the frequency corresponding to the moving speed of the mirror 42 ("
0→-fs). The light is then guided from the optical waveguide 20 to the optical waveguide 18 and further to the optical waveguide I6.

一方、光導波路6から光導波路12側に分岐された入射
光28は、モードコンバータ34でモード変換されると
ともに、光導波路14を介して反射ミラー38で反射さ
れてのち、光導波路26に導波されるとともに、光導波
路24に導波される。
On the other hand, the incident light 28 branched from the optical waveguide 6 to the optical waveguide 12 side is mode-converted by the mode converter 34 and reflected by the reflection mirror 38 via the optical waveguide 14, and then guided to the optical waveguide 26. and is guided to the optical waveguide 24.

このとき、光導波路24に設けられた周波数シフタ36
によりその光は周波数シフトされる結果、その光は周波
数(fO+fr)になる。この周波数シフタ36で周波
数ンフトされた光は参照光46として光導波路22を介
して光導波路16に導波される。
At this time, the frequency shifter 36 provided in the optical waveguide 24
As a result, the light has a frequency of (fO+fr). The light whose frequency has been shifted by the frequency shifter 36 is guided to the optical waveguide 16 via the optical waveguide 22 as a reference light 46.

そして、光導波路18と22とからそれぞれ光導波路1
6に導波された周波数が(fo +「s )の信号光4
5と周波数が(fO+fr)の参照光46とは、分岐部
のところでビート作用を受ける結果、その光導波路16
に導波される光の周波数は(fs−fr)となる。この
場合frの周波数成分は周波数ンフタ36で決定される
基準周波数であり、「Sの周波数成分はミラー42の移
動速度に対応した比較周波数であるので、光導波路16
側に設けられた図示しないスペクトラムアナライザでも
ってrrとfsの周波数差から反射ミラー42の移動速
度を検出することができる。
Then, the optical waveguides 18 and 22 are connected to the optical waveguides 18 and 22, respectively.
Signal light 4 with a frequency of (fo + "s") guided to 6
5 and the reference light 46 having a frequency of (fO+fr) receives a beat effect at the branching point, and as a result, the optical waveguide 16
The frequency of the light guided to is (fs-fr). In this case, the frequency component fr is the reference frequency determined by the frequency filter 36, and the frequency component S is the comparison frequency corresponding to the moving speed of the mirror 42, so the optical waveguide 16
The moving speed of the reflecting mirror 42 can be detected from the frequency difference between rr and fs using a spectrum analyzer (not shown) provided on the side.

(発明が解決しようとする課題) 上記のような構成を有する従来例の導波型速度センサ2
にあっては、周波数シフタ36が電気光学効果を利用し
たタイプのものであるために、その周波数ンフタ36に
対して光を2回往復させた場合は、その光の周波数かシ
フトされなくなることから、この周波数ンフタ36に対
しては光を1回だけ導波される構成にする必要がある。
(Problem to be Solved by the Invention) Conventional waveguide speed sensor 2 having the above configuration
In this case, since the frequency shifter 36 is of a type that utilizes an electro-optic effect, if the light is sent back and forth to the frequency shifter 36 twice, the frequency of the light will not be shifted. , it is necessary to configure the frequency filter 36 so that the light is guided only once.

ところが、周波数シフタ36に対して光を1回のみ導波
させる構成にした場合、光導波路の構成が第3図に示す
ようにたいへん複雑化するという問題がある。また、光
導波路の構成が複雑化することは、それだけ光の損失も
増大することになるので、その損失を抑制するために、
モードスプリッタ32とか、モードコンバータ34とい
ったサイズの大きな素子が必要となって一層その構成が
複雑化するのみならず、全体のサイズの大形化を招来し
てしまうという問題があった。
However, if the structure is such that the light is guided only once to the frequency shifter 36, there is a problem in that the structure of the optical waveguide becomes very complicated as shown in FIG. In addition, as the configuration of the optical waveguide becomes more complex, the loss of light increases accordingly, so in order to suppress this loss,
There is a problem in that large elements such as the mode splitter 32 and the mode converter 34 are required, which not only makes the configuration even more complicated, but also increases the overall size.

本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであって、光
導波路の構成が簡素になるとともに、全体のサイズの小
形化が可能な導波型速度センサを提供することを目的と
している。
The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to provide a waveguide speed sensor that has a simple optical waveguide configuration and can be made smaller in overall size.

