JPH0193674A - Valve - Google Patents
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- JPH0193674A JPH0193674A JP25015587A JP25015587A JPH0193674A JP H0193674 A JPH0193674 A JP H0193674A JP 25015587 A JP25015587 A JP 25015587A JP 25015587 A JP25015587 A JP 25015587A JP H0193674 A JPH0193674 A JP H0193674A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ダイヤフラムないしベローズを有する弁に関
し、特に高温の半導体処理用薬液等の流体を切り換える
切換弁等、高温で使用される弁に適用して有効な技術に
関する。[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to a valve having a diaphragm or bellows, and is particularly applicable to valves used at high temperatures, such as switching valves that switch fluids such as high-temperature semiconductor processing chemicals. Regarding effective techniques.
高温で使用される弁としては、弁本体と弁体付きのダイ
ヤフラムとがフッ素樹脂等の材質で形成されているもの
がある。Some valves used at high temperatures have a valve body and a diaphragm with a valve body made of a material such as fluororesin.
この弁のダイヤフラムは、その外周部のシート部が弁本
体とダイヤフラム押さえとの間に介在されて固定されて
いる。The diaphragm of this valve has a seat portion on its outer periphery interposed and fixed between the valve body and the diaphragm holder.
しかしながら、前記した構造の弁は、フッ素樹脂製等の
弁本体ないしダイヤフラム及び他の構成部材が、たとえ
ば１８０〜２００ ’Ｃの高温時に熱衝撃によりクリー
プが生じ、ダイヤフラムの外周部のシート部の周囲に隙
間が生じて該隙間がら被制御流体が外部に漏れる場合が
ある。However, in the valve having the above-mentioned structure, the valve body or diaphragm made of fluororesin or the like and other constituent members tend to creep due to thermal shock at high temperatures of, for example, 180 to 200'C, and the periphery of the seat part on the outer periphery of the diaphragm suffers from creep. There are cases where a gap is created between the two and the controlled fluid leaks to the outside through the gap.
そこで、この被制御流体の外部漏れを防止するために、
組み立てねじを適時締め付は薔弁本体とダイヤフラム押
さえとを密接に結合することにより、ダイヤプラムのシ
ート部の周囲の隙間を閉塞して被制御流体の外部漏れを
防止している。Therefore, in order to prevent this controlled fluid from leaking to the outside,
By tightening the assembly screws in a timely manner, the rose valve body and the diaphragm retainer are closely connected, thereby closing the gap around the seat portion of the diaphragm and preventing leakage of the controlled fluid to the outside.
しかし、このような締付は手段は煩わしく、また組み立
てねじの締付けを怠れば、被制御流体の外部漏れが生じ
てしまうという問題点がある。However, such tightening is cumbersome, and if the assembly screws are not tightened, there is a problem in that the controlled fluid may leak to the outside.
本発明の目的は、ダイヤフラムないしベローズの外周部
のシート部近くからの被制御流体の外部漏れを確実に防
止することができる弁を提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a valve that can reliably prevent external leakage of controlled fluid from near the seat portion of the outer periphery of the diaphragm or bellows.
〔問題点を解決するための手段〕
本発明の弁は、ダイヤフラムないしベローズの外周部側
のシート部が弁構成部材どうしの間に介在されて固定さ
れている弁でありて、前記−の弁構成部材を他の弁構成
部材側に押圧する弾性部材が内設され、この弾性部材の
弾性力により前記シート部と前記−の弁構成部材と前記
他の弁構成部材とが互いに密接されて該シート部の周囲
に隙間が生じないようにされる構造としたものである。[Means for Solving the Problems] The valve of the present invention is a valve in which a seat portion on the outer peripheral side of a diaphragm or a bellows is interposed and fixed between valve component members, and the valve of the above-mentioned - An elastic member that presses the component toward the other valve component is provided inside, and the elastic force of the elastic member brings the seat portion, the negative valve component, and the other valve component into close contact with each other. The structure is such that there are no gaps around the seat portion.
