JPH01175785A - Semiconductor laser module with built-in optical isolator - Google Patents

Semiconductor laser module with built-in optical isolator

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JPH01175785A
JPH01175785A JP33438587A JP33438587A JPH01175785A JP H01175785 A JPH01175785 A JP H01175785A JP 33438587 A JP33438587 A JP 33438587A JP 33438587 A JP33438587 A JP 33438587A JP H01175785 A JPH01175785 A JP H01175785A
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JP
Japan
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semiconductor laser
beam splitter
fixed
polarizing beam
chip carrier
Prior art date
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Application number
JP33438587A
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Japanese (ja)
Inventor
Kazuo Toda
戸田 和郎
Satoshi Ishizuka
石塚 訓
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

PURPOSE:To assure the title module of a flat package type wherein orientation of a polarization beam splitter is set with ease with set error and with a higher isolator ratio, by fixedly mounting the first polarization beam splitter on a chip carrier on which a semiconductor laser is fixed in alignment with the direction of polarization of the semiconductor laser. CONSTITUTION:The title module includes, in its flat package 206, a semiconductor laser 101, a lens 102, and a first polarization beam splitter 203 fixedly mounted on the same chip carrier 201 on which the semiconductor laser 101 is fixed or on a stationary bench for fixing the chip carrier, the fixation of the beam splitter being done in alignment with the direction of polarization of the semiconductor laser 101. In addition, the module includes interiorly and exteriorly of said package 206, a magneto-optical element 104 having polarization plane rotating power of 45 deg. and an optical isolator part in which the second beam splitter 204 is fixed at the angle of 45 deg. with respect to a direction of the polarization of the semiconductor laser 101 when the second beam splitter is inserted into a magnet 205 and with respect to the direction of rotation of the polarization plane of the magneto-optical element 104, and further a single mode optical fiber 209 for coupling the associated light and fixing the same.

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はシングルモード光ファイバを利用した高度の光
通信における高品質の光アイソレータ内蔵半導体レーザ
モジュールに関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION FIELD OF INDUSTRIAL APPLICATION The present invention relates to a high quality semiconductor laser module with a built-in optical isolator for advanced optical communications using single mode optical fibers.

従来の技術 第3図は従来の砲弾型光アイソレータ内蔵半導体レーザ
モジュールの縦断面図である。半導体レーザ101から
の出射光は微光球レンズ102でコリメート光になり、
磁石103中に設置したYIG結晶からなる磁気光学素
子104と偏光ビームスプリッタ105を通過し自己集
束型レンズからなる第1のレンズ106および第2の、
レンズ107により光フアイバ素線108に集光する光
学系となっている。さらに第3図において109は光フ
アイバ心線、110は光フアイバコード、111は第2
のレンズ107と光フアイバ素線108を固定するファ
イバホルダ、112は第1のレンズホルダするレンズホ
ルダ、113はファイバホルダ111をレンズホルダ1
12上で光学軸および光学軸垂直方向に動かし光結合を
取った後に固定するファイバホルダ固定治具、114は
モニター用受光素子である。上記のような構成において
磁気光学素子104は磁石103により飽和磁化され4
5°のファラデー回転を有する熱さに研磨されており、
また偏光ビームスプリッタテ105は磁気光学素子10
4により45°偏光面の回転を受けた半導体レーザ10
1の出射光を最大透過すなわち半導体レーザ101の出
射偏光面に対して磁気光字素104のファラデー回転方
向に45゜回転した位置に調整して固定されている。そ
して光フアイバ素線108からの戻り光は偏光ビームス
プリッタにより直線偏光のみが透過し磁気光学素子10
4によりさらに45°回転し半導体レーザ101の出射
直線偏光と90”をなす角で半導体レーザ101に戻る
。半導体レーザ101の偏光特性により戻り光による誘
起雑音は発生しなくなる。半導体レーザ101の出射直
線偏光と垂直の偏光の戻り光により誘起雑音が発生する
場合もあり半導レーザ101と磁気光学素子104の間
にさらに偏光ビームスプリッタを追加する場合もある。
BACKGROUND OF THE INVENTION FIG. 3 is a longitudinal sectional view of a conventional semiconductor laser module with a built-in bullet-type optical isolator. The light emitted from the semiconductor laser 101 becomes collimated light by the microphotospheric lens 102,
After passing through a magneto-optical element 104 made of a YIG crystal placed in a magnet 103 and a polarizing beam splitter 105, a first lens 106 made of a self-focusing lens, and a second lens 106 made of a self-focusing lens,
The lens 107 serves as an optical system that focuses light onto the optical fiber wire 108 . Furthermore, in FIG. 3, 109 is an optical fiber core, 110 is an optical fiber cord, and 111 is a second optical fiber.
A fiber holder 112 fixes the lens 107 and the optical fiber 108, a lens holder 112 serves as a first lens holder, and a lens holder 113 fixes the fiber holder 111 to the lens holder 1.
A fiber holder fixing jig 114 is a monitor light-receiving element, which is moved on the optical axis and in a direction perpendicular to the optical axis to take optical coupling and then fixed. In the above configuration, the magneto-optical element 104 is saturated magnetized by the magnet 103 and 4
Hot polished with 5° Faraday rotation,
In addition, the polarizing beam splitter 105 is a magneto-optical element 10.
Semiconductor laser 10 whose polarization plane has been rotated by 45° by 4
The magneto-optical element 104 is adjusted and fixed at a position where the emitted light of the magneto-optical element 104 is rotated by 45 degrees in the Faraday rotation direction with respect to the emission polarization plane of the semiconductor laser 101, that is, the emitted light of the semiconductor laser 101 is transmitted to the maximum. Then, the return light from the optical fiber 108 is transmitted by a polarizing beam splitter so that only the linearly polarized light is transmitted through the magneto-optical element 10.
4, it is further rotated by 45 degrees and returns to the semiconductor laser 101 at an angle of 90" with the output linearly polarized light of the semiconductor laser 101. Due to the polarization characteristics of the semiconductor laser 101, induced noise due to the returned light is no longer generated. The output straight line of the semiconductor laser 101 Induced noise may be generated by returned light of polarized light perpendicular to the polarized light, and a polarizing beam splitter may be further added between the semiconductor laser 101 and the magneto-optical element 104.

