JPH01500135A - Filter pump head assembly - Google Patents

Filter pump head assembly

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Abstract

A filter pump head assembly (10) is adapted for use with pneumatic pumping control systems. The assembly includes a rigid case subassembly (12) enclosing a chemically inert liner subassembly (14) which encloses a filter subassembly (16). The liner subassembly (14) includes a pneumatically deformable pumping membrane (72), the deformation of which varies the volume surrounding a filter cartridge (112). Various valves (33, 34 and 35) and ports are operated by selective pneumatic pressure on a top membrane (68). The control block (80) includes a bubble capture channel (94) which allows the bleeding of undesirable gas bubbles during use. The invention pump of the various disclosed embodiments is particularly adapted to pump and filter ultrapure, reactive fluids varying viscosities at a low pumping pressure. The primary current commercial usage of the invention is in the semiconductor manufacturing industry.

Description

【発明の詳細な説明】 フィルタ・ポンプ・ヘッド組立体 技術分野 本発明は一般的には流体圧送装置に関するものであり、一層詳しく言えば、ポン プ移送プロセスで流体から粒状物質を濾過するようになっている装置に関する0 本発明は、流体(特に超純粋流体あるいは反応性流体)の比較的小さい容積での 高い精度の計量分配を伴う状況において濾過済みの流体を精密に計量分配するの に特に適用される。[Detailed description of the invention] Filter pump head assembly Technical field TECHNICAL FIELD This invention relates generally to fluid pumping devices, and more particularly to pumps. 0 relating to devices adapted to filter particulate matter from fluids in fluid transfer processes. The present invention provides a method for using relatively small volumes of fluids (particularly ultrapure or reactive fluids). Precise dispensing of filtered fluids in situations involving high precision dispensing. particularly applicable to

従来技術の説明 現代の化学的処理技術では、種々のプロセス段階で注意深く制御された流体の精 密な計量分配を必要とすることが多い、流体の計量分配が特に重要である技術分 野の1つに半導体製造業界がある。この業界では、プロセス段階が液体の形をし た非常に反応性の高い化学物質を注意深く測定した量の入力を必要とすることが 極く普通である。また、流体を分配前に粒状物質で汚染させないことが絶対必要 であることが多い、この理由のために、流体のす過というのが必要な段階となっ ている。Description of prior art Modern chemical processing techniques involve the use of carefully controlled fluid refinements at various process steps. Technical components where dispensing of fluids is particularly important, often requiring close dispensing. One such field is the semiconductor manufacturing industry. In this industry, process steps are in liquid form. may require input of carefully measured quantities of highly reactive chemicals. It's extremely normal. It is also imperative that the fluid is not contaminated with particulate matter before dispensing. For this reason, fluid filtration is often a necessary step. ing.

従来、ポンプ移送、計量分配および濾過は別個の装置によって独立して行なわれ る別個のプロセスであった。Traditionally, pumping, dispensing, and filtration are performed independently by separate equipment. It was a separate process.

これには移し換え段階で多数の装置間インターフェースが必要であった。これは 、また、インターフェースの不適合、煩雑なスペース利用、気泡の発生について の問題や非一体型装置に固有の他の問題にも通ずる。This required multiple inter-device interfaces during the transfer stage. this is , also regarding interface mismatch, cumbersome space usage, and bubble formation. This also applies to other problems inherent in non-integrated devices.

濾過、ポンプ移送、計量分配の諸段階を組み合わせようと試みている従来装置の 1つが1984年11月20日にH、Hauserに許された米国特許第4,4 83,665号に記載されている。この装置は濾過とポンプ移送を行なう別個の 構成要素を利用するが、これらの構成要素を一緒にして単一のユニットにしてい る。この装置は2つの構成要素のために別個の弁機構を利用するm Ha us er装置で利用されているポンプ移送機構は普通のベローズ式のポンプであり、 ベローズから分離してフィルタ・ユニットが設置しである。Conventional equipment attempts to combine filtration, pumping, and dispensing stages. One is U.S. Patent No. 4,4 granted to H. Hauser on November 20, 1984. No. 83,665. This equipment has separate filtration and pumping Utilize components, but do not combine these components together into a single unit. Ru. This device utilizes separate valve mechanisms for the two components. The pump transfer mechanism used in the ER device is a normal bellows type pump. A filter unit is installed separately from the bellows.

高反応性物質または超純粋物質に特に適合できる流体ポンプ移送方法は空気圧式 ダイアフラム・ポンプ移送である。この方法は空気圧力あるいは真空を利用して 弁要素を開閉する空気作動式弁機構を含む、この技術を非反応性材料、特にTe flon”で作った可撓性ダイアフラムと組み合わせることによって高反応性流 体の精密かつ安全なポンプ移送、計量分配が可能となる。Pneumatic fluid pumping method is particularly suitable for highly reactive or ultrapure substances Diaphragm pump transfer. This method uses air pressure or vacuum This technology involves a pneumatically operated valve mechanism that opens and closes the valve element. Highly reactive flow in combination with a flexible diaphragm made of This enables precise and safe pumping and dispensing of the body.

半導体技術および関連技術で用いるようになっている空気制御式ポンプ装置の一 例が1984年5月21日にDanny C,Swain の出願した米国特許 出願第612.581 号に図示され、記載されている。この米国出願の教示は カリフォルニア州すンタクララ市のAdvanced Control Eng ineering、 Inc、の市販しているMariner”ポンプに営業的 に具現されている。A type of pneumatic pump device used in semiconductor technology and related technologies. An example is a U.S. patent filed by Danny C. Swain on May 21, 1984. Illustrated and described in Application No. 612.581. The teaching of this U.S. application is Advanced Control Eng in Sunta Clara, California Ineering, Inc.'s commercially available "Mariner" pump is commercially available. is embodied in.

従来技術のいずれもが空気制御の利点、特に、最小乱流ポンプ移送、最小流路絞 り、低圧ポンプ移送およびポンプ移送している流体の外部物質との隔離という利 点を一体の」過要素との組み合わせに成功していない、−過は常にプロセスの別 個の部分として遂行され、特殊なスペース的な要件を伴い、相互接続問題から逃 れられなかった。従来は、スペース効率、コスト効率の良い、非常に精密なシス テムとしてポンプ移送、計量分配、濾過のすべての構成要素の組み合わせに成功 していない。None of the prior art techniques has the advantage of pneumatic control, especially minimal turbulent pumping, minimal flow restriction, etc. The benefits of low-pressure pumping and isolating the fluid being pumped from external substances are It has not been possible to combine a point with a single element; Performed as separate parts, with special space requirements and avoiding interconnection issues I couldn't. Traditionally, space-efficient, cost-effective, highly precise systems Successfully combines all components of pumping, dispensing and filtration as a system I haven't.

発明の簡単な説明 本発明の一目的は一体の」過要素を包含するポンプ・ヘッドを提供することにあ る。Brief description of the invention One object of the present invention is to provide a pump head that includes an integral over-element. Ru.

本発明の別の目的は取外し自在で互換性のある」過要素を利用できるポンプ・ヘ ッドを提供することにある。Another object of the invention is to provide a pump head that utilizes removable and interchangeable over-elements. The goal is to provide the best possible results.

本発明のまた別の目的は流路に尖った弁その他の乱流発生領域を持たない空気制 御式フィルタ・ポンプ組立体を提供することにある。Another object of the present invention is to provide an air control system that does not have sharp valves or other turbulent areas in the flow path. Our objective is to provide a custom filter and pump assembly.

本発明のまたさらに別の目的は濾過済み流体の精密な計量分配を行なうことにあ る。Yet another object of the invention is to provide precision dispensing of filtered fluids. Ru.

本発明のまたさらに別の目的は多段インターフェース式ポンプで生じる傾向のあ る気泡の捕獲を最小限に抑えることにある。Yet another object of the present invention is to address the problems that tend to occur in multi-stage interface pumps. The aim is to minimize the trapping of air bubbles.

本発明の別の目的は流路に必要な管継手やインターフェースを最小限に抑えるこ とにある。Another object of the invention is to minimize the number of fittings and interfaces required in the flow path. It's there.

本発明は高反応性または腐蝕性の液体を精密な計量分配要領で取扱うときに使用 するのに特に適合した一体型フィルタ・ポンプ・ヘッドである。その主たる用途 は半導体産業にあり、ここでは、種々の超純粋流体、高揮発整流体、高反応性流 体を最低限の粒子汚染でポンプ移送することがしばしば必要なのである。ヘッド 組立体は異なった粘度の物質を取扱うのにも適している。The invention can be used when handling highly reactive or corrosive liquids in precise dispensing procedures. Integrated filter pump head specifically adapted to Its main use is in the semiconductor industry, where various ultrapure fluids, highly volatile rectified fluids, and highly reactive fluids are used. It is often necessary to pump the body with minimal particle contamination. head The assembly is also suitable for handling materials of different viscosities.

簡単に言えば1本発明の好ましい実施例は一体構造として形成したポンプ・濾過 ユニットの組み合わせであり、濾過要素はポンプ内に収容しである。このフィル タ・ポンプ組立体は気体制御式であり、外側部分を構成する金属製のケース半組 立体と、このケース半組立体内に収容しである。普通はTeflon”で作っで あるライナ半組立体と、このライナ半組立体内に入れたフィルタ半組立体とを包 含する。ケース半組立体とライナ半組立体の両方には種々の流体ボート、気体ボ ートが設けてあり、装置全体が留め装置によって一緒に保持しである。Briefly, a preferred embodiment of the present invention is a pump/filtration system formed as an integral structure. It is a combination of units in which the filtration element is housed within the pump. This fill The pump assembly is pneumatically controlled and consists of a metal case half-assembly that makes up the outer part. This case is housed within the subassembly. It is usually made from Teflon. a liner subassembly and a filter subassembly contained within the liner subassembly. Contains. Both the case and liner subassemblies contain various fluid and gas boats. A fastener is provided and the entire device is held together by a fastening device.

ライナ半組立体は制御ブロック部分における複数の気体弁作用位置を持つ、この 制御ブロックは1つの気泡捕獲チャンネルと複数の流体ボートを持つ、フィルタ 半組立体の主要要素であるフィルタ・カートリッジが制御ブロックのポートのう ちの1つである出力ボートと密封係合するようになっている。こうして、出力ボ ートを通してポンプから出る流体はすべてフィルタ・カートリッジを予め通過す ることになる。The liner subassembly has multiple gas valving locations in the control block section. The control block is a filter with one bubble capture channel and multiple fluid boats. The main element of the subassembly, the filter cartridge, fits into the control block port cavity. It is designed to be in sealing engagement with one of the output boats. In this way, the output All fluid exiting the pump through the port must first pass through the filter cartridge. That will happen.

ポンプ内の弁の開閉は1984年5月21日に出願された。 rPnaumat ically 0perated Pump Head AssemblyJな る名称の、本出願人の先行特許出願に図示され、説明されているものに極めて類 似した要領で空気圧制御される。ポンプ移送はライナ半組立体の一部となる膜に よって行なわれる。可撓性膜はTeflon”で作ってあり、空気手段によって 変形させられる。Opening and Closing a Valve in a Pump was filed on May 21, 1984. rPnaumat ically 0perated Pump Head AssemblyJ is very similar to that illustrated and described in applicant's prior patent application with the name Pneumatic pressure is controlled in a similar manner. Pump transfer to the membrane that becomes part of the liner subassembly Therefore, it is done. The flexible membrane is made of Teflon and is removed by pneumatic means. be transformed.