前記した手段によれば、弾性部材の弾性力により一つの
弁構成部材が他の弁構成部材側に押圧され、ダイヤフラ
ムないしベローズの外周部側のシート部と前記−の弁構
成部材と前記他の弁構成部材とが互いに密接されて該シ
ート部の周囲に隙間が生じることが防止されるので、組
み立てねじ等による締め付けを要することなく、確実に
、しがも常時、シート部の周囲からの被制御流体の漏れ
を防止することができる。According to the above-described means, one valve component is pressed toward the other valve component by the elastic force of the elastic member, and the seat portion on the outer peripheral side of the diaphragm or bellows, the negative valve component, and the other valve component are pressed together. Since the valve components are brought into close contact with each other and a gap is prevented from forming around the seat part, there is no need for tightening with assembly screws, etc., and the cover from the periphery of the seat part can be reliably maintained at all times. Leakage of control fluid can be prevented.
第１図は本発明の一実施例である弁を示す断面図である
。FIG. 1 is a sectional view showing a valve that is an embodiment of the present invention.
本実施例の弁は、半導体処理用薬液等の高温の被制ｍ流
体を切り換える切換弁として適用されていて、プレー）
１と、弁本体２（弁構成部材）と、シリンダチューブ３
（本体）と、カバー４とが組立ねじ５により結合されて
いる０組立ねじ５の座面には、ばね座金６と平座金７と
が敷設されている。The valve of this embodiment is applied as a switching valve for switching a high-temperature controlled fluid such as a chemical solution for semiconductor processing.
1, the valve body 2 (valve component), and the cylinder tube 3
A spring washer 6 and a flat washer 7 are installed on the bearing surface of the zero assembly screw 5 that connects the main body and the cover 4 with the assembly screw 5.
前記弁本体２は、たとえばフッ素樹脂等の耐腐食性ない
し耐薬品性の材質により形成されている。The valve body 2 is made of a corrosion-resistant or chemical-resistant material such as fluororesin.
弁本体２には、被制御流体用の入口側ポート２ａと出口
側ポート２ｂとが形成され、この入口側ボー）２ａと出
口側ポート２ｂとの中途に、弁室８が介在されている。The valve body 2 is formed with an inlet port 2a and an outlet port 2b for the controlled fluid, and a valve chamber 8 is interposed midway between the inlet port 2a and the outlet port 2b.
弁室８には、たとえばフッ素樹脂等の耐腐食性ないし耐
薬品性の材質からなる弁体９がその軸方向に沿って移動
自在に設けられ、弁孔８ａを開閉するようになっている
。A valve body 9 made of a corrosion-resistant or chemical-resistant material such as fluororesin is provided in the valve chamber 8 and is movable along its axis to open and close the valve hole 8a.
弁体９の外周囲には、該弁体９と同様な材質からなるダ
イヤフラム９ａが一体的に形成され、このダイヤフラム
９ａは、その外周部側のシート部９ｂが弁本体２の上面
の係止段部２Ｃとダイヤフラム押さえ１０（弁構成部材
）との間に介在されて弁本体２に固定されている。弁室
８は、そのダイヤフラム９ａにより下方側の流体通過部
８ｂと上方側の流体非通過部８ｃとに仕切られ、その流
体非通過部８ｃに薬液等の腐食性流体が侵入しないよう
になっている。A diaphragm 9a made of the same material as the valve body 9 is integrally formed around the outer circumference of the valve body 9, and a seat portion 9b on the outer circumferential side of the diaphragm 9a engages with the upper surface of the valve body 2. It is interposed between the stepped portion 2C and the diaphragm holder 10 (valve component) and is fixed to the valve body 2. The valve chamber 8 is partitioned by a diaphragm 9a into a lower fluid passage portion 8b and an upper fluid non-passage portion 8c, and corrosive fluids such as chemical solutions are prevented from entering the fluid non-passage portion 8c. There is.