発明が解決しようとする問題点 このような従来の光アイソレータ内蔵半導体レーザモジ
ュールでは磁石103に固定した偏光ビームスプリッタ
105と磁気光学素子104の回転調製では透過光の最
大パワーをモニターしながら調製し固定する必要がある
。さらに半導体レーザ101と磁気光学素子の間に偏光
ビームスプリッタを追加するような場合でもその偏光ビ
ームスプリッタは最大パワーをモニタして回転調整およ
び固定する必要がある。このように偏光ビームスプリッ
タの回転調整および固定には長時間を要しさらに設定誤
差が発生しやすくアイソレーション比の劣化を引き起こ
すという問題点を有していた。さらに近年においては砲
弾型パッケージより取り扱いが便利で半導体レーザ冷却
用のペルチェ素子およびサーミスタの内蔵されたフラッ
ト型パッケージの需要が急速に伸びている。
Problems to be Solved by the Invention In such a conventional semiconductor laser module with a built-in optical isolator, the polarizing beam splitter 105 fixed to the magnet 103 and the magneto-optical element 104 are rotated and adjusted while monitoring the maximum power of transmitted light. There is a need to. Furthermore, even in the case where a polarizing beam splitter is added between the semiconductor laser 101 and the magneto-optical element, the maximum power of the polarizing beam splitter must be monitored and the rotation thereof adjusted and fixed. As described above, it takes a long time to adjust and fix the rotation of the polarizing beam splitter, and furthermore, there are problems in that setting errors are likely to occur, causing deterioration of the isolation ratio. Furthermore, in recent years, there has been a rapid increase in demand for flat packages that are easier to handle than bullet-type packages and have built-in Peltier elements and thermistors for cooling semiconductor lasers.

本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、フラッ
ト型パッケージにおいて偏光ビームスプリッタの角度設
定が容易でさらに設定誤差が少な(アイソレーション比
が少ない光アイソレータ内蔵半導体レーザモジュールを
提供するものである。
The present invention has been made in view of these points, and provides a semiconductor laser module with a built-in optical isolator that allows easy angle setting of a polarizing beam splitter in a flat package, and has less setting error (lower isolation ratio). .

