JPH0191096U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0191096U JPH0191096U JP18541387U JP18541387U JPH0191096U JP H0191096 U JPH0191096 U JP H0191096U JP 18541387 U JP18541387 U JP 18541387U JP 18541387 U JP18541387 U JP 18541387U JP H0191096 U JPH0191096 U JP H0191096U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circumferential surface
- rotor
- gap
- stator
- thread groove
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
第１図は本考案の真空ポンプの１実施例の要部
の断面図、第２図は他の実施例の要部の断面図、
第３図は従来の真空ポンプの要部の断面図、第４
図は該ポンプのロータが高速回転したときに遠心
力による弾性変形した該ロータの変位量を示すグ
ラフである。 １……ステータ、２……ロータ、３……ねじ溝
、４……間隙。
の断面図、第２図は他の実施例の要部の断面図、
第３図は従来の真空ポンプの要部の断面図、第４
図は該ポンプのロータが高速回転したときに遠心
力による弾性変形した該ロータの変位量を示すグ
ラフである。 １……ステータ、２……ロータ、３……ねじ溝
、４……間隙。
Claims (1)
- ステータ内にロータを該ステータの内周面と該
ロータの外周面との間に間隙を存して軸支し、こ
れら内周面又は外周面のいずれか一方にねじ溝を
形成したものにおいて、前記ロータのボス部に対
応する位置の前記間隙をその他の位置の前記間隙
よりも小としたことを特徴とするねじ溝真空ポン
プ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18541387U JPH0191096U (ja) | 1987-12-07 | 1987-12-07 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18541387U JPH0191096U (ja) | 1987-12-07 | 1987-12-07 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0191096U true JPH0191096U (ja) | 1989-06-15 |
Family
ID=31476731
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18541387U Pending JPH0191096U (ja) | 1987-12-07 | 1987-12-07 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0191096U (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP2013217226A (ja) * | 2012-04-05 | 2013-10-24 | Edwards Kk | ロータ、真空ポンプ、及び、真空ポンプの組立方法 |
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Citations (1)
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| JPS5286576A (en) * | 1976-01-14 | 1977-07-19 | Hitachi Ltd | Particle pump for gas centrifugation |
-
1987
- 1987-12-07 JP JP18541387U patent/JPH0191096U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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