ダイヤフラム押さえ１０のダイヤフラム９ａ側の内周面
には、ダイヤフラム用の曲面状のガイド部１０ａが形成
され、作動時にダイヤフラム９ａのガイド部１０ａ側が
該ガイド部１０ａに沿って案内されつつ弯曲状に変形さ
れて変位するようになっている。そして、ダイヤフラム
９ａがガイド部１０ａに沿って案内されつつ弯曲状に変
形することにより、フリー状態での変形に起因するダイ
ヤフラム９ａの破損が確実に防止され、該ダイヤフラム
９ａの耐久性の向上を図ることができるようになってい
る。A curved guide portion 10a for the diaphragm is formed on the inner peripheral surface of the diaphragm holder 10 on the diaphragm 9a side, and during operation, the guide portion 10a side of the diaphragm 9a is guided along the guide portion 10a and deforms into a curved shape. It is designed to be displaced. By deforming the diaphragm 9a into a curved shape while being guided along the guide portion 10a, damage to the diaphragm 9a due to deformation in the free state is reliably prevented, and the durability of the diaphragm 9a is improved. It is now possible to do so.
前記シリンダチューブ３の下部とダイヤフラム押さえ１
０との間には・、皿ばね保持用のハウジング１１が形成
されている。ハウジング１１には、ケース１２ａとプレ
ート１２ｂとが設けられていて、これらの間に耐熱性、
耐腐食性、耐薬品性の材質よりなる一対の皿ばね１３（
弾性部材）が介在、保持されている。The lower part of the cylinder tube 3 and the diaphragm holder 1
0 is formed with a housing 11 for holding a disc spring. The housing 11 is provided with a case 12a and a plate 12b.
A pair of disc springs 13 made of corrosion-resistant and chemical-resistant material (
An elastic member) is interposed and held.
ダイヤフラム押さえ１０は、皿ばね１３の弾性力ないし
反力によって弁本体２側に常時押圧されている。そして
、この皿ばね１３の弾性力によってダイヤフラム押さえ
１０が押圧されていることにより、弁本体２とダイヤフ
ラム９ａとダイヤフラム押さえ１０とが互いに密接され
て、高温時における弁本体２．ダイヤフラム９ａ、ダイ
ヤプラム押さえ１０等の熱衝撃に起因するクリープによ
って生じようとする隙間、すなわちこれら相互間の接合
部位に生じようとする隙間が閉塞され、被制御流体の外
部への漏れが確実に、しかも常時、防止される構造とさ
れている。The diaphragm retainer 10 is constantly pressed against the valve body 2 by the elastic force or reaction force of the disc spring 13. Since the diaphragm holder 10 is pressed by the elastic force of the disc spring 13, the valve body 2, the diaphragm 9a, and the diaphragm holder 10 are brought into close contact with each other, and the valve body 2. The gaps that tend to occur due to creep caused by thermal shock in the diaphragm 9a, diaphragm retainer 10, etc., that is, the gaps that tend to occur at the joints between these, are closed, and leakage of the controlled fluid to the outside is ensured. , and the structure is such that it is always prevented.
前記シリンダチューブ３内には、ピストンロッド１４と
、このピストンロッド１４が接続されたピストン１５と
がその軸方向に摺動自在に設けられている。Inside the cylinder tube 3, a piston rod 14 and a piston 15 to which the piston rod 14 is connected are provided so as to be slidable in the axial direction thereof.
前記ピストンロッド１４の先端側には、前記弁体９が螺
合されていて、該弁体９がピストンロッド１４およびピ
ストン１５の摺動に同伴されて第１図の上下方向に往復
運動されるようになっている。The valve body 9 is screwed onto the tip side of the piston rod 14, and the valve body 9 is reciprocated in the vertical direction in FIG. 1 as the piston rod 14 and piston 15 slide. It looks like this.