(課題を解決するための手段) このような目的を達成するために、本発明の導波型速度
センサにおいては、対象物体の移動速度に応じてドツプ
ラシフトされることで周波数シフトされた信号光を導波
する第1の光導波路と、所定の周波数の参照光を導波す
る第2の光導波路とを備えたものにおいて、前記第2の
光導波路中を11q記参照光が往復するように構成する
とともに、当該第2の光導波路中に音響光学効果タイプ
の周波数シフタを配置したことを特徴としている。
(Means for Solving the Problems) In order to achieve such an object, the waveguide speed sensor of the present invention transmits signal light whose frequency is shifted by Doppler shifting according to the moving speed of the target object. A first optical waveguide that guides a wave and a second optical waveguide that guides a reference light of a predetermined frequency, wherein the reference light 11q is configured to reciprocate in the second optical waveguide. In addition, it is characterized in that an acousto-optic effect type frequency shifter is arranged in the second optical waveguide.

(作用) 第1の光導波路中の信号光は、対象物体の移動速度に応
じてドツプラシフトされることで周波数シフトされてい
る。第2の光導波路中の参照先は、当該第2の光導波路
中を往復している。そして、その参照先はその往復の過
程で当該第2の光導波路中に音響光学効果タイプの周波
数シフタにより元のモードに変換されている。
(Operation) The signal light in the first optical waveguide is frequency-shifted by being Doppler-shifted according to the moving speed of the target object. The reference destination in the second optical waveguide is reciprocated within the second optical waveguide. During the round-trip process, the reference destination is converted into the original mode by an acousto-optic effect type frequency shifter in the second optical waveguide.

したがって、対象物体の移動速度に対応して周波数シフ
トされた信号光と、参照光とはモードが同一であるから
合光されるとそれぞれの周波数成分はビートされ、その
ビート周波数に基づいての対象物体の移動速度の検出が
可能となる。
Therefore, since the signal light whose frequency has been shifted in accordance with the moving speed of the target object and the reference light have the same mode, when they are combined, each frequency component is beat, and the target object is detected based on the beat frequency. It becomes possible to detect the moving speed of an object.

(実施例) 以下、本発明の実施例を図面を参照して詳細に説明する
(Example) Hereinafter, an example of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

第1図は本発明の一実施例に係る導波型速度センサの概
略構成を示す平面図である。第1図において、符号50
は本実施例の導波型速度センサの全体を示している。こ
の導波型速度センサ50において、52はZカットのζ
オブ酸リチウム(LiNbos)でつくられた基板、5
4〜62は全体がY分岐構成の光導波路である。64は
光導波路60の途中部に設けられた音響光学効果タイプ
の周波数シフタ、66は光導波路60の基板52端部に
おける終端に設けられた端面反射ミラー68は光導波路
62の基板52端部における終端から所定距離のところ
に配置されたコリメートレンズ、70は移動速度を検出
されるべき対象物体となる反射ミラーである。なお、本
実施例ではコリメートレンズ68を設けたか、このコリ
メートレンズ68の代わりに偏波面保存タイプの光ファ
イバの一端を光導波路62の終端に対向させて設け、そ
の光ファイバの他端にロッドレンズを設けるとともに、
その光ファイバの他端に対向して反射ミラー70を配置
するようにしてもよい。
FIG. 1 is a plan view showing a schematic configuration of a waveguide type speed sensor according to an embodiment of the present invention. In FIG. 1, reference numeral 50
1 shows the entire waveguide type speed sensor of this embodiment. In this waveguide type speed sensor 50, 52 is a Z-cut ζ
Substrate made of lithium oxide (LiNbos), 5
4 to 62 are optical waveguides having a Y-branch configuration as a whole. 64 is an acousto-optic frequency shifter provided in the middle of the optical waveguide 60; 66 is an end face reflection mirror 68 provided at the end of the optical waveguide 60 at the end of the substrate 52; A collimating lens 70 disposed at a predetermined distance from the terminal end is a reflecting mirror whose moving speed is to be detected. In this embodiment, a collimating lens 68 is provided, or instead of the collimating lens 68, one end of a polarization preserving type optical fiber is provided facing the terminal end of the optical waveguide 62, and a rod lens is attached to the other end of the optical fiber. In addition to establishing
A reflecting mirror 70 may be placed opposite the other end of the optical fiber.

