JPH02125326U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH02125326U JPH02125326U JP3351389U JP3351389U JPH02125326U JP H02125326 U JPH02125326 U JP H02125326U JP 3351389 U JP3351389 U JP 3351389U JP 3351389 U JP3351389 U JP 3351389U JP H02125326 U JPH02125326 U JP H02125326U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- resist
- suctioned
- chuck
- wafer chuck
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
Description
第１図ａ，ｂは本考案の第１の実施例を示す図
で、図ａは平面図、図ｂはそのＡ−Ａ断面図、第
２図ａ，ｂは本考案の第２の実施例を示す図で、
図ａは平面図、図ｂはそのＢ−Ｂ断面図、第３図
ａ，ｂは本考案の第１の実施例のレジスト塗布状
態を説明する図で、図ａは平面図、図ｂはそのＣ
−Ｃ断面図、第４図ａ，ｂは従来のウエーハチヤ
ツクを示す図で、図ａは平面図、図ｂはそのＤ−
Ｄ断面図、第５図ａ，ｂは従来のウエーハチヤツ
クのレジスト塗布状態を説明する図で、図ａは平
面図、図ｂはそのＥ−Ｅ断面図である。 １……ウエーハ、２，２ａ，２ｂ……ウエーハ
チヤツク、３……真空吸着穴、４……ＯＦ部、５
……レジスト。
で、図ａは平面図、図ｂはそのＡ−Ａ断面図、第
２図ａ，ｂは本考案の第２の実施例を示す図で、
図ａは平面図、図ｂはそのＢ−Ｂ断面図、第３図
ａ，ｂは本考案の第１の実施例のレジスト塗布状
態を説明する図で、図ａは平面図、図ｂはそのＣ
−Ｃ断面図、第４図ａ，ｂは従来のウエーハチヤ
ツクを示す図で、図ａは平面図、図ｂはそのＤ−
Ｄ断面図、第５図ａ，ｂは従来のウエーハチヤツ
クのレジスト塗布状態を説明する図で、図ａは平
面図、図ｂはそのＥ−Ｅ断面図である。 １……ウエーハ、２，２ａ，２ｂ……ウエーハ
チヤツク、３……真空吸着穴、４……ＯＦ部、５
……レジスト。
Claims (1)
- ウエーハを真空吸着しレジストを回転塗布する
ためのレジスト塗布機用ウエーハチヤツクにおい
て、ウエーハチヤツクの直径が吸着するウエーハ
の外径と同じかもしくはそれ以上の大きさに形成
され、ウエーハ吸着時にウエーハからはみだす吸
着面にウエーハと同じ厚さの段差を設けたことを
特徴とするレジスト塗布機用ウエーハチヤツク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3351389U JPH02125326U (ja) | 1989-03-23 | 1989-03-23 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3351389U JPH02125326U (ja) | 1989-03-23 | 1989-03-23 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02125326U true JPH02125326U (ja) | 1990-10-16 |
Family
ID=31537228
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3351389U Pending JPH02125326U (ja) | 1989-03-23 | 1989-03-23 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02125326U (ja) |
-
1989
- 1989-03-23 JP JP3351389U patent/JPH02125326U/ja active Pending