JPH01241274A - Image pickup device for object - Google Patents

Image pickup device for object

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JPH01241274A
JPH01241274A JP63068395A JP6839588A JPH01241274A JP H01241274 A JPH01241274 A JP H01241274A JP 63068395 A JP63068395 A JP 63068395A JP 6839588 A JP6839588 A JP 6839588A JP H01241274 A JPH01241274 A JP H01241274A
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JP
Japan
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laser beam
pulse
light
component
filter
Prior art date
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Pending
Application number
JP63068395A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Masaaki Sato
正明 佐藤
Akira Ono
明 小野
Yuichi Kanai
裕一 金井
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP63068395A priority Critical patent/JPH01241274A/en
Publication of JPH01241274A publication Critical patent/JPH01241274A/en
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Abstract

PURPOSE:To obtain an object image accurately without being affected by an external disturbance light by passing only the band component including a pulse oscillating frequency among received light signal component obtained through the same wavelength component as that of a laser light among the reflected laser beam. CONSTITUTION:A reflected laser beam from an induction line L and its circumferential part is made incident in an interference filter 16 and the same wavelength component as the wavelength of the pulse laser light is transmitted. A condenser lens 17 and a photodetector 18 are installed on an output optical path of the filter 16 to output a photodetection signal in response to the light intensity of the component of the reflected laser beam transmitted through the filter 18. An amplifier circuit 19 is connected to the detector 18 to be acted like a BPF function for the same frequency component as the pulse oscillation frequency of the pulse laser output device 10. The output is inputted to an image forming means 21 via the A/D conversion circuit 20 and stored as the picture data. The means 21 has X, Y direction address counters 23, 24 to store a digital photodetection signal onto a picture memory 22 corresponding to the radiation position of the pulse laser beam.

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的] (産業上の利用分野) 本発明は、例えば誘導ラインを検出して走行する無人走
行車に適用されるもので走行時に誘導ライン位置を検出
するためにその像を得る被写体W11!IV&置に関す
る。
[Detailed Description of the Invention] [Object of the Invention] (Industrial Application Field) The present invention is applied to, for example, an unmanned vehicle that runs by detecting a guidance line and detects the position of the guidance line while driving. Subject W11 whose image is obtained! Regarding IV & placement.

(従来の技術) 無人走行車には各種走行方式があるが、このうち誘導ラ
インに従って走行する方式ではこの誘導ラインの位置が
検出される。第11図はかがる走行方式の無人走行車の
構成図であって、無人定行111にはテレビジョンカメ
ラ2が備えられ、このテレビジョンカメラ2の#il信
号がディジタル化されて画像処理袋M3の画像メモリに
送られるようになっている。そして、この画1g1処理
装置3は画像データから誘導ラインLの位置を認識し、
この位置と基準ライン位置Sとのずれ畿を求めて走行制
御@置4に送る。なお、画像メモリに記憶された画像デ
ータはモニタテレビジョン5に映し出される。しかして
、走行制御装置4は入力されたずれ母から操舵量を求め
て無人走行車1が誘導ラインしに従って走行するように
制御する。
(Prior Art) There are various driving methods for unmanned vehicles, and among these, in the method of driving along a guidance line, the position of this guidance line is detected. FIG. 11 is a configuration diagram of an unmanned vehicle using the Kakaru driving method, in which an unmanned regular vehicle 111 is equipped with a television camera 2, and the #il signal from the television camera 2 is digitized and subjected to image processing. The image is sent to the image memory of bag M3. Then, this image 1g1 processing device 3 recognizes the position of the guide line L from the image data,
The deviation between this position and the reference line position S is determined and sent to the travel control unit 4. Note that the image data stored in the image memory is displayed on the monitor television 5. The travel control device 4 determines the steering amount from the input deviation value and controls the unmanned vehicle 1 to travel along the guide line.

