JPH02121108A - Head positioning system for thin film magnetic head inspection instrument - Google Patents

Head positioning system for thin film magnetic head inspection instrument

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JPH02121108A
JPH02121108A JP63272306A JP27230688A JPH02121108A JP H02121108 A JPH02121108 A JP H02121108A JP 63272306 A JP63272306 A JP 63272306A JP 27230688 A JP27230688 A JP 27230688A JP H02121108 A JPH02121108 A JP H02121108A
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JP
Japan
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head
inspected
carriage mechanism
data
disk
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Application number
JP63272306A
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Japanese (ja)
Inventor
Fumio Hida
肥田 文雄
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Hitachi High Tech Corp
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Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To accurately position a head to be inspected at the corresponding track and to improve the inspecting reliability for a head having the small core width in its R/W jobs by applying correction every fixed time to the position shift of a position detecting head that are caused by the temperatures. CONSTITUTION:When the thin film heads 1-1 and 1-2 are continuously checked for a long time, a position detecting head 1-3 is moved by a carriage mechanism so that the difference signal between two position signals detected by the head 1-3 before the check is set at '0', i.e., the position error is equal to '0'. The corrected position of the carriage mechanism is detected by a laser length measuring instrument, and the data on this detection is recorded in a memory. Then the heads are inspected based on the position of the carriage mechanism. The position detecting accuracy is very high since the detecting accuracy of the laser length measuring instrument is extremely high.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野コ この発明は、薄膜磁気ヘッド検査装置におけるヘッドの
位置決め方式に関し、詳しくはコア幅の狭い薄膜ヘッド
の、温度による位置ずれを補正する方式に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a method for positioning a head in a thin film magnetic head inspection apparatus, and more particularly to a method for correcting positional deviation due to temperature of a thin film head having a narrow core width.

[従来の技術] 磁気ディスク装置に使用される磁気ヘッドは、第3図に
ボすように、磁気ヘッド1の筐体1aにヘッドコア1b
が取り付けられ、コアの先端部ICは回転する磁気ディ
スク2の表面より微小高滓−トして情報データの書込み
/読み出し動作が行われる。先端部1cの幅Wは、現在
は10〜20μm程度で、これによりトラックTに書込
まれる。
[Prior Art] A magnetic head used in a magnetic disk device has a head core 1b in a casing 1a of the magnetic head 1, as shown in FIG.
is attached, and the tip IC of the core is slightly raised above the surface of the rotating magnetic disk 2 to perform information data writing/reading operations. The width W of the tip 1c is currently about 10 to 20 μm, and the track T is written with this width.

今後、磁気ディスクの高密度化がますます進展し、これ
に対応してコア幅Wは10μm以下になる可能性が有る
In the future, the density of magnetic disks will continue to increase, and in response to this, there is a possibility that the core width W will become 10 μm or less.

磁気ヘッドは製造段階で、磁気ヘッド検査装置により性
能が検査される。検査においては、被検査ヘッドにより
測定用のディスクの適当なトラックにデータを書込み、
これを読み出して行われるが、その際ヘッドがトラック
に正しく位置決めされることが必要である。通常、従来
のコアの場合は、磁化の自゛効幅に対″して、ヘッドの
位置ずれ量は許容できる範囲である為、格別に精密な位
置決め対策が行われていない。なお、磁気ディスク装置
の実機においては、ディスクの全面の多数のトラックに
ヘッドがそれぞれ追従する必要があるので、サーボ方式
により位置決めがなされてお1)、この点がヘッド検査
と異なるものである。
The performance of the magnetic head is inspected by a magnetic head inspection device during the manufacturing stage. During inspection, the head to be inspected writes data to appropriate tracks on the measurement disk.
This is done by reading out the information, but it is necessary that the head is correctly positioned on the track. Normally, in the case of conventional cores, the amount of positional deviation of the head is within an allowable range relative to the effective width of magnetization, so no particularly precise positioning measures are taken. In an actual device, since the head needs to follow each of a large number of tracks on the entire surface of the disk, positioning is performed by a servo system1), which is different from head inspection.

