JPH0162364U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0162364U JPH0162364U JP15471987U JP15471987U JPH0162364U JP H0162364 U JPH0162364 U JP H0162364U JP 15471987 U JP15471987 U JP 15471987U JP 15471987 U JP15471987 U JP 15471987U JP H0162364 U JPH0162364 U JP H0162364U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- underframe
- guide mechanism
- frame
- vertical
- solution tank
- Prior art date
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- Granted
Links
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 claims description 2
Landscapes
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
図面は本考案の一実施例を示すもので、第１図
は一部を断面とした全体の概略正面図、第２図は
第１図〜線の概略平面図、第３図は要部の平
面図、第４図は同上の縦断面図である。 １は竪型液相エピタキシヤル成長装置、４はフ
レーム、１０は台枠、１１は支持枠、１２は溶液
槽、１４は縦ガイド機構、１９は横ガイド機構。
は一部を断面とした全体の概略正面図、第２図は
第１図〜線の概略平面図、第３図は要部の平
面図、第４図は同上の縦断面図である。 １は竪型液相エピタキシヤル成長装置、４はフ
レーム、１０は台枠、１１は支持枠、１２は溶液
槽、１４は縦ガイド機構、１９は横ガイド機構。
Claims (1)
- 縦方向のフレームに、溶液槽を支持する台枠を
上下方向に案内する縦ガイド機構を設け、上記縦
ガイド機構と台枠との間には、上記台枠が最下降
状態のときに台枠をフレームの内部と外部との間
を移動できる横ガイド機構を設け、台枠に支持す
る溶液槽を縦ガイド機構によるフレーム内での縦
方向移動と、台枠が最下降状態の時に可能なフレ
ームの内部と外部との間における横方向移動とを
速やかに可能にしてなる竪型液相エピタキシヤル
成長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987154719U JPH0613262Y2 (ja) | 1987-10-12 | 1987-10-12 | 竪型液相エピタキシヤル成長装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987154719U JPH0613262Y2 (ja) | 1987-10-12 | 1987-10-12 | 竪型液相エピタキシヤル成長装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0162364U true JPH0162364U (ja) | 1989-04-20 |
| JPH0613262Y2 JPH0613262Y2 (ja) | 1994-04-06 |
Family
ID=31431699
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987154719U Expired - Lifetime JPH0613262Y2 (ja) | 1987-10-12 | 1987-10-12 | 竪型液相エピタキシヤル成長装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0613262Y2 (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS515636A (en) * | 1974-07-04 | 1976-01-17 | Tokyo Gas Co Ltd | Ekitainenryono chitsusosankabutsuteihatsuseinenshohoho |
| JPS5815218A (ja) * | 1981-07-20 | 1983-01-28 | Hitachi Ltd | 液相エピタキシヤル成長装置 |
-
1987
- 1987-10-12 JP JP1987154719U patent/JPH0613262Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS515636A (en) * | 1974-07-04 | 1976-01-17 | Tokyo Gas Co Ltd | Ekitainenryono chitsusosankabutsuteihatsuseinenshohoho |
| JPS5815218A (ja) * | 1981-07-20 | 1983-01-28 | Hitachi Ltd | 液相エピタキシヤル成長装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0613262Y2 (ja) | 1994-04-06 |