シリンダチューブ３の左側面には、第１排出ボー３ａが
開設され、該第１排出ボー）３ａは弁室８の流体非通過
部８Ｃと連通されている。A first discharge bow 3a is provided on the left side surface of the cylinder tube 3, and the first discharge bow 3a communicates with a fluid non-passage portion 8C of the valve chamber 8.
この第１排出ポート３ａは、作動時における流体非通過
部８ｃの吸気と排気用の通気孔であるとともに、該第１
排出ボー）３ａに接続された配管（図示せず）を通じて
該流体非通過部８ｃ内の塵埃をクリーンルーム外等の所
定の外部に排出するためのものである。また、第１排出
ポート３ａは、ダイヤフラム９ａの破損時に流体通過部
８ｂ側から流体非通過部８Ｃ内に流入した薬液等の腐食
性流体を前記した場合と同様に所定の外部に排出するた
めのものでもある。This first exhaust port 3a is a vent hole for intake and exhaust of the fluid non-passage portion 8c during operation, and
This is for discharging the dust in the fluid non-passage portion 8c to a predetermined outside such as the outside of the clean room through a pipe (not shown) connected to the discharge bow 3a. Further, the first discharge port 3a is for discharging corrosive fluid such as a chemical liquid that has flowed into the fluid non-passage portion 8C from the fluid passage portion 8b side into the fluid non-passage portion 8C to a predetermined external location when the diaphragm 9a is damaged. There are also things.
前記カバー４は、シリンダチューブ３と結合されてピス
トン用作動室１６を形成し、該作動室１６は、ピストン
１５により第１図の上下方向に仕切られている。その下
方側の作動室１６ａは、シリンダチューブ３の右側面に
開設された給排ポート３ｂと連通され、上方側の作動室
１６ｂは、カバー４の右側面に開設された第２排出ポー
）４ａと連通されている。この第２排出ポート４ａは、
作動時における上方側の作動室１６ｂの吸気と排気用の
通気孔であるとともに、該第２排出ポート４ａに接続さ
れた配管（図示せず）を通じて上方側の作動室１６ｂの
塵埃をクリーンルーム外等の所定の外部に排出するため
のものである。The cover 4 is combined with the cylinder tube 3 to form a piston working chamber 16, and the working chamber 16 is partitioned by the piston 15 in the vertical direction in FIG. The working chamber 16a on the lower side communicates with a supply/discharge port 3b opened on the right side of the cylinder tube 3, and the working chamber 16b on the upper side communicates with a second exhaust port 4a opened on the right side of the cover 4. It is communicated with. This second discharge port 4a is
This is a ventilation hole for intake and exhaust air from the upper working chamber 16b during operation, and also exhausts dust from the upper working chamber 16b to the outside of the clean room through piping (not shown) connected to the second exhaust port 4a. It is for discharging to a predetermined external location.
また、上方側の作動室１６ｂには、スプリング１７が設
けられ、このスプリング１７によりピストン１５が第１
図の下方側に付勢されている。Further, a spring 17 is provided in the upper working chamber 16b, and this spring 17 causes the piston 15 to move to the first position.
It is biased downward in the figure.
次に、本実施例の作用について説明する。Next, the operation of this embodiment will be explained.
第１図の状態において、圧縮空気等の流体圧を給排ポー
ト３ｂから下方側の作動室１６ａに供給すると、ピスト
ン１５がスプリング１７の付勢力に抗して押し上げられ
、このピストン１５の移動に同伴されてピストンロッド
１４および弁体９が上昇する。In the state shown in FIG. 1, when fluid pressure such as compressed air is supplied from the supply/discharge port 3b to the lower working chamber 16a, the piston 15 is pushed up against the urging force of the spring 17, and the movement of the piston 15 The piston rod 14 and the valve body 9 are raised together.
