JPH01290784A - 工作工具用耐摩耗性複合部材 - Google Patents
工作工具用耐摩耗性複合部材Info
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- JPH01290784A JPH01290784A JP12001188A JP12001188A JPH01290784A JP H01290784 A JPH01290784 A JP H01290784A JP 12001188 A JP12001188 A JP 12001188A JP 12001188 A JP12001188 A JP 12001188A JP H01290784 A JPH01290784 A JP H01290784A
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Landscapes
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- Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
- Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、フライス加工、切削加工、穿孔加工等の機械
加工に使用される工作工具等の耐摩耗性複合部材に関し
、殊に耐熱性を確保するとともに耐摩耗性に優れた耐摩
耗性複合部材に関するものである。
加工に使用される工作工具等の耐摩耗性複合部材に関し
、殊に耐熱性を確保するとともに耐摩耗性に優れた耐摩
耗性複合部材に関するものである。
［従来の技術］
高速度工具鋼や超硬合金からなる各種工作工具において
は、基材の備えている耐摩耗性を更に高める目的でその
表面にＴｉ等の窒化物や炭化物よりなる耐摩耗性膜被覆
を形成することが行なわれている。この様な耐摩耗性皮
膜の被覆方法には、化学的蒸着法（ＣＶＤ法）及び物理
的蒸着法（ＰＶＤ法）があるが、このうちＣＶＤ法では
、四塩化チタンガス等の熱分解を利用するので膜形成温
度を９００〜１１００℃の高温条件とする必要がある。
は、基材の備えている耐摩耗性を更に高める目的でその
表面にＴｉ等の窒化物や炭化物よりなる耐摩耗性膜被覆
を形成することが行なわれている。この様な耐摩耗性皮
膜の被覆方法には、化学的蒸着法（ＣＶＤ法）及び物理
的蒸着法（ＰＶＤ法）があるが、このうちＣＶＤ法では
、四塩化チタンガス等の熱分解を利用するので膜形成温
度を９００〜１１００℃の高温条件とする必要がある。
その結果ＣＶＤ法を採用した場合には、母材も同じく高
温に加熱され、母材特性の劣化を招いたりあるいは極め
て脆弱な脱炭層（例えばＷ、Ｃｏ、Ｃ等）の形成が避け
られず、フライス加工用工具等のコーティングに適用す
ることができない。又高速度工具鋼等からなる工具のコ
ーティングにＣＶＤ法を通用すると母材が軟質化して熱
変形を起こすといった不都合が生じ、殊に精密加工用工
具としては到底適用し得るものとは言えない。
温に加熱され、母材特性の劣化を招いたりあるいは極め
て脆弱な脱炭層（例えばＷ、Ｃｏ、Ｃ等）の形成が避け
られず、フライス加工用工具等のコーティングに適用す
ることができない。又高速度工具鋼等からなる工具のコ
ーティングにＣＶＤ法を通用すると母材が軟質化して熱
変形を起こすといった不都合が生じ、殊に精密加工用工
具としては到底適用し得るものとは言えない。
そこで上記欠点を露呈しない様な比較的低温条件でコー
ティング処理することのできる高周波放電プラズマＣＶ
Ｄ法１反応性イオンブレーティング法（ＥＢ加熱方式、
ＨＣＤ加熱方式、アーク放電方式等がある）、スパッタ
リング法等が採用されるようになってきた。中でもイオ
ンブレーティング法によるＴｉＮ膜やＴｉＣ膜の形成が
汎用されており、例えば高温耐酸化性（耐熱性）の優れ
たＴｉＮ膜が広く実用化されている。即ちＴｔＮはＴｉ
Ｃより耐熱性に優れている為、切削時の加工熱や摩擦熱
によって昇温し易いすくい面をクレータ摩耗から保護す
