【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、厚み（織又は漬り）振動のエネルギー閉じ込
め形多重モードフィルタに係り、特に、モード配置のコ
ントロールを簡便に行うことのできるエネルギー閉じ込
め形多重モードフィルタに関するものである．
〔従来技術〕
例えば、厚み縦振動のエネルギー閉じ込め形の２重モー
ドフィルタでは、第３図に示す如く、圧電基板ｌの上面
に、入力電極２と出力電穫３とが所定の間隙を介して設
けられている．上記圧電基板ｌの裏面倒の上記入力電極
２及び出力電極３と対応する部分には、共通電極４が設
けられている．そして、上記構造の２１！モードフィル
タにおける最通なモード配置（第４図参照）は、Ｓ０モ
ードのＥａ （反共損周波数）と八〇モードのｔｒ
（共振周波数》をほぼ一致させ、要求される帯域幅に
応じて上記Ｓ．モード及びＡ０モードにおけるΔｒ （
Δｆ−ｆ，−１，）の値をコントロールすることによっ
て得られる．
（発明が解決しようとする課題）
上記Ｓ．モードと八〇モードの配置は、入力電極２と出
力電極３の平均距離ｄの値によって決定されるが、上記
ｄの値を変化させても、実際には、Ｓ０モードのｆ．と
Ａ．モードのｆ，との差は要求される程大きくは変化せ
ず、Ｓ．モード及び＾。モードを上記Δｆの値の要求さ
れる可変範囲に追従させることができない．従って、実
現されるフィルタの比帯域幅はかなり狭い範囲に限定さ
れる．
そこで、本発明の目的とするところは、比較的簡単な構
造で、モード配置をコントロールし得る領域を広げるこ
とができ、且つ、フィルタの比帯域幅のコントロールを
自由に行うことのできるエネルギー閉じ込め形多重モー
ドフィルタを提供することである．
〔課題を解決するための手段〕
上記目的を達成するために、本発明が採用する主たる手
段は、その要旨とするところが、複数の電掘が圧電基板
を挟んで該圧電基板上に設けられたエネルギー閉じ込め
形の多重モードフィルタにおいて、上記電極の上面及び
／若しくは上記圧電基板上の電極間に、合成樹脂層を形
成した点にかかるエネルギー閉じ込め形多重モードフィ
ルタである．
〔作用〕
本発明にかかるエネルギー閉じ込め形多重モードフィル
タは上記したように構成されているため、電極の上面及
び／若しくは圧電基板上の電極間に形成された合成樹脂
層の作用により、電極部で励起される振動間の結合度が
変る．この結合度は、合成樹脂層の形成位置によって変
化させることができ、その結果、モード配置のコントロ
ール領域及びフィルタの比帯域幅を簡便に変化させるこ
とができる．
〔実施例〕
以下添付図面を参照して、本発明を具体化した実ＪＩｔ
＊Ｉにつき説明し、本発明の理解に供する．尚、以下の
実施例は、本発明を具体化した一例であって、本発明の
技術的範囲を限定する性格のものではない．
ここに、第１図は本発明の一実施例にかかるエネルギー
閉じ込め形多重モードフィルタの要部側面図、第２図は
本発明の他の実施例にかかるエネルギー閉じ込め形多重
モードフィルタを示すものであって第１図の相当図であ
る．
また、第３図に示した前記従来のエネルギー閉じ込め形
多重モードフィルタと共通する要素には、同一の符号を
使用して説明する．
この実施例にかかる、例えば厚み縦振動のエネルギー閉
じ込め形の２１［モードフィルタは、第１図に示す如く
、従来の２重モードフィルタ（第３図参照）と基本的構
造をほぼ同様とし、この従来の２重モードフィルタとの
相違点は、入力電極２，出力電極３及び共通電極４の上
面に、例えば樹脂塗料あるいは無機物質を含有する樹脂
塗料からなる被ｌｌＩ５（合成樹脂層）を塗布により形
成したことである．
一般的に、上記入力電ｐｉ２と出力電極３の間の平均距
離ｄ （第３図参照）の値を大きくすることにより、Ｓ
０モードのｒ，とＡ．モードのｆ，の各値を接近させる
ことができる．しかし、この接近量は、必要とされる値
に比べて極めて小さい．そこで、第１図に示すように、
入力電極２と出力電橋３の上面及び共通電極４の上面に
上記したような合成樹脂からなる被ＩＩＩ５を印刷によ
り塗布する．
上記入力電極２と出力電極３との間の間隙は、カプラー
として作用するが、圧電的に励賑される電極部の厚みに
対して上記被膜５を相対的に薄くすることで、上記カプ
ラーとしての作用を弱くする効果がある．この効果によ
り、上記Ｓ０モードのｆ．とＡ０モードのｆｒの各値を
必要量だけ接近させることができる．
尚、上記被Ｊｌ！５に用いられる合成樹脂塗料は、絶縁
性を有することが望ましく、また、メカニカルＱの高い
ものが望ましい．このため、シリヵ，ガラスあるいはア
ルミナなどの無機質粉末を塗料中に混入させると効果的
である．
上記実施例における２重モードフィルタでは、間図に示
すように、共通電極４の上記入力電極２と出力電極３と
の間の間隙に対応する部分を予め−１除すると共に、こ
の部分を電気的に接続させておくと、更に効果的である
．
また、上記実施例における２Ｗｉモードフィルタにおい
ては、Ｓ０モードのｒ．とＡ．モードのｆｒの各値の変
化させるべき量に対応させて、上記被ｌｇｌＩ５の形成
位置は、入力電極２．出力電橿３の各上面若しくは共通
電極４の上面のどちらか一方のみであってもよい．
他方、上記実施例とは逆に、ｓ０モードのｆ．とＡ．モ
ードのｆ，を離間させる場合には、第２図に示すように
、圧電基板ｌ上の入力電極２と出力電極３との間の部分
に被Ｉ！５を形成するとよい．この場合、上記ｆ．とｆ
，を離間させる量に応じて、共通電極４上の上記入力電
極２と出力電極３との間の間隙に対応する部分に被１１
１！５を形成するとよい（第２図参＠）．
尚、第１図と第２図に示す構造の２Ｎモードフィルタで
は、各電極の上面に被膜５を形成しないで入力電極２と
出力電橿３の平均距離のみでコントロールする場合に比
べて、Ｓゆモードのｒ１とＡ．モードのｆ，の間隔を約
２倍の範囲でコントロールすることができた．
従って、上記構成による２重モードフィルタにおいては
、各電橿の上面及び／若しくは圧電基板上の電極間に形
成された被Ｉｉｌ５の作用により、Ｓ．モードとＡ０モ
ードの結合度をコントロールすることができる．そして
、上記結合度は、被膜５の形成位置によって変化させる
ことができ、その結果、モード配置及びフィルタの比帯
域幅を簡便に変化させることもできる．
〔発明の効果〕
本発明は、上記したように、複数の電極が圧電基板を挟
んで該圧電基板上に設けられたエネルギー閉じ込め形の
多重モードフィルタにおいて、上記電極の上面及び／若
しくは上記圧電基板上の電極間に、合成樹脂層を形成し
たことを特徴とするエネルギー閉じ込め形の多重モード
フィルタであるから、比較的簡単な構造でモード配置を
コントロールし得る領域を広げることができ、且つ、フ
ィルタの比帯域幅のコントロールを自由に行うことがで