この弁体９の上昇により、弁孔８ａが開口し、高温の被
制御流体が入口側ポート２ａから該弁孔８ａと流体通過
部８ｂとを通じて出口側ポート２ｂへと通過する。As the valve body 9 rises, the valve hole 8a opens, and the high-temperature controlled fluid passes from the inlet side port 2a to the outlet side port 2b through the valve hole 8a and the fluid passage portion 8b.
次いで、前記した場合とは逆に、給排ポート３ｂを排出
状態にすると、ピストン１５がスプリング１７の付勢力
により押し下げられ、このピストン１５の移動に同伴さ
れてピストンロッド１４および弁体９が下降する。Next, contrary to the case described above, when the supply/discharge port 3b is brought into the discharge state, the piston 15 is pushed down by the biasing force of the spring 17, and the piston rod 14 and the valve body 9 are lowered together with the movement of the piston 15. do.
この弁体９の下降により、弁孔８ａが閉止され、被制御
流体の通過が阻止される。This lowering of the valve body 9 closes the valve hole 8a and prevents passage of the controlled fluid.
このように弁体９の上昇と下降とにより弁孔８ａが開閉
されるが、この際のピストンロッド１４ないしピストン
１５の摺動により生じた摩耗粉等の塵埃が弁室８の流体
非通過部８ｃないし上方側の作動室１６ｂに侵入する場
合がある。In this way, the valve hole 8a is opened and closed by the rising and falling of the valve body 9, but dust such as abrasion powder generated by the sliding of the piston rod 14 or piston 15 at this time is removed from the fluid-impeding part of the valve chamber 8. 8c or the upper working chamber 16b.
しかし、本実施例においては、このような流体非通過部
８Ｃないし上方側の作動室１６ｂに侵入した塵埃は、第
１排出ボー）３ａないし第２排出ポート４ａからの排気
に同伴されて、それらに接続されている各配管（図示せ
ず）を通じて所定の外部に排出される。したがって、摩
耗粉等の塵埃がクリーンルーム内等の清浄空間に飛散さ
れることを確実に防止することができ、清浄空間を極め
て高いクリーン度に維持することができる。However, in this embodiment, the dust that has entered the fluid non-passage portion 8C or the upper working chamber 16b is entrained in the exhaust air from the first exhaust port 3a or the second exhaust port 4a, and It is discharged to a predetermined outside through each pipe (not shown) connected to. Therefore, dust such as abrasion powder can be reliably prevented from being scattered into a clean space such as a clean room, and the clean space can be maintained at an extremely high level of cleanliness.
また、ダイヤフラム９ａの破損により被制′ａ流体が流
体非通過部Ｂｅに流入した場合にも、該被制御ｌｌ＠体
は第１排出ボート３ａおよびこれに接続された配管（図
示せず）を通じて所定の外部に排出されるので、被制御
流体の飛散による汚染を確実に防止することができる。Furthermore, even if the controlled fluid flows into the fluid non-passing part Be due to damage to the diaphragm 9a, the controlled body will flow through the first discharge boat 3a and the piping (not shown) connected thereto. Since the controlled fluid is discharged to the outside, contamination due to scattering of the controlled fluid can be reliably prevented.
また、ダイヤフラム押さえｌＯが皿ばね１３の弾性力な
いし反力によって弁本体２側に常時押圧され、弁本体２
とダイヤフラム９ａとダイヤフラム押さえｌＯとが互い
に密接されていることにより、高温時における弁本体２
．ダイヤフラム９ａ。In addition, the diaphragm retainer lO is constantly pressed against the valve body 2 side by the elastic force or reaction force of the disc spring 13, and the valve body 2
Since the diaphragm 9a and the diaphragm retainer lO are in close contact with each other, the valve body 2
．． Diaphragm 9a.
ダイヤフラム押さえ１０等の熱膨張に起因するクリープ
によって生じようとする隙間、すなわちこれら相互間の
接合部位に生じようとする隙間が未然に閉塞されるので
、被制御流体゛の外部への漏れを確実に、しかも常時、
防止することができる。Since the gap that is about to occur due to creep caused by thermal expansion of the diaphragm retainer 10, etc., that is, the gap that is about to occur at the joint portion between them, is closed beforehand, so that leakage of the controlled fluid to the outside is ensured. , and all the time.
