JPH0189736U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0189736U JPH0189736U JP18552687U JP18552687U JPH0189736U JP H0189736 U JPH0189736 U JP H0189736U JP 18552687 U JP18552687 U JP 18552687U JP 18552687 U JP18552687 U JP 18552687U JP H0189736 U JPH0189736 U JP H0189736U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- hot
- hot air
- semiconductor substrate
- drying
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims 1
- 238000007602 hot air drying Methods 0.000 claims 1
- 238000011045 prefiltration Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Drying Of Solid Materials (AREA)
Description
第１図および第２図はそれぞれ本考案の実施例
の断面模式図であり、第３図は従来の温風乾燥機
の断面模式図である。 １……プレフイルター、２……送風機、３……
ヒーター、４……フイルター、５……半導体基板
、６……半導体基板支持治具、７……チヤンバー
、８……熱交換部、９……フイン。
の断面模式図であり、第３図は従来の温風乾燥機
の断面模式図である。 １……プレフイルター、２……送風機、３……
ヒーター、４……フイルター、５……半導体基板
、６……半導体基板支持治具、７……チヤンバー
、８……熱交換部、９……フイン。
Claims (1)
- ウエツト処理後の半導体基板を温風にて乾燥す
る装置において、送風機にとり込む空気を予備加
熱するため温風の排気エアーとの熱交換するため
の熱交換器を設けたことを特徴とする温風乾燥機
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18552687U JPH0189736U (ja) | 1987-12-04 | 1987-12-04 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18552687U JPH0189736U (ja) | 1987-12-04 | 1987-12-04 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0189736U true JPH0189736U (ja) | 1989-06-13 |
Family
ID=31476840
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18552687U Pending JPH0189736U (ja) | 1987-12-04 | 1987-12-04 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0189736U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012519978A (ja) * | 2009-03-13 | 2012-08-30 | エーエヌディ コーポレーション | 高圧処理器を利用した基板処理装置及び高圧処理器のガスリサイクル方法 |
-
1987
- 1987-12-04 JP JP18552687U patent/JPH0189736U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012519978A (ja) * | 2009-03-13 | 2012-08-30 | エーエヌディ コーポレーション | 高圧処理器を利用した基板処理装置及び高圧処理器のガスリサイクル方法 |