ところが、以上のような構成では誘導ラインLをテレビ
ジョンカメラ2によって撮像しているので、外乱光の影
響を強く受けてしまい同図のテレビジョンモニタ5に示
すように明確に誘導ラインLを捕えることができなくな
る。例えば、室内の蛍光灯の光が直接テレビジョンカメ
ラ2に入射すると、その画像は第12図(a)に示すよ
うに誘導ラインLの像と蛍光灯の@Gとが混在したもの
となって誘導ラインLを正確に認識することが困難とな
る。又、屋外において誘導ラインL上に水が溜まり、こ
の状態に太陽光が水で反射してテレビジョンカメラ2に
入側すると、その画像は第12図(b)に示すように誘
導ラインLのiKが全く困難となる。
However, in the above configuration, since the guidance line L is imaged by the television camera 2, it is strongly influenced by ambient light, and the guidance line L cannot be clearly captured as shown on the television monitor 5 in the figure. I won't be able to do that. For example, when light from an indoor fluorescent lamp enters directly into the television camera 2, the image becomes a mixture of the image of the guide line L and the fluorescent lamp @G, as shown in Fig. 12(a). It becomes difficult to accurately recognize the guide line L. In addition, when water accumulates on the guide line L outdoors and sunlight is reflected on the water and enters the television camera 2, the image will appear on the guide line L as shown in FIG. 12(b). iK becomes completely difficult.

(発明が解決しようとする課題) 以上のように誘導ラインLを撮像しても外乱光の影響を
受けて正確に誘導ラインLの像を得ることができなかっ
た。
(Problems to be Solved by the Invention) Even when the guide line L is imaged as described above, it is not possible to accurately obtain an image of the guide line L due to the influence of ambient light.

そこで本発明は、外乱光の影響を受けずに正確に被写体
像を得ることができる被写体I5@H”lを提供するこ
とを目的とする。
Therefore, it is an object of the present invention to provide a subject I5@H''l that can accurately obtain a subject image without being affected by ambient light.

[発明の構成] (X1!題を解決するための手段) 本発明は、被写体にスポット状のレーザ光を照射しその
反射レーザ光を受光して被写体像を得る被写体搬像装置
において、被写体にパルス状のレーザ光を照射するパル
スレーザ出力装置と、反射レーザ光のうちレーザ光の波
長と同一波長成分を通過させる干渉フィルタと、この干
渉フィルタを通過して得られた受光信号成分のうちパル
スレーザ出力装置のパルス発振周波数を含む帯域成分の
み通過させるバンドパスフィルタ回路と、このバンドパ
スフィルタ回路のフィルタ出力から被写体像を得る像作
成手段とを備えて上記目的をj7成しようとする被写体
操@装置である。
[Structure of the Invention] (Means for Solving the Problem A pulse laser output device that emits pulsed laser light, an interference filter that passes the wavelength component of the reflected laser light that is the same as the wavelength of the laser light, and a pulsed signal component that passes through the interference filter. A photographic exercise that attempts to achieve the above object by providing a bandpass filter circuit that passes only a band component containing the pulse oscillation frequency of a laser output device, and an image creation means that obtains a subject image from the filter output of this bandpass filter circuit. @It is a device.

(作用) このような手段を備えたことにより、被写体にパルス状
のレーザ光が照射されると、その反射レーザ光のうちレ
ーザ光の波長と同一波長成分が干渉フィルタで通過し、
この干渉フィルタを通過して得られた受光信号成分のう
ちパルスレーザ出力装置のパルス発振周波数を含む帯域
成分がバンドパスフィルタ回路を通過し、このフィルタ
出力から像作成手段によって被写体像が得られる。
(Function) By providing such a means, when a pulsed laser beam is irradiated onto a subject, a component of the same wavelength as the laser beam among the reflected laser beams passes through the interference filter,
Among the received light signal components obtained by passing through this interference filter, a band component including the pulse oscillation frequency of the pulse laser output device passes through a bandpass filter circuit, and an image forming means obtains a subject image from the output of this filter.

(実施例) 以下、本発明の一実施例について図面を参照して説明す
る。
(Example) Hereinafter, an example of the present invention will be described with reference to the drawings.