[解決しようとする課題] 今後状コア幅ヘッドの検査においては長時間を要する場
合がある。その間にディスクヘッドおよびこれを支持す
るアーム部分などが温度により伸縮すると、ヘッドの先
端部の幅が狭いのでトラックに対する位置ずれが無視で
きない。これをサーマルオフトラックといい、検査の信
頼性が低下する。これに対して、従来のサーボ方式はサ
ーボデータを8(為のクロック回路、データパターンG
EN1ポジシHニンク回路等複雑な構成でヘッドテスタ
用として必ずしも有効でない。そこで、位置ずれを補正
する簡易で精密な位置決め方式が望まれる所以である。
[Problems to be Solved] Inspecting a core width head in the future may require a long time. During this time, if the disk head and the arm that supports it expand or contract due to temperature, the width of the tip of the head is narrow, so the displacement with respect to the track cannot be ignored. This is called thermal off-track and reduces the reliability of inspection. On the other hand, in the conventional servo system, the servo data is 8 (clock circuit and data pattern G
It has a complicated configuration such as EN1 positive H link circuit and is not necessarily effective for head tester use. This is why a simple and precise positioning method that corrects positional deviation is desired.

[課題を解決するための手段コ この発明は、スピンドルにより回転する測定ディスクの
適当なトラックに、被検査の薄膜ヘッドによりデータを
書込み/読み出しして行う検査装置におけるヘッドの位
置決め方式である。測定ディスクのトラックに対して位
置検出ヘッドによりあらかじめ位置信号を8込み、これ
を読み出して、位置検出ヘッドおよび被検査ヘッドの位
置ずれを検出し、キャリッジ機構により位置検出ヘッド
を移動して位置ずれを0に補正し、補正されたキャリッ
ジ機構の位置をレーザ測長器により検出してその位置の
データをメモリ上記憶し、記憶されたデータの位置にお
いて、被検査ヘッドの検査を行う。時間経過に従って温
度により生じた位置検出ヘッドの位置ずれに対して、一
定時間ごとに上記の補正を行い、補正されたキャリッジ
機構の位置に対するメモリのデータを更新して検査を継
続する。
[Means for Solving the Problems] The present invention is a head positioning method in an inspection apparatus in which data is written/read by a thin-film head to be inspected on appropriate tracks of a measurement disk rotated by a spindle. A position signal is input in advance to the track of the measurement disk by the position detection head, and this is read out to detect the positional deviation between the position detection head and the head to be inspected.The position detection head is moved by the carriage mechanism to detect the position deviation. 0, the corrected position of the carriage mechanism is detected by a laser length measuring device, data on that position is stored in a memory, and the head to be inspected is inspected at the position of the stored data. With respect to the positional deviation of the position detection head caused by temperature as time passes, the above correction is performed at regular intervals, data in the memory for the corrected position of the carriage mechanism is updated, and the inspection is continued.

h記において、スピンドルに装着され測定ディスクと同
一回転する角度ディスクより検出された角度信号よ1)
、一定のパルス幅で互いに180’の位相差を有する2
個のゲートパルス列を発生し、位置検出ヘッドによ1)
、測定ディスクの隣接する2トラックにゲートパルス列
に従った180°の位相差を有する2個の位置信号をそ
れぞれ3込む。
In section h, the angle signal detected from the angle disk attached to the spindle and rotating at the same time as the measurement disk1)
, 2 with a phase difference of 180' from each other with a constant pulse width
generates a gate pulse train of 1) and uses the position detection head to
, two position signals having a phase difference of 180° according to the gate pulse train are respectively applied to two adjacent tracks of the measurement disk.

この2個の位置信号を位置検出ヘッドにより同時に読み
出して、その差分信号によ1)、2個のトラックの中心
に対する位置検出ヘッドの位置ずれを求めるものである
These two position signals are simultaneously read by the position detection head, and the difference signal is used to determine the positional deviation of the position detection head with respect to the center of the two tracks.

