JPH02113254U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02113254U JPH02113254U JP2117389U JP2117389U JPH02113254U JP H02113254 U JPH02113254 U JP H02113254U JP 2117389 U JP2117389 U JP 2117389U JP 2117389 U JP2117389 U JP 2117389U JP H02113254 U JPH02113254 U JP H02113254U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- metal plate
- manifolds
- pair
- cooling pipes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 3
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例のイオン源チヤン
バへの設置状態の断面図、第２図はそのイオン源
電極の正面図、第３図は同じくその部分拡大断面
図、第４図は同じくその分解状態の部分断面図、
第５図および第６図は各々他の実施例の部分断面
図、第７図は従来のイオン源の部分断面図、第８
図はそのイオン源電極の正面図である。 １……電極金属板、１ａ……電極部、１ｂ……
取付フランジ部、２……イオン源チヤンバ、３…
…処理室、４……絶縁物、６，７……分割電極板
、８……冷却パイプ、１０……嵌合溝、１１……
マニホールド。
バへの設置状態の断面図、第２図はそのイオン源
電極の正面図、第３図は同じくその部分拡大断面
図、第４図は同じくその分解状態の部分断面図、
第５図および第６図は各々他の実施例の部分断面
図、第７図は従来のイオン源の部分断面図、第８
図はそのイオン源電極の正面図である。 １……電極金属板、１ａ……電極部、１ｂ……
取付フランジ部、２……イオン源チヤンバ、３…
…処理室、４……絶縁物、６，７……分割電極板
、８……冷却パイプ、１０……嵌合溝、１１……
マニホールド。
Claims (1)
- 互いに重ねて高温圧接した２枚の分割電極板か
らなる電極金属板を設け、前記２枚の分割電極板
の重なり面に設けた複数本の嵌合溝に各々冷却パ
イプを埋め込み、前記電極金属板内に開口溝から
なる一対のマニホールドを設け、これら一対のマ
ニホールドに前記各冷却パイプの両端を各々連通
させたイオン源電極。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2117389U JPH02113254U (ja) | 1989-02-23 | 1989-02-23 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2117389U JPH02113254U (ja) | 1989-02-23 | 1989-02-23 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02113254U true JPH02113254U (ja) | 1990-09-11 |
Family
ID=31238171
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2117389U Pending JPH02113254U (ja) | 1989-02-23 | 1989-02-23 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02113254U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013045747A (ja) * | 2011-08-26 | 2013-03-04 | Toshiba Corp | イオン源用電極及びその製造方法 |
-
1989
- 1989-02-23 JP JP2117389U patent/JPH02113254U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013045747A (ja) * | 2011-08-26 | 2013-03-04 | Toshiba Corp | イオン源用電極及びその製造方法 |
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