JPH01320417A - 実装済プリント基板の検査装置 - Google Patents

実装済プリント基板の検査装置

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JPH01320417A
JPH01320417A JP63153959A JP15395988A JPH01320417A JP H01320417 A JPH01320417 A JP H01320417A JP 63153959 A JP63153959 A JP 63153959A JP 15395988 A JP15395988 A JP 15395988A JP H01320417 A JPH01320417 A JP H01320417A
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JP
Japan
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printed circuit
circuit board
detector
driven
wiring board
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Pending
Application number
JP63153959A
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English (en)
Inventor
Kenichi Kaita
健一 戒田
Osamu Yamada
修 山田
Eiji Okuda
英二 奥田
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、実装済プリント基板の検査装置に関するもの
で、特に細く絞−だビームスポットを用いて実装された
部品の位置ずれ、欠品、ハンダ不良、ハンダブリッジ等
を検査せんとするものである。
従来の技術 従来、実装済プリント基板の部品の位置ずれ。
欠品、・・ンダ不良、ハンダブリッジ等を自動的に検査
する装置として、マルチスリット光とカメラを用いる方
法がある。
以下、図面を参照しながら説明する。第6図において、
55.56はそれぞれスリット光を照射する照射装置で
あり、54はカメラ、67は実装済プリント基板である
。2つのスリ・7)光を実装済プリント基板67に対し
上方斜めからそれぞれの光軸が直交するように照射し、
上方よりカメラ54で観察すると三角測量の原理で実装
部品の高さを測定出来る。また、この時マルチスリット
照射装置55.56を交互に照射することにより、x、
y方向の部品位置を知ることが出来る。
発明が解決しようとする課題 しかしながら上記のような構成では、ハンダ面検査の場
合その反射拡散特性が鏡面に近いため、ハンダ面の向き
とカメラの位置関係によっては反射光が強すぎてカメラ
が飽和してしまう場合や、反射光か弱すぎて検出できな
い場合、また、カメラによる観察視野には限界があり問
題があった。
課題を解決するだめの手段 本発明の実装済プリント基板の検査装置は、駆動パルス
の印加に応じて予め定められた距離だけ順次検査すべき
プリント基板を駆動する送り手段と、前記プリント基板
の表面に直角方向よりビームスポットを照射し、その反
射光により高さに応じた検出情報を得名検査手段と、そ
の検出手段が載置されており、回転に伴って前記ビーム
スポットが前記プリント基板面を走査する回転体と、前
記プリント基板を予め定められた第1の位置まで予め定
められた速度で移動せしめるよう前記送り手段に駆動パ
ルスを印加する手段と、前記回転体の回転角度に応じた
回転角度検出出力を得る手段と、前記プリント基板が前
記第1の位置より第2の位置まで移動する間、前記回転
角度検出出力に同期した駆動パルスを前記送り手段に印
加する手段と、前記第2の位置より第3の位置まで予め
定められた速度で移動せしめるよう前記送り手段に駆動
パルスを印加する手段とを備えたことを特徴とするもの
である。
作用 上記構成によれば、検査すべきプリント基板に垂直な方
向より照射されるビームスポットによりプリント基板を
走査するため、プリント基板上の各点は同一条件で計測
されることとなり、良好な検査が可能となる。
また、前記プリント基板は回転角度検出器からの出力パ
ルスにより、前記回転体と同期して移動することができ
るため、高速で回転する場合においてもプリント基板上
の測定位置を正確に制御できるものである。
実施例 以下、本発明の一実施例の実装済プリント基板の検査装
置について、図面を参照しながら説明する。
第2図はピームスポ、ソト投光用光学系と受光用光学系
群が一体となった単位検査装置の斜視図である。
1は、たとえばレーザーを使ったピームスボ。
ト投光用光学系、2,4.6.8は前記ビームスポット
の反射面からの反射光を受け、その反射面の高さ及び輝
度情報を得るための半導体装置検出素子(以下PSDと
呼ぶ)のような光電変換素子である。このPSDは、あ
る所定の長さを有し、ビームスポットの照射位置に応じ
て複数の出力端子の出力が相対的て変化するもので、こ
れにはCODラインセンサー等を用いることも可能であ
る。3.5.7.9は、三角測量を行うために実装済プ
リント基板からの反射ビームスポットを前記光電変換素
子2.4.6.8上にそれぞれ結像するだめのレンズ若
しくはレンズ群である。これらの光電変換素子およびレ
ンズは、ビームスポ、。
トの光軸周辺に配置され、本実施例では4組をビームス
ポットを中心とする同一円周上に等間隔に配置している
。10は実装済プリント基板、11はビームスポットで
あり、実装済プリント基板1oに対してほぼ垂直に照射
されている。
第3図は、検査装置全体の斜視図である。13゜14.