第1図は被写体撮像装置の構成図であって、被写体とし
て誘導ラインLに適用した場合を示しである。同図にお
いて10はパルスレーザ出力Hffiであって、この装
置10は波長2口のレーザ光をパルス発振周波数ω0で
出力するものである。その構成はレーザダイオード11
及びレーザダイオード用駆動装置12から構成されてい
る。なお、パルスレーザ出力装置10は連続出力レーザ
光をチョッパで分割してパルスレーザを出力する構成で
もよい。このパルスレーザ出力装置1のレーザ光路上に
はコリメータレンズ13が配置され、パルスレーザがこ
のコリメータレンズ13で集光されてXYスキャナ14
に送られるようになっている。このXYスキャナ14は
XYスキャナ駆動回路15で駆動されてパルスレーザの
照射位置をX方向及びY方向に走査させる機能を有する
ものである。この走査順について説明すると、例えばパ
ルスレーザの照射位置を最初A(0,0)としてX方向
に移動させてA(256,0)まで走査し、次に照射位
置をY方向に移動させてA(0,1)としこの位置から
再びX方向に移動させて位置A(256,1)に走査さ
せる。このようにX方向に1走査させてからY方向に移
動させることを順次繰り返してRn的にパルスレーザの
照射位置がA(256、256>に到達するまで走査さ
せるものとなっている。
FIG. 1 is a block diagram of a subject imaging device, and shows a case where the subject imaging device is applied to a guide line L as a subject. In the figure, 10 is a pulse laser output Hffi, and this device 10 outputs laser light with two wavelengths at a pulse oscillation frequency ω0. Its composition is laser diode 11
and a laser diode drive device 12. Note that the pulsed laser output device 10 may have a configuration in which continuous output laser light is divided by a chopper and outputted as pulsed laser light. A collimator lens 13 is disposed on the laser optical path of the pulsed laser output device 1, and the pulsed laser is focused by the collimator lens 13 and sent to the XY scanner 14.
It is now sent to This XY scanner 14 is driven by an XY scanner drive circuit 15 and has a function of scanning the pulsed laser irradiation position in the X direction and the Y direction. To explain this scanning order, for example, the pulse laser irradiation position is first set to A (0,0), then moved in the X direction and scanned to A (256,0), then moved in the Y direction and scanned to A (256,0). (0,1), and from this position, it is moved again in the X direction and scanned to position A (256,1). In this way, one scan in the X direction and then movement in the Y direction are repeated sequentially until the pulse laser irradiation position reaches A (256, 256>) in terms of Rn.

一方、16は干渉フィルタであって、この干渉フィルタ
16は誘導ラインし及びその周辺部分からの反射レーザ
光を入射し、この反射レーザ光のうち第2図に示すよう
にパルスレーザ光の波長λ0と同−波長λ0成分を透過
させるものである。
On the other hand, reference numeral 16 denotes an interference filter, and this interference filter 16 receives the reflected laser light from the guiding line and the surrounding area, and among the reflected laser light, the wavelength of the pulsed laser light is λ0, as shown in FIG. It transmits the same wavelength λ0 component.

そうして、この干渉フィルタ16のフィルタ出力光路上
には集光レンズ17及びフォトディテクタ18が配置さ
れている。従って、このフォトデイテクタ18は干渉フ
ィルタ16を透過した反射レーザ光の成分の光強度に応
じた受光信号を出力するものとなっている。このフォト
ディテクタ18の出力端には増幅回路1つが接続されて
おり、この増幅回路19には第3図に示すようにパルス
レーザ出力装置10のパルス発成周波数ω0と同一周波
数成分を通過させるバンドパスフィルタ回路としての機
能が備えられている。そして、この増幅回路19の出力
端にA/D (アナログ/ディジタル)変換回路20を
介して像作成手段21が接続されている。
A condensing lens 17 and a photodetector 18 are arranged on the filter output optical path of this interference filter 16. Therefore, this photodetector 18 outputs a light reception signal corresponding to the light intensity of the component of the reflected laser light that has passed through the interference filter 16. An amplifier circuit is connected to the output end of the photodetector 18, and as shown in FIG. It has a function as a filter circuit. An image forming means 21 is connected to the output end of this amplifier circuit 19 via an A/D (analog/digital) conversion circuit 20.