It can be prevented.
この場合に、ダイヤフラム押さえ１０を押圧する弾性部
材として、荷重容積が大きく薄形である皿ばね１３が適
用されているので、熱膨張に起因するクリープによって
生じようとする隙間を更に確実に防止することができ、
また該弾性部材設置用のスペースを薄く小さくすること
ができる。In this case, since the disc spring 13, which has a large load capacity and is thin, is used as the elastic member that presses the diaphragm retainer 10, it is possible to more reliably prevent gaps that would otherwise occur due to creep caused by thermal expansion. It is possible,
Further, the space for installing the elastic member can be made thinner and smaller.
以上、本発明を実施例に基づき具体的に説明したが、本
発明は前記実施例に限定されるものではなく、その要旨
を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまで
もない。Although the present invention has been specifically described above based on Examples, it goes without saying that the present invention is not limited to the above-mentioned Examples and can be modified in various ways without departing from the gist thereof.
たとえば、本実施例においてはダイヤフラム９ａが適用
されているが、本発明においてはこのダイヤフラム９ａ
の代わりにベローズを適用することが可能である。For example, although the diaphragm 9a is used in this embodiment, the diaphragm 9a is used in the present invention.
It is possible to apply bellows instead.
また、本実施例においてはダイヤフラム押さえ１０を押
圧する弾性部材として皿ばね１３が適用されているが、
本発明においては皿ばね１３以外のばね等の弾性部材を
適用しても良い。Further, in this embodiment, the disc spring 13 is used as the elastic member that presses the diaphragm retainer 10;
In the present invention, an elastic member such as a spring other than the disc spring 13 may be used.
本発明によれば、ダイヤフラムないしベローズの外周部
側のシート部が弁構成部材どうしの間に介在されて固定
されている弁であって、前記−の弁構成部材を他の弁構
成部材側に押圧する弾性部材が本体内に内設され、この
弾性部材の弾性力により前記シート部と前記−の弁構成
部材と前記他の弁構成部材とが互いに密着される構造と
されていることにより、以下の効果を得ることができる
。According to the present invention, the seat portion on the outer peripheral side of the diaphragm or the bellows is interposed and fixed between the valve constituent members, and the negative valve constituent member is placed on the other valve constituent member side. A pressing elastic member is disposed inside the main body, and the seat part, the negative valve component, and the other valve component are brought into close contact with each other by the elastic force of the elastic member. You can obtain the following effects.
（１）１弾性部材の弾性力により一つの弁構成部材が他
の弁構成部材側に押圧され、ダイヤフラムないしベロー
ズの外周部側のシート部と前記−の弁構成部材と前記他
の弁構成部材とが互いに密接されて該シート部の周囲に
隙間が生じることが防止されるので、組み立てねじ等に
よる締め付けを要することなく、確実に、しかも常時、
シート部の周囲からの被制ｍ＠体の漏れを防止すること
ができる。(1) One valve component is pressed toward the other valve component by the elastic force of the first elastic member, and the seat portion on the outer peripheral side of the diaphragm or bellows, the negative valve component, and the other valve component are brought into close contact with each other to prevent gaps from forming around the seat, so there is no need for tightening with assembly screws, etc., and it is possible to reliably and constantly
It is possible to prevent leakage of the controlled m@ body from around the seat portion.
（２）、前記した（１）の効果により、この種の弁の信
顛性の向上を図ることができる。(2) Due to the effect of (1) described above, the reliability of this type of valve can be improved.
