JPH01318501A - Magnetic levitation carrier - Google Patents

Magnetic levitation carrier

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JPH01318501A
JPH01318501A JP14675188A JP14675188A JPH01318501A JP H01318501 A JPH01318501 A JP H01318501A JP 14675188 A JP14675188 A JP 14675188A JP 14675188 A JP14675188 A JP 14675188A JP H01318501 A JPH01318501 A JP H01318501A
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JP
Japan
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guide rail
conveyance
composite
electromagnet
magnetic
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JP14675188A
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Japanese (ja)
Inventor
Koji Inoue
井上 宏治
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
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  • Non-Mechanical Conveyors (AREA)
  • Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)

Abstract

PURPOSE:To reduce the curvature of a carrying path by fixing the complex magnet of a carriage rotatably along the longitudinal direction of a guide rail. CONSTITUTION:A guide rail 21 composed of ferromagnetic material is burried in the under face of the upper wall of a rail frame 20. A carrier 22 is provided with a complex magnet 24 and a base 25 therefore. The complex magnet 24 is fixed rotatably to the base 25 through a base 26 and a pin 27 with a predetermined gap being held with respect to the guide rail 21. The complex magnet 24 comprises three yokes 28 arranged along the longitudinal direction of the guide rail 21 and an electromagnet 30 wound with an electromagnet coil 29 of one of the three yokes 28. Since the complex magnet rotates when the carrier passes through the curved guide rail section, the curvature of the guide rail can be reduced.

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的] (産業上の利用分野) 本発明は、書類等の小荷物を搬送する磁気浮上式搬送装
置に係り、特に搬送車を加速減速するのに好適な磁気浮
上式搬送装置に関する。
[Detailed Description of the Invention] [Object of the Invention] (Industrial Application Field) The present invention relates to a magnetic levitation conveyance device for conveying small items such as documents, and is particularly suitable for accelerating and decelerating a conveyance vehicle. The present invention relates to a magnetic levitation transport device.

(従来の技術) 近年、オフィスオートメーションやファクトリ−オート
メーションの一環として、建屋内の複数の地点間におい
て伝票、書類、現金、製品等を搬送装置を用いて移動さ
せることが広く行われている。
(Prior Art) In recent years, as part of office automation and factory automation, it has become common practice to move slips, documents, cash, products, etc. between multiple locations within a building using a conveyor device.

このような用途に用いられる搬送装置は、搬送物を速や
かに、かつ静かに移動させ得るものであること、また、
半導体工場においては無発塵などが要求される。このた
め、この種の搬送装置においては、ガイドレール上で搬
送車を非接触で支持することが行われている。中でも、
搬送車を磁気的に非接触支持する方式は、ガイドレール
に対する追従性や騒音1発塵防止効果に優れている。
The conveyance device used for such purposes must be capable of moving the conveyed object quickly and quietly, and
Semiconductor factories are required to be dust-free. For this reason, in this type of transport device, the transport vehicle is supported on the guide rail in a non-contact manner. Among them,
The method of magnetically supporting the transport vehicle in a non-contact manner is excellent in following the guide rails and in preventing noise and dust generation.

しかし、搬送車を磁気力によって支持する場合、この磁
気力を全て電磁石によって賄おうとすると、電磁石を常
時付勢しなければならず、消費電流が大きくならざるを
得い。
However, in the case where the transport vehicle is supported by magnetic force, if all of this magnetic force is to be provided by an electromagnet, the electromagnet must be constantly energized, which inevitably increases current consumption.

そこで、本出願人は、先に複合電磁石に要求される起磁
力の大部分を永久磁石によって与え、消費電力の低減か
を図った、いわゆるゼロパワーフッイードバック制御方
式を提案した。
Therefore, the present applicant previously proposed a so-called zero power feedback control method in which a permanent magnet provides most of the magnetomotive force required for a composite electromagnet, thereby reducing power consumption.

この制御方式は、搬送車の重量が変動しても常に永久磁
石による磁気力と搬送車の重量が平衡するように両者間
のギャップを制御しようとするものであり、これにより
、複合電磁石に殆ど電流を流すことなく磁気浮上させる
ことができ、搬送車に搭載する電池容量を小型化するこ
とができる。
This control method attempts to control the gap between the magnetic force of the permanent magnet and the weight of the transport vehicle so that the weight of the transport vehicle is always balanced even if the weight of the transport vehicle changes. It is possible to perform magnetic levitation without passing any current, and the battery capacity mounted on the transport vehicle can be reduced in size.