この像作成手段21はA/D変換回路20からのディジ
タル受光信号を受けて画像データとして記憶するもので
、画像メモリ22と各方向っまりX方向及びY方向の各
アドレスカウンタ23゜24から構成されている。X方
向及びY方向の各アドレスカウンタ23.24はそれぞ
れXYスキャナ駆動回路15からのX方向、Y方向の各
走査駆動信号を受けてパルスレーザ光の照射位置に対応
してディジタル受光信号を画像メモリ22の記憶させる
ものとなっている。なお、ディジタル受光信号は輝度入
力端子(Z)に入力するようになっている。
This image forming means 21 receives the digital light reception signal from the A/D conversion circuit 20 and stores it as image data, and is composed of an image memory 22 and address counters 23 and 24 in each direction, that is, the X direction and the Y direction. has been done. The X-direction and Y-direction address counters 23 and 24 receive the X-direction and Y-direction scanning drive signals from the XY scanner drive circuit 15, respectively, and output digital light reception signals corresponding to the irradiation position of the pulsed laser beam to the image memory. 22 is to be memorized. Note that the digital light reception signal is input to the luminance input terminal (Z).

次に上記の如く構成された装置の作用について説明する
Next, the operation of the apparatus configured as described above will be explained.

レーザダイオード用駆動回路12の駆動によってレーザ
ダイオード11からパルスレーザが出力されると、この
パルスレーザはコリメータレンズ13で集光されてXY
スキャナ14に送られる。
When a pulsed laser is output from the laser diode 11 by driving the laser diode drive circuit 12, this pulsed laser is focused by the collimator lens 13 and
It is sent to the scanner 14.

このXYスキャナ14はXYスキャナ駆動回路15から
の各走査駆動信号によってパルスレーザをX方向及びY
方向に走査させる。つまり、パルスレーザは照射位置A
 (0,0)からX方向に移動して位置A (256、
O>に至り、次に位@A(0,1)から再びX方向に移
動して位fiA(256、1)に至る。このようにして
パルスレーザはX方向に1走査する度にY方向に移動し
ながら移動する。なお、第1図において誘導ラインL上
の円形印は1パルスレーザの照射を示している。
This XY scanner 14 operates a pulse laser in the X direction and Y direction according to each scanning drive signal from the XY scanner drive circuit 15.
scan in the direction. In other words, the pulse laser is at the irradiation position A.
Move from (0,0) in the X direction to position A (256,
O>, and then moves in the X direction again from position @A (0, 1) to reach position fiA (256, 1). In this way, the pulse laser moves while moving in the Y direction every time it scans in the X direction. Note that in FIG. 1, a circular mark on the guide line L indicates irradiation with a single pulse laser.

このようにパルスレーザが照射されると、誘導ラインし
及びその周辺部分からの反射レーザ光Fが干渉フィルタ
16に入射する。この反射レーザ光Fは第4図に示すよ
うに外部光の影響を受けてその強度レベルが変動してお
り、誘導ラインLに相当する部分にこのラインLからの
反射レーザ光による信号Qが現われている。しかして、
この反射レーザ光Fが干渉フィルタ16に入射すること
によって波長λaのみが透過し、この透過レーザ光がフ
ォトディテクタ18に送られる。そして、このフォトデ
ィテクタ18は受光した透過レーザ光の強度に応じた受
光信号Faを出力する。ところで、この受光信号Faは
干渉フィルタ16を透過したレーザ光から得られるもの
なので、第4図に示すように外乱光の影響が除去された
ものとなっている。この後、受光信号Faは増幅回路1
9に送られる。この増幅回路19はそのバンドパスフィ
ルタ回路によって受光信号Faのうちパルスレーザ出力
装置10のパルスレーザ発振周波数ω0と同一周波数の
みを通過させる。そして、この通過した信号を増幅して
A/D変換回路20へ送る。つまり、この増幅回路19
の出力Fbは第4図に示すように誘導ラインしからの反
射レーザによる受光信号のみとなる。つまり、誘導ライ
ンLの部分の濃淡レベルのみが轟くなっている。よって
、この受光信号FbはA/D変換回路20でディジタル
変換されて像作成手段21に送られる。
When the pulse laser is irradiated in this manner, reflected laser light F from the guide line and the surrounding area enters the interference filter 16. As shown in Fig. 4, the intensity level of this reflected laser beam F fluctuates under the influence of external light, and a signal Q due to the reflected laser beam from this line L appears in a portion corresponding to the guiding line L. ing. However,
When this reflected laser light F enters the interference filter 16, only the wavelength λa is transmitted, and this transmitted laser light is sent to the photodetector 18. The photodetector 18 outputs a light reception signal Fa corresponding to the intensity of the received transmitted laser light. Incidentally, since this light reception signal Fa is obtained from the laser light transmitted through the interference filter 16, the influence of disturbance light has been removed, as shown in FIG. After this, the light reception signal Fa is transmitted to the amplifier circuit 1.
Sent to 9th. This amplifier circuit 19 passes only the same frequency as the pulse laser oscillation frequency ω0 of the pulse laser output device 10 out of the received light signal Fa by its bandpass filter circuit. Then, this passed signal is amplified and sent to the A/D conversion circuit 20. In other words, this amplifier circuit 19
As shown in FIG. 4, the output Fb is only the light reception signal from the laser reflected from the guide line. In other words, only the gray level of the guide line L portion is loud. Therefore, this light reception signal Fb is digitally converted by the A/D conversion circuit 20 and sent to the image forming means 21.