本発明の一利点は濾過段階とポンプ移送段階を単一のコンパクトな要素にまとめ たことにある。One advantage of the present invention is that it combines the filtration and pumping stages into a single compact element. That's true.

本発明の別の利点は濾過・ポンプ移送段階で非反応性Teflon”要素とのみ ポンプ流体が接触することにある。Another advantage of the present invention is that only non-reactive Teflon elements are used during the filtration and pumping steps. The pump fluid is in contact.

本発明のまた別の利点はコンパクトなハウジングがその撓みを排除し、ポンプの ドリッピングや吸引力低下を防ぐように作用する。Another advantage of the invention is that the compact housing eliminates flexing of the pump. Acts to prevent dripping and loss of suction power.

本発明の別の利点はハウジング内のデッドスペースをなくシ、「保圧容積」を最 小限に抑え、余分な流体がポンプ内に入らないようにしたことにある。Another advantage of the invention is that it eliminates dead space within the housing, maximizing the "holding volume". The purpose is to keep it to a minimum and prevent excess fluid from entering the pump.

本発明のまた別の利点は気泡捕獲チャンネルがポンプの作動部分内の気泡を排除 するように作用し、使用時の流体のポンプ移送プロセスの混乱あるいは流体の閉 塞またはこれら両方を防ぐことにある。Another advantage of the present invention is that the bubble capture channel eliminates air bubbles within the working parts of the pump. It acts to prevent disruption of the fluid pumping process or fluid blockage during use. The goal is to prevent blockages or both.

本発明のまたさらに別の利点はフィルタ・ポンプ・ヘッド組立体が可動部品なし で作動し、唯一の動きが可撓性膜の気体圧変形によって達成されるということに ある。Yet another advantage of the present invention is that the filter pump head assembly has no moving parts. in that the only movement is achieved by pneumatic deformation of the flexible membrane. be.

本発明のまたさらに別の利点は使用済みあるいは損傷したフィルタ・カートリッ ジを容易に取り外し、交換できるということにある。Yet another advantage of the present invention is to remove used or damaged filter cartridges. The reason is that it can be easily removed and replaced.

本発明のポンプ組立体のまたさらに別の組立体は非常とにある。Still further variations of the pump assembly of the present invention are present.

本発明のこれらおよび他の目的、利点はここに説明し。These and other objects and advantages of the invention are described herein.

図面のいくつかの図に示すような本発明を実施するための現在のところ最良の形 態および好ましい実施例の産業上の利用可能性についての以下の記載から当業者 には明らかとなろう。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The presently best mode of carrying out the invention as shown in the several figures of the drawings Those skilled in the art will appreciate the following description of the industrial applicability of the preferred embodiments. It will become clear.

図面の簡単な説明 第1図は本発明によるフィルタ・ポンプ・ヘッド組立体の展開斜視図である。Brief description of the drawing FIG. 1 is an exploded perspective view of a filter pump head assembly according to the present invention.

第2図は第1図の2−2線に沿った横断面図であり。FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line 2-2 in FIG. 1.

ケース半組立体を示す図である。It is a figure which shows a case subassembly.

第3図は第1図の3−3線に沿った横断面図であり。FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line 3--3 in FIG. 1.

ライナ半組立体を示す図である。FIG. 3 shows a liner subassembly.

第4図は第1図の4−4線に沿った横断面図であり。FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line 4--4 in FIG.

フィルタ半組立体を示す図である。FIG. 3 shows a filter subassembly.

第5図は本発明の別の実施例を示す、第3図と同様の横断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view similar to FIG. 3, showing another embodiment of the invention.

第6図は本発明のまた別の実施例を示す、第3図と同様の横断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view similar to FIG. 3, showing yet another embodiment of the invention.

を するための のノ 本発明の好ましい実施例は、計量しながら種々の流体を1遇すると同時にポンプ 移送するようになっているフィルタ・ポンプ・ヘッド組立体である。これは気体 圧で制御するものであり、可動部品を持たず、特に半導体製造産業で使用するに 特に適している。このフィルタ・ポンプ・ヘッド組立体の流体接触部分はすべて TsflonTPIのような非反応性材料で作ってあり、この組立体は高反応性 または腐蝕性の物質と一緒に使用するのに特に適している。No. for A preferred embodiment of the invention provides a system for simultaneously pumping and dispensing various fluids while metering. A filter pump head assembly adapted for transport. this is a gas It is pressure-controlled, has no moving parts, and is especially suitable for use in the semiconductor manufacturing industry. Particularly suitable. All fluid contact parts of this filter pump head assembly Made from non-reactive materials such as TsflonTPI, this assembly is highly reactive. or particularly suitable for use with corrosive substances.

第1図を参照して、この展開斜視図には本発明のフィルタ・ヘッド組立体が全体 的に参照符号10で示しである。この図には、組立体1oの内部構成要素のすべ てが示してあり、これらの構成要素を共通の垂直軸線に沿って係合させる要領を 示している。しかしながら1組立体10を形成するように一緒に作用する3つの 個別の半組立体を最初に説明することによって本発明は最も良く理解して貰えよ う。Referring to FIG. 1, the exploded perspective view shows the entire filter head assembly of the present invention. It is indicated by reference numeral 10. This diagram shows all of the internal components of assembly 1o. are shown to illustrate how to engage these components along a common vertical axis. It shows. However, there are three that act together to form one assembly 10. The invention is best understood by first describing the individual subassemblies. cormorant.

これら半組立体のうちの最初のものは、第2図の横断面図に参照符号12で示す ケース半組立体である。同様に、ケース半組立体12内に収容するようになって いるライナ半組立体は、第3図の横断面図に参照符号14で示しである。最後に 、フィルタ半組立体16は第4図に同様の要領で示しである。The first of these subassemblies is shown at 12 in the cross-sectional view of FIG. The case is a half-assembly. Similarly, it is adapted to be housed within the case subassembly 12. The liner subassembly is shown at 14 in the cross-sectional view of FIG. lastly , filter subassembly 16 is shown in a similar manner in FIG.

次に第2図を参照して、ケース半組立体12は頂部キャップ部分18と、胴部分 20と、底部キャップ部分22とを包含するように示しである。頂部キャップ部 分18は複数本の取り付はボルト24によって胴部分20に取り付けてあり、こ れらの取り付はボルト24は頂部キャップ18および胴20の両方に設けたボル ト孔26を貫通している。底部キャップ22はすえ付け、取り外しを容易にする ように円周方向リング・ファスナ28によって胴20に取り付けである。Referring now to FIG. 2, the case subassembly 12 includes a top cap portion 18 and a body portion 18. 20 and a bottom cap portion 22. Top cap part If multiple parts 18 are installed, they are attached to the body part 20 with bolts 24. For these installations, the bolts 24 are provided on both the top cap 18 and the barrel 20. It passes through the hole 26. Bottom cap 22 facilitates installation and removal It is attached to the barrel 20 by circumferential ring fasteners 28 as shown in FIG.

頂部キャップ部分18は、はぼ平坦な底面と湾曲した頂面とを有する実質的に中 実の頂部キャップ・プレート30を包含するように示しである0円形の0リング くぼみ31が頂部キャップ・プレート3oの底面に形成してあり、流体シール0 リング32を収容するようになっている。この流体シール0リング32は堅くは あるが、可撓性のある材料で作ってあり、0リングくぼみ31の深さにほぼ等し い半径を有する。頂部キャップ・プレート30は、さらに、入口ポート33.出 口ポート349通気ポート35を包含し、これらポートは各々類似した気体弁部 構造36の形をしている。好ましい実施例では。The top cap portion 18 has a substantially flat bottom surface and a curved top surface. 0 circular 0 ring shown to encompass the top cap plate 30 A recess 31 is formed in the bottom surface of the top cap plate 3o to provide a fluid seal 0. The ring 32 is adapted to be accommodated therein. This fluid seal O-ring 32 is not rigid. However, it is made of flexible material and has a depth approximately equal to the depth of the O-ring recess 31. has a large radius. The top cap plate 30 further includes an inlet port 33. Out Inlet port 349 includes vent port 35, each of which has a similar gas valve section. It has the shape of structure 36. In a preferred embodiment.

3つの気体ポート構造33,34.35があり、ケース半組立体12において区 別できないが、フィルタ・ポンプ組立体10内の3つの異なった流路を制御する ようになっている。この実施例では、気体ボート構造36はほとんど同じであり 、位置のみ異なる。There are three gas port structures 33, 34, 35, separated in the case subassembly 12. control three different flow paths within the filter and pump assembly 10, although they cannot be separated. It looks like this. In this example, the gas boat structure 36 is nearly identical. , differ only in position.

図示したように、気体弁ポート構造36は頂部キャップ3oに普通は螺合させた 気体コネクタ37を包含する。As shown, the gas valve port structure 36 is typically threaded onto the top cap 3o. Includes gas connector 37.

この気体コネクタ37は普通の構造の気体制御機器に標準の配管を経て取り付け られるようになっている0代表的な気体制御システムとしては、登録商標rMa rinerlの下にカリフォルニア州すンタクララ市のAdvancedCon trol E ngineeringによって市販されているものがある。気体 コネクタ37は、頂部キャップ30に形成した垂直方向の気体通路38につなが っている。気体通路38はコネクタ37を頂部キャップ30の下面に作られた弁 空所40と接続する。弁空所4oは円形であり、円周方向部分が頂部気体ポート 0リング42によって占有されている。Oリング33,42の構造は第1図で一 層明瞭にわかる。This gas connector 37 is attached to gas control equipment with a normal structure through standard piping. A typical gas control system that has come to be used is the registered trademark rMa. AdvancedCon in Sunta Clara, California under rinerl Some are commercially available from Trol E engineering. gas Connector 37 connects to a vertical gas passageway 38 formed in top cap 30. ing. The gas passage 38 connects the connector 37 with a valve made on the underside of the top cap 30. Connect with the void 40. The valve cavity 4o is circular, and the circumferential portion is the top gas port. 0 ring 42. The structures of O-rings 33 and 42 are shown in Figure 1. The layers are clearly visible.

胴部分20は中央空所46を囲む胴本体44を包含する。中央空所46は頂部、 底部で開いたまっすぐな円筒形と成っている。胴本体44は円周方向の頂部膜フ ランジ48と円周方向の底部フランジ50とを備える。頂部膜フランジ48はボ ルト孔26を包含し、頂部キャップ30を胴本体44に取り付けられるようにな っている。The barrel portion 20 includes a barrel body 44 surrounding a central cavity 46 . The central void 46 is at the top; It has a straight cylindrical shape that is open at the bottom. The barrel body 44 has a circumferential top membrane flap. A flange 48 and a circumferential bottom flange 50 are provided. The top membrane flange 48 is includes a bolt hole 26 and allows the top cap 30 to be attached to the barrel body 44. ing.

底部膜フランジ50はくさび状となっており、その最も厚い部分が胴本体44に 隣接している。底部用フランジ50の傾斜はリング・ファスナ28の密封力を円 周方向縁よりも中央空所46に近い方で一層強く集中させるのに有用である。底 部膜フランジ50の下面には一連の整合ピン孔52が設けである。The bottom membrane flange 50 is wedge-shaped, with its thickest portion attached to the body 44. Adjacent. The slope of the bottom flange 50 increases the sealing force of the ring fastener 28. This is useful for concentrating more strongly closer to the central cavity 46 than at the circumferential edges. bottom The lower surface of the membrane flange 50 is provided with a series of alignment pin holes 52.