[作用] 以りによるヘッドの位置決め方式においては、薄膜ヘッ
ドに対して長時間杼われる連続検査に対して、検査前に
、位置検出ヘッドにより検出された2個の位置信号の差
分信号が0となる、すなわち位置すれが0となるように
、キャリッジ機構により位置検出ヘッドを移動して位置
ずれを0に補正する。補正されたキャリッジ機構の位置
をレーザ測長器により検出して、そのデータをメモリ上
記録し、この位置を基準に検査ヘッドに対する検査を打
う。この場合、レーザ測長器の検出精度が極めて高度で
あるので、検出位置は高精度である。
[Function] In the head positioning method described above, for continuous inspection in which the thin film head is shuttled for a long time, the difference signal between the two position signals detected by the position detection head becomes 0 before the inspection. In other words, the position detection head is moved by the carriage mechanism so that the positional deviation becomes zero, and the positional deviation is corrected to zero. The corrected position of the carriage mechanism is detected by a laser length measuring device, the data is recorded in a memory, and the inspection head is inspected based on this position. In this case, since the detection accuracy of the laser length measuring device is extremely high, the detection position is highly accurate.

また、位置検出ヘッドと被検台ヘッドはともにキャリッ
ジ機構に取り付けられて同時に移動するので、上記の補
正により被検査ヘッドもテストデータトラークに対して
正しく位置決めされる。時間経過によ1)、ヘッド自身
および支持アームなどが温度変化してヘッドの位置ずれ
が生じても、一定時間ごとに補正を行い、メモリのデー
タを更新して、更新された位置において検査を継続する
Further, since both the position detection head and the test head are attached to the carriage mechanism and move simultaneously, the above correction also correctly positions the test head with respect to the test data track. 1) Even if the temperature of the head itself and the support arm changes and the head position shifts due to the passage of time, correction is made at regular intervals, the data in the memory is updated, and the inspection is performed at the updated position. continue.

なお、メモリのデータによ1)、ヘッドの位置ずれを時
系列で把握することもできる。
Note that it is also possible to grasp the positional deviation of the head in time series using the data in the memory 1).

上記の位置信号は、角度ディスクよりの角度信号を用い
て発生した2個のゲートパルス列によ1)、測定ディス
クの隣接する2個のトラックにそれぞれ書込まれ、これ
を位置検出ヘッドにより読み出して、その差分信号を作
1)、上記のように差分信号が0となるように、キャリ
ッジ機構により各ヘッドを移動することによ1)、各ヘ
ッドはトラックに対して位置決めされるものである。
The above position signal is written in two adjacent tracks of the measurement disk by two gate pulse trains generated using the angle signal from the angle disk (1), and is read out by the position detection head. , a difference signal is generated 1), and each head is positioned relative to the track by moving each head using the carriage mechanism so that the difference signal becomes 0 as described above.

[実施例コ 第1図は、この発明による薄膜磁気ヘッド検査装置のヘ
ッド位置決め方式の実施例の構成図である。図において
、スピンドル3に2枚のff1ll 定ディスク2−1
.2−2と、角度ディスク2−3が装着されて各ディス
クは同一方向に回転する。測定ディスクに対して、被検
査の薄膜へラドI−1,1−2と位置検出ヘッド1−3
が設けられ、各ヘッドは共通のキャリッジ機構5に支持
される。キャリッジ機構5はボイスコイルなどの適当な
駆動機構53により駆動され、各ヘッドは所定のトラッ
クの位置に対面する。ここで、2個の被検査ヘノトド1
.ト2は、それぞれディスク2の下面側に対応するアッ
プヘッドと上面側に対応するダウンヘッドで、両者の構
造が異な1)、これらを同時に検査するものである。次
に、角度ディスク2−3に対して、インデックス検出セ
ンサ4−1.角度検出センサ4−2が設けられる。
Embodiment FIG. 1 is a block diagram of an embodiment of a head positioning system for a thin film magnetic head inspection apparatus according to the present invention. In the figure, spindle 3 has two ff1ll constant disks 2-1.
.. 2-2 and angle disk 2-3 are attached, and each disk rotates in the same direction. Radiation I-1, 1-2 and position detection head 1-3 to the thin film to be inspected with respect to the measurement disk.
are provided, and each head is supported by a common carriage mechanism 5. The carriage mechanism 5 is driven by a suitable drive mechanism 53 such as a voice coil, and each head faces a predetermined track position. Here, the two to be tested henotodo 1
.. The test 2 is an up head corresponding to the lower surface side of the disk 2 and a down head corresponding to the upper surface side of the disk 2, which have different structures (1), and are to be inspected at the same time. Next, the index detection sensor 4-1. An angle detection sensor 4-2 is provided.