きる．[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to an energy trapping type multi-mode filter for thickness (woven or pickled) vibrations, and particularly relates to an energy trapping type multi-mode filter for thickness (woven or pickled) vibrations, and in particular, an energy trapping type filter that can easily control the mode arrangement. It concerns confinement multimode filters. [Prior Art] For example, in a dual mode filter of the energy trapping type for longitudinal thickness vibration, as shown in FIG. It is provided. A common electrode 4 is provided on the back side of the piezoelectric substrate 1 at a portion corresponding to the input electrode 2 and the output electrode 3. And 21 of the above structure! The most common mode arrangement in the mode filter (see Figure 4) is Ea (anti-common loss frequency) of the S0 mode and tr of the 80 mode.
(resonance frequency) are almost the same, and Δr (
It can be obtained by controlling the value of Δf−f,−1,). (Problem to be solved by the invention) Above S. The arrangement of the mode and the 80 mode is determined by the value of the average distance d between the input electrode 2 and the output electrode 3, but even if the value of d is changed, the f. and A. The difference between mode f, does not change as much as required, and S. Mode and ^. It is not possible to make the mode follow the required variable range of the above value of Δf. Therefore, the fractional bandwidth of the realized filter is limited to a fairly narrow range. Therefore, an object of the present invention is to provide an energy confinement type that has a relatively simple structure, can expand the range in which the mode arrangement can be controlled, and can freely control the fractional bandwidth of the filter. The purpose is to provide a multi-mode filter. [Means for Solving the Problems] In order to achieve the above object, the main means adopted by the present invention is that a plurality of electric excavations are provided on the piezoelectric substrate with the piezoelectric substrate sandwiched therebetween. In the energy trapping type multimode filter, a synthetic resin layer is formed on the upper surface of the electrode and/or between the electrodes on the piezoelectric substrate. [Function] Since the energy trapping multimode filter according to the present invention is configured as described above, the effect of the synthetic resin layer formed on the upper surface of the electrodes and/or between the electrodes on the piezoelectric substrate allows the energy trapping type multimode filter according to the present invention to The degree of coupling between excited vibrations changes. This degree of coupling can be changed depending on the formation position of the synthetic resin layer, and as a result, the control region of mode arrangement and the fractional bandwidth of the filter can be easily changed. [Example] With reference to the attached drawings, an actual JIt embodying the present invention will be described below.
