JPH021014Y2 - - Google Patents
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- JPH021014Y2 JPH021014Y2 JP1433582U JP1433582U JPH021014Y2 JP H021014 Y2 JPH021014 Y2 JP H021014Y2 JP 1433582 U JP1433582 U JP 1433582U JP 1433582 U JP1433582 U JP 1433582U JP H021014 Y2 JPH021014 Y2 JP H021014Y2
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- filament
- electron gun
- heating
- transformer
- switch
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Landscapes
- Particle Accelerators (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本考案は熱電子放出型電子銃に使用される加熱
用フイラメントの断線を検知するための装置に関
する。[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to a device for detecting a break in a heating filament used in a thermionic emission type electron gun.
[従来の技術]
電子顕微鏡に使用される電子線源としては、従
来からタングステンフイラメントを加熱したとき
に発生する熱電子を利用するものが広く使用され
ている。このタングステンフイラメントは長時間
使用するに従つて細くなり、ついには断線してし
まうため、顕微鏡を使用中に電子線が消えたり、
装置の始動時に電子線が発生しなかつたりする場
合には、その原因がフイラメントの断線にあるか
否かを調べることが必要となる。この場合、真空
に保たれた電子銃室の真空を破つてフイラメント
が断線しているか否か直接確認することは操作が
大変なため、接地電位側に設けられたフイラメン
ト加熱制御回路を操作してフイラメント断線の有
無を調べていた。[Prior Art] As electron beam sources used in electron microscopes, those that utilize thermionic electrons generated when a tungsten filament is heated have been widely used. As this tungsten filament is used for a long time, it becomes thinner and eventually breaks, so the electron beam may disappear while using the microscope.
If an electron beam is not generated when the device is started, it is necessary to investigate whether the cause is a break in the filament. In this case, it is difficult to break the vacuum in the electron gun chamber and directly check whether the filament is broken, so we operate the filament heating control circuit installed on the ground potential side. I was checking for filament breakage.
第1図は電子顕微鏡等に用いられる従来の電子
銃におけるフイラメント断線検知装置の要部を示
す略図である。図中、1は種々の電極と共に電子
銃室2に収納されたフイラメントを示し、その両
端はケーブルを介して絶縁トランスT2の2次側
巻線に接続されると共に、負の直流高電圧電源3
により負の高電位に保持されている。絶縁トラン
スT2の1次側巻線は絶縁トランスT1の2次側
巻線と接続され、トランスT1の1次側巻線には
パワー・アンプ4を介して高周波発振器5の出力
が供給される。パワー・アンプ4の出力はポテン
シヨメータ6のつまみを回転することによつて零
から所定の強度まで連続的に可変調整される。7
は前記トランスT1の一次側巻線に供給される電
流を表示するための電流計であり、前記パワー・
アンプ4からトランスT1の1次側巻線に供給さ
れる電流はこの電流計7によつてモニターでき
る。今、フイラメント1が断線しているときのポ
テンシヨメータ6のつまみの回転量と電流計7の
表示値との関係を第2図の曲線Aで示し、フイラ
メント1が断線していないときの同様の関係を第
2図中の曲線Bで示す。曲線AとBの差がフイラ
メントに供給される電流に相当する。従つて、予
め曲線AとBで表される特性を記録しておき、ポ
テンシヨメータ6のつまみを回転させたとき電流
計7の示す電流値がどちらの曲線に近いかを判断
することによつてフイラメントの断線を検知する
ことが可能である。 FIG. 1 is a schematic diagram showing the main parts of a filament breakage detection device in a conventional electron gun used in an electron microscope or the like. In the figure, 1 indicates a filament housed in an electron gun chamber 2 together with various electrodes, both ends of which are connected to the secondary winding of an isolation transformer T2 via a cable, and a negative DC high voltage power supply 3.
is held at a high negative potential by The primary winding of the isolation transformer T2 is connected to the secondary winding of the isolation transformer T1, and the output of the high frequency oscillator 5 is supplied to the primary winding of the transformer T1 via the power amplifier 4. The output of the power amplifier 4 is continuously variably adjusted from zero to a predetermined intensity by rotating the knob of the potentiometer 6. 7
is an ammeter for displaying the current supplied to the primary winding of the transformer T1;
The current supplied from the amplifier 4 to the primary winding of the transformer T1 can be monitored by the ammeter 7. Curve A in Figure 2 shows the relationship between the amount of rotation of the knob of potentiometer 6 and the value displayed on ammeter 7 when filament 1 is broken, and the same applies when filament 1 is not broken. The relationship is shown by curve B in FIG. The difference between curves A and B corresponds to the current supplied to the filament. Therefore, by recording the characteristics represented by curves A and B in advance and determining which curve the current value indicated by the ammeter 7 is closer to when the knob of the potentiometer 6 is rotated. Therefore, it is possible to detect a filament breakage.
