JPH0195737U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0195737U JPH0195737U JP19155287U JP19155287U JPH0195737U JP H0195737 U JPH0195737 U JP H0195737U JP 19155287 U JP19155287 U JP 19155287U JP 19155287 U JP19155287 U JP 19155287U JP H0195737 U JPH0195737 U JP H0195737U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pin
- pin head
- sleeve
- iron core
- marking
- Prior art date
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- Granted
Links
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical group [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 claims 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Pens And Brushes (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例に係る半導体ウエハ
マーキング装置の構成を示す断面側面図、第２図
は従来装置の概要構成例を示す断面図である。 １０……ケーシング、１１……電磁コイル、１
２……可動鉄芯、１２ａ……スリーブ、１３……
復帰スプリング、１４……ストツパボルト、１５
……緩衝リング、１６……マーキングピン、１６
ａ……ねじ軸、１６ｂ……ピンヘツド、１６ｃ…
…細線、１７……摩擦リング、Ｈ……ホルダ、Ｔ
……インクタンク、ＭＩ……マーキングインク。
マーキング装置の構成を示す断面側面図、第２図
は従来装置の概要構成例を示す断面図である。 １０……ケーシング、１１……電磁コイル、１
２……可動鉄芯、１２ａ……スリーブ、１３……
復帰スプリング、１４……ストツパボルト、１５
……緩衝リング、１６……マーキングピン、１６
ａ……ねじ軸、１６ｂ……ピンヘツド、１６ｃ…
…細線、１７……摩擦リング、Ｈ……ホルダ、Ｔ
……インクタンク、ＭＩ……マーキングインク。
Claims (1)
- マーキングピンをその軸方向位置調整自在に螺
合した円筒型可動鉄芯がケーシング内に設けられ
た電磁コイルを挿通して、該電磁コイルへの通電
ＯＮにより進出し通電ＯＦＦにより元位置へ後退
するように復帰スプリングを備えて進退自在に配
設されたウエハマーキング装置において、マーキ
ングピンの軸基端に上記位置調整操作用ピンヘツ
ドを形成し、上記可動鉄芯に該ピンヘツドが挿通
するスリーブを形成すると共に、該ピンヘツドと
スリーブの挿通部間には弾性変形で双方に圧接す
る摩擦リングを介在せしめたことを特徴とするウ
エハマーキング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19155287U JPH0414932Y2 (ja) | 1987-12-17 | 1987-12-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19155287U JPH0414932Y2 (ja) | 1987-12-17 | 1987-12-17 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0195737U true JPH0195737U (ja) | 1989-06-26 |
| JPH0414932Y2 JPH0414932Y2 (ja) | 1992-04-03 |
Family
ID=31482457
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19155287U Expired JPH0414932Y2 (ja) | 1987-12-17 | 1987-12-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0414932Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-12-17 JP JP19155287U patent/JPH0414932Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0414932Y2 (ja) | 1992-04-03 |
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