*I will be explained for understanding of the present invention. The following example is an example embodying the present invention, and is not intended to limit the technical scope of the present invention. Here, FIG. 1 is a side view of essential parts of an energy trapping multimode filter according to one embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a side view of an energy trapping multimode filter according to another embodiment of the invention. This is a diagram equivalent to Figure 1. Further, the same reference numerals will be used to explain the same elements as those of the conventional energy trapping multimode filter shown in FIG. As shown in FIG. 1, the 21 mode filter of the energy trapping type for thickness longitudinal vibration, for example, according to this embodiment has almost the same basic structure as the conventional dual mode filter (see FIG. 3). The difference from conventional dual mode filters is that a coating (synthetic resin layer) made of, for example, resin paint or resin paint containing an inorganic substance is applied to the upper surfaces of input electrode 2, output electrode 3, and common electrode 4. It was formed. Generally, by increasing the value of the average distance d (see Figure 3) between the input voltage pi2 and the output electrode 3, S
0 mode r, and A. It is possible to make each value of f of the mode close to each other. However, this amount of approach is extremely small compared to the required value. Therefore, as shown in Figure 1,
The coating III 5 made of synthetic resin as described above is applied by printing on the upper surfaces of the input electrodes 2 and output bridges 3 and the upper surface of the common electrode 4. The gap between the input electrode 2 and the output electrode 3 acts as a coupler, but by making the coating 5 relatively thin with respect to the thickness of the piezoelectrically excited electrode part, the gap between the input electrode 2 and the output electrode 3 acts as a coupler. It has the effect of weakening the effect of Due to this effect, f. It is possible to make each value of fr in A0 mode and A0 mode close to each other by the required amount. In addition, the above Jl! It is desirable that the synthetic resin paint used in No. 5 has insulating properties, and it is also desirable that it has a high mechanical Q. For this reason, it is effective to mix inorganic powders such as silica, glass, or alumina into the paint. In the dual mode filter in the above embodiment, as shown in the diagram, the portion of the common electrode 4 corresponding to the gap between the input electrode 2 and the output electrode 3 is divided by -1 in advance, and this portion is It will be even more effective if you connect them to each other. In addition, in the 2Wi mode filter in the above embodiment, r. and A. The forming position of the above-mentioned lglI5 is determined according to the amount by which each value of fr of the mode should be changed. Only one of the upper surfaces of the output electrodes 3 or the upper surface of the common electrode 4 may be used. On the other hand, contrary to the above embodiment, f. and A. When the mode f, is separated, as shown in FIG. 2, the I! It is good to form 5. In this case, the above f. and f
, a portion of the common electrode 4 corresponding to the gap between the input electrode 2 and the output electrode 3 is provided with a cover 11.
It is best to form 1!5 (see Figure 2 @). In addition, in the 2N mode filter having the structure shown in FIGS. 1 and 2, the S Yumode's r1 and A. I was able to control the interval between f and mode over a range that was approximately twice as large. Therefore, in the dual mode filter having the above configuration, the S.I. The degree of coupling between the mode and A0 mode can be controlled. The degree of coupling can be changed depending on the position where the coating 5 is formed, and as a result, the mode arrangement and the fractional bandwidth of the filter can be easily changed. [Effects of the Invention] As described above, the present invention provides an energy trapping multimode filter in which a plurality of electrodes are provided on a piezoelectric substrate with a piezoelectric substrate sandwiched therebetween, in which the upper surface of the electrode and/or the piezoelectric substrate Since this is an energy trapping type multi-mode filter characterized by a synthetic resin layer formed between the upper electrodes, the area where the mode arrangement can be controlled can be expanded with a relatively simple structure, and the filter You can freely control the fractional bandwidth of
【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]
第１図は本発明の一実施例にかかるエネルギー閉じ込め
形多重モードフィルタの要部側面図、第２図は本発明の
他の実施例にかかるエネルギー閉じ込め形多重モードフ
ィルタを示すものであって第１図の相当図、第３図は従
来のエネルギ〒閉じ込め形多重モードフィルタの要部側
面図、第４図は２重モードフィルタにおけるインピーダ
ンスと周波数との関係を示すグラフである．
〔符号の説明〕
ｌ・・・圧電基板
２・・・入力電極
３・・・出力電極
４・・・共通電極
５・・・被膜（合成樹脂層）．FIG. 1 is a side view of essential parts of an energy trapping multimode filter according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a side view of an energy trapping multimode filter according to another embodiment of the invention. 1, FIG. 3 is a side view of the main part of a conventional energy confinement multimode filter, and FIG. 4 is a graph showing the relationship between impedance and frequency in a dual mode filter. [Explanation of symbols] l...Piezoelectric substrate 2...Input electrode 3...Output electrode 4...Common electrode 5...Coating (synthetic resin layer).