検査作業に先1γっで位置決めが行われる。位置決めの
ための位置信号を第2図に示し、これを併用して各部の
動作を説明する。回転する角度ディスク2−3よ1)、
インデックス検出センサ4−1によりトラックの起点を
示すインデックス(INDEX)信号が検出され、これ
に続いて、角度検出センサ4−2によりディスクの回転
角度(ANGLE)信シ3が検出される。角度信号は、
1トラックを適当数に等分割するセンサ出力である。タ
イミング発生器(GEN)6において、角度信号より図
示のような180°の位相差を自する2個のゲートパル
ス列’ro GATEとTI GATEが発生され、こ
れ゛らにより書込み/読み出し増幅Z (R/WAMP
)7が制御される。適当な周波数のパルス発振W (O
3C)8よりのパルスは、To GATEにより制御さ
れて位置検出ヘッド1−3により測定ディスク2−2の
下面のトラックToに書込まれ、ついで、TIGATE
に制御されたパルスがT。
Positioning is performed 1γ prior to inspection work. A position signal for positioning is shown in FIG. 2, and the operation of each part will be explained using this together. Rotating angle disc 2-3 1),
An index (INDEX) signal indicating the starting point of a track is detected by an index detection sensor 4-1, and subsequently, a rotation angle (ANGLE) signal 3 of the disk is detected by an angle detection sensor 4-2. The angle signal is
This is a sensor output that divides one track into an appropriate number of equal parts. In the timing generator (GEN) 6, two gate pulse trains 'ro GATE and TI GATE having a phase difference of 180 degrees as shown in the figure are generated from the angle signal, and these are used to generate the write/read amplification Z (R /WAMP
)7 is controlled. Pulse oscillation W (O
3C) The pulse from 8 is written in the track To on the lower surface of the measuring disk 2-2 by the position detection head 1-3 under the control of To GATE, and then the pulse from TIGATE
The pulse controlled by T.

に隣接するトラックTlに書込まれる。is written to track Tl adjacent to .

次に、位置決めにおいては、位置検出ヘッド1−3をト
ラックToとTIの中心付近に置いて、両トラックの位
置信号をToとT1のGATEでそれぞれ同時に読み出
す。読み出された信号をT。
Next, in positioning, the position detection head 1-3 is placed near the center of the tracks To and TI, and the position signals of both tracks are simultaneously read out at the gates of To and T1, respectively. The read signal is T.

RDOUT、TI RDOUTで示す。これらはそれぞ
れレベル検出器(TQ ) 9−1と(Tt ) 9−
2で検波されて、電圧”O+V1が出力され、差分回路
IOにより差電圧(v□ −vl )が求められる。
RDOUT, TI Indicated by RDOUT. These are level detectors (TQ) 9-1 and (Tt) 9-, respectively.
2, a voltage "O+V1" is output, and a differential voltage (v□ -vl) is determined by a differential circuit IO.

この差電圧は制御装置11に入力して差電圧が0となる
ように、駆動機構58によりキャリッジ機構5を移動し
て補正する。補正されたキャリッジ機構5の位置は、レ
ーザ測長器12により検出されてその位置データは制御
装置11に設けられているメモリ上記憶される。
This differential voltage is input to the control device 11 and corrected by moving the carriage mechanism 5 using the drive mechanism 58 so that the differential voltage becomes zero. The corrected position of the carriage mechanism 5 is detected by the laser length measuring device 12, and the position data is stored in a memory provided in the control device 11.