この像作成手段21は送られてくるディジタル受光信号
をX方向及びY方向の各アドレスカウンタ23.24に
よってパルスレーザの照射位置に対応したアドレスに記
憶させる。例えば、パルスレーザの照射位置A(0,0
)のディジタル受光信号はアドレスB (0,0)に記
憶され、又パルスレーザの照射位置A(256,0)の
ディジタル受光信号はアドレスB(256,0)に記憶
される。
This image forming means 21 stores the received digital light reception signal at an address corresponding to the irradiation position of the pulse laser by each address counter 23, 24 in the X direction and the Y direction. For example, the pulse laser irradiation position A (0,0
) is stored at address B (0,0), and the digital light reception signal at pulse laser irradiation position A (256,0) is stored at address B (256,0).

このようにしてディジタル受光信号が配憶されて、パル
スレーザの走査が終了すれば、画像メモリ22には誘導
ラインLの1画像データが記憶される。この後、この画
像メモリ22に記憶された画像データは読み出されて例
えばモニタテレビジョンに映し出され、かつ誘導ライン
Lの位置と基準ラインとのずれ巳が求められて走行制w
inに送られる。
When the digital light reception signal is stored in this way and the scanning of the pulsed laser is completed, one image data of the guide line L is stored in the image memory 22. Thereafter, the image data stored in the image memory 22 is read out and displayed on, for example, a monitor television, and the deviation between the position of the guidance line L and the reference line is determined and the driving control w is performed.
sent to in.

このように上記一実施例においては、パルス状のレーザ
光を誘導ラインLに照射し、その反射レーザ光で得られ
る受光信号成分のうちパルスレーザのパルス発振周波数
を含む帯域成分を通過させ、このフィルタ出力から誘導
ラインLを得るようにしたので、蛍光灯や太陽からの外
乱光が誘導ラインしに照射したとしてもこれら外乱光は
パルスレーザのパルス発振周波数ω口のバンドフィルタ
回路を通過することで除去されて誘導ラインしからの反
射レーザ光のみを確実に捕えることができる。
In this way, in the above embodiment, a pulsed laser beam is irradiated onto the guide line L, and among the received signal components obtained by the reflected laser beam, a band component including the pulse oscillation frequency of the pulsed laser is passed. Since the guide line L is obtained from the filter output, even if disturbance light from a fluorescent lamp or the sun hits the guide line, this disturbance light will pass through the band filter circuit at the pulse oscillation frequency ω of the pulse laser. It is possible to reliably capture only the reflected laser light from the guide line.

従って、誘導ラインしの位置を精度高く検出できて例え
ば無人走行車を誘導ラインに従って正確に操舵すること
ができる。
Therefore, the position of the guide line can be detected with high accuracy, and, for example, an unmanned vehicle can be accurately steered according to the guide line.