胴本体44は複数の(好ましい実施例では3つの)流体ポート孔54も備える。The barrel body 44 also includes a plurality (three in the preferred embodiment) of fluid port holes 54 .

流体ポート孔54はポンプ移送され、濾過された流体をポンプ・ヘッド組立体1 0から出し入れするようになっている。Fluid port hole 54 allows pumped and filtered fluid to be delivered to pump head assembly 1. It is designed to be loaded and unloaded starting from 0.

底部キャップ部分はほぼ円板状の底部キャップ・プレート56を包含する。この 底部キャップ・プレート56は頂部キャップ部分18の気体弁ポート構造36に 類似したポンプ移送用弁ポート構造57を包含する。この弁ポート構造57にお いて、気体コネクタ58が底部キャップ・プレート56 を軸線方向に貫いてい る気体通路59に螺合させである。底部キャップ・プレート56の上面は所定容 積の溜め空所60を持つように形成しである。The bottom cap portion includes a generally disc-shaped bottom cap plate 56. this Bottom cap plate 56 connects to gas valve port structure 36 in top cap portion 18. A similar pumping valve port structure 57 is included. This valve port structure 57 and a gas connector 58 extends axially through the bottom cap plate 56. It is screwed into the gas passage 59. The upper surface of the bottom cap plate 56 has a predetermined volume. It is formed to have a storage space 60 for the product.

底部キャップ・プレート56は、更に、胴部分20に形成した整合ピン孔52と 係合するようになっている一連の整合ピン62を包含する。流体シール0リング 66を受け入れる円形の0リングくぼみ64も底部キャップ・プレート56の上 面に設けである。流体シール0リング66はリング33と同様のものである。底 部キャップ・プレート56の底面は底部膜フランジ50の傾斜と逆の傾斜となっ ており、リング・ファスナ28を締め付けたときに流体シール0リング66の位 置でシール特性をさらに改善する。Bottom cap plate 56 further includes alignment pin holes 52 formed in body portion 20. It includes a series of alignment pins 62 adapted to engage. fluid seal 0 ring A circular O-ring recess 64 that receives 66 is also located on the bottom cap plate 56. It is provided on the surface. Fluid seal O-ring 66 is similar to ring 33. bottom The bottom surface of the bottom cap plate 56 has an inclination opposite to that of the bottom membrane flange 50. The position of the fluid seal O-ring 66 when the ring fastener 28 is tightened is further improves sealing properties.

ライナ半組立体14は、第3図の横断面図に示しである。このライナ半組立体1 4はケース半組立体12内に嵌合するようになっており、ポンプ移送され、濾過 されつつある流体からケース半組立体12を完全に隔離するようになっている。Liner subassembly 14 is shown in cross-section in FIG. This liner subassembly 1 4 is adapted to fit within case subassembly 12 and is pumped and filtered. The case subassembly 12 is completely isolated from the fluid being exposed to the case subassembly 12.

一方、ライナ半組立体14の構成要素のすべてはポンプ移送されている流体と実 際に接触する。Meanwhile, all of the components of liner subassembly 14 are connected to the fluid being pumped. come into contact with each other.

ライナ半組立体14は頂部膜68.胴ライナ部分70゜底部膜72.ねじ付きイ ンターフェース部材74および流体コネクタ76を包含する。頂部膜68および 底部膜72は非反応性材料、普通はTeflon”の薄い円板であり、気体圧で 容易に変形するに充分な可撓性を有する。膜68.72の内面側はポンプ移送さ れる流体と接触し、外面側は気体と接触することになる。Liner subassembly 14 includes top membrane 68. Torso liner portion 70° bottom membrane 72. with screw includes an interface member 74 and a fluid connector 76. top membrane 68 and The bottom membrane 72 is a thin disk of non-reactive material, usually Teflon, which is It has sufficient flexibility to be easily deformed. The inner surface of the membrane 68, 72 is pumped The outer surface will come into contact with the gas.

ねじ付きインターフェース部材74は、胴ライナ部分70と螺合し、ケース半組 立体12の流体ポート孔54を貫通するようになっている。流体コネクタ76は ポンプ・ヘッド組立体10と外部流体取扱い装置の間のインターフェースとなる 。普通には、流体コネクタ76は溜めあるいは反応容器に出入りする流体を移送 するチューブと協働することになる。流体コネクタ76には入口ポート33と出 口ボート34と組み合うが、通気ボート35とは連通しない、胴ライナ部分70 は2つの別個の部分、すなわち、カートリッジ・ライナ部分78と制御ブロック 部分80とを包含する。カートリッジ・ライす78はフィルタ半組立体16を囲 むと共にフィルタ半組立体16およびポンプ移送される流体をケース半組立体1 2、主として胴本体44から隔離するようになっている。カートリッジ・ライナ は、さらに、流体シールOリング66が底部膜72を押し付ける密封面となるよ うにも作動する。このTeflon”対TeflonTMシールは漏洩を最小限 に抑える。制御ブロック部分80はポンプ組立体10が正しく作動するのに必要 な流体弁通路を提供する。A threaded interface member 74 threadably engages the shell liner portion 70 and connects the case half. It extends through the fluid port hole 54 of the solid body 12. Fluid connector 76 Provides an interface between pump head assembly 10 and external fluid handling equipment . Typically, fluid connector 76 transfers fluid into and out of a reservoir or reaction vessel. We will be collaborating with the tube. The fluid connector 76 has an inlet port 33 and an outlet port 33. A fuselage liner portion 70 that mates with the mouth boat 34 but does not communicate with the ventilation boat 35 is comprised of two separate parts: the cartridge liner portion 78 and the control block. portion 80. Cartridge lie 78 surrounds filter subassembly 16. along with the filter subassembly 16 and the fluid to be pumped to the case subassembly 1. 2. It is designed to be mainly isolated from the trunk body 44. cartridge liner Further, the fluid seal O-ring 66 provides a sealing surface against which the bottom membrane 72 is pressed. The sea urchin also works. This "Teflon" to TeflonTM seal minimizes leakage. Keep it to. Control block portion 80 is necessary for proper operation of pump assembly 10. provides a fluid valve passage.

制御ブロック部分80は上面82.内面84および円周面86を有する中実の円 板である。制御ブロック80には種々の孔、ポート、くぼみが形成してあってポ ンプ・ヘッド組立体10の正しい動作を可能とすると共にそれを容易にする0円 周面86はねじ付きインターフェース部材74を受け入れるようになっている3 つの別個のねじ付き流体ポート88を包含する。垂直方向のポート・チューブ9 0がねじ付き流体ボート88を制御ブロック80の上面82と接続している。こ の構造は入口ポー8339通気ボート35にとっても同じである。The control block portion 80 has a top surface 82. A solid circle having an inner surface 84 and a circumferential surface 86 It is a board. Control block 80 has various holes, ports, and recesses formed therein. 0 yen that enables and facilitates correct operation of the pump head assembly 10. Peripheral surface 86 is adapted to receive threaded interface member 74 3 Contains two separate threaded fluid ports 88. Vertical port tube 9 0 connects threaded fluid boat 88 with top surface 82 of control block 80 . child The structure is the same for the inlet port 8339 ventilation boat 35.

上方膜68の、垂直方向ポート・チューブ90のすぐ上に位置し1反対側を気体 ボート・リング42に対面させている領域は弁変形帯域91の形となっている。The upper membrane 68 is located directly above the vertical port tube 90 and has one opposite side connected to the gas The area facing the boat ring 42 is in the form of a valve deformation zone 91.

弁変形帯域91はボート33,34,35を開閉するように変形することのでき る膜68の区域を示している。この弁構造の残りの部分は弁チューブ92を含み 、これ番婁入ロボート339通気ボート35の場合には変形帯域91内の上面8 2を下面84に接続している。弁チューブ92は気泡捕獲チャンネル94で終っ ている。気泡捕獲チャンネル94は下面84に設けた円形リング状のくぼみであ る。気泡捕獲チャンネル94の横断面は三角形であり、気泡が頂部に向かって押 されるようにしである。The valve deformation zone 91 can be deformed to open and close the boats 33, 34, 35. The area of membrane 68 that is covered is shown. The remainder of the valve structure includes valve tube 92. , in the case of the robot 339 and the ventilation boat 35, the upper surface 8 in the deformation zone 91 2 is connected to the lower surface 84. Valve tube 92 terminates in a bubble capture channel 94. ing. The bubble trapping channel 94 is a circular ring-shaped depression provided on the lower surface 84. Ru. The cross section of the bubble trapping channel 94 is triangular, and the bubbles are pushed toward the top. It is intended to be done.

気泡捕獲チャンネル94は、カートリッジ・ライナ部分78に設けてありかつフ ィルタ・カートリッジおよび流体を受け入れるようになっているカートリッジ空 所96に対面し、そこに開いている0組立体1oを通してポンプ移送されている 流体は主としてカートリッジ空所96の円筒形容積部分に入る。A bubble capture channel 94 is provided in the cartridge liner portion 78 and in the cartridge liner portion 78. Filter Cartridge and Cartridge Empty to Accept Fluid 96 and is pumped through the 0 assembly 1o which is open there. Fluid primarily enters the cylindrical volume of cartridge cavity 96.

気泡捕獲チャンネル94は下面84に形成したカートリッジ・インターフェース くぼみ98を同心に取り囲んでいる。 このカートリッジ・インターフェースく ぼみ98は密封状態でフィルタ半組立体16を収容するようになっており、した がって、流体が最初にフィルタ半組立体16を通過しないかぎりカートリッジ・ インタフェース98から上面82まで延びる出口ボート・チューブ100に流体 が侵入することはない、出口ボート・チューブ100の下部は制御ブロック部分 80の中心にあるが、半径方向外方でかつ上方へ傾斜していて頂面82の開口が 出口ボート34の弁変形帯域91内にあるようにしている。出口ボート34の垂 直方向ポート・チューブ;90は、頂面82のインターフェースのところで、0 リングくぼみ104内に着座した出口Oリング102を有する。出口Oリング1 02は出口弁34についてのみ毛管作用による漏洩を防止するのに必要である。A bubble capture channel 94 is formed in the cartridge interface on the bottom surface 84. It surrounds the depression 98 concentrically. This cartridge interface The recess 98 is adapted to receive the filter subassembly 16 in a sealed manner. Therefore, unless the fluid first passes through the filter subassembly 16, the cartridge Fluid is supplied to an outlet boat tube 100 extending from interface 98 to top surface 82. The lower part of the exit boat tube 100 is the control block part 80, but slopes radially outward and upward so that the opening in the top surface 82 It is located within the valve deformation zone 91 of the outlet boat 34. Exit boat 34 Directional port tube; 90 at the interface of top surface 82 It has an outlet o-ring 102 seated within a ring recess 104. Outlet O-ring 1 02 is necessary only for the outlet valve 34 to prevent leakage due to capillary action.

0リングくぼみ104は充分な深さとなっており、出口ボート0リング102が 上面82までとなるようにしである。しかしながら、0リング102および上方 膜68の可撓性は優れたシールを形成するに充分なものである。The O-ring recess 104 is deep enough that the exit boat O-ring 102 It is arranged so that it extends up to the upper surface 82. However, the O-ring 102 and the upper The flexibility of membrane 68 is sufficient to form an excellent seal.