[考案が解決しようとする課題]
しかしながら、電子銃に印加される負の直流高
電圧電源3の電圧が大きくなるにつれてフイラメ
ント1とパワー・アンプ4を接続する絶縁トラン
スの段数が増すため、第2図に示す曲線A,Bの
関係が第3図に示す曲線A′,B′のように変化す
る。これは、多数の絶縁トランスT1〜Tnによ
つて消費される電力が大きくなつたのに対してフ
イラメント1で消費される電力が相対的に小さく
なつたためである。このような場合には曲線
A′とB′の差が僅かとなるため前述した従来の装
置によつては、フイラメントの断線を確認するこ
とが困難で信頼度の低いものとなる。[Problem to be solved by the invention] However, as the voltage of the negative DC high voltage power supply 3 applied to the electron gun increases, the number of stages of isolation transformers connecting the filament 1 and the power amplifier 4 increases. The relationship between curves A and B shown in the figure changes as shown by curves A' and B' shown in FIG. This is because the power consumed by the filament 1 is relatively small while the power consumed by the large number of isolation transformers T1 to Tn is large. In such cases, the curve
Since the difference between A' and B' is small, it is difficult to confirm filament breakage with the conventional device described above, resulting in low reliability.
本考案はこのような問題を解決して、加速電圧
の高い電子銃であつても真空を破ることなく容易
にフイラメントの断線を検知可能な電子銃におけ
るフイラメント断線検知装置を提供することを目
的としている。 The purpose of the present invention is to solve these problems and provide a filament breakage detection device for an electron gun that can easily detect filament breakage without breaking the vacuum even in an electron gun with a high acceleration voltage. There is.
[課題を解決するための手段]
そのため本考案は、電子銃室に組み込まれ直流
高圧の印加される加熱用フイラメントと、初段か
ら最終段に至る複数段の絶縁トランスを介して該
加熱用フイラメントに交流電流を供給する加熱電
源と、前記初段のトランスの1次側巻線に供給さ
れる電力を表示する表示手段と、前記最終段トラ
ンスの2次側巻線と前記フイラメントとの接続を
オン、オフするためのスイツチと、該スイツチを
接地電位側から切換え制御するための制御手段を
設けたことを特徴としている。[Means for Solving the Problems] Therefore, the present invention includes a heating filament that is incorporated in the electron gun chamber and to which high DC voltage is applied, and a heating filament that is connected to the heating filament through multiple stages of insulation transformers from the first stage to the final stage. turning on the connection between a heating power supply supplying alternating current, a display means for displaying power supplied to the primary winding of the first stage transformer, and the secondary winding of the last stage transformer and the filament; It is characterized by providing a switch for turning off the switch and a control means for switching and controlling the switch from the ground potential side.
[実施例]
以下、図面に基づき本考案の実施例を詳述す
る。[Example] Hereinafter, an example of the present invention will be described in detail based on the drawings.
第4図は本考案の一実施例装置を示す略図であ
り、第1図と同一符号を付したものは同一構成要
素を表わしている。第4図の装置においては、直
流高電圧電源3の電圧が高いため、絶縁トランス
T1〜Tnの段数が増やされている。第1図の装
置と異なり、最終段トランスTnの2次側巻線と
フイラメント1との接続をオン、オフするための
スイツチ8が設けられていると共に、このスイツ
チ8を接地電位側から切換え制御するための切換
制御手段9が設けられている。 FIG. 4 is a schematic diagram showing an embodiment of the present invention, and the same reference numerals as in FIG. 1 represent the same components. In the device shown in FIG. 4, since the voltage of the DC high voltage power supply 3 is high, the number of stages of isolation transformers T1 to Tn is increased. Unlike the device shown in Fig. 1, a switch 8 is provided to turn on and off the connection between the secondary winding of the final stage transformer Tn and the filament 1, and this switch 8 is controlled by switching from the ground potential side. A switching control means 9 is provided for this purpose.