さらに、干渉フィルタ16をバンドフィルタ回路と組み
合わせることによって反射レーザ光のみを抽出し、この
反射レーザ光からパルス発振周波数成分のみを抽出する
ことになるので、誘導ラインLの像を得ることがより高
精度となる。
Furthermore, by combining the interference filter 16 with a band filter circuit, only the reflected laser beam is extracted, and only the pulse oscillation frequency component is extracted from this reflected laser beam, so it is possible to obtain an image of the guiding line L with higher accuracy. Accuracy.

なお、誘導ラインLは、第5図に示すように凹凸に形成
したものを使用してパルスレーザ光を乱反射させたり、
又第6図及び第7図に示すように照射したパルスレーザ
光をこのパルスレーザ光の照射方向と同一方向に反射さ
せるように形成したものを使用してもよい。この場合、
第6図はガラスピーズ30と反射ミラー31とを組み合
わせたものであり、第7図はその表面をプリズムカット
状に形成したものである。かかる誘導ラインLを1記−
実施例に適用すれば誘導ラインLからの反射レーザ光の
強度が高くなってより確実に誘導ラインLの位置を検出
できる。
Note that the guide line L may be formed into an uneven shape as shown in FIG. 5 to diffusely reflect the pulsed laser beam, or
Further, as shown in FIGS. 6 and 7, a device formed so as to reflect the irradiated pulsed laser beam in the same direction as the irradiation direction of the pulsed laser beam may be used. in this case,
FIG. 6 shows a combination of a glass bead 30 and a reflecting mirror 31, and FIG. 7 shows one whose surface is formed into a prism-cut shape. This guiding line L is written as 1-
If applied to the embodiment, the intensity of the reflected laser beam from the guide line L will be increased, and the position of the guide line L can be detected more reliably.

次に本発明装置の応用例について説明する。第8図は被
写体として鉄鋼板40に刻印された文字41をWi像す
るに適用した場合の全体構成図である。鉄鋼板40に刻
印された文字は第9図(a)に示すように溝によって形
成されている。従って、この溝にパルスレーザ光が走査
されると、その反射レーザ光は急激に変化する。かくし
て、鉄鋼板40からの反射レーザ光を受光すれば、文字
の画像データが画像メモリ22に記憶される。なお、こ
の場合、第9図(b)に示すように例えば鉄鋼板40を
傾斜させてパルスレーザ光の入射角を大きくすれば、鉄
鋼板40の溝からの反射レーザ光の強度が高くなってよ
り確実に文字を検出できる。
Next, an example of application of the device of the present invention will be explained. FIG. 8 is an overall configuration diagram when the Wi image is applied to a character 41 engraved on a steel plate 40 as a subject. The characters engraved on the steel plate 40 are formed by grooves as shown in FIG. 9(a). Therefore, when this groove is scanned with a pulsed laser beam, the reflected laser beam changes rapidly. Thus, when the reflected laser beam from the steel plate 40 is received, the image data of the character is stored in the image memory 22. In this case, if the incident angle of the pulsed laser beam is increased by tilting the steel plate 40, for example, as shown in FIG. 9(b), the intensity of the laser beam reflected from the groove of the steel plate 40 will increase. Characters can be detected more reliably.

又、他の応用例として第10図に示すようにシリコンウ
ェハ42上のゴミ43を検出するもにも適用できる。こ
の場合、ゴミ43における反射レーザ光の変化でゴミ4
3が検出される。
Further, as another example of application, the present invention can be applied to detecting dust 43 on a silicon wafer 42 as shown in FIG. In this case, the change in the reflected laser beam on the dust 43 causes the dust 4
3 is detected.

なお、本発明は上記一実施例に限定されるものでなくそ
の主旨を逸脱しない節回で変形してもよい。例えば、オ
シロスコープのX軸入力端子にXYスキャナ駆動回路1
5のX方向の走査駆動信号を入力するとともにY軸入力
端子にY方向の走査駆動信号を入力し、この状態に受光
信号を輝度入力端子に入力させれば、オシロスコープの
表示画面に誘導ラインLや文字等を映し出すことができ
る。
Note that the present invention is not limited to the above-mentioned embodiment, and may be modified without departing from the spirit thereof. For example, connect the XY scanner drive circuit 1 to the X-axis input terminal of the oscilloscope.
If you input the scanning drive signal in the X direction of 5 and the scanning drive signal in the Y direction to the Y-axis input terminal, and input the light reception signal to the luminance input terminal in this state, the guide line L will appear on the display screen of the oscilloscope. It is possible to display letters, letters, etc.