入口ポート33および出口ボート34について、流体コネクタ76はポンプと流 体搬送用外部チューブの間に存在するごく普通の要素である。しかしながら1通 気弁35については1通気ロ弁シリンダ106が流体コネクタ76の代りにねじ 付きインターフェース部材74に取り付けである。この通気口弁シリンダ106 は閉鎖ボール108によって部分的に閉ざされる長手方向の内径孔を有する。閉 鎖ボール108による閉鎖程度は、通気口弁シリンダ106の外部から接近でき る固定ねじ110によって調節できる0通気弁35は流体の逃げを最小限に抑え ながら気泡捕獲チャンネル94からの気泡の逃げを許すと望ましい、これは組立 体内の気泡を排除すると共に、流路に沿って気泡が移動するのを阻止するのを助 ける。For inlet port 33 and outlet boat 34, fluid connector 76 connects the pump and flow. It is a very common element that exists between external body transport tubes. However, one letter As for the air valve 35, the one air valve cylinder 106 is screwed in place of the fluid connector 76. It is attached to the attached interface member 74. This vent valve cylinder 106 has a longitudinal bore that is partially closed by a closure ball 108. closed The degree of closure by the chain ball 108 is accessible from the outside of the vent valve cylinder 106. A vent valve 35, adjustable by a locking screw 110, minimizes fluid escape. However, it is desirable to allow air bubbles to escape from the air bubble trapping channel 94; Helps eliminate air bubbles from the body and prevents them from moving along the flow path. Let's go.

次に第4図を参照して、ここにはフィルタ半組立体16が第2図、第3図と同様 の横断面図で示しである′。Referring now to FIG. 4, there is shown a filter subassembly 16 similar to FIGS. 2 and 3. It is shown in a cross-sectional view of ′.

このフィルタ半組立体16は、主として、カートリッジ空所96内に嵌合するよ うになっているフィルタ・カートリッジ112を包含する。このフィルタ・カー トリッジ112は中実の頂端プレート114.中実の底端プレート116、円周 方向に円筒形の面に沿って延びる、一連の支持隆起118、複数のフィルタ円板 部材120を包含する。フィルタ円板部材120の各々は軸線方向面が多孔性で あり、中心付近で細長い円筒形の中央チューブ122に連結した扁平な円板の形 をしている。中央チューブ122の、頂端プレート114を越えて突出する部分 はインターフェース隆起124で囲まれている。このインターフェース隆起の直 径はカートリッジ・、インターフェースくぼみ98の内径にほぼ等しい、インタ ーフェース隆起124の頂部には、インターフェース0リング126が着座させ てあり、これはカートリッジ・インターフェースくぼみ98の面とのシールを構 成しており、したがって、流体はフィルタ・カートリッジ112の中央チューブ 122からしか出口ポート・チューブ110に入ることができない。The filter subassembly 16 is primarily designed to fit within the cartridge cavity 96. The filter cartridge 112 includes a filter cartridge 112 that is configured to This filter car The ridge 112 has a solid top plate 114. Solid bottom end plate 116, circumference a series of support ridges 118 extending along a cylindrical surface in the direction of a plurality of filter disks; Includes member 120. Each of the filter disk members 120 has a porous axial surface. It has a flat disk shape connected to an elongated cylindrical central tube 122 near the center. doing. The portion of central tube 122 that projects beyond top plate 114 is surrounded by an interface ridge 124. This interface bump The diameter of the interface is approximately equal to the inner diameter of the cartridge interface recess 98. - An interface O ring 126 is seated on the top of the face ridge 124. This forms a seal with the face of the cartridge interface recess 98. , and thus the fluid flows through the central tube of filter cartridge 112. Exit port tube 110 can only be entered from 122.

フィルタ半組立体16は、更に、位置決めリング128を包含し、これは底端プ レート116の下面と衝合してフィルタ・カートリッジ112を上方へカートリ ッジ・インターフェースくぼみ98に向って押圧し、緊密なシールを構成する。Filter subassembly 16 further includes a locating ring 128, which is located at the bottom end plate. Push the filter cartridge 112 upwardly against the bottom surface of the plate 116. edge interface recess 98 to form a tight seal.

第5図は第2図から第4図に類似した横断面図であり。FIG. 5 is a cross-sectional view similar to FIGS. 2-4.

組立体10の別の実施例510を示している。この実施例の組立体510は特に 容積がより大きくて細長いフィルタ・カートリッジで用いるものである。理解を 助けるために、この組立体510の先の組立体10のものと変っていない構成要 素は同じ参照符号で残しである。これらの実施例間で構成要素が変っている場合 には、以前と同じ参照符号の前に数字の5を付けである。先の実施例の組立体l Oの構成要素と異なるこの実施例組立体510の構成要素は5で始まる参照符号 を付けると共に先に説明した構成要素に一致しない数字を後に付けである。Another embodiment 510 of assembly 10 is shown. Assembly 510 in this embodiment is particularly For use with larger volume, elongated filter cartridges. understanding To assist, the components of this assembly 510 are unchanged from those of the previous assembly 10. The elements remain with the same reference sign. If the components change between these examples have the same reference numerals as before with the numeral 5 in front. Assembly of the previous embodiment Components of this embodiment assembly 510 that differ from those of O are designated by reference numbers beginning with 5. , and a number that does not correspond to the previously explained component is added at the end.

第5図は別のライナ半組立体514、別のフィルタ半組立体516の他に別の胴 本体544のすべてを示している。胴本体544を除いて、別のケース半組立体 512の他の構成要素は先の実施例の組立体10のものとまっりく変っていない 、従って、このケース半組立体512の残部については図示していない。FIG. 5 shows another liner subassembly 514, another filter subassembly 516, as well as another barrel. All of the main body 544 is shown. Separate case subassembly except for the trunk body 544 The other components of 512 are unchanged from those of assembly 10 of the previous embodiment. , therefore, the remainder of this case subassembly 512 is not shown.

組立体510はまったく同じ要領で作動し、先の実施例10と同じ目的を達成す るようになっているが、フィルタ・カートリッジ112に比べてかなり細長くな っているフィルタ・カートリッジ5112と用いるように特に構成しである。細 長いフィルタ・カートリッジ5112の使用により、流体をより迅速に濾過し、 より粘度の高い流体のポンプ移送を行ない、より速い流速、より大きい容積での 作動を行なうことが可能となる。利用するフィルタ・カートリッジ5112の形 式は変えることができる。第4図に示すような構造のフィルタの代りに、多孔性 の「ひた付き」式のフィルタを利用してもよい、第5図はこの形式のフィルタを 示している。Assembly 510 operates in exactly the same manner and accomplishes the same purpose as the previous embodiment 10. However, it is considerably elongated compared to the filter cartridge 112. The filter cartridge 5112 is specifically configured for use with a filter cartridge 5112 that includes a filter cartridge. Thin The use of a long filter cartridge 5112 filters fluid more quickly and Pumping higher viscosity fluids for faster flow rates and larger volumes It becomes possible to carry out the operation. Shape of filter cartridge 5112 used The formula can be changed. Instead of a filter with the structure shown in Figure 4, a porous You may also use a ``flat'' type filter, as shown in Figure 5. It shows.

この実施例510にあって先の実施例10にない構成要素は管状の膜5130で ある。この管状膜5130はフィルタ・カートリッジ5112を取り囲み、液体 をフィルタ5112、ポンプの残部を通して圧送する主ポンプ移送力を与えるよ うになっている。胴部分544は密封用のOリング5134を受け入れる環状の 0リングくぼみ5132を備える。密封用0リング5134は管状膜5130を 制御ブロック部分580の下面84に押し付けるように作用する。Oリング51 34がシールの気体側にあるので、隣接のTeflon”要素の効果的な接合を 可能とすると共に流体の漏洩を防止できる。A component in this embodiment 510 that is not present in the previous embodiment 10 is a tubular membrane 5130. be. The tubular membrane 5130 surrounds the filter cartridge 5112 and allows liquid filter 5112, which provides the main pump transfer force to pump the pump through the remainder of the pump. The sea urchin is turning. The body portion 544 has an annular shape that receives a sealing O-ring 5134. An O-ring recess 5132 is provided. The sealing O-ring 5134 connects the tubular membrane 5130. It acts to press against the lower surface 84 of the control block portion 580. O-ring 51 34 on the gas side of the seal, allowing effective bonding of adjacent Teflon" elements. This makes it possible to prevent fluid leakage.

胴部分544の内部には、細長い流体室5136が設けである。ポンプ移送容積 を高めるために、細長い流体室5136は正円筒形でなく、重置方向端よりも中 央のところで直径が大きくなっている。これにより、容量がかなり大きくなり、 管状膜5130の撓みも許せる。管状膜5130を膨張、収縮させ、流体をポン プ移送するのに必要な気体力は主ポンプ移送ポート5138を通して細長い流体 室5136に送られる。この実施例510では、主ポンプ移送ポート5138は 胴部分544のほぼ軸線方向中心に設けである。An elongated fluid chamber 5136 is provided within the body portion 544 . pump transfer volume In order to increase the The diameter increases at the center. This increases the capacity considerably, Deflection of the tubular membrane 5130 is also allowed. The tubular membrane 5130 is expanded and contracted to pump fluid. The gas force required to pump the elongated fluid through the main pump transfer port 5138. Sent to room 5136. In this embodiment 510, the main pump transfer port 5138 is It is provided approximately at the center of the body portion 544 in the axial direction.

ここで、管状膜5130の半円筒形チューブ部分に加えて、この膜は頂部膜フラ ンジ514oと底部膜フランジ5142とをさらに備えることに注目されたい、 これらのフランジ(膜5130の一体部分である)は流体がケース半組立体51 2と決して接触しないように流体室を密封する手段となる。Here, in addition to the semi-cylindrical tube portion of tubular membrane 5130, the membrane has a top membrane flange. Note that it further includes a flange 514o and a bottom membrane flange 5142. These flanges (which are an integral part of membrane 5130) allow fluid to flow through case subassembly 51. This provides a means of sealing the fluid chamber so that it never comes into contact with 2.

ここで、また、前記実施例10では胴部分44が胴ライナ78と制御ブロック部 分80の両方を収容していることに注目されたい、これはこの実施例510では 行なわない、管状膜530が胴部分544がら流体を充分に隔離するように作用 するので、この実施例510では胴ライナ78に対応する要素はない、したがっ て、ライナは不要である。制御ブロック580もそれを円周方向に取り囲むケー シングなしに存在する。制御ブロック580のTeflon”材料が非常に高い 構造保全性を持っているので、制御ブロックはこれらの状況で構造部材そのもの として作用することができる。たとえば、密封用0リング5134で行なわれる 頂部膜フランジ5140のシールは金属部材に対するよりもむしろ制御ブロック 部分580の下側584に対して1行なわれる。これが適切なシールとなること がわかった。111部分544における別の差異としては、それが制御ブロック 部分580を収容していないので、先の実施例10の流体ポート孔54に対応す る要素を設ける必要がないということである。Here, also in the tenth embodiment, the body portion 44 is connected to the body liner 78 and the control block portion. 80, which in this example 510 Tubular membrane 530 acts to sufficiently isolate fluid from body portion 544. Therefore, in this embodiment 510 there is no element corresponding to the torso liner 78; Therefore, a liner is not required. Control block 580 also has a case circumferentially surrounding it. Existing without Thing. Teflon” material of control block 580 is very high Due to its structural integrity, the control block can be used as a structural member in these situations. can act as. For example, this is done with a sealing O-ring 5134. The top membrane flange 5140 seals against the control block rather than against a metal member. One is performed on the underside 584 of portion 580. This will be a good seal I understand. Another difference in the 111 portion 544 is that it is a control block. Since the portion 580 is not accommodated, it corresponds to the fluid port hole 54 of the previous embodiment 10. This means that there is no need to provide any additional elements.