第5図はその具体的構成を示す。即ち、同図において搬
送路は、断面が逆目字状をなす軌道枠1と、軌道枠1の
上部壁下面の離れた位置に埋設され強磁性体よりなる2
本のガイドレール2と、軌道枠1の側壁内面にそれぞれ
断面が口字状をなし互いの開放側を対向して取付けられ
た非常用ガイドレール3と、軌道枠1の2本のガイドレ
ール2の中間に配置され、かつ長手方向に所定の距離を
隔てて取付けられたリニアインダクシヨンモータの固定
子4とから構成されている。また、この搬送路に沿って
走行移動自在とした搬送車5には、搬送車枠6の上部に
上記したガイドレール2のそれぞれに所定のギャップを
持って配置された複合電磁石(磁気支持ユニット)7と
、これら複合電磁石7を固定すると共にガイドレール2
の下面と対向するように配置された平板状の基台8を取
付けている。しかして、複合電磁石7は、第6図および
第7図に示すように上記ガイドレール2に所定のギャッ
プを持ち両側に配置した継鉄9およびこれら継鉄9にそ
れぞれ巻付けた電磁石コイル10とからなる2組の電磁
石11と、2個の継鉄9の間に配置された永久磁石12
とから構成され、全体として1字状をなし、2個の電磁
石コイル10を直列に接続することによって、2組の電
磁石11が形成する磁束が互いに加算されるようになっ
ている。
FIG. 5 shows its specific configuration. That is, in the same figure, the conveyance path consists of a track frame 1 whose cross section is in the shape of an inverted cross-section, and a track frame 1 made of a ferromagnetic material buried in a separate position on the lower surface of the upper wall of the track frame 1.
A book guide rail 2, an emergency guide rail 3 each having a cross-section shaped like an opening and attached to the inner surface of the side wall of the track frame 1 with their open sides facing each other, and two guide rails 2 of the track frame 1. and a stator 4 of a linear induction motor, which is disposed in the middle of the motor and is mounted at a predetermined distance in the longitudinal direction. In addition, the conveyance vehicle 5, which is freely movable along this conveyance path, has composite electromagnets (magnetic support units) 7 disposed on the upper part of the conveyance vehicle frame 6 with a predetermined gap between each of the guide rails 2 described above. , these composite electromagnets 7 are fixed, and the guide rail 2 is
A flat base 8 is attached, which is placed so as to face the lower surface of the base. As shown in FIGS. 6 and 7, the composite electromagnet 7 consists of yokes 9 placed on both sides of the guide rail 2 with a predetermined gap, and electromagnetic coils 10 wound around the yokes 9, respectively. two sets of electromagnets 11 and a permanent magnet 12 arranged between two yokes 9.
The magnetic flux formed by the two sets of electromagnets 11 is added to each other by connecting the two electromagnetic coils 10 in series.

なお、複合電磁石7には、同複合電磁石7とガイ・トレ
ール2の下面との空隙長を検出する光学ギャップセンサ
13が取付けられている。
Note that an optical gap sensor 13 is attached to the composite electromagnet 7 to detect the gap length between the composite electromagnet 7 and the lower surface of the guy/trail 2.

また、搬送車5の駆動は、1次側となる固定子4を搬送
路側に適宜の距離を置いて離散的に配置する一方、2次
側導体となるリアクションプレートを搬送車側に配置し
たリニアインダクシヨンモータ駆動方式によっている(
特開昭61−102105号公報参照)。
In addition, the transport vehicle 5 is driven by a linear system in which the stator 4 serving as the primary side is arranged discretely at an appropriate distance on the transport path side, and the reaction plate serving as the secondary side conductor is arranged on the transport vehicle side. It uses an induction motor drive system (
(See Japanese Patent Application Laid-open No. 102105/1983).

(発明が解決しようとする課題) しかしながら、上記従来方式によると、搬送路に取付け
ているガイドレール(磁性体)2に対し、複合電磁石7
が直角に取付けられているために、搬送路、搬送車の外
形が大きくなる。
(Problem to be Solved by the Invention) However, according to the above conventional method, the composite electromagnet 7
Because they are installed at right angles, the outer dimensions of the transport path and transport vehicle become larger.

このことは、例えば半導体製造工場のクリーンルーム内
における空気の層流を乱し、これが半導体製品の品質な
どに影響を与えることになる。ざらに、複合電磁石7が
固定されているため、搬送路のカーブセクションを走行
する場合、その半径を大きくしなければならないなど問
題となっていた。
This disturbs the laminar flow of air in the clean room of a semiconductor manufacturing factory, for example, and this affects the quality of semiconductor products. Furthermore, since the composite electromagnet 7 is fixed, there is a problem in that when traveling along a curved section of the conveyance path, the radius must be increased.

