JPH01195635A - Exhausting machine for tubular bulb - Google Patents

Exhausting machine for tubular bulb

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Publication number
JPH01195635A
JPH01195635A JP1721488A JP1721488A JPH01195635A JP H01195635 A JPH01195635 A JP H01195635A JP 1721488 A JP1721488 A JP 1721488A JP 1721488 A JP1721488 A JP 1721488A JP H01195635 A JPH01195635 A JP H01195635A
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JP
Japan
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exhaust
base
valve
fixed
heating device
Prior art date
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Pending
Application number
JP1721488A
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Japanese (ja)
Inventor
Tadashi Tanaka
正 田中
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
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Publication of JPH01195635A publication Critical patent/JPH01195635A/en
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  • Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)

Abstract

PURPOSE:To improve the working efficiency and obtain high vacuum, high quality and high efficiency by transferring a heating device and a chipping device provided on a rotary bed in sequence to exhaust heads arranged on a fixed bed as the rotary bed is rotated around the fixed bed. CONSTITUTION:A rotary bed 4 is provided with a circular gear, a driving gear is engaged on the inner face of the circular gear, this driving gear is continuously rotated or intermittently rotated by a motor fixed on a basement. The heating device 24 and the chipping device 29 provided on this rotary bed 4 are transferred in sequence to exhaust heads 8a...8h arranged on the fixed bed 3 as this rotary bed 4 is rotated around the fixed bed 3. High-vacuum drawing is thereby allowed, no oil steam infiltrates into a tubular bulb, thus the quality is improved. High-vacuum drawing can be continuously performed with no interruption, and the efficiency of the vacuum drawing work is improved.

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的コ (産業上の利用分野) 本発明は、白熱電球、放電灯などのような管球の排気マ
シンに関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Object of the Invention (Industrial Application Field) The present invention relates to an evacuation machine for bulbs such as incandescent lamps, discharge lamps, etc.

(従来の技術) 一般に白熱電球や放電灯等の管球は、いづれの発光形態
のものであっても、バルブの内部に電極や白熱体を封着
したのちこのバルブの内部を排気して浄化し、しかるの
ちこの内部に希ガスを封入して封止切りを行っている。
(Prior art) In general, incandescent bulbs, discharge lamps, and other bulbs, regardless of the type of light emitted, electrodes and incandescent bodies are sealed inside the bulb, and then the inside of the bulb is evacuated and purified. Afterwards, a rare gas is sealed inside and the seal is cut.

このような工程は排気工程と称しており、従来から排気
専用のマシンを用いて自動的に行うようになっている。
Such a process is called an evacuation process, and has conventionally been automatically performed using a machine exclusively for evacuation.

従来の排気マシンは、中央部に旋回台を設け、この旋回
台の周囲にこの旋回台と一体に旋回する複数の排気ヘッ
ドを間隔を存して配置し、これら排気ヘッドは管球バル
ブの排気管を気密にチャックするとともにこの旋回台に
設けた真空引き兼封入ガス供給用配管に接続されていた
A conventional exhaust machine has a swivel table in the center, and a plurality of exhaust heads that rotate together with the swivel table are arranged at intervals around the swivel table. The tube was airtightly chucked and connected to the vacuum and gas filling piping installed on the swivel table.

そして、上記旋回台の周囲には加熱装置やチッピング装
置が固定されており、この旋回台の旋回に伴って排気ヘ
ッドが一体に旋回されると、これら排気ヘッドに取付け
た管球バルブが順次加熱装置やチッピング装置に移動さ
れるようになっている。
A heating device and a chipping device are fixed around the swivel table, and when the exhaust head rotates as the swivel table rotates, the tube valves attached to these exhaust heads are heated one after another. equipment and chipping equipment.