第4図の装置を用いて、フイラメント1の断線
を検知するには先ず、ポテンシヨメータ6のつま
みを回転させて通常の使用状態の付近に固定す
る。次に切換制御手段9を操作して、切換スイツ
チ8を繰り返しオン・オフさせる。このとき電流
計7の表示を観察し、表示値が変動したときには
フイラメント1が断線しておらず、表示値が変動
しないときにはフイラメント1が断線したものと
判断できる。このような電子銃におけるフイラメ
ント断線検知装置によれば、第3図の曲線A′,
B′に示すような関係が成り立ち、そのため曲線
A′,B′との差が僅かな場合であつても、それら
の差が表示値の変動として認識できるため、容易
にしかも信頼度高くフイラメント断線が検知可能
となる。 In order to detect a break in the filament 1 using the apparatus shown in FIG. 4, first, the knob of the potentiometer 6 is rotated and fixed near the normal operating state. Next, the changeover control means 9 is operated to repeatedly turn the changeover switch 8 on and off. At this time, the display on the ammeter 7 is observed, and if the displayed value fluctuates, it can be determined that the filament 1 has not broken, and if the displayed value does not fluctuate, it can be determined that the filament 1 has broken. According to such a filament breakage detection device in an electron gun, the curves A′,
The relationship shown in B′ holds, so the curve
Even if the difference between A' and B' is small, the difference can be recognized as a change in the displayed value, so filament breakage can be detected easily and with high reliability.
[考案の効果]
以上のように、本考案によれば加速電圧の高い
電子銃であつてもフイラメントの断線が容易に検
知できるようになるため、特に高加速電圧の電子
顕微鏡やその他の電子線装置の保守が容易とな
る。[Effects of the invention] As described above, according to the invention, filament breakage can be easily detected even with an electron gun with a high acceleration voltage. Maintenance of the device becomes easier.
第1図は従来の電子銃を示す略図、第2図及び
第3図は第1図の装置の動作を説明するための略
図、第4図は本考案の一実施例装置を示す略図で
ある。
1……フイラメント、2……電子銃室、3……
直流高電圧電源、T1,T2〜Tn……絶縁トラ
ンス、4……パワー・アンプ、5……高周波発振
器、6……ポテンシヨメータ、7……電流計、8
……オン・オフスイツチ、9……切換制御手段。
FIG. 1 is a schematic diagram showing a conventional electron gun, FIGS. 2 and 3 are schematic diagrams for explaining the operation of the device shown in FIG. 1, and FIG. 4 is a schematic diagram showing an embodiment of the device of the present invention. . 1... filament, 2... electron gun chamber, 3...
DC high voltage power supply, T1, T2~Tn...Isolation transformer, 4...Power amplifier, 5...High frequency oscillator, 6...Potentiometer, 7...Ammeter, 8
...On/off switch, 9...Switching control means.
Claims (1)
熱用フイラメントと、初段から最終段に至る複数
段の絶縁トランスを介して該加熱用フイラメント
に交流電流を供給する加熱電源と、前記初段のト
ランスの1次側巻線に供給される電力を表示する
表示手段と、前記最終段トランスの2次側巻線と
前記フイラメントとの接続をオン、オフするため
のスイツチと、該スイツチを接地電位側から切換
え制御するための制御手段を設けたことを特徴と
する電子銃におけるフイラメント断線検知装置。 A heating filament that is incorporated in the electron gun chamber and to which high DC voltage is applied; a heating power supply that supplies alternating current to the heating filament via multiple stages of insulation transformers from the first stage to the final stage; a display means for displaying power supplied to the primary winding; a switch for turning on and off the connection between the secondary winding of the final stage transformer and the filament; A filament breakage detection device for an electron gun, characterized in that it is provided with a control means for switching control.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1433582U JPS58117048U (en) | 1982-02-04 | 1982-02-04 | Filament breakage detection device in electron gun |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1433582U JPS58117048U (en) | 1982-02-04 | 1982-02-04 | Filament breakage detection device in electron gun |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58117048U JPS58117048U (en) | 1983-08-10 |
JPH021014Y2 true JPH021014Y2 (en) | 1990-01-11 |
Family
ID=30026805
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1433582U Granted JPS58117048U (en) | 1982-02-04 | 1982-02-04 | Filament breakage detection device in electron gun |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS58117048U (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102361359B1 (en) | 2020-09-30 | 2022-02-14 | 스미토모 오사카 세멘토 가부시키가이샤 | Positive electrode material for lithium ion secondary battery, positive electrode for lithium ion secondary battery and lithium ion secondary battery |
-
1982
- 1982-02-04 JP JP1433582U patent/JPS58117048U/en active Granted
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102361359B1 (en) | 2020-09-30 | 2022-02-14 | 스미토모 오사카 세멘토 가부시키가이샤 | Positive electrode material for lithium ion secondary battery, positive electrode for lithium ion secondary battery and lithium ion secondary battery |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS58117048U (en) | 1983-08-10 |
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