る機能を発揮する。しかしながらＴｉＮはＴｉＣに比べ
ると硬度が低い為被剛材と接する逃げ面に発生するフラ
ンク摩耗に対してはむしろ脆弱であり、フランク摩耗に
対してはＴｉＣの方が高い耐久性を示す。
ティング処理することのできる高周波放電プラズマＣＶ
Ｄ法１反応性イオンブレーティング法（ＥＢ加熱方式、
ＨＣＤ加熱方式、アーク放電方式等がある）、スパッタ
リング法等が採用されるようになってきた。中でもイオ
ンブレーティング法によるＴｉＮ膜やＴｉＣ膜の形成が
汎用されており、例えば高温耐酸化性（耐熱性）の優れ
たＴｉＮ膜が広く実用化されている。即ちＴｔＮはＴｉ
Ｃより耐熱性に優れている為、切削時の加工熱や摩擦熱
によって昇温し易いすくい面をクレータ摩耗から保護す
る機能を発揮する。しかしながらＴｉＮはＴｉＣに比べ
ると硬度が低い為被剛材と接する逃げ面に発生するフラ
ンク摩耗に対してはむしろ脆弱であり、フランク摩耗に
対してはＴｉＣの方が高い耐久性を示す。
一方、ＴｉＮは上記欠点にもかかわらず、基材に対する
密着性が優れており、且つ基材の種類の如何にかかわら
ず被覆膜を形成し易いという特長があるので、これらの
点が評価されて、各種工作工具としては、イオンブレー
ティング法によりＴｉＮ膜を基材表面に被覆したものが
多く使用されている。
密着性が優れており、且つ基材の種類の如何にかかわら
ず被覆膜を形成し易いという特長があるので、これらの
点が評価されて、各種工作工具としては、イオンブレー
ティング法によりＴｉＮ膜を基材表面に被覆したものが
多く使用されている。
［発明が解決しようとする課題］
本発明はこうした事情に着目してなされたものであって
、基本的にはＴｉＮ膜の優れた耐熱性を生かしつつ、そ
の課題であるフランク摩耗に対する耐久性を高めること
より、耐摩耗性に優れた、工作工具等の耐摩耗性複合部
材を提供しようとするものである。
、基本的にはＴｉＮ膜の優れた耐熱性を生かしつつ、そ
の課題であるフランク摩耗に対する耐久性を高めること
より、耐摩耗性に優れた、工作工具等の耐摩耗性複合部
材を提供しようとするものである。
［課題を解決するための手段］
しかして本発明の耐摩耗性複合部材は、体積比で
Ｔｉ２Ｎ又はＴｉ２ （ＣＮ）：１０〜８０％α−Ｔｉ
：５％以下ＴｉＮ又はＴｉ （Ｃ
Ｎ） ：残部からなる皮膜を基材の表面に被覆し
てなる点に要旨を有するものである。
：５％以下ＴｉＮ又はＴｉ （Ｃ
Ｎ） ：残部からなる皮膜を基材の表面に被覆し
てなる点に要旨を有するものである。
［作用］
本発明者等の研究によると、ＴｉＮはＮ ／ Ｔ ｉの
原子比が１．０〜０．７程度の広い組成範囲において８
１型結晶構造を有しており、Ｔｉに対するＮの固溶幅の
広い物質であるが、組成比によって機械的性質や化学的
性質がかなり変動する。そこで本発明者等は、Ｔｉ−Ｎ
系における結晶相組成と機械的性質等との関係を克明に
調べた結果、主としてＴｉ、ＮとＴｉＮの複合相からな
る耐摩耗性皮膜を被覆した部材は、従来のＴｉ−Ｎ１１
ｉ被覆部材に比べてフランク摩耗に対する耐久性に優れ
ていることを見出し、さらに検討を重ねた結果、前記構
成に示される本発明部材を完成するに至った。
原子比が１．０〜０．７程度の広い組成範囲において８
１型結晶構造を有しており、Ｔｉに対するＮの固溶幅の
広い物質であるが、組成比によって機械的性質や化学的
性質がかなり変動する。そこで本発明者等は、Ｔｉ−Ｎ
系における結晶相組成と機械的性質等との関係を克明に
調べた結果、主としてＴｉ、ＮとＴｉＮの複合相からな
る耐摩耗性皮膜を被覆した部材は、従来のＴｉ−Ｎ１１
ｉ被覆部材に比べてフランク摩耗に対する耐久性に優れ
ていることを見出し、さらに検討を重ねた結果、前記構
成に示される本発明部材を完成するに至った。
ちなみに前記した様にＴｉＮ膜とＴｉＣ膜を比較すると
、フランク摩耗に対しては硬度の高いＴ ｉ Ｃ１１ｉ
の方が高い耐久性を示す。モしてＴｉ−Ｎ膜においても
、硬度の改善と耐フランク摩耗性の改善に相関性があり
、Ｔｉｚ ＮとＴｉＮを主とする耐摩耗性皮膜が耐フラ
ンク摩耗性に優れているのもその硬度が高いからである