[発明の効果] 以上詳記したように本発明によれば、外乱光の影響を受
けずに正確に被写体像を得ることができる被写体搬像装
置を提供できる。
[Effects of the Invention] As described in detail above, according to the present invention, it is possible to provide a subject transport device that can accurately obtain a subject image without being affected by ambient light.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図乃至第7図は本発明に係わる被写体搬像装置の一
実施例を説明するための図であって、第1図は全体構成
図、第2図は干渉フィルタの透過特性図、第3図はバン
ドパスフィルタ回路の通過特性図、第4図は動作タイミ
ング図、第5図乃至第7図は誘導ラインの構成図、第8
図乃至第10図は応用例を示す構成図、第11図及び第
12図は従来技術を説明するための図である。 10・・・パルスレーザ出力装茸、11・・・レーザダ
イオード、1・2・・・レーザダイオード用駆動回路、
13・・・コリメータレンズ、14・・・XYスキャナ
、15・・・XYスキャナ駆動回路、16・・・干渉フ
ィルタ、17・・・集光レンズ、18・・・フォトディ
テクタ、19・・・増幅回路、20・・・A/D′I!
L換回路、21・・・像作成手段、22・・・画像メモ
リ、23.24・・・アドレスカウンタ、L・・・誘導
ライン。 第1図22 第3図 0                時間「 ■ 第4図 第5図 第6図 第7図 (a)             (b)第9図 第10図 (a)          (b) 第12図
1 to 7 are diagrams for explaining an embodiment of the object conveying device according to the present invention, in which FIG. 1 is an overall configuration diagram, FIG. 2 is a transmission characteristic diagram of an interference filter, and FIG. Figure 3 is a pass characteristic diagram of the bandpass filter circuit, Figure 4 is an operation timing diagram, Figures 5 to 7 are configuration diagrams of the guiding line, and Figure 8 is a diagram of the passage characteristics of the bandpass filter circuit.
FIGS. 10 to 10 are configuration diagrams showing application examples, and FIGS. 11 and 12 are diagrams for explaining the prior art. 10... Pulse laser output device, 11... Laser diode, 1.2... Laser diode drive circuit,
13... Collimator lens, 14... XY scanner, 15... XY scanner drive circuit, 16... Interference filter, 17... Condenser lens, 18... Photodetector, 19... Amplification circuit , 20...A/D'I!
L conversion circuit, 21... Image creation means, 22... Image memory, 23.24... Address counter, L... Guide line. Figure 1 22 Figure 3 0 Time "■ Figure 4 Figure 5 Figure 6 Figure 7 (a) (b) Figure 9 Figure 10 (a) (b) Figure 12

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 被写体にスポット状のレーザ光を走査照射しその反射光
を受光して前記被写体像を得る被写体撮像装置において
、前記被写体にパルス状のレーザ光を照射するパルスレ
ーザ出力装置と、前記反射レーザ光のうち前記レーザ光
の波長と同一波長成分を通過させる干渉フィルタと、こ
の干渉フィルタを通過して得られた受光信号成分のうち
前記パルスレーザ出力装置のパルス発振周波数を含む帯
域成分のみ通過させるバンドパスフィルタ回路と、この
バンドパスフィルタ回路のフィルタ出力から前記被写体
像を得る像作成手段とを具備したことを特徴とする被写
体撮像装置。
A subject imaging device that scans and irradiates a spot-shaped laser beam onto a subject and receives the reflected light to obtain an image of the subject, comprising: a pulse laser output device that irradiates the subject with pulse-shaped laser light; an interference filter that passes wavelength components that are the same as the wavelength of the laser beam, and a bandpass that passes only the band components that include the pulse oscillation frequency of the pulse laser output device among the received light signal components that pass through this interference filter. 1. A subject imaging device comprising: a filter circuit; and image creation means for obtaining the subject image from the filter output of the bandpass filter circuit.
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