また、上記旋回台にはセンターバルブが取付けられてい
る。すなわち、センターバルブは上記旋回台と一体に回
転される上部センターバルブと、この上部センターバル
ブに対して非回転な下部センターバルブとで構成されて
おり、上部センターバルブには上記排気ヘッドに接続す
る真空引き兼封入ガス供給用配管と導通された孔が形成
されているとともに、下部センターバルブには真空ポン
プおよび封入ガス供給ボンベに接続された孔やスリット
等が形成されている。そして、上記旋回台および上部セ
ンターバルブが回転すると、上部センターバルブの孔と
下部センターバルブの孔やスリットが連通し、排気ヘッ
ドを真空ポンプまたは封入ガス供給ボンベに導通させる
ように構成されていた。
Further, a center valve is attached to the swivel table. That is, the center valve is composed of an upper center valve that rotates together with the swivel table and a lower center valve that does not rotate with respect to the upper center valve, and the upper center valve is connected to the exhaust head. A hole is formed that communicates with the evacuation and filling gas supply piping, and the lower center valve is also formed with holes, slits, etc. that are connected to the vacuum pump and the filling gas supply cylinder. When the rotating base and the upper center valve rotate, the hole in the upper center valve communicates with the hole or slit in the lower center valve, so that the exhaust head is connected to the vacuum pump or the sealed gas supply cylinder.

したがって、排気ヘッドに取付けた管球バルブが加熱装
置に移された時にバルブ内部を真空引きし、この真空引
き後にバルブ内に封入ガスを供給し、次にバルブがチッ
ピング装置に移された時にυト気管を封止切りするよう
になっていた。
Therefore, when the tube valve attached to the exhaust head is transferred to the heating device, the inside of the valve is evacuated, and after this evacuation, the sealed gas is supplied into the valve, and then when the valve is transferred to the chipping device, υ It was designed to seal off the trachea.

(発明が解決しようとする課題) しかしながら、上記のようなセンターバルブを使用して
排気ヘッドを旋回させる構造の排気マシンは、センター
バルブにおける上部センターバルブと下部センターバル
ブの摺接面の気密シールを油膜によって行うものである
ため、この摺接面の油切れや異物が進入した場合にリー
クが発生する。このため高い真空引きができないなどの
制約を受ける。
(Problem to be Solved by the Invention) However, an exhaust machine having a structure in which the exhaust head is rotated using a center valve as described above requires an airtight seal between the sliding surfaces of the upper center valve and the lower center valve in the center valve. Since this is done using an oil film, leaks may occur if the sliding surface runs out of oil or foreign matter enters. For this reason, there are restrictions such as not being able to draw a high vacuum.

また、上記気密シールの油膜が蒸発し、この油蒸気が管
球バルブの内部に進入して品質の低下を招く。
Further, the oil film of the airtight seal evaporates, and this oil vapor enters the inside of the bulb valve, resulting in a decrease in quality.

さらには、旋回台の間欠移動時には真空ポンプと排気ヘ
ッドの接続が切れるため真空引きが中断され、高速排気
が不可能であり、作業能率が低いなどの不具合がある。
Furthermore, when the swivel table is moved intermittently, the connection between the vacuum pump and the exhaust head is broken, which interrupts evacuation, making it impossible to perform high-speed exhaust, resulting in problems such as low work efficiency.

本発明は、高真空、高品質および高能率°が可能となる
排気マシンを提供しようとするものである。
The present invention seeks to provide an evacuation machine capable of high vacuum, high quality, and high efficiency.

[発明の構成] (課題を解決するための手段) 本発明は、固定台およびこの固定台の周囲を連続または
間欠に旋回される旋回台を備え、上記固定台の周囲には
複数の排気ヘッドを間隔を存して配置し、これら排気ヘ
ッドは管球バルブの排気管を気密にチャックするととも
にこの固定台に設置された真空引き系配管および封入ガ
ス供給系配管に対して切換可能に接続されており、かつ
上記旋回台にはこの旋回台の周方向に間隔を存して加熱
装置およびチッピング装置を設け、この旋回台が固定台
の回りを旋回されることに伴い上記旋回台に設けた加熱
装置およびチッピング装置が上記固定台の排気ヘッドに
対して順次移り代わるようにしたことを特徴とする。
[Structure of the Invention] (Means for Solving the Problems) The present invention includes a fixed base and a rotating base that rotates continuously or intermittently around the fixed base, and a plurality of exhaust heads around the fixed base. These exhaust heads airtightly chuck the exhaust pipe of the tube valve and are switchably connected to the vacuum system piping and the sealed gas supply system piping installed on this fixed stand. and a heating device and a chipping device are provided on the swivel base at intervals in the circumferential direction of the swivel base, and as the swivel base is rotated around the fixed base, It is characterized in that the heating device and the chipping device are sequentially transferred to the exhaust head of the fixed table.