そこで、本発明の目的は、搬送車、lfl送路の外形を
小さくすることにより、据付スペースを少なくし、シス
テムとしてのコストも低減する磁気浮上式搬送装置を提
供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide a magnetic levitation type transport device that reduces the installation space and the cost of the system by reducing the outer dimensions of the transport vehicle and the lfl transport path.

[発明の構成] (課題を解決するための手段) 本発明は、強磁性体のガイドレールが敷設された搬送路
と、この搬送路に長手方向に沿い所定間隔を置いて配設
された1次側固定子と、この固定子と組合わされてリニ
アインダクシヨンモータを形成する2次側導体と、ガイ
ドレールとの間で磁力作用を生じる複合電磁石と、この
複合電磁石に流す電流を調部する制WJ装置と、2次側
導体、複合電磁石及び制御装置を搭載し、前記磁力作用
により浮上しかつリニアインダクシヨンモータの形成に
より搬送路に沿って走行移動する搬送車とを備えた磁気
浮上式搬送装置において、複合電磁石を、搬送車にガイ
ドレールの長手方向に沿って配置し、かつ回動自在に取
付けると共に、磁束がはぼ2等分されるような継鉄構造
として中間に介挿した永久磁石の磁束と加算するように
構成したことを特徴とするものである。
[Structure of the Invention] (Means for Solving the Problems) The present invention provides a conveyance path on which ferromagnetic guide rails are laid, and rails arranged along the conveyance path at predetermined intervals along the longitudinal direction. A composite electromagnet that generates a magnetic force between a secondary stator, a secondary conductor that is combined with this stator to form a linear induction motor, and a guide rail, and adjusts the current flowing through this composite electromagnet. A magnetic levitation type vehicle equipped with a control WJ device, a secondary conductor, a composite electromagnet, and a control device, levitated by the magnetic force, and travels along a conveyance path by forming a linear induction motor. In the conveyance device, a composite electromagnet is placed along the length of the guide rail on the conveyance vehicle, is rotatably attached, and is inserted in the middle as a yoke structure that divides the magnetic flux into two equal parts. It is characterized in that it is configured to be added to the magnetic flux of the permanent magnet.

(作 用) 複合電磁石がガイドレールの長手方向に沿って配置され
かつ回動自在に取付けられているから、搬送路の曲線部
を走行移動する際にこの曲線部に応じて回動する。従っ
て、搬送路の曲率半径を小さくすることができ、この設
置スペースを低減することができる。
(Function) Since the composite electromagnet is arranged along the longitudinal direction of the guide rail and is rotatably attached, it rotates according to the curved portion of the conveyance path when traveling along the curved portion. Therefore, the radius of curvature of the conveyance path can be reduced, and the installation space can be reduced.

(実施例) 以下、本発明の一実施例を図面を参照して説明する。第
1図は本発明の一実施例を示す断面図、第2図は本発明
の一実施例の複合電磁石を示す断面図、第3図は第2図
のA−A線に沿った平面図を示す。
(Example) Hereinafter, an example of the present invention will be described with reference to the drawings. Fig. 1 is a sectional view showing an embodiment of the present invention, Fig. 2 is a sectional view showing a composite electromagnet of an embodiment of the invention, and Fig. 3 is a plan view taken along line A-A in Fig. 2. shows.