以上の位置決めを行った後、この位置を基準にして位置
決め後測定系14、R/WAMPI3および被検査ヘッ
ドI−1,12によ1)、テストデータの書込み/読み
出しによる検査が行われる。被検査ヘッドを長時間連続
して検査する場合は、一定時間ごとに上記の補正を行い
、補正されたキャリッジ機構5の位置を、その都度レー
ザ測長器12により検出してメモリのデータを更新し、
検査を継続するものである。
After the above positioning is performed, the post-positioning measurement system 14, the R/WAMPI 3, and the heads to be inspected I-1, 12 perform inspection by writing/reading test data (1) using this position as a reference. When inspecting the head to be inspected continuously for a long time, the above correction is performed at regular intervals, and the corrected position of the carriage mechanism 5 is detected each time by the laser length measuring device 12 to update the data in the memory. death,
The inspection will continue.

[発明の効果コ 以上の説明により明らかなように、この発明によるヘッ
ド位置決め方式においては、ヘッドヲ移動するキャリッ
ジ機構の位置が、適時に位置信号により補正されて被検
査ヘッドが対応するトラックに正しく位置決めされる。
[Effects of the Invention] As is clear from the above explanation, in the head positioning method according to the present invention, the position of the carriage mechanism that moves the head is corrected in a timely manner by the position signal, and the head to be inspected is correctly positioned on the corresponding track. be done.