(作用) 本発明によれば、固定台およびこの固定台の周囲を連続
または間欠に旋回される旋回台を備え、この旋回台が固
定台の回りを旋回されることに伴いこの旋回台に設けた
加熱装置およびチッピング装置が上記固定台に配置した
排気ヘッドに対して順次移り代わるようにしたので、従
来のようなセンターバルブの使用をなくすることができ
、したがってセンターバルブの使用に起因するリークの
発生、油蒸気の管球バルブ内への進入による品質低下お
よび作業能率の低下などを解消することができる。
(Function) According to the present invention, there is provided a fixed base and a swivel base that is rotated continuously or intermittently around the fixed base, and as the swivel base is rotated around the fixed base, the swivel base is provided with a Since the heating device and chipping device are sequentially transferred to the exhaust head placed on the fixed stand, it is possible to eliminate the use of a conventional center valve, and thus to reduce leakage caused by the use of a center valve. It is possible to eliminate problems such as the occurrence of oil vapor and the intrusion of oil vapor into the tube valve, resulting in quality deterioration and work efficiency deterioration.

(実施例) 以下本発明について、図示の一実施例にもとづき説明す
る。
(Example) The present invention will be described below based on an example shown in the drawings.

図において1は基盤であり、この基盤lの上には支Yj
j台2が設けられている。
In the figure, 1 is a base, and on this base l is a support Yj
j units 2 are provided.

支持台2の中央に固定台3が設置されているとともに、
この固定台3の周囲費は旋回台4が水平面内を旋回自在
にして設けられている。
A fixed base 3 is installed in the center of the support base 2, and
The fixed base 3 is provided with a swivel base 4 that can freely rotate within a horizontal plane.

旋回台4は環形歯車5を備え、この環形歯車5の内面に
は駆動歯車6が噛み合っており、この駆動歯車6は基盤
1上に固定したモータ7により連続回転また間欠回転さ
れるようになっている。したがって、旋回台4は固定台
3の周囲を第1図の矢印で示すように、連続または間欠
回転されるようになっている。
The swivel base 4 includes a ring gear 5, and a drive gear 6 meshes with the inner surface of the ring gear 5. The drive gear 6 is rotated continuously or intermittently by a motor 7 fixed on the base 1. ing. Therefore, the swivel table 4 can be rotated continuously or intermittently around the fixed table 3 as shown by the arrows in FIG.

」1記固定台3には、周囲に複数の排気ヘッド8・・・
が周方向に等間隔を存して配置されている。本実施例で
は8個のヘッドを瓜いた場合を示し、第1図において反
時計回り方向に8a〜8hを付して示す。これら排気ヘ
ッド8・・・は管球バルブ40の排気管41を気密にチ
ャックする図示しないチャック手段を備えている。
” 1. The fixed base 3 has a plurality of exhaust heads 8 around it.
are arranged at equal intervals in the circumferential direction. In this embodiment, eight heads are used, and in FIG. 1, they are indicated by 8a to 8h in the counterclockwise direction. These exhaust heads 8 are equipped with a chuck means (not shown) for airtightly chucking the exhaust pipe 41 of the tube valve 40.

また、上記固定台3には低真空ポンプ9が載置されてお
り、この低真空ポンプ9には低真空引きマニホルド10
が接続され、この低真空引きマニホルド■0はそれぞれ
電磁弁11・・・および低真空引き系配管12・・・を
介して排気ヘッド8・・・に接続されている。
Further, a low vacuum pump 9 is mounted on the fixed table 3, and a low vacuum manifold 10 is mounted on this low vacuum pump 9.
are connected to each other, and the low vacuum manifold (20) is connected to the exhaust head 8... via electromagnetic valves 11... and low vacuum system piping 12..., respectively.