第１図は本発明の一実施例である弁を示す断面図である
。
ｌ・・・プレート、
２・・・弁本体（弁構成部材）、
２ａ・・入口側ボート、
２ｂ・・出口側ボート、
２ｃ・・係止段部、
３・・・シリンダチューブ（本体）、
３ａ・・第１排出ボート、
３ｂ・・給排ボート、
４・・・カバー、
４ａ・・第２排出ポート、
５・・・組立ねし、
６・・・ばね座金、
７・・・平座金、
８・・・弁室、
８ａ・・弁孔、
８ｂ・・流体通過部、
８ｃ・・流体非通過部、
９・・・弁体、
９ａ・・ダイヤフラム、
９ｂ・・シート部、
１０・・・ダイヤフラム押さえ（弁構成部材）、１０ａ
・ ・ガイド部、
１１・・・ハウジン、グ、
１２ａ・・ケース、
１２ｂ・・プレート、
１３・・・皿ばね（弾性部材）、
１４・・・ピストンロンド、
１５・ ・・ピストン、
１６・・・作動室、
１６ａ・・下方側の作動室、
１６ｂ・・上方側の作動室、
１７・・・スプリング。
特許出願人 株式会社 小金井製作所代理人 弁理士
筒 井 大 相
同 弁理士 松 倉 秀 実
同 弁理士 中 野 敏 夫
第１図FIG. 1 is a sectional view showing a valve that is an embodiment of the present invention. l... Plate, 2... Valve body (valve component), 2a... Inlet side boat, 2b... Outlet side boat, 2c... Locking step, 3... Cylinder tube (main body), 3a...first discharge boat, 3b...supply/discharge boat, 4...cover, 4a...second discharge port, 5...assembly screw, 6...spring washer, 7...flat washer , 8... Valve chamber, 8a... Valve hole, 8b... Fluid passing section, 8c... Fluid non-passing section, 9... Valve body, 9a... Diaphragm, 9b... Seat section, 10...・Diaphragm holder (valve component), 10a
・ ・Guide part, 11... Housing, 12a... Case, 12b... Plate, 13... Disc spring (elastic member), 14... Piston rond, 15... Piston, 16... - Working chamber, 16a...Lower side working chamber, 16b...Upper side working chamber, 17...Spring. Patent applicant: Koganei Seisakusho Co., Ltd. Agent: Patent attorney: Dai Tsutsui Patent attorney: Hide Matsukura Sodo: Patent attorney: Toshio Nakano Figure 1
Claims (5)
ト部が弁構成部材どうしの間に介在されて固定されてい
る弁であって、前記一の弁構成部材を他の弁構成部材側
に押圧する弾性部材が本体内に内設され、この弾性部材
の弾性力により前記シート部と前記一の弁構成部材と前
記他の弁構成部材とが互いに密着されることを特徴とす
る弁。(1) A valve in which a seat portion on the outer peripheral side of the diaphragm or bellows is interposed and fixed between valve component members, and the one valve component is pressed toward the other valve component member. A valve characterized in that an elastic member is disposed inside the main body, and the seat portion, the one valve component, and the other valve component are brought into close contact with each other by the elastic force of the elastic member.
体との間に介設された皿ばねよりなることを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載の弁。(2) The valve according to claim 1, wherein the elastic member is a disc spring interposed between the one valve component and the main body.
しベローズ押さえであることを特徴とする特許請求の範
囲第１項記載の弁。(3) The valve according to claim 1, wherein the one valve component is a diaphragm holder or a bellows holder.
とする特許請求の範囲第１項記載の弁。(4) The valve according to claim 1, wherein the other valve component is a valve body.
を特徴とする特許請求の範囲第１項記載の弁。(5) The valve according to claim 1, which is a valve used for switching high-temperature fluid.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25015587A JPH0193674A (en) | 1987-10-02 | 1987-10-02 | Valve |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25015587A JPH0193674A (en) | 1987-10-02 | 1987-10-02 | Valve |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0193674A true JPH0193674A (en) | 1989-04-12 |
Family
ID=17203640
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25015587A Pending JPH0193674A (en) | 1987-10-02 | 1987-10-02 | Valve |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
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