JPH02142470U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02142470U JPH02142470U JP4978789U JP4978789U JPH02142470U JP H02142470 U JPH02142470 U JP H02142470U JP 4978789 U JP4978789 U JP 4978789U JP 4978789 U JP4978789 U JP 4978789U JP H02142470 U JPH02142470 U JP H02142470U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- disc
- shaped storage
- storage part
- cells
- exchange mechanism
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001451 molecular beam epitaxy Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図は回転式セル交換機構の実施例１の円盤
形収納部の縦断面図、第２図はこの考案の実施例
２の円盤形収納部の横断面図、第３図はこの考案
の実施例１の分子線エピタキシー装置の要部縦断
面図である。第４図は従来の分子線エピタキシー
装置におけるセル交換機構の概略断面図である。 ２……セル、４，４ａ……円盤形収納部、５…
…回転軸。
形収納部の縦断面図、第２図はこの考案の実施例
２の円盤形収納部の横断面図、第３図はこの考案
の実施例１の分子線エピタキシー装置の要部縦断
面図である。第４図は従来の分子線エピタキシー
装置におけるセル交換機構の概略断面図である。 ２……セル、４，４ａ……円盤形収納部、５…
…回転軸。
Claims (1)
- 中心を軸にして回転可能な円盤形の収納部に複
数個のセルを設置し、円盤形収納部を回転させる
ことによつてセルの交換を可能にした回転式セル
交換機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4978789U JPH02142470U (ja) | 1989-04-27 | 1989-04-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4978789U JPH02142470U (ja) | 1989-04-27 | 1989-04-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02142470U true JPH02142470U (ja) | 1990-12-03 |
Family
ID=31567775
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4978789U Pending JPH02142470U (ja) | 1989-04-27 | 1989-04-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02142470U (ja) |
-
1989
- 1989-04-27 JP JP4978789U patent/JPH02142470U/ja active Pending