ここで、管状膜5130が適正な可撓性および密封性が達成されるかぎり標準的 な管形状である必要はないことに注目されたい、たとえば、ポンプ510の動作 にほとんど影響を与えることなく管状膜5130の代りに円部歯状または「ひた 付き」式の膜を用いてもよい、この形式の膜は機械的手段によって伝統的な方法 で膨張、収縮するが、本発明で利用する気体力がこの形式の膜ならびに図示した 管状形式の膜にとって適切なポンプ移送作用を行なうことになることがわかった 。Here, the tubular membrane 5130 is standard as long as proper flexibility and sealing properties are achieved. Note that the tube shape need not be exactly the same, e.g. The tubular membrane 5130 can be replaced with a circular tooth-like or This type of membrane can be prepared by mechanical means using traditional methods. The gas force used in the present invention expands and contracts with this type of membrane as well as the It has been found that the pumping action is suitable for membranes in tubular form. .

第6図は本発明のまた別の実施例610を示している。FIG. 6 depicts yet another embodiment 610 of the present invention.

この実施例では、頭に5の代りに6を付けたことを除いて参照符号は実施例51 0の場合と同じである。この実施例610は気体ベローズ・ポンプとして説明す る0作動原理は釣合いのとれた制限よりもむしろ長手方向の圧縮を利用すること を除いて先の実施例とほとんど同じである。In this example, the reference numeral is Example 51 except that a 6 is prefixed instead of 5. It is the same as the case of 0. This embodiment 610 is described as a gas bellows pump. The zero operating principle utilizes longitudinal compression rather than balanced restriction. This embodiment is almost the same as the previous embodiment except for the following.

第6図でわかるように、組立体610の上部は先の組立体510にほとんど同じ である。制御ブロック80は頂部キャップ18の場合と同じままである0組立体 610のこの部分における唯一の差異は制御ブロック80を囲み、頂部キャップ 18から胴部分644までを一緒に圧迫するに充分な幅の広さの上方リング・フ ァスナ6144を備えているということである。上方リング・ファスナ6144 はインターフェース・アダプタ74を受け入れるギャップまたは孔を備えている 。この上方リング・ファスナ6144を先の実施例の取り付はボルト24の代り に用いることにより、頂端のところでの組み立て、分解が最大限に容易になる。As can be seen in Figure 6, the top of assembly 610 is almost identical to the previous assembly 510. It is. The control block 80 remains the same as in the top cap 18 assembly. The only difference in this part of 610 is that it surrounds control block 80 and has a top cap. 18 to the torso section 644 wide enough to squeeze together the upper ring flap. This means that it is equipped with a fastener 6144. Upper ring fastener 6144 has a gap or hole for receiving an interface adapter 74. . This upper ring fastener 6144 was installed in place of bolt 24 in the previous embodiment. By using this method, assembly and disassembly at the top end is maximized.

これは、フィルタ・カートリッジ6112が先の実施例におけるように底から接 近できないのでこの組立体610では必要である。This means that the filter cartridge 6112 is connected from the bottom as in the previous embodiment. This is necessary in this assembly 610 because it is not accessible.

この実施例の組立体610の主要な新規特徴はベローズ膜6146を使用してい ることにある。このベローズ膜は管状膜5130に類似しているが、その下端の ところが閉鎖されていて比較的剛性のあるベース・プレート6147を形成して おり、かつ、複数の側部ひた6148をその全長にわたって設けである点でアコ ーディオンのベローズに類似するように形成しであるということで異なっている 。ベローズ膜6146の材料は隣合った側部ひた6148の結合部6149のと ころを除いて比較的可撓性があり、ベローズ膜6146全体が軸線方向に膨張、 収縮するが、半径方向にはほとんど変形しないようになっている。The main novel feature of this embodiment assembly 610 is the use of a bellows membrane 6146. There are many things. This bellows membrane is similar to tubular membrane 5130, but at its lower end. However, it forms a closed and relatively rigid base plate 6147. 6148 along its entire length. -Different in that it is shaped similar to Dion's bellows. . The material of the bellows membrane 6146 is the same as that of the joining part 6149 of the adjacent side flaps 6148. It is relatively flexible except for the rollers, and the entire bellows membrane 6146 expands in the axial direction. Although it contracts, it hardly deforms in the radial direction.

ベローズ膜6146はその頂端の所で管状膜5130のそれに類似した要領で装 着してあり、頂部膜フランジ6140を用いて所定位置でシールしである。した がって、カートリッジ空所は、ベローズ膜6146と制御ブロック80によって 全体を囲まれる。容積はベローズ膜6146の長手方向の膨張程度に依存して変 わる。第6−図に示すように、胴6144はフィルタ・カートリッジ6112の 底部プレート6116をかなり越えて細長くなっていて膨張室6150を形成し ている。この膨張室6150はベローズ膜6146の軸線方向の膨張を許すと共 に、ポンプ組立体610の使用可能な流体要領を増大させる。Bellows membrane 6146 is fitted at its apex in a manner similar to that of tubular membrane 5130. The top membrane flange 6140 is used to seal in place. did Thus, the cartridge cavity is closed by the bellows membrane 6146 and control block 80. completely surrounded. The volume changes depending on the degree of expansion of the bellows membrane 6146 in the longitudinal direction. Waru. As shown in FIG. 6, the barrel 6144 is attached to the filter cartridge 6112. It is elongated well beyond the bottom plate 6116 to form an expansion chamber 6150. ing. This expansion chamber 6150 allows expansion of the bellows membrane 6146 in the axial direction and Additionally, the usable fluid capacity of pump assembly 610 is increased.

第6図はベローズ膜6146を完全に膨張した形態、すなわち、最大量の流体が ポンプ内に入る「充満」工程の終りの位置で示している。ベローズ膜6146が 正の気体圧で圧縮されると、ベース・プレート6147がフィルタ・カートリッ ジ6112の底部プレート6116と同一面に来ることになる。FIG. 6 shows the fully expanded configuration of the bellows membrane 6146, i.e., the maximum amount of fluid is present. Shown at the end of the "fill" step into the pump. Bellows membrane 6146 When compressed with positive gas pressure, the base plate 6147 closes the filter cartridge. It will be flush with the bottom plate 6116 of the cage 6112.

底部キャップ・プレート656はそれが溜め空所60を形成するように削る必要 がないという点で先の実施例の組立体10とは異なる。ベローズ膜6142が平 坦なベース・プレート6147によって底のところで密封されているので、底部 膜72が不要である。気体は膜6146を圧縮するように直接作用するので、底 部キャップ・プレート656に平坦な上方内面を形成することができる。Bottom cap plate 656 needs to be milled so that it forms reservoir cavity 60 This differs from the assembly 10 of the previous embodiment in that there is no. The bellows membrane 6142 is flat. Sealed at the bottom by flat base plate 6147, so the bottom Membrane 72 is not required. The gas acts directly to compress the membrane 6146, so the bottom The cap plate 656 can be formed with a flat upper inner surface.

底部膜72がないので、胴部分644と底部キャップ・プレート565の間に気 体ガスケット6152を設けると望ましい、気体ガスケット6152は作動中に 気体の圧力保全性を保つように作用する。The absence of bottom membrane 72 allows air to flow between body portion 644 and bottom cap plate 565. A gas gasket 6152 is preferably provided; the gas gasket 6152 is preferably provided during operation. It acts to maintain the pressure integrity of the gas.

あらゆる点で、この実施例の組立体610の構造は先の実施例の組立体10,5 10の構造に類似している。In all respects, the structure of assembly 610 of this embodiment is similar to that of assemblies 10, 5 of the previous embodiments. The structure is similar to that of 10.

本発明の構成要素について選ばれる材質1寸法はその動作に必須のものではない が、望んだ通りにポンプ移送される流体および容積に依存して選ぶとよい、半導 体チップ製造プロセスで利用される代表的な高反応性の流体については、流体接 触要素はTeflon”あるいはKalrez″′で作られることになる。ポン プ移送される流体に不活性である材料を利用することが重要である。The material dimensions chosen for the components of the invention are not essential to its operation. The choice is dependent on the desired fluid and volume to be pumped. For typical highly reactive fluids used in the body chip manufacturing process, fluid contact The contact elements will be made of Teflon'' or Kalrez''. Pon It is important to utilize materials that are inert to the fluid being transferred.

今述べた材料は共にこの要件に適う@ Teflon’″は膜を含めて意図した 目的のために望ましいことがわかったが、Kalrez”はその可撓性が優れ、 達成できるシールが良好であるため出口ボート0リング102の場合に望ましい 、ここで、出口ポート0リング102が実際に流体と接触するポンプ組立体10 の0リングのうちの唯一のものであることに注目されたい、したがって、他の0 リングは普通のゴムまたは合成樹脂、たとえば、Viton”またはBuna− Nで作ってもよい。Both of the materials just mentioned meet this requirement @Teflon''' is intended to include membranes. Although found to be desirable for this purpose, Kalrez" is superior in its flexibility and Desirable for exit boat O-ring 102 due to the good seal that can be achieved , where the outlet port O-ring 102 actually contacts the fluid in the pump assembly 10. Note that the only one of the 0 rings in The ring is made of ordinary rubber or synthetic resin, such as Viton" or Buna- You can also make it with N.

ケース半組立体を構成するのに好ましい材料としてはアルミニウムがある。アル ミニウムは構造保全性があり。A preferred material for constructing the case subassembly is aluminum. Al Minium has structural integrity.

低コストであり1機械加工性があるからである。しかしながら、これは選択事項 であり、他に数多くの材料がある。This is because it is low cost and has good machinability. However, this is a matter of choice and there are many other materials.

好ましい実施例の組立体10の場合、フィルタ・カートリッジ112はMill ipore” F−16Wafergard−カートリッジであり、フィルタ・ カートリッジ5112はMilliporaTPICWOI TP IWafe rg a r d″カートリツジある0発明を変えることなく他に種々のフィル タ・カートリッジを使用できるが、ただし、他の構成要素の寸法を調節してカー トリッジの必要な部分を受け入れるようにしなければならない。In the preferred embodiment assembly 10, the filter cartridge 112 is a Mill ipore" F-16Wafergard-cartridge, filter/ Cartridge 5112 is MilliporaTPICWOI TP IWafe RG a r d'' cartridge can be used with various other filters without changing the invention. cartridge, but you can adjust the dimensions of other components to must accommodate the necessary parts of the tridge.

組立体の他の種々の修正、変更が発明から逸脱することなくなし得る。当業者で あれば、別の実施例、用途を追加できることは容易に認識できよう、したがって 、これまでの説明は制限を示すためになされたものではなく。Various other modifications and changes to the assembly may be made without departing from the invention. A person skilled in the art It will be easily recognized that other embodiments and uses can be added if there are any. , the foregoing discussion is not intended to be limiting.

発明の全体的な精神、範囲を含むものとして後述の請求の範囲を解釈すべきであ る。The following claims should be construed as including the entire spirit and scope of the invention. Ru.