キャリッジ機構の位置は、検査前および検査中の一定時
間ごとにレーザi1′III長器により精密に検出され
、メモリのデータが更新されて位置ずれが時系列的に把
握されるもので、従来の磁気ディスク装置に使用されて
いるサーボ方式に比較してより簡易な構成によ1)、狭
コア幅ヘッドのR/Wにおける信頼性の高い検査がnJ
能とな1)、また、時系列データが温度に対するヘッド
の位置ずれ現象の解析に役立つもので、ヘッドからみた
スピンドルキャリッジの位置変位の分析も可能である。
The position of the carriage mechanism is precisely detected by a laser i1'III at fixed intervals before and during the inspection, and the data in the memory is updated to grasp the positional deviation in chronological order. With a simpler configuration compared to the servo system used in magnetic disk drives1), highly reliable R/W testing of narrow core width heads is possible with nJ
In addition, the time-series data is useful for analyzing the phenomenon of head position deviation with respect to temperature, and it is also possible to analyze the positional displacement of the spindle carriage as seen from the head.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図はこの発明による薄膜磁気ヘッド検査装置のヘッ
ド位置決め方式の実施例の構成図、第2図は第1図にお
ける位置信号のタイムチャート、第3図は磁気ヘッドの
動作の説明図である。 1・・・磁気ヘッド、    Ia・・・ヘッドノ筐体
、1b・・・ヘッドコアN    lc・・・コアの先
端部、1−1.12・・・被検査薄膜ヘッド(被検査ヘ
ッド)、13・・・角度検出ヘッド、2・・・磁気ディ
スク、2−1.2−2・・・dll+定ディスク、2−
3・・・角度ディスク、3・・・スピンドル、 4−1・・・インデックス検出センサ、4−2・・・角
度検出センサ、5・・・キャリッジ機構、5a・・・駆
動機構、    6・・・タイミング発生′器、7・・
・R/WAMP、    8・・・パルス発振器、9・
・・レベル検出器、10・・・差分回路、■・・・制御
装置、    12・・・レーザ測長器、13・・・R
/WAMP、   +4・・・測定系。
FIG. 1 is a block diagram of an embodiment of the head positioning method of a thin-film magnetic head inspection apparatus according to the present invention, FIG. 2 is a time chart of the position signal in FIG. 1, and FIG. 3 is an explanatory diagram of the operation of the magnetic head. . DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Magnetic head, Ia... Head housing, 1b... Head core Nlc... Core tip, 1-1.12... Thin film head to be inspected (head to be inspected), 13. ...Angle detection head, 2...Magnetic disk, 2-1.2-2...dll+constant disk, 2-
3... Angle disk, 3... Spindle, 4-1... Index detection sensor, 4-2... Angle detection sensor, 5... Carriage mechanism, 5a... Drive mechanism, 6...・Timing generator, 7...
・R/WAMP, 8...Pulse oscillator, 9・
...Level detector, 10...Differential circuit, ■...Control device, 12...Laser length measuring device, 13...R
/WAMP, +4...Measurement system.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)、スピンドルにより回転する測定ディスクの適当
なトラックに、被検査の薄膜磁気ヘッド(以下被検査ヘ
ッドという)によりデータを書込み/読み出しして行う
検査装置において、上記測定ディスクの適当なトラック
に対して位置検出ヘッドにより位置信号を書込み、該位
置信号を読み出して、該位置検出ヘッドおよび上記被検
査ヘッドの位置ずれを検出し、キャリッジ機構により該
位置検出ヘッドを移動して該位置ずれを0に補正し、該
補正された該キャリッジ機構の位置をレーザ測長器によ
り検出して該位置のデータをメモリに記憶し、該記憶さ
れたデータの位置において上記被検査ヘッドの検査を行
い、時間経過に従って温度により生ずる上記位置検出ヘ
ッドの位置ずれに対して、一定時間ごとに上記補正を行
い、該補正された上記キャリッジ機構の位置に対する上
記メモリのデータを更新することを特徴とする、薄膜磁
気ヘッド検査装置のヘッド位置決め方式。
(1) In an inspection device that writes/reads data to/from a thin-film magnetic head to be inspected (hereinafter referred to as the head to be inspected) on an appropriate track of a measurement disk that is rotated by a spindle. A position detection head writes a position signal, reads the position signal, detects a positional deviation between the position detection head and the head to be inspected, and moves the position detection head using a carriage mechanism to eliminate the positional deviation. The corrected position of the carriage mechanism is detected by a laser length measuring device, the data of the position is stored in a memory, the head to be inspected is inspected at the position of the stored data, and the head to be inspected is inspected at the position of the stored data. The thin film magnetism is characterized in that the positional deviation of the position detection head caused by temperature over time is corrected at regular time intervals, and data in the memory for the corrected position of the carriage mechanism is updated. Head positioning method for head inspection equipment.
(2)、上記において、上記スピンドルに装着され上記
測定ディスクと同一回転する角度ディスクより検出され
た角度信号より、一定のパルス幅で互いに180°の位
相差を有する2個のゲートパルス列を発生し、上記位置
検出ヘッドにより、上記測定ディスクの上記隣接する2
トラックに上記ゲートパルス列に従った180°の位相
差を有する2個の上記位置信号をそれぞれ書込み、かつ
、該書込まれた2個の位置信号を上記位置検出ヘッドに
より同時に読み出して、その差分信号により、上記2個
のトラックの中心に対する、上記位置検出ヘッドの位置
ずれ量を求める、請求項1記載の薄膜磁気ヘッド検査装
置のヘッド位置決め方式。
(2) In the above, two gate pulse trains having a constant pulse width and a phase difference of 180° are generated from an angle signal detected from an angle disk mounted on the spindle and rotating at the same time as the measurement disk. , the position detecting head detects the two adjacent positions of the measuring disk.
The two position signals having a phase difference of 180° according to the gate pulse train are respectively written on the track, and the two written position signals are simultaneously read out by the position detection head, and the difference signal is obtained. 2. A head positioning method for a thin film magnetic head inspection apparatus according to claim 1, wherein the amount of positional deviation of said position detecting head with respect to the centers of said two tracks is determined by:
JP63272306A 1988-10-28 1988-10-28 Head positioning system for thin film magnetic head inspection instrument Pending JPH02121108A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN110749782A (en) * 2018-07-23 2020-02-04 潍坊华光光电子有限公司 Pulse drive test method for semiconductor laser

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