16.16は第2図で示した光学系群が一体になった一
つの単位検査装置である。12はモーター等の駆動源(
図示せず)Kよシはぼ一定速度で回転駆動される回転円
盤である。前記単位検査装置13.14,15.16は
、回転円盤12の中心に対し同一円周上に等間隔に、回
転円盤120回転に伴−て前記ビームスポット11が順
次実装済プリント基板10を走査するよう配置されてい
る。実装済プリント基板10は、前記回転円盤12の回
転角度を検出する回転角度検出装置19のパルス出力と
同期して、後述の構成よりなるプリント基板送り装置に
より予め定められた距離だけ矢印方向に順次移動される
。これにより実装法プリント基板10の全体をビームス
ポット11により走査することが可能となる。17は現
在単位検査装置14で走査している軌跡を示しており、
18は直前に単位検査装置16で走査した軌跡を示して
いる。第3図においては、単位検査装置14が走査完了
すると実装法プリント基板10がy軸方向へ移動して、
次の単位検査装置13の走査開始前に移動が終了するよ
うにな−ており、無駄な時間がなく最小時間で検査を終
了することが出来る。
第1図はプリント基板送り装置の構成を示すブロック図
で、22はパルスモータ−30により可逆的に回転駆動
される送りネジである。21は検査される実装法プリン
ト基板10が載置されるプリント基板載置台であり、前
記送りネジ22に係合され、その送りネジ22の回転に
応じて移動するよう構成されている。27.28.29
は、それぞれ前記プリント基板載置台21が第1の位置
、第2の位置及び第3の位置に位置したことを検出する
第1.第2及び第3の検出器である。19は前記回転円
盤12が予め定められた微小角度だけ回転するごとに1
つのパルスを発生する回転角度検出装置であり、20は
前記回転角度検出装置19の出力パルスを計数し、予め
定められた数になる毎に駆動パルスを発生する第1のパ
ルス発生器である。23は一定周波数のパルスを発生す
る第2のパルス発生器であり、その出力と前記第1のパ
ルス発生器20の出力はそれぞれ切換回路26の接点a
とbK印加されている。24は前記第1の検出器27の
出力でリセツトされ、前記第1のパルス発生器20の出
力を計数し、予め定められた計数値になると出力を発生
するカウンターである。前記切換回路2eは、前記第1
.第2゜第3の検出器27.28.29及びカウンター
24の出力により駆動され、その出力は駆動パルス発生
装置25を介して前記パルスモータ−3Qを駆動するよ
う構成されている。
次てこの送り装置の動作を説明する。
まず、送シネジ22の端部ム点の位置にプリント基板載
置台21が位置し、検査すべき実装法プリント基板1Q
がプリント基板載置台21上に載置される。その状態よ
シ切換回路26の接片が接点aVC接続されると、パル
スモータ−3oは第2のパルス発生器23の出力により
駆動され、前記プリント基板載置台21は高速で駆動さ
れる。そして、第1の検出器27がプリント基板載置台
21を検出すると、その出力により前記切換回路26は
接点すに切り換えられ、パルスモータ−30は第1のパ
ルス発生器20の出力により回転円盤12の回転角度に
同期して低速で駆動される。
すなわち、実装法プリント基板10はビームスポア)の
走査に同期して駆動される。そして、プリント基板載置
台21が第2の位置に到達すると、第2の検出器28が
駆動され、切換回路26を再び第2のパルス発生器23
の出力側に切り換え、プリント基板載置台21をプリン
ト基板の取り外し位置まで高速に駆動する。このプリン
ト基板の増り外し位置までプリント基板載置台21が移
動されたことを第3の検出器29で検出し、駆動パルス
発生装置26によりパルスモータ−3oを逆方向に高速
で回転させ、プリント基板載置台21を再びプリント基
板が載置される元の位置まで復帰させるよう構成されて
いる。
尚、カウンター24は所定の計数値になると出力を発生
し、この出力によシ前記切換回路26を接点a[切り換
えるものであり、前記計数値はプリント基板の走査を開
始してから、即ち、第1の検出器27がプリント基板載
置台21を検出してから、検出情報を記憶するRAMが
オーバーフローするまでの期間に相当する値に設定され