東上の利 口 性 本発明によるフィルタ・ポンプ・ヘッド組立体10および別の組立体510,6 10は普通の気体制御器および流体搬送構成要素と一緒に利用できるようになっ ている。これらの組立体は粒子汚染のない高反応性流体を精密な量で分配するこ とが必須である半導体製造産業において使用することに特に適している6本発明 の気体ポンプ移送作用は広い範囲で変わる粘度の流体をポンプ移送。Higashijo's cleverness Filter pump head assembly 10 and further assemblies 510, 6 according to the invention 10 is now available with conventional gas controllers and fluid delivery components. ing. These assemblies provide precise volume dispensing of highly reactive fluids free of particle contamination. 6 The present invention is particularly suitable for use in the semiconductor manufacturing industry where The gas pumping action pumps fluids with viscosities that vary over a wide range.

濾過するのにも特に同様に適している。It is particularly suitable for filtering as well.

ポンプ・ヘッド組立体10の動作は次の通りである。The operation of pump head assembly 10 is as follows.

ポンプ移送しようとしている流体は入口ボート33を通して既に計量分配されて おり、カートリッジ空所96が流体で満たされており、フィルタ・カートリッジ 112が飽和状態にあると仮定する。制御ブロック部分8oにある通路はすべて 流体で満たされている。ポンプ・ヘッド組立体10にさらに流体を導入するには 、気体コネクタ58に気体圧をかけることによって溜め空所6o内に低圧帯域を 生じさせると同時に、弁変形帯域91の背後に低圧帯域を生じさせることによっ て入口ポート33を開く、下方膜72が溜め空所60に向がって下向きに変形す ると、圧力の均衡が崩れ、流体はねじ付き流体ボート88.垂直方向ボート・チ ューブ9oおよび弁チューブ92を通して吸引され、気泡捕獲チャンネル94を 通してカートリッジ空所96に入る。これはカートリッジ゛空所96が新しい容 積に完全に満たされるまで続く、この時点で、入口ボート33は弁慶形帯域91 に加えられている正の気体圧力によって閉ざされ、その結果、垂直方向ポート・ チューブ90および弁チューブ92を閉ざし、流体が入口ポート33がら空所内 に流入するのを阻止する。The fluid to be pumped has already been dispensed through the inlet boat 33. The cartridge cavity 96 is filled with fluid and the filter cartridge Assume that 112 is saturated. All passages in control block section 8o filled with fluid. To introduce more fluid into pump head assembly 10 , a low pressure zone is created in the reservoir cavity 6o by applying gas pressure to the gas connector 58. At the same time, by creating a low pressure zone behind the valve deformation zone 91. The lower membrane 72 deforms downward toward the reservoir cavity 60 to open the inlet port 33. When this happens, the pressure imbalance is disrupted and the fluid is diverted to the threaded fluid boat 88. Vertical Boat Ti suction through tube 9o and valve tube 92 and bubble capture channel 94. and enters the cartridge cavity 96. This means that the cartridge empty space 96 has a new capacity. This continues until the inlet boat 33 is completely filled with water, at which point the inlet boat 33 enters the Benkei shaped zone 91. is closed by positive gas pressure applied to the vertical port. Tube 90 and valve tube 92 are closed, allowing fluid to enter the cavity through inlet port 33. prevent it from flowing into the

次いで弁慶形帯域91に負の気体圧力が加わることによって出口ポート34が開 く、その結果、出口ボート・チューブ91から対応した垂直チューブ92までの 流体の流れが許される。出口弁34を通る流路が開くと、正の気体圧力が気体コ ネクタ58を通して加えられ、底部膜72をカートリッジ空所96内に変形させ る。こうして、圧力の不均衡が生じ、流体は出口チューブ100を通って最終的 な目標点まで送られる。The outlet port 34 is then opened by applying negative gas pressure to the Benkei-shaped zone 91. As a result, the distance from the outlet boat tube 91 to the corresponding vertical tube 92 Fluid flow is allowed. When the flow path through outlet valve 34 is opened, positive gas pressure is applied through connector 58 to transform bottom membrane 72 into cartridge cavity 96. Ru. Thus, a pressure imbalance is created and the fluid passes through the outlet tube 100 to the final sent to a target point.

出口ボート・チューブ100に流体が接近できる唯一の方法はまずフィルタ・カ ートリッジ112を通過することである。出口ボート・チューブ100がフィル タ・カートリッジ112.カートリッジ・インターフェースくぼみ98とつなが る密封用Oリング26によってカートリッジ空所96から隔離されているからで ある。そのため、出口ポート34を通して給送される流体はフィルタ円板120 を通過することによって完全に濾過され、使用前に粒子汚染物を確実に除かれる ことになる。The only way fluid can access the outlet boat tube 100 is through a filter cover first. This is to pass through the cartridge 112. Outlet boat tube 100 fills cartridge 112. Connected to cartridge interface recess 98 This is because it is isolated from the cartridge cavity 96 by the sealing O-ring 26. be. As such, fluid delivered through outlet port 34 is directed to filter disk 120. to ensure that particulate contaminants are removed before use. It turns out.

時に生じるように、ポンプの作動中に気泡が室内に吸い込まれたり、そこに発生 したりした場合には1重力の作用の下に、これらの気泡はポンプ移送室の最も高 い位置の一体部分を構成している気泡捕獲チャンネル94に集まる。好ましい構 造では、通気弁35が出口弁34に従属しており、各ポンプ移送サイクル毎に自 動的に通気が行なわれる。この構造は、気体が急速にシステムすなわち装置から 抽気され、液体の流れが主として閉鎖ボール108によって阻止されるようなも のである0次に。Air bubbles may be sucked into the room while the pump is operating, as sometimes occurs, and air bubbles may form there. Under the action of 1 gravity, these bubbles will move to the highest point of the pump transfer chamber. Air bubbles collect in a trapping channel 94 that forms an integral part of the location. preferred structure In the construction, the vent valve 35 is subordinate to the outlet valve 34 and is automatically closed for each pump transfer cycle. Ventilation takes place dynamically. This structure allows gas to rapidly leave the system or equipment. bleed and liquid flow is primarily blocked by the closure ball 108. The 0th order.

気泡捕獲チャンネル94に直結した通気弁35を開くことによって気泡はシステ ムから排出される0通気弁35を通る流量は固定ねじ110.閉鎖ボール108 および通気口弁シリンダ106の設定によって制御できる。こうして、通気弁3 5の作動中にシステムから追い出される流体の量は最適となる0通気ボート35 の機構を適正に作動させるには1組立体10を垂直の向きに装着することが重要 である。流体空所96の最高点に設けた気泡捕獲チャンネル94を有するだけで 、システムから気泡を排出させ得る部位に気泡を集めることが確実になる。Air bubbles are removed from the system by opening the vent valve 35 connected directly to the air bubble capture channel 94. The flow rate through the vent valve 35, which is exhausted from the system, is controlled by the fixing screw 110. Closed ball 108 and can be controlled by the settings of the vent valve cylinder 106. In this way, the vent valve 3 The amount of fluid expelled from the system during operation of 5 is optimized. In order for the mechanism to work properly, it is important to install the assembly 10 in a vertical orientation. It is. Simply having a bubble capture channel 94 located at the highest point of the fluid cavity 96 , ensuring that the air bubbles are collected at a site where they can be evacuated from the system.

したがって、ポンプの他の特徴は垂直でない向きでも効果を奏するが、この特徴 は向きを変えたならば意味がなくなる。Therefore, while other features of the pump are effective in non-vertical orientations, this feature If you change the direction, it loses its meaning.

フィルタ・カートリッジ112を交換したい場合には、入口ポート33を閉鎖し 、出口ポート34を開き、下方膜72に正の気体圧力に加えて最小限の流体をポ ンプに入っているようにすることによって室96から最大量の流体をポンプ移送 するだけでよい、この時点で、リング・ファスナ28を取り外し、底部キャップ 22全体を胴20から分離することができる。フィルタ・カートリッジ112の 露出した底端プレート116を次に種々の手段でつまみ、カートリッジ空所96 から引き出すことができる0次に新しいフィルタ・カートリッジ112をすえ付 ける0位置決めリング128をフィルタ・カートリッジ112の下端に嵌め、底 部キャップ22を再装填したときにカートリッジ112をインターフェースくぼ み98に向かって上方へ押圧させる。Teflon TMライナ半組立体14は ケース半組立体12に関して成る程度まで「浮動」している、ファスナ28を次 に締付けると、半組立体16を緊密な位置に押圧し、Teflon ”″部材を 互いにr接合」することになる、これは良好なシールを保証する0位置決めリン グは滑らかな表面も与え、これのまわりで底部膜72が変形することができる。If you wish to replace filter cartridge 112, inlet port 33 is closed. , the outlet port 34 is opened and the lower membrane 72 is exposed to positive gas pressure plus minimal fluid. pumping the maximum amount of fluid from chamber 96 by At this point, remove the ring fastener 28 and remove the bottom cap. The entire 22 can be separated from the shell 20. of filter cartridge 112 The exposed bottom end plate 116 is then pinched by various means to remove the cartridge cavity 96. Place a new filter cartridge 112 in zero order that can be pulled out from the 0 positioning ring 128 into the lower end of the filter cartridge 112, and The cartridge 112 is inserted into the interface recess when the cap 22 is reloaded. Press upward toward the groove 98. Teflon TM liner subassembly 14 The fasteners 28, which are "floating" to the extent that they become relative to the case subassembly 12, are then When tightened, it forces the subassembly 16 into a tight position and releases the Teflon member. 0 positioning links that ensure a good seal. The groove also provides a smooth surface around which the bottom membrane 72 can deform.

カートリッジのすえ付けが完了したとき、ポンプは流体を再充填し、なんら呼び 水効果を必要とすることなく正しく作動することになる。When the cartridge is fully seated, the pump will refill fluid and no calls will be made. It will operate correctly without the need for water effects.

実施例510,610の動作はほぼ同じである。これらの実施例では、ポンプ移 送気体圧力がそれぞれ管状膜6146を変形させることになり、フィルタ・カー トリッジを通し、出口ポート100に液体を送るという同じ結果を得ることがで きる。The operations of embodiments 510 and 610 are substantially the same. In these examples, the pump transfer Each inlet gas pressure deforms the tubular membrane 6146, causing the filter cartridge to deform. The same result can be achieved by directing the liquid through the cartridge and into the outlet port 100. Wear.

実施例610では、カートリッジ交換作業はフィルタ・カートリッジ6112に 頂部からしか接近できないという点で異なる。この実施例では、上方リング・フ ァスナ6144を取り外してから、収容したフィルタ・カートリッジ6112を 入れたまま制御ブロック80を引き出す0次に、カートリッジ6112を取り出 し、交換し。In the embodiment 610, the cartridge replacement operation is performed on the filter cartridge 6112. It differs in that it can only be approached from the top. In this example, the upper ring After removing the fastener 6144, remove the filter cartridge 6112. Pull out the control block 80 while still inside it. Next, take out the cartridge 6112. and exchange.

ポンプ・ヘッドを再組み立てすれば、次の使用の準備が整ったことになる。上方 リング・ファスナ6144を締付けると、良好なシールと漏洩のない動作を保証 する。Reassemble the pump head and it is ready for next use. Upward Tightening the ring fastener 6144 ensures a good seal and leak-free operation do.

