JPH02146446U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH02146446U JPH02146446U JP5620789U JP5620789U JPH02146446U JP H02146446 U JPH02146446 U JP H02146446U JP 5620789 U JP5620789 U JP 5620789U JP 5620789 U JP5620789 U JP 5620789U JP H02146446 U JPH02146446 U JP H02146446U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor substrate
- grooves
- partitions
- substrate storage
- storage container
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 6
Description
第１図は本考案の半導体基板収納容器の一実施
例を示す上面図、第２図は従来の半導体基板収納
容器の斜視図及び上面図である。 １：収納容器、２Ａ，２Ｂ：溝、４，４′：仕
切り、４Ａ，４Ｂ：長い仕切り、５Ａ，５Ｂ：短
い仕切り、６Ａ，６Ｂ，７Ｂ，７Ｃ：溝。
例を示す上面図、第２図は従来の半導体基板収納
容器の斜視図及び上面図である。 １：収納容器、２Ａ，２Ｂ：溝、４，４′：仕
切り、４Ａ，４Ｂ：長い仕切り、５Ａ，５Ｂ：短
い仕切り、６Ａ，６Ｂ，７Ｂ，７Ｃ：溝。
Claims (1)
- 対向する二つの側壁内面に夫々複数列の溝を有
し、対向する溝の間に半導体基板の両縁部を差入
れて保持する半導体基板収納容器において、前記
各溝を仕切る仕切りが長、短二つの長さを有し、
夫々が隣接して配列されると共に、長い方の仕切
りには短い方の仕切りが対向する如く配列してあ
ることを特徴とする半導体基板収納容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5620789U JPH02146446U (ja) | 1989-05-16 | 1989-05-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5620789U JPH02146446U (ja) | 1989-05-16 | 1989-05-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02146446U true JPH02146446U (ja) | 1990-12-12 |
Family
ID=31579829
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5620789U Pending JPH02146446U (ja) | 1989-05-16 | 1989-05-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02146446U (ja) |
-
1989
- 1989-05-16 JP JP5620789U patent/JPH02146446U/ja active Pending