JPH02116916A - 座標入力素子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、座標入力装置に用いる座標入力素子に関する
。

（従来の技術） 座標入力装置は、画像データー、二次元座標データー等
をコンピューター等の情報処理装置に入力するため等に
、コンピューター等の周辺装置として有用なものであり
、種々の方式、素子を用いた装置が開発されている。

例えば、（入）直交するワイヤー状電極上に、コイルに
より磁場を印加し、発生する信号を読みとり座標検知す
る電磁誘導方式、（Ｂ）直交するワイヤー状電極対の上
部電極に圧力を加えて、下部電極と接触させることによ
り位置を検出するタッチパネル方式、（Ｃ）平板状シリ
コンダイオード等で光出力電流を表面抵抗層で分割して
位置を検出する非走査ボジシジンセンサー、さらに（Ｄ
）ＬＥＤアレイと受光素子アレイをマトリックス状に組
み合わして、光の遮断により位置を検出する光電式等が
ある。その他静電誘導方式、超音波方式等多数の入力装
置が考案されている。

（発明が解決しようとする課題） 前記した従来の座標入力装置は種々の問題点を有してい
る。（Ａ）においては、分解能を向上させるためには２
組の直交するワイヤー状電極の密度を高くしなければな
らず、構造が複雑となり、コストが高くなる。さらにワ
イヤー状電極へ誘起された電流はアナログ解析を必要と
し電子回路の複雑さを招き、さらに磁界を利用している
ため、他局辺部、例えば磁気記録媒体に悪影響をおよぼ
す等の問題点を有している。（Ｂ）、（Ｄ）においても
、分解能を向上させるためには、ワイヤー状電極対や、
ＬＥＤアレイ、受光素子アレイの密度を高くしなければ
ならず、その結果、構造が複雑になる問題点を有してい
る。（Ｃ）においては、表面抵抗層の精度により精度が
決り、高精度を必要とする場合、表面抵抗層の不均一性
が問題となり大面積化が困難となる。

（課題を解決するための手段） 本発明は、座標入力装置において問題となる、高分解能
化に伴う構造の複雑化を防ぎ高精度化をはかり、他の方
式によって伴われる問題点を解決した座標入力装置の骨
格要素である座標入力素子である。すなわち本発明は、 一面上に形成されている座標検出用の複数の縞状電極が
、圧力あるいは光等を検知して抵抗率が変化する等の特
性を有する素材をはさんで、他面に形成されている座標
検出用の複数の縞状電極と、たがいの面上の縞状電極が
平行でない状態で配されている座標入力素子において、
該縞状電極に施される収集電極が、縞状電極の２以上に
またがって施されていることを特徴とする座標入力素子
である。

本発明の一面上に形成されている座標検出用の複数本の
縞状電極は、基板上に形成されてもよくまた、光検知に
よる特性変化する素材からなる膜上に直接形成されても
よいものである。

また、電極がはさむ素材としても、圧力、光、熱等の外
部刺激で抵抗の変化するもの、あるいはシリコンゴムの
ように外部からの圧力によっテ上部電極と下部電極が接
触するものでもよい。

また、本発明における縞状電極とは一本の電極が細い帯
状に形成され、各々が互いに実質的に平行になるように
複数本が一面上に形成されたものであり、さらに収集電
極が該縞状電極の２箇所以上にまたがっていることを特
徴とする。

この収集電極は縞状電極と一体型のものでも良い。

この縞状電極と収集電極を形成する材料は、特に限定さ
れるものではないが適当な導電性を有する必要がある。

また、互いに同一素材でもよく、異なる素材でもよい。

これらの電極は縞状電極として形成されている状態で透
明または半透明である方が好ましい。

縞状電極のみで位置検出を行なう場合には一本々々の電
極からの信号をそれぞれシフトレジタ−でアナログ解析
する必要がある。

精度を上げるためにＭ杖電極の間隔を小さくすると、極
めて多数のシフトレジスターが必要となり回路の複雑さ
を招きコストの高いものとなる。

本発明は、取り出し電極を縞状電極２ｔＩ所以上にまた
がった配線にすることにより上記問題を解決し、大面積
、高分解能で安価な座標入力素子を得んきして検討した
結果、到達したものである。

本発明の縞状電極はエツチング等の技術を用いて微細化
することが出来、微細なパターンとして形成できる。従
って高分解能が可能となり、大面積化も容易となる。

また必要ならば、本発明素子と一体化した液晶その他の
表示装置を組み合わせてもよい。

（実施例） 片面にＩＴＯを製膜したガラス基板を用い、とのＩＴＯ
をフォトエツチングすることにより微小な、縞状細線パ
ターンを形成する。この表面にアモルファスシリコンを
、ＣＤＶ法を用いて堆積させ、さらに、その上部に、Ｉ
ＴＯをスパンタリング法を用いて製膜し、これを下部Ｉ
ＴＯ縞状細線パターンとは、直交するように、フォトエ
ツチングをしてパターンを形成した。細線パターンは上
部電極、下部電極ともに、線巾３０μｍ１線間隔２０μ
ｍの５０μｍピッチで作成し、１０ｃ司×１０ｃ■角基
板上の８　ｃｗａ　Ｘ　８　ａｍ角をセンシングエリア
とした。また、位置を示す入射する光は、中心波長６６
０ｎｍの発光ダイオードを使用し、周波数５ＫＨｚで変
調をかけた。同素子受光部上には、外乱光低減のために
赤色フィルターを配置した。

同素子からの出力信号は、ピーク検出回路を通して座標
データとしてコンピューターに出力する。

第１図に、本実施例の素子の層構成概略を、第２図に製
作した素子の構成を、第３図に外部電子回路を含めたブ
ロック図を示す。この素子を用いて座標入力を行ったと
ころ分解能０．０５ｍｍの高分解能が得られた。

（発明の効果） 本発明は、電極となる材料をエツチング等の技術を用い
て製作できるため容易に高分解能化できる。さらに微細
化した、縞状電極の複数にまたがる収集電極を設け、作
動することで簡素化された小型・高分解の座標入力素子
となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の素子の構成概略図であり、第２図は
実施例１で製作した同素子の構成図である。第３図は同
素子を用いて位置検出を行う時のブロック図を示す。 第　２　図 １−赤色フィルタ ２　力゛う入署９反 ３　　工ＴＣ）木配ｙ状を１会 ４．７七）レフ下スシリコ１ ５°工丁ＯオＺＥチイ人゛電不ｂ ６・］呆ｌ田更 ＄３　図 １　゛　本？に≦日Ｐ４Ｍもこト ２　Ｘ軸Ｊ帝５１回Ｓ各 ３゛工軸上勺贈巾器 ４　ピーフイ直十剣主回了各 ５　つンヒ一一タ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）一面上に形成されている座標検出用の複数の縞状
   電極が、圧力あるいは光等を検知して抵抗率が変化する
   等の特性を有する素材をはさんで、他面に形成されてい
   る座標検出用の複数の縞状電極と、たがいの面上の縞状
   電極が平行でない状態で配されている座標入力素子にお
   いて、該縞状電極に施される収集電極が、縞状電極の２
   以上にまたがって施されていることを特徴とする座標入
   力素子。