と言うことができる。尚Ｔ ｉ −Ｎ膜の組成を制御す
るに際しては、後記実施例にも示す様に例えば成膜雰囲
気のＮ２圧力を調整すればよいが、他の手段で組成制御
を行なうことも許される。又耐フランク摩耗性と硬度の
相関性を考えると、上記組成制御に加えて他の方法を併
用することによって硬度を高めることができれば耐フラ
ンク摩耗性の一層の改善につながる訳であり、その意味
から本発明においてはＴｉ−Ｎ膜をＴ １−ＣＮ膜（炭
窒化＠）に置き換えた構成をも併せて採用することとし
た。
、フランク摩耗に対しては硬度の高いＴ ｉ Ｃ１１ｉ
の方が高い耐久性を示す。モしてＴｉ−Ｎ膜においても
、硬度の改善と耐フランク摩耗性の改善に相関性があり
、Ｔｉｚ ＮとＴｉＮを主とする耐摩耗性皮膜が耐フラ
ンク摩耗性に優れているのもその硬度が高いからである
と言うことができる。尚Ｔ ｉ −Ｎ膜の組成を制御す
るに際しては、後記実施例にも示す様に例えば成膜雰囲
気のＮ２圧力を調整すればよいが、他の手段で組成制御
を行なうことも許される。又耐フランク摩耗性と硬度の
相関性を考えると、上記組成制御に加えて他の方法を併
用することによって硬度を高めることができれば耐フラ
ンク摩耗性の一層の改善につながる訳であり、その意味
から本発明においてはＴｉ−Ｎ膜をＴ １−ＣＮ膜（炭
窒化＠）に置き換えた構成をも併せて採用することとし
た。
第１，２図は、本発明を完成するに至った実験の結果を
示すグラフであり、Ｎ２雰囲気下でＴｉを一定速度で蒸
発させながらＮ２分圧を変化させて基板上に膜形成を行
なった場合のＮ２分圧と膜中の結晶構成の関係を示すの
が第１図であり、Ｎ２分圧と当該膜の硬度との関係を示
すのが第２図である。第１図に示す様にＮ２分圧の増加
と共に結晶形態はα−ＴｉからＴｉ２ ＮさらにＴｉＮ
へと変化することが分かる。そして第１図と第２図の対
比から、本発明部材の被覆膜中に占めるＴｊｚＮｌｆｆ
［が１０％未満では膜硬度はＴｉＮとはぼ同等であって
、耐フランク摩耗性の向上もみられないが、Ｔｉ２Ｎ量
の増加と共に膜硬度が上昇して耐フランク摩耗性の改善
が著しくなることが分かる。一方耐熱性（耐高温酸化性
）の観点からすると、ＴｉＮは大気中において６００℃
で分解し始めてＴｉ酸化物となり、さらに高温でＴｉ１
ｔ（ルチル）となる。そしてＴｉ２Ｎの場合には分解温
度はさらに低下する。即ち膜中のＴｉ２ Ｎ量が８０％
を超えると熱分解温度が４００℃を下回ることになり、
フライス工具等として使用したときの使用温度に近づく
ことになるので耐熱性に問題が生じる。これらの理由か
らＴｉ−Ｎ膜におけるＴｉ２Ｎ量は１０〜８０％とする
必要がある。
示すグラフであり、Ｎ２雰囲気下でＴｉを一定速度で蒸
発させながらＮ２分圧を変化させて基板上に膜形成を行
なった場合のＮ２分圧と膜中の結晶構成の関係を示すの
が第１図であり、Ｎ２分圧と当該膜の硬度との関係を示
すのが第２図である。第１図に示す様にＮ２分圧の増加
と共に結晶形態はα−ＴｉからＴｉ２ ＮさらにＴｉＮ
へと変化することが分かる。そして第１図と第２図の対
比から、本発明部材の被覆膜中に占めるＴｊｚＮｌｆｆ
［が１０％未満では膜硬度はＴｉＮとはぼ同等であって
、耐フランク摩耗性の向上もみられないが、Ｔｉ２Ｎ量
の増加と共に膜硬度が上昇して耐フランク摩耗性の改善
が著しくなることが分かる。一方耐熱性（耐高温酸化性
）の観点からすると、ＴｉＮは大気中において６００℃
で分解し始めてＴｉ酸化物となり、さらに高温でＴｉ１
ｔ（ルチル）となる。そしてＴｉ２Ｎの場合には分解温
度はさらに低下する。即ち膜中のＴｉ２ Ｎ量が８０％
を超えると熱分解温度が４００℃を下回ることになり、
フライス工具等として使用したときの使用温度に近づく
ことになるので耐熱性に問題が生じる。これらの理由か
らＴｉ−Ｎ膜におけるＴｉ２Ｎ量は１０〜８０％とする
必要がある。
他方第１図から理解される様にＴｉ２Ｎを生成させる為
の条件はＮ７分圧の低い雰囲気即ちＴｉ過剰な領域であ
る為、α−Ｔｉ相が同時に生成する。即ちＮ２分圧を低
くしてＴｉ２Ｎを増加させていくと、ＴｉＮは減少しα