ここで、周波数シフタ64の構成について説明すると、
この周波数シフタ64は、光導波路60の途中部に設け
られた一対の櫛形電極72.72と、この櫛形電極72
.72の両側のそれぞれに設けられた弾性表面波吸収層
74.74とからなるとともに、櫛形電極72.72に
高周波電圧が印゛加されることでこの櫛形電極72.7
2からは光導波路60に対して2点鎖線で示されるよう
に弾性表面波75か伝搬されるようになっている。
Here, the configuration of the frequency shifter 64 will be explained.
This frequency shifter 64 includes a pair of comb-shaped electrodes 72 and 72 provided in the middle of the optical waveguide 60, and
.. This comb-shaped electrode 72.7 is composed of surface acoustic wave absorbing layers 74.74 provided on both sides of the comb-shaped electrode 72.72, and a high-frequency voltage is applied to the comb-shaped electrode 72.72.
2, a surface acoustic wave 75 is propagated to the optical waveguide 60 as shown by a two-dot chain line.

作用を説明する。Explain the action.

まず、周波数がrOの入射光76が光導波路54に入射
される。光導波路54に入射された光76は、Y分岐さ
れて光導波路56と58とにそれぞれ導波される。光導
波路56側に導波された周波数fOの光76は、周波数
シフタ64でモード変換され、それに伴って弾性表面波
75の周波数frだけ周波数シフトされる。周波数シフ
トされた光は端面反射ミラー66で反射されてふたたび
周波数シフタ64で周波数frだけさらに周波数シフト
される結果、光導波路52に戻ってくる光(参照光77
)の周波数は結局、(rO+2rr)となる。
First, incident light 76 having a frequency of rO is input into the optical waveguide 54 . The light 76 incident on the optical waveguide 54 is Y-branched and guided to optical waveguides 56 and 58, respectively. The light 76 having the frequency fO guided to the optical waveguide 56 side is mode-converted by the frequency shifter 64, and accordingly, the frequency is shifted by the frequency fr of the surface acoustic wave 75. The frequency-shifted light is reflected by the end reflection mirror 66 and further frequency-shifted by the frequency fr by the frequency shifter 64. As a result, the light returns to the optical waveguide 52 (reference light 77).
) is finally (rO+2rr).

一方、光導波路58側に導波された光76は、さらに光
導波路62に導波されるとともに、その光導波路62の
終端から出射されてコリメートレンズ68を介して反射
ミラー70で反射されてふたたび光導波路62から58
へと戻ってくる。このとき、反射ミラー70に入射した
光76の周波数fOは反射ミラー70の移動速度に応じ
てドツプラシフトされる結果、反射ミラー70で反射さ
れた光(信号光78)の周波数は(fo+rs)となる
On the other hand, the light 76 guided to the optical waveguide 58 side is further guided to the optical waveguide 62, is emitted from the end of the optical waveguide 62, is reflected by the reflection mirror 70 via the collimating lens 68, and is reflected again by the reflection mirror 70. Optical waveguides 62 to 58
come back to. At this time, the frequency fO of the light 76 incident on the reflection mirror 70 is Doppler-shifted according to the moving speed of the reflection mirror 70, so that the frequency of the light (signal light 78) reflected by the reflection mirror 70 becomes (fo+rs). .

そして、ドツプラシフトされて周波数が(fO→ゴS)
となって光導波路58を導波されてくる信号光78と、
光導波路56を導波されてくる周波数が(ro+2「r
)の参照光77とがY分岐部でビート作用を受ける結果
、光導波路54から出射される出射光79の周波数は(
2fr−fs)となる。
Then, the frequency is Doppler shifted (fO → GoS)
The signal light 78 that is guided through the optical waveguide 58 as
The frequency guided through the optical waveguide 56 is (ro+2 "r
) is subjected to a beat effect at the Y branch, and as a result, the frequency of the output light 79 output from the optical waveguide 54 is (
2fr-fs).

したがって、その出射光79の周波数を検出することに
より、反射ミラー70の移動速度を検出することができ
る。
Therefore, by detecting the frequency of the emitted light 79, the moving speed of the reflecting mirror 70 can be detected.