また、上記固定台3には高真空ポンプ13が載置されて
おり、この高真空ポンプ13は高真空引きマニホルド1
4に接続されている。この高真空引きマニホルド14は
それぞれ電磁弁15・・・および高真空引き系配管16
・・・介して排気ヘッド8・・・に接続されている。
Further, a high vacuum pump 13 is mounted on the fixed table 3, and this high vacuum pump 13 is connected to the high vacuum manifold 1.
Connected to 4. This high vacuum manifold 14 includes a solenoid valve 15 and a high vacuum system piping 16.
. . and is connected to the exhaust head 8 .

さらにまた、基盤lの外部にはアルゴンなどの封入ガス
を充填したガスボンベ17が設置されており、このガス
ボンベ17は供給パイプ18を介してガス供給マニホル
ド19に接続されている。このガス供給マニホルド19
はそれぞれ電磁弁20・・・および封入ガス供給用配管
21・・・を介して排気ヘッド8・・・に接続されてい
る。
Furthermore, a gas cylinder 17 filled with a sealed gas such as argon is installed outside the base 1, and this gas cylinder 17 is connected to a gas supply manifold 19 via a supply pipe 18. This gas supply manifold 19
are connected to the exhaust head 8 through a solenoid valve 20 and a sealed gas supply pipe 21, respectively.

一方、上記旋回台4には、この旋回台4の周方向に間隔
を存して排気に必要な処理装置が設けられている。処理
装置は本実施例の場合、旋回台4の時=1方向回りに、
管球バルブ40を排気ヘッド8・・・に供給するローデ
ィング装置23と、排気ヘッド8に支持された管球バル
ブ40を加熱する第1ないし第4の加熱装置24.25
.20.27と、排気ヘッド8に支持された管球バルブ
40に封入ガスを供給する空きポジション28と、排気
管41を封止切りするガスバーナ等よりなるチッピング
装置29および排気が終了して排気ヘッド8に残ってい
る排気管41を排出する排気管除去ポジション30とで
構成されている。
On the other hand, the swivel table 4 is provided with processing devices necessary for exhaust gas at intervals in the circumferential direction of the swivel table 4. In the case of this embodiment, the processing device rotates around the rotating base 4 in one direction.
A loading device 23 that supplies the tube bulb 40 to the exhaust head 8... and first to fourth heating devices 24, 25 that heat the tube bulb 40 supported by the exhaust head 8.
.. 20.27, an empty position 28 for supplying sealed gas to the tube valve 40 supported by the exhaust head 8, a chipping device 29 consisting of a gas burner, etc. for sealing and cutting the exhaust pipe 41, and a tipping device 29 that is connected to the exhaust head after the exhaust is finished. 8 and an exhaust pipe removal position 30 for discharging the remaining exhaust pipe 41.

これらの処理装置23〜30は、それぞれ排気ヘッド8
・・・に支持された管球バルブ40・・・に対応するよ
うになっている。
These processing devices 23 to 30 each have an exhaust head 8.
It corresponds to the tube bulb 40 supported by...

このような構成の排気マシンについて、その作用を説明
する。
The operation of the exhaust machine having such a configuration will be explained.

予め電極を封着した放電灯の発光管バルブ4oは、旋回
台4の時計方向回りの旋回に伴って、ローディング装置
23によりそれぞれの排気ヘッド8a〜8hに供給され
る。
The arc tube bulb 4o of the discharge lamp with electrodes sealed in advance is supplied to each of the exhaust heads 8a to 8h by the loading device 23 as the swivel base 4 rotates clockwise.

そして、上記旋回台4の旋回に伴って、それぞれの排気
ヘッド8・・・に支持された発光管バルブ40は排気処
理される。
As the swivel table 4 rotates, the arc tube bulbs 40 supported by the respective exhaust heads 8 are subjected to exhaust processing.

これについて、排気ヘッド8aに支持された発光管バル
ブ40の場合を例にとってさらに詳しく説明する。
This will be explained in more detail by taking as an example the case of the arc tube bulb 40 supported by the exhaust head 8a.