−Ｔｉが増加する。
の条件はＮ７分圧の低い雰囲気即ちＴｉ過剰な領域であ
る為、α−Ｔｉ相が同時に生成する。即ちＮ２分圧を低
くしてＴｉ２Ｎを増加させていくと、ＴｉＮは減少しα
−Ｔｉが増加する。
そしてＴｉ２Ｎ、ＴｉＮ及びＴｉの混合領域において、
α−Ｔｉ生成量が５％を超えるとＴｉ２Ｎが存在しても
膜全体では軟質化し硬度が低下する。その結果所望の耐
フランク摩耗性を得ることができなくなるのでα−Ｔｉ
量は５％以下に制限する必要がある。
α−Ｔｉ生成量が５％を超えるとＴｉ２Ｎが存在しても
膜全体では軟質化し硬度が低下する。その結果所望の耐
フランク摩耗性を得ることができなくなるのでα−Ｔｉ
量は５％以下に制限する必要がある。
本発明部材は上記構成からなる保護膜を基材表面に形成
してなるものであり、要は耐摩耗性に関してはＴｉ２Ｎ
に負担させ、一方耐熱性（耐高温酸化性）に関してはＴ
ｉＮで確保するもので、換言すればＴｉＮ中にＴｉ２Ｎ
を分散させると共にα−Ｔｉの生成を抑えた複合体高耐
摩耗性膜を基材表面に被覆してなる耐摩耗性膜被覆部材
である。さらに上記ではＴｉ−Ｎ膜における各成分組成
を定めたのであるが、前述した様にＴｉＣの高硬度性（
常温硬度Ｈｖ ３１００ｋｇ／ｍｍ’以上）を付加する
ことにより耐フランク摩耗性を更に高めたＴ １−ＣＮ
膜においても上記成分組成及びその限定理由はそのまま
当てはまる訳であり、この場合にはＴｉ２ＮをＴ ｉ
２ （ＣＮ）に置換え、且つＴｉＮをＴｉ （ＣＮ）に
置換えて考えればよい。
してなるものであり、要は耐摩耗性に関してはＴｉ２Ｎ
に負担させ、一方耐熱性（耐高温酸化性）に関してはＴ
ｉＮで確保するもので、換言すればＴｉＮ中にＴｉ２Ｎ
を分散させると共にα−Ｔｉの生成を抑えた複合体高耐
摩耗性膜を基材表面に被覆してなる耐摩耗性膜被覆部材
である。さらに上記ではＴｉ−Ｎ膜における各成分組成
を定めたのであるが、前述した様にＴｉＣの高硬度性（
常温硬度Ｈｖ ３１００ｋｇ／ｍｍ’以上）を付加する
ことにより耐フランク摩耗性を更に高めたＴ １−ＣＮ
膜においても上記成分組成及びその限定理由はそのまま
当てはまる訳であり、この場合にはＴｉ２ＮをＴ ｉ
２ （ＣＮ）に置換え、且つＴｉＮをＴｉ （ＣＮ）に
置換えて考えればよい。
本発明に係る耐摩耗性複合部材において、Ｔｉ−Ｎ又は
Ｔ ｉ −ＣＮ被覆膜の膜厚については特に制限を設け
るものではないが、好ましくは膜厚を０．５〜１０μｍ
とすることが推奨される。この理由は、当該膜厚が薄す
ぎる場合には被覆効果が十分に得られないからであり、
一方当該膜厚が厚すぎると膜強度自体が劣化して耐摩耗
性が却って低下するからである。
Ｔ ｉ −ＣＮ被覆膜の膜厚については特に制限を設け
るものではないが、好ましくは膜厚を０．５〜１０μｍ
とすることが推奨される。この理由は、当該膜厚が薄す
ぎる場合には被覆効果が十分に得られないからであり、
一方当該膜厚が厚すぎると膜強度自体が劣化して耐摩耗
性が却って低下するからである。
又本発明においては上記Ｔｉ−Ｎ膜又はＴｉ−ＣＮ＠被
覆層の外層にさらにＴｉＮ若しくはＴ１ＣＮの単体膜を
好ましくは０．５〜８μｍの厚さで被覆することにより
耐高温酸化性を更に高めることができる。かかる複層膜
被覆部材において、外層膜の厚さが薄すぎる場合には耐
高温酸化性向上効果が十分に得られず、一方性層膜の厚
さが厚すぎると膜厚が厚すぎる場合の常として膜強度が
劣化し、摩耗し易くなる。
覆層の外層にさらにＴｉＮ若しくはＴ１ＣＮの単体膜を
好ましくは０．５〜８μｍの厚さで被覆することにより
耐高温酸化性を更に高めることができる。かかる複層膜
被覆部材において、外層膜の厚さが薄すぎる場合には耐
高温酸化性向上効果が十分に得られず、一方性層膜の厚
さが厚すぎると膜厚が厚すぎる場合の常として膜強度が
劣化し、摩耗し易くなる。
［実施例］
実験Ｉ
Ａ１合金（Ｔ６処理材）からなる基体部材をイオンブレ
ーティング装置に装入して、１５０℃に予備加熱した後
、蒸発源よりＴｉを蒸発させると共にＮ、を導入して５