ている。
このよ、うに切り換えスイッチを用いることで、1個の
プリント基板送り装置と駆動用パルスモータ−で、回転
円盤、の回転と同期した移動と、同期しない移動の2種
類を行うことができる。
第4図は、光電変換素子からの照射位置により相対的に
値が変化する2つの電流出力を演算して高さ情報及び輝
度情報を得るための本装置の電気回路を示している。3
1は光電変換素子2の2つの電流出力から割算器62を
通して高さ情報を得、また、前記2つの電流出力の和よ
りオペアンプ63を通して輝度情報を得ている高さ及び
輝度情報検出回路である。32.33.34も前記高さ
及び輝度情報検出回路31と同様であシ、光電変換素子
4 、6 、8に接続されている。この場合、光電変換
素子を4個使用しているため高さ及び輝度情報も一つの
光点に対して4個出力される。
36は、4個の高さ情報から一つの高さ情報を得る高さ
情報選択回路であシ、選択方法として例えば4個の内最
大レベルと最小レベルを除いた残りの2つの平均を取る
方法がある。36は36と同様K、1個の輝度情報から
一つの輝度情報を得る輝度情報選択回路であり、選択方
法として例えば4個の内最大レベルを取る方法がある。
このように前記2つの高さ及び輝度情報選択回路36゜
36はRAM37の節約及び前処理をつけることによる
CPU3Bの負荷軽減の目的で設けられたものである。
前記2つの高さ及び輝度情報選択回路35.38の出力
は、C1PU38のバスに接続されているRAM37へ
送られる。CPU38は、前記RAM37より読み出さ
れた高さ及び輝度情報と、予め基準となる実装済プリン
ト基板から得られて予め記憶されている高さ情報及び輝
度情報とを比較し、被検査実装済プリント基板の良否を
決定する。
以上のように本実施例は、検査すべき実装済プリント基
板に垂直にビームスポットを照射し、そのビームスポッ
トの周囲に配置された複数の光電変換素子と共に移動せ
しめながら実装済プリント基板の各点の高さ及び輝度の
変化を計測するものであるため、実装済プリント基板の
各点は同一条件で計測され良好な検査が望めるものであ
る。
また、実装済プリント基板からの反射光は、ビームスポ
ットの周囲に配置された複数の光電変換素子により受光
されるよう構成されているため、実装済プリント基板か
らの反射光が種々の拡散特性にな−てもそれに伴う検査
結果の変動を小さくできるものである。
さらK、ビームスポ、7 ) 11のプリント基板上の
走査は、回転円盤12に接続された回転角度検出装置1
9からの出力パルスをプリント基板送り装置に入力する
ことで行う。即ち、プリント基板は回転円盤120回転
角度に同期してプリント基板送り装置により正確に移動
されるため、プリント基板上の走査位置を正確に決定す
ることができる。
尚、実施例では実装済プリント基板上の高さと輝度の両
方を検出するよう構成しているが、検査精度が低くても
良いという場合には、その一方のみを検査するような構
成にして良いものである。
発明の効果 以上のように本発明によれば、ビームスポットを実装済
プリント基板にほぼ垂直に照射し、その光軸のまわりに
複数の受光光学系を配置し、それら投受光光学系が一体
になって実装済プリント基板上を計測しながら走査して
ゆくことにより、従来の検査機では困難であったハンダ
面の検査が良好に行える。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の実装済プリント基板の検査装置の一実
施例におけるプリント基板送り装置の斜視図、第2図は
ビームスボット投光用光学系と受光用光学系群が一体と
なった一単位の検査装置の斜視図、第3図は同実施例の
要部を示す斜視図、第4図は同検査装置の電気回路のブ
ロック図、第5図は従来のプリント基板検査装置の斜視
図である。 1・・・・・・ビームスポ、ト投光用光学系、2.4゜
6.8・・・・・・光電変換素子、3.6.7.9・・
・・・・レンズ、10・・・・・・プリント基板、11
・・・・・・ビームスポット、12・・・・・・回転円
盤、13.14,15゜16・・・・・・単位検査装置
、19・・・・・・回転角度検出装置、20・・・・・
・第1のパルス発生器、21・・・・・・プリント基板