排気ヘッド8aに発光管バルブ40が取り付けられると
、この排気ヘッド8aはこれに接続されている低真空引
き系配管12の電磁弁11が開かれることにより、低真
空引きマニホルドIOを介して低真空ポンプ9に接続さ
れ、したがって発光管バルブ40の低真空引きが開始さ
れる。
When the arc tube valve 40 is attached to the exhaust head 8a, the solenoid valve 11 of the low vacuum system piping 12 connected to this exhaust head 8a is opened, so that the exhaust head 8a generates a low vacuum via the low vacuum manifold IO. It is connected to the pump 9, and therefore low evacuation of the arc tube bulb 40 is started.

つぎに、旋回台4の矢印方向への回転に伴い、第1の加
熱装置24が上記排気ヘッド8aに対向され、この排気
ヘッド8aに支持されている発光管バルブ40を加熱す
る。
Next, as the swivel base 4 rotates in the direction of the arrow, the first heating device 24 is opposed to the exhaust head 8a and heats the arc tube bulb 40 supported by the exhaust head 8a.

第1の加熱装置24が上記排気ヘッド8aの発光管バル
ブ40を加熱し始めると、上記低真空引き系配管12の
電磁弁11が閉じ、これに代わって高真空引き系配管1
6の電磁弁15が開かれ、したがって発光管バルブ40
は高真空引きマニホルド14を介して高真空ポンプ13
に接続されるので高真空引きが開始される。
When the first heating device 24 starts heating the arc tube bulb 40 of the exhaust head 8a, the solenoid valve 11 of the low vacuum system piping 12 closes, and the high vacuum system piping 1 replaces this.
6 solenoid valve 15 is opened, thus arc tube valve 40
is the high vacuum pump 13 via the high vacuum manifold 14.
Since it is connected to , high vacuuming starts.

この高真空引きを継続しつつ、旋回台4は矢印方向へ回
転され、これに伴い第2の加熱装置25、第3の加熱装
置26および第4の加熱装置27が順次上記排気ヘッド
8aに対向され、この排気ヘッド8aに支持されている
発光管バルブ40を順次加熱する。
While continuing this high vacuum, the swivel table 4 is rotated in the direction of the arrow, and the second heating device 25, third heating device 26, and fourth heating device 27 are successively opposed to the exhaust head 8a. The arc tube bulbs 40 supported by the exhaust head 8a are sequentially heated.

このような加熱と真空引きにより、発光管バルブ40の
ガラスや電極に吸着されていた不純物が放出されバルブ
外に引き出され、いわゆる脱ガス処理がなされる。この
ような脱ガス処理は、上記第2の加熱装置25、第3の
加熱装置26および第4の加熱装置27により順次行わ
れるから、第4の加熱装置27を終えた段階ではバルブ
4o内は高真空度に保たれる。
By such heating and evacuation, impurities adsorbed on the glass and electrodes of the arc tube bulb 40 are released and drawn out of the bulb, resulting in a so-called degassing process. Such a degassing process is performed sequentially by the second heating device 25, the third heating device 26, and the fourth heating device 27, so that when the fourth heating device 27 is finished, the inside of the valve 4o is Maintained at high vacuum.

次に、旋回台4の矢印方向への回転に伴い封入ガスを供
給する空きポジション28が排気へラド8aに対向する
。この時、上記高真空引き系配管16の電磁弁15が閉
じ、これに代わって封入ガス供給用配管21の電磁弁2
0が開かれ、したがって発光管バルブ40はガスボンベ
17に接続されるので、このガスボンベ17からアルゴ
ンなどのガスが供給される。
Next, as the swivel base 4 rotates in the direction of the arrow, the vacant position 28 for supplying the sealed gas faces the exhaust gas Rad 8a. At this time, the solenoid valve 15 of the high vacuum system piping 16 is closed, and the solenoid valve 2 of the sealed gas supply piping 21 is closed instead.
Since the arc tube bulb 40 is connected to the gas cylinder 17, a gas such as argon is supplied from the gas cylinder 17.