第1図において、搬送路は、全体構造は上記した従来の
軌道枠1と同じであるが幅を小さくした軌道枠20と、
強磁性体よりなり軌道枠20の上部壁下面に埋設され、
かつ上記した従来のガイドレール2より幅を小ざくした
2本のガイドレール21と、軌道枠20の側壁内面に取
付けられた非常用ガイドレール3と、軌道枠20に取付
けられた固定子4とから構成されている。また、この搬
送路に沿って走行自在とした搬送車22には、搬送車枠
23の上部に上記したガイドレール21のそれぞれに所
定のギャップを持って配置された2組の複合電磁石24
と、これら複合電磁石24を固定すると共にガイドレー
ル21の下面と対向するように配置された平板状の基台
25を取付けている。しかして、複合電磁石24は、第
2図及び第3図に示すように上記したガイドレール21
に対し所定のギャップを持ち、基台25に対してはベー
ス26及びピン27を介して回動自在に取付けられてお
り、かつ上記したガイドレール21の長手方向に沿って
中央と両側に配列された3個の継鉄28及びこれら3個
の継鉄28のうち少なくとも1個に巻き付けた電磁石コ
イル29とからなる電磁石30と、3個の継鉄28の中
間にそれぞれ配置された2個の永久磁石31とから構成
され、電磁石コイル29を付勢することによって形成さ
れる磁束がほぼ2等分され、それぞれの永久磁石31の
磁束と加算され、ガイドレール21との間にほぼ等しい
2個の独立した磁束の閉ループを形成するようになって
いる。なお、この複合電磁石24には、2個の光学ギャ
ップセンサ13が、この継鉄28の間に取付けられてい
る。
In FIG. 1, the conveyance path includes a track frame 20 whose overall structure is the same as the conventional track frame 1 described above, but with a smaller width;
It is made of ferromagnetic material and is buried in the lower surface of the upper wall of the track frame 20,
and two guide rails 21 whose width is smaller than the conventional guide rail 2 described above, an emergency guide rail 3 attached to the inner surface of the side wall of the track frame 20, and a stator 4 attached to the track frame 20. It consists of In addition, the transport vehicle 22 that can freely travel along this transport path includes two sets of composite electromagnets 24 arranged on the upper part of the transport vehicle frame 23 with a predetermined gap between each of the guide rails 21 described above.
A flat base 25 is attached to fix these composite electromagnets 24 and to face the lower surface of the guide rail 21. As shown in FIGS. 2 and 3, the composite electromagnet 24 is connected to the guide rail 21 described above.
The guide rails 25 are rotatably attached to the base 25 via a base 26 and a pin 27, and arranged at the center and both sides along the longitudinal direction of the guide rail 21. An electromagnet 30 consisting of three yokes 28 and an electromagnetic coil 29 wound around at least one of these three yokes 28, and two permanent magnets arranged between the three yokes 28, respectively. The magnetic flux formed by energizing the electromagnetic coil 29 is divided into approximately two equal parts, added to the magnetic flux of each permanent magnet 31, and the magnetic flux is divided into two approximately equal parts between the guide rail 21 and the guide rail 21. They form a closed loop of independent magnetic flux. Note that two optical gap sensors 13 are attached to the composite electromagnet 24 between the yoke 28.

次に、以上のように構成された磁気浮上式搬送装置の作
用を説明する。まず、直線状の搬送路では、搬送車22
の各複合型[[Ei24は、ガイドレール21との間に
作用する磁気力が均等になるから回動しない。つまり、
平面で見た複合電磁石24とガイドレール21の中心軸
は平行し、搬送車22は直線状に走行移動をする。次に
、曲線状の搬送路では、搬送車22の各複合型1i52
4は、本発明者の研究継鉄28の外側間寸法をガイドレ
ール21の幅より大きくすることにより、ガイドレール
21の曲線に応じて磁気力がバランスするように回動す
ることが分かった。つまり、各複合電磁石24は、搬送
車22に取付けられていても、ガイドレール21の曲線
部を走行移動する場合にはその曲線部に応じてそれぞれ
が回動する。従って、ガイドレール21の曲率半径、つ
まり搬送路の曲率半径を小さくしても、搬送車22の走
行移動が可能となる。
Next, the operation of the magnetic levitation type conveyance device configured as above will be explained. First, on a straight conveyance path, the conveyance vehicle 22
Each composite type [[Ei24 does not rotate because the magnetic force acting between it and the guide rail 21 becomes equal. In other words,
The center axes of the composite electromagnet 24 and the guide rail 21 are parallel to each other when viewed from above, and the carrier 22 travels in a straight line. Next, on the curved conveyance path, each composite type 1i52 of the conveyance vehicle 22
In No. 4, the present inventor found that by making the dimension between the outer sides of the yoke 28 larger than the width of the guide rail 21, the yoke 28 rotates so that the magnetic force is balanced according to the curve of the guide rail 21. That is, even if each composite electromagnet 24 is attached to the carrier 22, when traveling along a curved portion of the guide rail 21, each composite electromagnet 24 rotates according to the curved portion. Therefore, even if the radius of curvature of the guide rail 21, that is, the radius of curvature of the transport path is made small, the transport vehicle 22 can travel.

また、搬送路は、通常別個に製作した単位搬送路を組合
わせて設置することが多いが、この場合には温度による
膨張や単位搬送路の寸法公差に基ずく調整代等のため、
隣接するものの間に適宜の隙間(第2図にGで示す)を
必要とする。ところが、複合電磁石24は、2個の独立
した磁束の閉ループを形成しているから、この隙間を通
過する際にも、何れかの閉ループは保持され、磁気力の
消滅による不具合をなくすことができる。
In addition, the conveyance path is usually installed by combining unit conveyance paths manufactured separately, but in this case, due to expansion due to temperature and adjustment allowance based on the dimensional tolerance of the unit conveyance path, etc.
Appropriate gaps (indicated by G in FIG. 2) are required between adjacent ones. However, since the composite electromagnet 24 forms two independent closed loops of magnetic flux, one of the closed loops is maintained even when passing through this gap, and problems caused by disappearance of magnetic force can be eliminated. .