第2図は本発明の他の実施例に係る導波型速度センサの
概略構成を示す平面図であり、第1図と対応する部分に
は同一の符号を付すとともに、その同一符号に係る部分
についての説明は省略する。
FIG. 2 is a plan view showing a schematic configuration of a waveguide speed sensor according to another embodiment of the present invention, in which parts corresponding to those in FIG. The explanation for this will be omitted.

第2図の実施例の導波型速度センサ100においては、
80〜94で構成される各光導波路が非対称X分岐タイ
プのものであって、光導波路86に周波数シフタ64が
、また光導波路94の終端にロッドレンズ98付きの偏
波面保存光ファイバ96がそれぞれ設けられているとと
もに、入射光76と出射光79とが分離されていること
に特徴を有している。
In the waveguide speed sensor 100 of the embodiment shown in FIG.
Each of the optical waveguides 80 to 94 is of an asymmetrical X-branch type, and the optical waveguide 86 has a frequency shifter 64, and the terminal end of the optical waveguide 94 has a polarization maintaining optical fiber 96 with a rod lens 98. It is characterized in that the incident light 76 and the outgoing light 79 are separated.

その他の構成は第1図と同様であるからその説明は省略
する。また、その作用も第1図の実施例゛と同様である
からその説明は省略する。
The rest of the configuration is the same as that in FIG. 1, so a description thereof will be omitted. Further, since its operation is similar to that of the embodiment shown in FIG. 1, its explanation will be omitted.

(発明の効果) 以上説明したことから明らかなように本発明によれば、
音響光学効果タイプの周波数ンフタを用いるとともに、
その周波数シフタに対して光を往復させることができる
ことから、光導波路の構成が簡素化する。そして、光導
波路の構成の簡素化に伴って光損失も低減するので従来
例のような光損失に対応するために必要とされていたモ
ードスプリッタとかモードコンバータという素子も不要
となり、その結果、構成がより簡素化するうえ全体のサ
イズも大幅に小形化させることが可能となった。
(Effects of the Invention) As is clear from the above explanation, according to the present invention,
In addition to using an acousto-optic effect type frequency filter,
Since light can be sent back and forth to the frequency shifter, the configuration of the optical waveguide is simplified. Furthermore, as the optical waveguide configuration is simplified, optical loss is also reduced, eliminating the need for elements such as mode splitters and mode converters that were required to deal with optical loss in the conventional example. In addition to being simpler, the overall size can also be significantly reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の一実施例に係る導波型速度センサの概
略構成を示す平面図、第2図は本発明の他の実施例に係
る導波型速度センサの概略構成を示す平面図である。 第3図は従来例に係る導波型速度センサの平面図である
。 50.100・・・導波型速度センサ、52・・・基板
、54〜62.80〜94・・・光導波路、64・・・
周波数シフタ、66・・・端面反射ミラー 70・・・
反射ミラー(対象物体)、77・・・参照光、78・・
・信号光。
FIG. 1 is a plan view showing a schematic configuration of a waveguide type speed sensor according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a plan view showing a schematic configuration of a waveguide type speed sensor according to another embodiment of the present invention. It is. FIG. 3 is a plan view of a waveguide type speed sensor according to a conventional example. 50.100... Waveguide speed sensor, 52... Substrate, 54-62. 80-94... Optical waveguide, 64...
Frequency shifter, 66... End face reflection mirror 70...
Reflection mirror (target object), 77... Reference light, 78...
・Signal light.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] (1) 対象物体の移動速度に応じてドップラシフトさ
れることで周波数シフトされた信号光を導波する第1の
光導波路と、所定の周波数の参照光を導波する第2の光
導波路とを備えた導波型速度センサにおいて、 前記第2の光導波路中を前記参照光が往復するように構
成するとともに、当該第2の光導波路中に音響光学効果
タイプの周波数シフタを配置したことを特徴とする導波
型速度センサ。
(1) A first optical waveguide that guides a signal light whose frequency has been shifted by Doppler shifting according to the moving speed of the target object, and a second optical waveguide that guides a reference light of a predetermined frequency. In the waveguide speed sensor, the reference light is configured to reciprocate in the second optical waveguide, and an acousto-optic effect type frequency shifter is disposed in the second optical waveguide. Features of waveguide type speed sensor.
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