載置台、22・・・・・・送りネジ、23・・・・・・
第2のパルス発生器、24・・・・・・カウンター、2
6・・・・・・駆動パルス発生装置、26・・・・・・
切換回路、27゜28.29・・・・・・検出器、3o
・・・・・・パルスモータ−131,32,33,34
・・・・・・高さ及び輝度情報検出回路、36・・・・
−・高さ情報選択回路、38・・・・・・輝度情報選択
回路、37・・・・・・RAM、38・・・・・・CP
U。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名13
ffl 31−  検$回ル 第5図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 駆動パルスの印加に応じて予め定められた距離だけ順次
    検査すべきプリント基板を駆動する送り手段と、前記プ
    リント基板の表面に直角方向よりビームスポットを照射
    し、その反射光により高さに応じた検出情報を得る検査
    手段と、その検出手段が載置されており、回転に伴って
    前記ビームスポットが前記プリント基板面を走査する回
    転体と、前記プリント基板を予め定められた第1の位置
    まで予め定められた速度で移動せしめるよう前記送り手
    段に駆動パルスを印加する手段と、前記回転体の回転角
    度に応じた回転角度検出出力を得る手段と、前記プリン
    ト基板が前記第1の位置より第2の位置まで移動する間
    、前記回転角度検出出力に同期した駆動パルスを前記送
    り手段に印加する手段と、前記第2の位置より第3の位
    置まで予め定められた速度で移動せしめるよう前記送り
    手段に駆動パルスを印加する手段とを備えた実装済プリ
    ント基板の検査装置。
JP63153959A 1988-06-22 1988-06-22 実装済プリント基板の検査装置 Pending JPH01320417A (ja)

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JP63153959A JPH01320417A (ja) 1988-06-22 1988-06-22 実装済プリント基板の検査装置
KR8908562A KR930003300B1 (en) 1988-06-22 1989-06-21 Apparatus for the inspection of printed circuit boards on which components have been mounted
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009259984A (ja) * 2008-04-15 2009-11-05 Hitachi High-Tech Instruments Co Ltd 電子部品装着装置及び電子部品装着方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5667815A (en) * 1979-11-07 1981-06-08 Toshiba Corp Optical scanner
JPS62235511A (ja) * 1986-03-11 1987-10-15 Kobe Steel Ltd 表面状態検査装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5667815A (en) * 1979-11-07 1981-06-08 Toshiba Corp Optical scanner
JPS62235511A (ja) * 1986-03-11 1987-10-15 Kobe Steel Ltd 表面状態検査装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009259984A (ja) * 2008-04-15 2009-11-05 Hitachi High-Tech Instruments Co Ltd 電子部品装着装置及び電子部品装着方法

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