JPH0174548U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0174548U JPH0174548U JP1987169017U JP16901787U JPH0174548U JP H0174548 U JPH0174548 U JP H0174548U JP 1987169017 U JP1987169017 U JP 1987169017U JP 16901787 U JP16901787 U JP 16901787U JP H0174548 U JPH0174548 U JP H0174548U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- insulating substrate
- recess
- gas
- sensing section
- gas sensor
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- MUJOIMFVNIBMKC-UHFFFAOYSA-N fludioxonil Chemical compound C=12OC(F)(F)OC2=CC=CC=1C1=CNC=C1C#N MUJOIMFVNIBMKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例における感ガス部
およびその周辺部の構成を具体的に示す図、第２
図は第１図のＡ−Ａ線断面を矢印方向に見た図、
第３図は同実施例の全体的な構成を示す斜視図、
第４図は従来における半導体式ガスセンサの一例
を示す斜視図である。 １……ステム（基台）、２ａ，２ｂ，２ｃ，２
ｄ……リードピン、３……リードフレーム、４…
…絶縁基板、４ａ……凹部、２０……感ガス部、
２１……サフアイヤ基板、２２，２３……電極、
２４……感ガス体、２５……ヒータ。
およびその周辺部の構成を具体的に示す図、第２
図は第１図のＡ−Ａ線断面を矢印方向に見た図、
第３図は同実施例の全体的な構成を示す斜視図、
第４図は従来における半導体式ガスセンサの一例
を示す斜視図である。 １……ステム（基台）、２ａ，２ｂ，２ｃ，２
ｄ……リードピン、３……リードフレーム、４…
…絶縁基板、４ａ……凹部、２０……感ガス部、
２１……サフアイヤ基板、２２，２３……電極、
２４……感ガス体、２５……ヒータ。
Claims (1)
- 絶縁基板と、この絶縁基板に設けられたヒータ
と、前記絶縁基板に設けられた凹部と、この凹部
内に設けられた感ガス部とを具備したことを特徴
とするガスセンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987169017U JPH0174548U (ja) | 1987-11-06 | 1987-11-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987169017U JPH0174548U (ja) | 1987-11-06 | 1987-11-06 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0174548U true JPH0174548U (ja) | 1989-05-19 |
Family
ID=31458705
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987169017U Pending JPH0174548U (ja) | 1987-11-06 | 1987-11-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0174548U (ja) |
-
1987
- 1987-11-06 JP JP1987169017U patent/JPH0174548U/ja active Pending