[発明の効果] 以上説明したように本発明によれば、複合電磁石が搬送
車に回動できるように取付けられているから、搬送路の
曲線部の曲率半径を小ざくすることができ、これによっ
て搬送路の設置スペースを小ざくして設置空間全体の有
効活用を図り、かつコストも低減することができる。ま
た、複合電磁石が搬送路の長手方向に沿って取付けられ
ているから、搬送車の外形を従来より小ざくすることが
できる。
[Effects of the Invention] As explained above, according to the present invention, since the composite electromagnet is rotatably attached to the conveyance vehicle, the radius of curvature of the curved portion of the conveyance path can be made small. This makes it possible to reduce the installation space of the conveyance path, make effective use of the entire installation space, and reduce costs. Furthermore, since the composite electromagnet is attached along the longitudinal direction of the transport path, the outer shape of the transport vehicle can be made smaller than before.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の一実施例を示す断面図、第2図は本発
明の一実施例の複合電磁石を示す断面図、第3図は第2
図のA−A線に沿って矢印方向に見た平面図、第4図は
本発明の一実施例の作用を示す説明図、第5図は従来の
磁気浮上式搬送装置の断面図、第6図は従来の磁気浮上
式搬送装置の複合電磁石を示す平面図、第7図は第6図
のA−A線に沿った矢印方向に見た断面図でおる。 20・・・軌道枠、    ガイドレール22・・・搬
送車、24・・・複合電磁石27・・・ピン、28・・
・継鉄 29・・・電磁石コイル 31・・・永久磁石 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同  第子丸 健 第1図 第5図 第2図 第3図 第4図 第6図 第7図
FIG. 1 is a cross-sectional view showing an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a cross-sectional view showing a composite electromagnet according to an embodiment of the present invention, and FIG.
4 is an explanatory diagram showing the operation of an embodiment of the present invention; FIG. 5 is a sectional view of a conventional magnetic levitation conveyance device; 6 is a plan view showing a composite electromagnet of a conventional magnetic levitation type transfer device, and FIG. 7 is a sectional view taken along the line A--A in FIG. 6 in the direction of the arrow. 20... Track frame, guide rail 22... Transport vehicle, 24... Composite electromagnet 27... Pin, 28...
・Yoke 29...Electromagnetic coil 31...Permanent magnet agent Patent attorney Nori Chika Ken Yudo Daishimaru Ken Figure 1 Figure 5 Figure 2 Figure 3 Figure 4 Figure 6 Figure 7

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)強磁性体のガイドレールが敷設された搬送路と、
この搬送路に長手方向に沿い所定間隔を置いて配設され
た1次側固定子と、この固定子と組合わされてリニアイ
ンダクシヨンモータを形成する2次側導体と、前記ガイ
ドレールとの間で磁力作用を生じる複合電磁石と、この
複合磁石に流す電流を調節する制御装置と、前記2次側
導体、前記複合電磁石および前記制御装置を搭載し、前
記磁力作用により浮上しかつ前記リニアインダクシヨン
モータの形成により前記搬送路に沿つて走行移動する搬
送車とを備えた磁気浮上式搬送装置において、前記複合
電磁石を、前記搬送車に前記ガイドレールの長手方向に
沿つて配置されかつ回動自在に取付けると共に、磁束が
ほぼ2等分されるような継鉄構造として中間に介挿した
永久磁石の磁束と加算するように構成したことを特徴と
する磁気浮上式搬送装置。
(1) A conveyance path on which a ferromagnetic guide rail is installed,
A primary stator disposed along the conveyance path at a predetermined interval along the longitudinal direction, a secondary conductor that is combined with the stator to form a linear induction motor, and the guide rail. A composite electromagnet that generates a magnetic force, a control device that adjusts the current flowing through the composite magnet, the secondary conductor, the composite electromagnet, and the control device are mounted, and the magnetic field levitates due to the magnetic force and the linear induction In a magnetically levitated conveyance device comprising a conveyance vehicle that travels along the conveyance path by formation of a motor, the composite electromagnet is disposed on the conveyance vehicle along the longitudinal direction of the guide rail and is rotatable. What is claimed is: 1. A magnetic levitation type conveyance device, characterized in that the magnetic levitation type conveyance device is configured so that the magnetic flux is added to the magnetic flux of a permanent magnet inserted in the middle as a yoke structure that divides the magnetic flux into approximately two equal parts.
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