本発明のフィルタ・ポンプ・ヘッド組立体10および種々の利用できる別の実施 例は特に濾過した流体をポンプ移送するのに多くの利点を得るようになっている が。Filter pump head assembly 10 of the present invention and various available alternative implementations The example is particularly adapted to obtain many advantages for pumping filtered fluids. but.

広い市場が存在することは予想される。これは汚染されていない揮発性あるいは 反応性の材料を精密な量でポンプ移送することが望ましい半導体製造産業その他 の技術分野には特に適している。異なった粘度の流体に組立体本発明の営業上の 責任および産業上の利用可能性はかなりのものであり、広範であることが予測さ れる。It is expected that there will be a wide market. This is an uncontaminated volatile or Semiconductor manufacturing industry and other industries where it is desirable to pump reactive materials in precise quantities It is particularly suitable for technical fields. Commercial application of the present invention assembling fluids of different viscosities The liability and industrial applicability are expected to be substantial and wide-ranging. It will be done.

FIG、6 手 続嗜む 正 書(方式) 昭和63年lO月25日FIG.6 Manual (formula) October 25, 1986

Claims (20)

【特許請求の範囲】[Claims] 1.気体制御装置と一緒に作動して流体をポンプ移送するようになっている一体 型フィルタ・ポンプ・ヘッド組立体であり、密閉フレーム半組立体を包含し、こ のフレーム半組立体が気体制御装置と密閉フレームとの間における気体の流れを 許す気体コネクタ手段を包含し、また、密閉ライナ半組立体がフレーム半組立体 によって外側を囲まれていて間に1つ以上の空気弁制御気体および1つ以上の気 体ポンプ移送空所を形成しており、この密閉ライナ半組立体が複数のポート、通 路を包含する制御ブロック部分と.この制御ブロック部分と前記弁制御空所の中 間に設けた気体圧変形可能な弁手段であって前記ポート、通路を選択的に開閉す るようになっている弁手段と、前記制御ブロック部分に隣接して設けた流体収容 空所と、前記ポンプ移送空所と前記流体収容空所の間に設けてあって前記ポンプ 移送空所と前記流体収容空所の相対容積を変えることによって流体をポンプ移送 するようになっている気体圧変形可能なポンプ移送手段と、前記流体空所と組立 体の外部との間で流体をそれぞれ給送する流体入力手段、流体出力手段とを包含 し,フィルタ半組立体が前記流体空所内に設けてあって流体が前記流体入力手段 から前記流体出力手段まで通過するには流体がこのフィルタ半組立体を通過しな ければならないようにしたことを特徴とする一体型フィルタ・ポンプ・へッド組 立体。1. A unit adapted to operate in conjunction with a gas control device to pump fluid. type filter pump head assembly, including a sealed frame subassembly, The frame subassembly directs gas flow between the gas control device and the enclosure frame. The sealing liner subassembly also includes a gas connector means that allows the frame subassembly to one or more air valves between which the control gas and one or more air The sealed liner subassembly forms the body pump transfer cavity with multiple ports and The control block part that includes the road. Inside this control block part and the valve control cavity a pneumatically deformable valve means provided between the valve means for selectively opening and closing the ports and passages; valve means adapted to control the control block; a cavity, the pump being provided between the pump transfer cavity and the fluid receiving cavity; Pumping fluid by varying the relative volumes of the transfer cavity and the fluid containing cavity a pneumatically deformable pump transfer means adapted to be assembled with said fluid cavity; Includes fluid input means and fluid output means for supplying fluid to and from the outside of the body, respectively. a filter subassembly is disposed within said fluid cavity and fluid is directed to said fluid input means; Fluid must pass through this filter subassembly in order to pass from the filter to the fluid output means. An integrated filter/pump/head assembly characterized by the fact that Three-dimensional. 2.請求の範囲第1項のポンプ・ヘッド組立体において、密閉フレーム半組立体 が前記気体弁制御空所に隣接した頂部キャップ部分と、前記流体収容空所を円周 方向に囲んでいる胴部分と、前記ポンプ移送空所に隣接している底部キャップ部 分と、前記密閉フレーム部分を一緒に固着する留め手段とを包含することを特徴 とするポンプ・ヘッド組立体。2. The pump head assembly of claim 1, wherein the closed frame subassembly a top cap portion adjacent to said gas valve control cavity and circumferentially extending said fluid containing cavity. a barrel portion surrounding the direction and a bottom cap portion adjacent to the pump transfer cavity; and fastening means for securing said closed frame portions together. pump head assembly. 3.請求の範囲第1項または第2項のポンプ・ヘッド組立体において、前記制御 ブロック部分が剛性円板の形をしており、前記流体入力手段が外部流体源を前記 流体空所に接続する入口ポート手段を包含し、前記流体出口手段が前記フィルタ 半組立体を外部目標側に接続する出口ポート手段を包含することを特徴とするポ ンプ・ヘッド組立体。3. The pump head assembly according to claim 1 or 2, wherein the control The block portion is in the form of a rigid disk, and the fluid input means connects the external fluid source to the including inlet port means connected to a fluid cavity, said fluid outlet means being connected to said filter. A port characterized in that it includes exit port means for connecting the subassembly to an external target side. pump head assembly. 4.請求の範囲第3項のポンプ・ヘッド組立体において、前記制御ブロックが物 理的に前記流体空所の上方に位置させてあり、その下面に気泡捕獲チャンネルが 形成してあり、前記入力ポート手段は前記気泡捕獲チャンネルの上部のところで 前記流体空所に接続していることを特徴とするポンプ・ヘッド組立体。4. 4. The pump head assembly of claim 3, wherein said control block comprises an object. is physically located above the fluid cavity, and has a bubble trapping channel on its lower surface. wherein the input port means is formed at an upper portion of the bubble capture channel. A pump head assembly connected to the fluid cavity. 5.請求の範囲第4項のポンプ・ヘッド組立体において、前記制御ブロックがさ らに組立体の外部を前記気泡捕獲チャンネルに接続する通気ポートを包含してい ることを特徴とするポンプ・ヘッド組立体。5. The pump head assembly of claim 4, wherein the control block is and further includes a vent port connecting the exterior of the assembly to the bubble capture channel. A pump head assembly characterized by: 6.請求の範囲第3項のポンプ・ヘッド組立体において、前記入力ポート手段お よび前記出力ポート手段が各々前記制御ブロックの、前記気体圧変形可能な弁手 段に隣接した面上の物理的に分離した位置のところに一対の間隔を置いた孔を包 含し、前記気体圧変形可能な弁手段が前記間隔を置いた孔に隣接して弁変形帯域 を包含し、これらの弁変形帯域が選択的に変形して前記それぞれの孔を閉鎖し、 その間の流体の流れを阻止したり、あるいいは、前記間隔を置いた孔の間に流体 の流路を与えて前記入力ポート手段、前記出力ポート手段のそれぞれを通る流体 の流れを許したりすることを特徴とするポンプ・ヘッド組立体。6. The pump head assembly of claim 3, wherein said input port means and and said output port means each connect to said pneumatically deformable valve hand of said control block. Enclosing a pair of spaced holes at physically separate locations on the surface adjacent to the step. the pneumatically deformable valve means having a valve deformation zone adjacent to the spaced apart apertures; the valve deformation zones selectively deform to close said respective apertures; or alternatively, prevent fluid flow between said spaced holes. a fluid passing through each of said input port means and said output port means by providing a flow path for said input port means and said output port means; A pump head assembly characterized by allowing the flow of. 7.請求の範囲第6項のポンプ・ヘッド組立体において、前記気体圧変形可能な 弁手段が可撓性の膜を包含することを特徴とするポンプ・ヘッド組立体。7. 7. The pump head assembly of claim 6, wherein said pneumatically deformable A pump head assembly characterized in that the valve means includes a flexible membrane. 8.請求の範囲第3項のポンプ・ヘッド組立体において、フィルタ半組立体が前 記制御ブロックにある対応したくぼみに係合してそれと一緒にシールを形成する フィルタ・カートリッジ手段を包含し、このフィルタ・カートリッジ手段を通過 する流体が前記出口ポート手段に給送されるようにしたことを特徴とするポンプ ・ヘッド組立体。8. The pump head assembly of claim 3, wherein the filter subassembly is engages a corresponding recess in the control block to form a seal therewith. including a filter cartridge means and passing through the filter cartridge means; a pump, characterized in that a fluid is delivered to said outlet port means. ・Head assembly. 9.請求の範囲第8項のポンプ・ヘッド組立体において、前記フィルタ・カート リッジ手段が多段円板式フィルタ・カートリッジであることを特徴とするポンプ ・ヘッド組立体。9. 9. The pump head assembly of claim 8, wherein the filter cart A pump characterized in that the ridge means is a multistage disc filter cartridge. ・Head assembly. 10.請求の範囲第8項のポンプ・ヘッド組立体において、前記フィルタ・カー トリッジ手段がひだ付きのフィルタ・カートリッジであることを特徴とするポン プ・ヘッド組立体。10. 9. The pump head assembly of claim 8, wherein the filter car a pump characterized in that the cartridge means is a pleated filter cartridge; head assembly. 11.請求の範囲第2項のポンプ・ヘッド組立体において、前記気体圧変形可能 なポンプ移送手段が前記底部キャップ部分と前記胴部分との間に挿設した円板状 の膜を包含することを特徴とするポンプ・ヘッド組立体。11. The pump head assembly according to claim 2, wherein the pneumatically deformable a disc-shaped pump transfer means inserted between the bottom cap portion and the body portion; A pump head assembly comprising a membrane. 12.請求の範囲第1項のポンプ・ヘッド組立体において、前記気体圧変形可能 なポンプ移送手段が前記流体空所を円周方向に取り囲んでいる管状膜を包含する ことを特徴とするポンプ・ヘッド組立体。12. The pump head assembly of claim 1, wherein the pneumatically deformable pumping means includes a tubular membrane circumferentially surrounding said fluid cavity. A pump head assembly characterized by: 13.請求の範囲第1項のポンプ・ヘッド組立体において、前記気体圧変形可能 なポンプ移送手段が前記流体空所を囲むベローズ膜を包含することを特徴とする ポンプ・ヘッド組立体。13. The pump head assembly of claim 1, wherein the pneumatically deformable characterized in that the pumping means includes a bellows membrane surrounding said fluid cavity. Pump head assembly. 14.請求の範囲第8項のポンプ・ヘッド組立体において、前記フィルタ・カー トリッジ手段がそれと密閉フレーム半組立体の間に挿設された位置決めリングに よって前記制御ブロックと係合するように押圧されていることを特徴とするポン プ・ヘッド組立体。14. 9. The pump head assembly of claim 8, wherein the filter car The carriage means is connected to a locating ring inserted between it and the closed frame subassembly. The pump is therefore pressed into engagement with the control block. head assembly. 15.請求の範囲第1項のポンプ・ヘッド組立体において、ライナ半組立体のす べての構成要素が科学的に不活性の材料で作ってあることを特徴とするポンプ・ ヘッド組立体。15. The pump head assembly of claim 1, wherein all of the liner subassemblies are A pump characterized in that all its components are made of scientifically inert materials. head assembly. 16.請求の範囲第1項のポンプ・ヘッド組立体において.ライナ半組立体のす べての構成要素がTeflonTMで作ってあることを特徴とするポンプ・ヘッ ド組立体。16. In the pump head assembly according to claim 1. liner subassembly Pump head featuring all components made of TeflonTM. assembly. 17.請求の範囲第5項のポンプ・ヘッド組立体において、前記通気ポート手段 がこれを部分的に閉鎖して液体よりもむしろ気体の通過を優先的に許すようにな っている閉鎖手段を包含することを特徴とするポンプ・へッド組立体。17. 6. The pump head assembly of claim 5, wherein said vent port means is now partially closed to allow gases to pass through preferentially rather than liquids. A pump head assembly characterized in that it includes a closure means that includes: 18.