発光管バルブ40内に所定口の封入ガスが供給されると
、旋回台4の矢印方向への回転に伴いチッピング装置2
9が排気ヘッド8aに対向する。この時、上記封入ガス
供給用配管21の電磁弁2oを閉じ、チッピング装置2
9のガスバーナにより排気管41を封止切りする。
When a predetermined amount of sealed gas is supplied into the arc tube bulb 40, the chipping device 2 rotates as the swivel base 4 rotates in the direction of the arrow.
9 faces the exhaust head 8a. At this time, the solenoid valve 2o of the sealed gas supply pipe 21 is closed, and the chipping device 2
The exhaust pipe 41 is sealed and cut using a gas burner 9.

これにより、バルブ4oは封止され、排気ヘッド8aか
ら落下し、これをアンローディング装置(図示しない)
に渡す。
As a result, the valve 4o is sealed and falls from the exhaust head 8a, and is removed by an unloading device (not shown).
give it to

この場合、排気ヘッド8aには排気管41が残っており
、これは旋回台4の矢印方向への回転に伴い排気管除去
ポジション30が排気ヘッド8aに対向した際に外され
る。
In this case, the exhaust pipe 41 remains in the exhaust head 8a, and is removed when the exhaust pipe removal position 30 faces the exhaust head 8a as the swivel base 4 rotates in the direction of the arrow.

このような実施例によると、真空引き系および封入ガス
供給系と配管接続された排気ヘッド8a〜8hは固定台
3に固定され、これに対して処理装置としてのローディ
ング装置23、第1ないし第4の加熱装置24.25.
26.27、封入ガスを供給する空きポジション28、
チッピング装置29および排気管除去ポジション30が
旋回台4に設けらるから、排気ヘッド8a〜8hをセン
タバルブによって真空引き系および封入ガス供給系に接
続する必要がなくなる。
According to this embodiment, the exhaust heads 8a to 8h, which are connected to the evacuation system and the sealed gas supply system through piping, are fixed to the fixed base 3, and the loading devices 23 and the first to first 4 heating device 24.25.
26.27, empty position 28 for supplying filler gas,
Since the chipping device 29 and the exhaust pipe removal position 30 are provided on the swivel base 4, there is no need to connect the exhaust heads 8a to 8h to the evacuation system and the sealed gas supply system through a center valve.

したがって、したがってセンターバルブの使用に起因す
るリークの発生がなくなり、高真空度で排気することが
できるのでバルブ内に残留不純物がなくなり、また油蒸
気の管球バルブ内への進入もなくなるので品質が向上す
る。
Therefore, the occurrence of leaks caused by the use of the center valve is eliminated, and since it is possible to evacuate at a high degree of vacuum, there are no residual impurities in the valve, and there is no possibility of oil vapor entering the tube valve, improving quality. improves.

そして、高真空引き作業は旋回台4の旋回移動に拘りな
く継続して行うことができ、高真空引きが迅速に行なえ
、作業能率が向上する。
Further, the high vacuum operation can be continued regardless of the rotational movement of the swivel table 4, and the high vacuum operation can be performed quickly, improving work efficiency.

なお、本発明は放電灯の排気に使用することには限らず
、白熱電球などの排気であっても実施可能であり、また
排気スケジュールも上記実施例には限らず、工程途中に
不活性ガスによる洗浄工程などを設けてもよい。
Note that the present invention is not limited to use for exhausting discharge lamps, but can also be implemented for exhausting incandescent light bulbs, etc., and the exhaust schedule is not limited to the above example, and inert gas may be added during the process. A cleaning step may also be provided.

また、排気処理装置は、加熱装置やチッピング装置ばか
りでなく、水銀や発光物質の投入装置、ハロゲン封入装
置、フラッシング装置、エージング装置などを加えても
よい。
Further, the exhaust treatment device may include not only a heating device and a chipping device, but also a device for charging mercury or a luminescent substance, a halogen encapsulation device, a flushing device, an aging device, and the like.

そしてまた、本発明において固定台の周囲に設置される
旋回台は、固定台と同一平面内に存在するものに制約さ
れるものではなく、固定台に対して同軸的な関係を有す
るものであれば図面に記載したように上下位置のずれが
あってもよい。
Furthermore, in the present invention, the swivel base installed around the fixed base is not limited to being in the same plane as the fixed base, but may have a coaxial relationship with the fixed base. For example, there may be a vertical positional shift as shown in the drawings.