Ｘ １０−Ｓ〜４ Ｘ １０−’Ｔｏｒｒの７囲気と
し、且つ基材部材に一５０Ｖの電圧を印加して成膜を行
なった。尚炭窒化膜を形成する場合にはＮ２の代わりに
Ｎ ２ ／ ＣＨ４混合ガスを導入し、Ｎ２の分圧を上
記範囲に制御した。
ーティング装置に装入して、１５０℃に予備加熱した後
、蒸発源よりＴｉを蒸発させると共にＮ、を導入して５
Ｘ １０−Ｓ〜４ Ｘ １０−’Ｔｏｒｒの７囲気と
し、且つ基材部材に一５０Ｖの電圧を印加して成膜を行
なった。尚炭窒化膜を形成する場合にはＮ２の代わりに
Ｎ ２ ／ ＣＨ４混合ガスを導入し、Ｎ２の分圧を上
記範囲に制御した。
上記で得られた被覆部材の表面にさらに外層膜を形成す
る場合には、Ｎ２導入圧を７Ｘ１０−３Ｔｏｒｒに設定
してＴｉＮ１ｌｉを被覆した。このようにして得た被覆
部材の膜組成をＸ線回折法により確認した。
る場合には、Ｎ２導入圧を７Ｘ１０−３Ｔｏｒｒに設定
してＴｉＮ１ｌｉを被覆した。このようにして得た被覆
部材の膜組成をＸ線回折法により確認した。
上記方法により第１表に示す被覆膜組成の本発明材１〜
４を製作した。又比較例として同一の基体部材に、Ｎ２
導入圧７ Ｘ １０−３Ｔｏｒｒの条件でＴｉＮ膜のみ
を被覆した従来材を製作した。
４を製作した。又比較例として同一の基体部材に、Ｎ２
導入圧７ Ｘ １０−３Ｔｏｒｒの条件でＴｉＮ膜のみ
を被覆した従来材を製作した。
これらの試料を大越式摩耗試験機に供し、ＦＣ２５ｗＩ
材を摩耗相手材として被覆膜の比摩耗量を測定したとこ
ろ第１表に示す結果が得られた。尚摩耗試験は荷重２．
２ｋｇｆ、摩擦速度３．５ｍ／秒の条件下で行なった。
材を摩耗相手材として被覆膜の比摩耗量を測定したとこ
ろ第１表に示す結果が得られた。尚摩耗試験は荷重２．
２ｋｇｆ、摩擦速度３．５ｍ／秒の条件下で行なった。
実験２
超合金製チップからなる基体部材をイオンブレーティン
グ装置に装入し、４００℃に予備加熱した後、Ｔｉを蒸
発させると共にＮ２導入圧を５ Ｘ １０−５〜４ ｘ
１０−’ Ｔｏｒｒに夫々変化させ、且つ基体部材に
一１００ｖの電圧を印加して成膜を行なった。尚炭窒化
膜の形成、ＴｉＮ外層膜の形成、膜組成の定量は実験１
と同様にして行なった。
グ装置に装入し、４００℃に予備加熱した後、Ｔｉを蒸
発させると共にＮ２導入圧を５ Ｘ １０−５〜４ ｘ
１０−’ Ｔｏｒｒに夫々変化させ、且つ基体部材に
一１００ｖの電圧を印加して成膜を行なった。尚炭窒化
膜の形成、ＴｉＮ外層膜の形成、膜組成の定量は実験１
と同様にして行なった。
上記方法により第２表に示す被覆膜組成の本発明材６〜
８を製作した。比較例として同一の基体部材に７ Ｘ
１０−３ＴｏｒｒのＮ２７囲気下でＴｉＮ膜のみを被覆
した従来材を製作した。得られた試作部材を下記条件の
切削試験に供したところ第２表に示す結果が得られた。
８を製作した。比較例として同一の基体部材に７ Ｘ
１０−３ＴｏｒｒのＮ２７囲気下でＴｉＮ膜のみを被覆
した従来材を製作した。得られた試作部材を下記条件の
切削試験に供したところ第２表に示す結果が得られた。
く切削条件〉
被削材：５５０Ｃ
切削速度： １７０ ＩＩｌ／ｍｉｎ
送り速度： ０．２ｍｕ／ｒｅｖ
切り込み： ０．１ｍｍ
切削時間：１５分
第１．２表に示す通り、本発明材は耐摩耗性に優れ、殊
に逃げ面に発生するフランク摩耗に対して優れた抵抗性
を示した。
に逃げ面に発生するフランク摩耗に対して優れた抵抗性
を示した。
［発明の効果〕
本発明は以上の様に構成されており、ＴｉＮ膜の特長で
ある優れた耐熱性を確保しつつ、耐摩耗性殊にフランク
摩耗に対する抵抗性の優れた耐摩耗性複合部材を提供す
ることができた。
ある優れた耐熱性を確保しつつ、耐摩耗性殊にフランク
摩耗に対する抵抗性の優れた耐摩耗性複合部材を提供す
ることができた。
第１図はＮ２圧力と膜組成の関係を示すグラフ、第２図
はＮ２圧力と膜のマイクロビッカース硬度の関係を示す
グラフである。
はＮ２圧力と膜のマイクロビッカース硬度の関係を示す
グラフである。
Claims (2)
- （１） 体積比で Ｔｉ＿２Ｎ又はＴｉ＿２（ＣＮ）：１０〜８０％α−Ｔ