上方キャップ、中央胴部分および下方キャップを包含し、さらに、これら の部分を一緒に締付けて密閉室を構成する手段を包含する外方フレーム部材と、 前記胴部分内に嵌合するようになっており、前記上方キャップ付近で前記胴部分 の端に設置するようになっている制御ブロック部分を包含するライナ手段とを包 含し、前記制御ブロック部分に対になった孔が形成してあってそこを通して流体 の流れを許すようになっており、前記中実部分から突出した中空の円筒形部分が 前記胴部分の内面とその全長の残りの部分を通じて衝合しており、さらに、前記 中空部分内に嵌合して組立体を通して完全に流れる流体のすべてが通過しなけれ ばならないようにしているフィルタ手段と、前記制御ブロック部分の前記孔を開 閉してそこを通して流体の流れを許すようになっている第1膜手段と、前記中空 部分の有効体積を変えるようになっている第2膜手段と、前記第1膜手段を選択 的に変形させる第1気体圧手段と、前記第2膜手段を選択的に変える第2気体圧 手段と、流体を前記第1膜手段と前記第2膜手段の間の位置に拘束する密封手段 とを包含することを特徴とするフィルタ・ポンプ・ヘッド組立体。18. including an upper cap, a central barrel portion and a lower cap; an outer frame member including means for fastening the portions together to define a sealed chamber; The body portion is adapted to fit within the body portion, and the body portion is configured to fit within the body portion in the vicinity of the upper cap. liner means containing a control block portion adapted to be installed at the end of the a pair of holes are formed in the control block portion through which fluid is allowed to flow; The hollow cylindrical part protruding from the solid part is designed to allow the flow of water. abutting the inner surface of said body portion through the remainder of its length; All of the fluid that fits within the hollow section and flows completely through the assembly must pass through. filter means for preventing the opening of said holes in said control block portion; a first membrane means adapted to close and permit fluid flow therethrough; selecting a second membrane means adapted to change the effective volume of the portion and said first membrane means; a first gas pressure means for selectively deforming said second membrane means; and a second gas pressure means for selectively changing said second membrane means. means and sealing means for confining fluid in a position between said first membrane means and said second membrane means. A filter pump head assembly comprising: 19.請求の範囲第1項のポンプ・ヘッド組立体において、第2膜手段が前記第 2気体圧手段によって与えられる相対的な気体圧力に依存して長手方向に膨張、 収縮するようになっているベローズ膜を包含することを特徴とするポンプ・ヘッ ド組立体。19. The pump head assembly of claim 1, wherein the second membrane means expanding longitudinally depending on the relative gas pressures provided by the two gas pressure means; A pump head characterized in that it includes a bellows membrane adapted to contract. assembly. 20.請求の範囲第18項のポンプ・ヘッド組立体において、フィルタ手段が前 記制御ブロック部分と係合するようになっているカートリッジを包含することを 特徴とするポンプ・ヘッド組立体。20. 19. The pump head assembly of claim 18, wherein the filter means is a cartridge adapted to engage the control block portion; Features a pump head assembly.
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Families Citing this family (52)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5032064A (en) * 1981-07-14 1991-07-16 Karl Eickmann Pump for pressure exceeding one thousand atmospheres
US4983102A (en) * 1988-10-14 1991-01-08 Swain Danny C Self-enclosed filter pumping system
US4915597A (en) * 1988-12-19 1990-04-10 Micron Technology, Inc. Filter pump head assembly improvements
US4950134A (en) * 1988-12-27 1990-08-21 Cybor Corporation Precision liquid dispenser
US5167837A (en) * 1989-03-28 1992-12-01 Fas-Technologies, Inc. Filtering and dispensing system with independently activated pumps in series
JP2803859B2 (en) * 1989-09-29 1998-09-24 株式会社日立製作所 Fluid supply device and control method thereof
US5262068A (en) * 1991-05-17 1993-11-16 Millipore Corporation Integrated system for filtering and dispensing fluid having fill, dispense and bubble purge strokes
US5527161A (en) * 1992-02-13 1996-06-18 Cybor Corporation Filtering and dispensing system
DE4204354A1 (en) * 1992-02-14 1993-08-19 Basf Magnetics Gmbh FILTER DEVICE
US6190565B1 (en) * 1993-05-17 2001-02-20 David C. Bailey Dual stage pump system with pre-stressed diaphragms and reservoir
US5490765A (en) * 1993-05-17 1996-02-13 Cybor Corporation Dual stage pump system with pre-stressed diaphragms and reservoir
US5569375A (en) * 1995-02-21 1996-10-29 Ridgeway; Kent Apparatus for filtering liquids in a closed system
KR0179284B1 (en) * 1996-02-23 1999-03-20 문정환 Bubble removing apparatus from filter housing of coating equipment
JP4011210B2 (en) * 1998-10-13 2007-11-21 株式会社コガネイ Chemical supply method and chemical supply device
US7029238B1 (en) * 1998-11-23 2006-04-18 Mykrolis Corporation Pump controller for precision pumping apparatus
US8172546B2 (en) 1998-11-23 2012-05-08 Entegris, Inc. System and method for correcting for pressure variations using a motor
US6085366A (en) * 1999-07-02 2000-07-11 Evac International Oy Apparatus for supplying pressurized rinse water to a toilet
US6325932B1 (en) * 1999-11-30 2001-12-04 Mykrolis Corporation Apparatus and method for pumping high viscosity fluid
KR100496441B1 (en) * 2002-04-15 2005-06-20 조대형 bellows filter system
DE10224750A1 (en) 2002-06-04 2003-12-24 Fresenius Medical Care De Gmbh Device for the treatment of a medical fluid
JP5079516B2 (en) 2004-11-23 2012-11-21 インテグリス・インコーポレーテッド System and method for a variable home position dispensing system
US7717682B2 (en) * 2005-07-13 2010-05-18 Purity Solutions Llc Double diaphragm pump and related methods
US8197231B2 (en) * 2005-07-13 2012-06-12 Purity Solutions Llc Diaphragm pump and related methods
JP5339914B2 (en) 2005-11-21 2013-11-13 インテグリス・インコーポレーテッド System and method for a pump having reduced form factor
US8753097B2 (en) 2005-11-21 2014-06-17 Entegris, Inc. Method and system for high viscosity pump
US7878765B2 (en) 2005-12-02 2011-02-01 Entegris, Inc. System and method for monitoring operation of a pump
KR20080073778A (en) * 2005-12-02 2008-08-11 엔테그리스, 아이엔씨. O-ring-less low profile fittings and fitting assemblies
KR101243509B1 (en) * 2005-12-02 2013-03-20 엔테그리스, 아이엔씨. System and method for pressure compensation in a pump
JP4845969B2 (en) 2005-12-02 2011-12-28 エンテグリース,インコーポレイテッド I / O system, method, and apparatus for coupling pump controller
KR101281210B1 (en) 2005-12-02 2013-07-02 엔테그리스, 아이엔씨. System and method for valve sequencing in a pump
US20070128061A1 (en) * 2005-12-02 2007-06-07 Iraj Gashgaee Fixed volume valve system
US8083498B2 (en) 2005-12-02 2011-12-27 Entegris, Inc. System and method for position control of a mechanical piston in a pump
US7850431B2 (en) 2005-12-02 2010-12-14 Entegris, Inc. System and method for control of fluid pressure
WO2007067360A2 (en) * 2005-12-05 2007-06-14 Entegris, Inc. Error volume system and method for a pump
US7685965B1 (en) * 2006-01-26 2010-03-30 Lam Research Corporation Apparatus for shielding process chamber port
TWI402423B (en) 2006-02-28 2013-07-21 Entegris Inc System and method for operation of a pump
US7494265B2 (en) 2006-03-01 2009-02-24 Entegris, Inc. System and method for controlled mixing of fluids via temperature
US7684446B2 (en) * 2006-03-01 2010-03-23 Entegris, Inc. System and method for multiplexing setpoints
US8038640B2 (en) * 2007-11-26 2011-10-18 Purity Solutions Llc Diaphragm pump and related systems and methods
US8192401B2 (en) 2009-03-20 2012-06-05 Fresenius Medical Care Holdings, Inc. Medical fluid pump systems and related components and methods
EP2453946B1 (en) 2009-07-15 2013-02-13 Fresenius Medical Care Holdings, Inc. Medical fluid cassettes and related systems
US9624915B2 (en) 2011-03-09 2017-04-18 Fresenius Medical Care Holdings, Inc. Medical fluid delivery sets and related systems and methods
JP6062920B2 (en) 2011-04-21 2017-01-18 フレセニウス メディカル ケア ホールディングス インコーポレーテッド Medical fluid pumping system and related devices and methods
US9610392B2 (en) 2012-06-08 2017-04-04 Fresenius Medical Care Holdings, Inc. Medical fluid cassettes and related systems and methods
US9500188B2 (en) 2012-06-11 2016-11-22 Fresenius Medical Care Holdings, Inc. Medical fluid cassettes and related systems and methods
US9561323B2 (en) 2013-03-14 2017-02-07 Fresenius Medical Care Holdings, Inc. Medical fluid cassette leak detection methods and devices
US9714650B2 (en) * 2013-06-11 2017-07-25 Matthew G. Morris, Jr. Pumping system
US10117985B2 (en) 2013-08-21 2018-11-06 Fresenius Medical Care Holdings, Inc. Determining a volume of medical fluid pumped into or out of a medical fluid cassette
US10441908B2 (en) * 2017-08-18 2019-10-15 David E. Fitzgerald Filter assembly with self-contained disposable filter cartridge
EP3908389A4 (en) * 2019-01-10 2022-11-16 Repligen Corporation Hollow fiber filtration systems and methods
US12078135B2 (en) 2021-09-28 2024-09-03 Caterpillar Inc. Fuel filter cartridge
EP4219317A1 (en) * 2022-02-01 2023-08-02 Eaton Intelligent Power Limited Fluid module

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2529204A (en) * 1946-06-07 1950-11-07 Ranst Van Fuel pump
US3741687A (en) * 1970-04-15 1973-06-26 Nystroem Ernst Holger Bertil Jet-actuated membrane pump
US4146485A (en) * 1977-02-07 1979-03-27 English Clays Lovering Pochin & Company Limited Tube pressure filters

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2540134A (en) * 1946-11-12 1951-02-06 Helmer S Nelson Oil filtering apparatus
US4483665A (en) * 1982-01-19 1984-11-20 Tritec Industries, Inc. Bellows-type pump and metering system
GB2120568B (en) * 1982-05-25 1985-12-24 Lucas Ind Plc Fuel filter

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2529204A (en) * 1946-06-07 1950-11-07 Ranst Van Fuel pump
US3741687A (en) * 1970-04-15 1973-06-26 Nystroem Ernst Holger Bertil Jet-actuated membrane pump
US4146485A (en) * 1977-02-07 1979-03-27 English Clays Lovering Pochin & Company Limited Tube pressure filters

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Publication number Publication date
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EP0262151A4 (en) 1989-08-09

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