[発明の効果] 以上説明したように本発明によると、固定台およびこの
固定台の周囲を連続または間欠に旋回される旋回台を備
え、この旋回台が固定台のロリを旋回されることに伴い
この旋回台に設けた加熱装置およびチッピング装置が上
記固定台に配置した排気ヘッドに対して順次移り代わる
ようにしたので、従来のようなセンターバルブの使用を
なくすることがでる。したがってセンターバルブの使用
に起因するリークの発生をなくすることができ、高真空
引きが可能となり、油蒸気の管球バルブ内への進入もな
くなるので品質が向上する。そしてまた、高真空引きを
中断することなく連続して行なえるので真空引き作業の
能率が向」二する。
[Effects of the Invention] As explained above, the present invention includes a fixed base and a rotating base that rotates continuously or intermittently around the fixed base, and the rotating base rotates the roller of the fixed base. Additionally, since the heating device and chipping device provided on the rotating table are sequentially transferred to the exhaust head placed on the fixed table, it is possible to eliminate the use of a conventional center valve. Therefore, the occurrence of leaks due to the use of a center valve can be eliminated, high vacuum can be achieved, and oil vapor does not enter the tube valve, resulting in improved quality. Furthermore, since high vacuuming can be performed continuously without interruption, the efficiency of vacuuming work is improved.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

図面は本発明の一実施例を示し、第1図は平面図、第2
図は第1図中■−■線の矢視図である。 ■・・・基盤、3・・・固定台、4・・・旋回台、7・
・・モータ、8a〜8h・・・排気ヘッド、9・・・低
真空ポンプ、13・・・高真空ポンプ、17・・・ガス
ボンベ、10.14゜19・・・マニホルド、11.1
5.20・・・電磁弁、12.10゜21・・・配管、
23・・・ローディング装置、24.25.28゜27
・・・加熱装置、29・・・チッピング装置、4o・・
・バルブ、41・・・排気管。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦
The drawings show one embodiment of the present invention, with FIG. 1 being a plan view and FIG.
The figure is a view taken along the line ■-■ in FIG. ■...Base, 3...Fixed base, 4...Swivel base, 7...
...Motor, 8a-8h...Exhaust head, 9...Low vacuum pump, 13...High vacuum pump, 17...Gas cylinder, 10.14° 19...Manifold, 11.1
5.20...Solenoid valve, 12.10゜21...Piping,
23...Loading device, 24.25.28°27
...Heating device, 29...Tipping device, 4o...
・Valve, 41...exhaust pipe. Applicant's agent Patent attorney Takehiko Suzue

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 固定台およびこの固定台の周囲を連続または間欠に旋回
される旋回台を備え、上記固定台の周囲には複数の排気
ヘッドを間隔を存して配置し、これら排気ヘッドは管球
バルブの排気管を気密にチャックするとともにこの固定
台に設置された真空引き系配管および封入ガス供給系配
管に対して切換可能に接続されており、かつ上記旋回台
にはこの旋回台の周方向に間隔を存して加熱装置および
チッピング装置を設け、この旋回台が固定台の回りを旋
回されることに伴い上記旋回台に設けた加熱装置および
チッピング装置が上記固定台の排気ヘッドに対して順次
移り代わるようにしたことを特徴とする管球の排気マシ
ン。
A fixed base and a swivel base that rotates continuously or intermittently around the fixed base are provided, and a plurality of exhaust heads are arranged at intervals around the fixed base, and these exhaust heads are used for the exhaust of the tube valve. It chucks the tube airtight and is switchably connected to the vacuum system piping and the sealed gas supply system piping installed on this fixed base, and the above-mentioned swivel base is provided with an interval in the circumferential direction of the swivel base. and a heating device and a chipping device are provided at the swivel base, and as the swivel base is rotated around the fixed base, the heating device and the chipping device provided on the swivel base are sequentially transferred to the exhaust head of the fixed base. A tube exhaust machine characterized by:
JP1721488A 1988-01-29 1988-01-29 Exhausting machine for tubular bulb Pending JPH01195635A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100941035B1 (en) * 2009-08-17 2010-02-05 신진엠텍(주) Dual head of air exhauster for manufacturing cold cathode fluorescent lamp

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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