ｉ：５％以下 ＴｉＮ又はＴｉ（ＣＮ）：残部 からなる皮膜を基材の表面に被覆してなることを特徴と
する耐摩耗性複合部材。 - （２） 請求項（１）の皮膜の外層にさらにＴｉＮ膜を
被覆してなることを特徴とする耐摩耗性複合部材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63120011A JP2633622B2 (ja) | 1988-05-16 | 1988-05-16 | 工作工具用耐摩耗性複合部材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63120011A JP2633622B2 (ja) | 1988-05-16 | 1988-05-16 | 工作工具用耐摩耗性複合部材 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01290784A true JPH01290784A (ja) | 1989-11-22 |
| JP2633622B2 JP2633622B2 (ja) | 1997-07-23 |
Family
ID=14775692
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63120011A Expired - Lifetime JP2633622B2 (ja) | 1988-05-16 | 1988-05-16 | 工作工具用耐摩耗性複合部材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2633622B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0466659A (ja) * | 1990-07-03 | 1992-03-03 | Osaka Prefecture | Ｔｉ２Ｎ被覆層を有する物体の製造方法 |
| JPH0592304A (ja) * | 1991-05-21 | 1993-04-16 | Nachi Fujikoshi Corp | 複層コーテイング工具 |
| CN103160793A (zh) * | 2011-12-16 | 2013-06-19 | 中国科学院兰州化学物理研究所 | 超厚TiN-TiCN多层复合薄膜材料的制备方法 |
| CN103668062A (zh) * | 2013-12-25 | 2014-03-26 | 大连远东工具有限公司 | 纳米多层复合膜及其制备方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58164115A (ja) * | 1982-03-08 | 1983-09-29 | ダブリユ−・エツチ・ブラデイ・カンパニ− | スイツチ |
| JPH01168857A (ja) * | 1987-12-23 | 1989-07-04 | Agency Of Ind Science & Technol | 窒化チタン膜の形成方法 |
-
1988
- 1988-05-16 JP JP63120011A patent/JP2633622B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58164115A (ja) * | 1982-03-08 | 1983-09-29 | ダブリユ−・エツチ・ブラデイ・カンパニ− | スイツチ |
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| CN103668062A (zh) * | 2013-12-25 | 2014-03-26 | 大连远东工具有限公司 | 纳米多层复合膜及其制备方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2633622B2 (ja) | 1997-07-23 |
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