JPH02124294U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH02124294U JPH02124294U JP3332689U JP3332689U JPH02124294U JP H02124294 U JPH02124294 U JP H02124294U JP 3332689 U JP3332689 U JP 3332689U JP 3332689 U JP3332689 U JP 3332689U JP H02124294 U JPH02124294 U JP H02124294U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum pump
- screw type
- type vacuum
- spline
- oil
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Description
第１図は本考案に係るオイルフリースクリユ式
真空ポンプの一部破断正面図、第２図は第１図に
示す装置のスプラインの部分拡大断面図、第３図
は第２図の＝線断面図、第４図は本考案の別
の実施例におけるスプライン部の部分拡大断面図
、第５図は従来のオイルフリースクリユ式真空ポ
ンプの一部破断正面図である。 １……スクリユ式真空ポンプ本体、２……ロー
タ軸、３……高周波モータ、４……モータ軸、５
……内スプライン、６……カツプリング部材、８
……外スプライン、９……内部空間、１０……貫
通孔。
真空ポンプの一部破断正面図、第２図は第１図に
示す装置のスプラインの部分拡大断面図、第３図
は第２図の＝線断面図、第４図は本考案の別
の実施例におけるスプライン部の部分拡大断面図
、第５図は従来のオイルフリースクリユ式真空ポ
ンプの一部破断正面図である。 １……スクリユ式真空ポンプ本体、２……ロー
タ軸、３……高周波モータ、４……モータ軸、５
……内スプライン、６……カツプリング部材、８
……外スプライン、９……内部空間、１０……貫
通孔。
Claims (1)
- スクリユ式真空ポンプ本体のロータ軸とこのロ
ータ軸を駆動するモータのモータ軸とをスプライ
ン結合したオイルフリースクリユ式真空ポンプに
おいて、内外スプラインのはめ合せ部以外の外ス
プライン内空間に通じる貫通孔を外スプラインに
形成したことを特徴とするオイルフリースクリユ
式真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3332689U JPH02124294U (ja) | 1989-03-24 | 1989-03-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3332689U JPH02124294U (ja) | 1989-03-24 | 1989-03-24 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02124294U true JPH02124294U (ja) | 1990-10-12 |
Family
ID=31536909
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3332689U Pending JPH02124294U (ja) | 1989-03-24 | 1989-03-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02124294U (ja) |
-
1989
- 1989-03-24 JP JP3332689U patent/JPH02124294U/ja active Pending