問題点を解決するための手段 本発明は上記問題点を解決するために、フラット型パッ
ケージのデュアルインラインパッケージあるいはバタフ
ライパッケージ内部に半導体レーザと、レンズと、前記
半導体レーザを固定した同一チップキャリア上あるいは
チップキャリアを固定する固定台上に前記半導体レーザ
の偏光方向に合わせて固定した第1の偏光ビームスプリ
ッタと、前記フラット型パッケージの内部あるいは外部
に偏光面回転能が45°である磁気光学素子と第2の偏
光ビームスプリッタを磁石内に挿入し前記半導体レーザ
の偏光方向と前記磁気光学素子の偏光面回転方向に前記
第2の偏光ビームスプリッタが45°の角度をなすよう
に固定した光アイソレータ部と、光を結合し固定したシ
ングルモード光ファイバを備えた光アイソレータ内蔵半
導体レーザモジュールである。さらに望ましくは磁石の
外形および内形を第2の偏光ビームスプリッタの角度設
定を無調整で行える形状にするあるいは第1および第2
の偏光ビームスプリッタの設定角を45°になるように
して磁気光学素子をはさみエポキシの樹脂で固定した第
1の偏光ビームスプリッタのみをチップキャリア上ある
いはチップキャリアを固定する固定台に固定しその後に
磁石を磁気光学素子が機能するところまで挿入固定する
という光ファイソレータ内蔵半導体し−サモジュールで
ある。
Means for Solving the Problems In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a semiconductor laser and a lens inside a flat-type dual-in-line package or a butterfly package, and a semiconductor laser fixed on the same chip carrier or on the same chip carrier. a first polarizing beam splitter fixed in accordance with the polarization direction of the semiconductor laser on a fixing table for fixing the chip carrier; and a magneto-optical element having a polarization plane rotation ability of 45 degrees inside or outside the flat package. an optical isolator section in which a second polarizing beam splitter is inserted into a magnet and fixed so that the second polarizing beam splitter forms an angle of 45° with the polarization direction of the semiconductor laser and the rotation direction of the polarization plane of the magneto-optical element; This is a semiconductor laser module with a built-in optical isolator equipped with a single-mode optical fiber that couples and fixes light. More preferably, the outer and inner shapes of the magnet are such that the angle of the second polarizing beam splitter can be set without adjustment, or
Only the first polarizing beam splitter, which is fixed with epoxy resin by sandwiching the magneto-optical element with the setting angle of the polarizing beam splitter set at 45°, is fixed on the chip carrier or on a fixing base that fixes the chip carrier. This is a semiconductor module with a built-in optical fiber insulator in which a magnet is inserted and fixed until the magneto-optical element functions.

作   用 本発明は上記した構成及び作製方法により、第1の偏光
ビームスプリッタにより半導体レーザの戻り光は半導体
レーザの偏光方向と90’をなしその誤差は機械的精度
のみによる。また第2の偏光ビームスプリッタも機械的
精度のみによる角度設定が行える。
Operation According to the present invention, with the above-described configuration and manufacturing method, the return light of the semiconductor laser is made 90' to the polarization direction of the semiconductor laser by the first polarizing beam splitter, and the error thereof is due only to mechanical precision. Further, the angle of the second polarizing beam splitter can also be set using only mechanical precision.

実施例 第1図aは本発明による一実施例を示す縦断面の構成図
である。チップキャリア201上に半導体レーザ101
.微小レンズ102は固定されている。チップキャリア
201はペルチェ素子202上に固定されており半導体
レーザ101の出射光偏光方向はベルチェ素子202面
上に垂直となる。
Embodiment FIG. 1a is a vertical cross-sectional configuration diagram showing an embodiment according to the present invention. Semiconductor laser 101 on chip carrier 201
.. The microlens 102 is fixed. The chip carrier 201 is fixed on the Peltier element 202, and the polarization direction of the emitted light from the semiconductor laser 101 is perpendicular to the surface of the Peltier element 202.

そこで第1の偏光ビームスプリッタ203を半導体レー
ザ101の偏光方向と合わせてベルチェ素子202面上
に固定する。半導体レーザ101およびチップキャリア
の固定の際半田の肉厚のバラツキを少なくするため加圧
して半田付をすると角度設定誤差は0.5°以下に充分
なり得る。次に第2の偏光ビームスプリッタ204を磁
気光学素子104を間に置して第1の偏光ビームスプリ
ッタ203に対して45°の偏光方向に設定するため第
1図すに示す正方形あるいは一平行面をもつ磁石205
に第2の偏光ビームスプリッタ204が設定角になる穴
あるいはある面に対して設定角に調整して固定しさらに
その面をパッケージ206底面などの面に当てて固定す
る。
Therefore, the first polarizing beam splitter 203 is fixed on the surface of the Vertier element 202 in alignment with the polarization direction of the semiconductor laser 101. When fixing the semiconductor laser 101 and the chip carrier, if soldering is performed under pressure in order to reduce variations in the thickness of the solder, the angle setting error can be reduced to 0.5° or less. Next, in order to set the second polarizing beam splitter 204 in a polarization direction of 45 degrees with respect to the first polarizing beam splitter 203 with the magneto-optical element 104 in between, the second polarizing beam splitter 204 is set in a square or parallel plane as shown in FIG. magnet 205 with
Then, the second polarizing beam splitter 204 is adjusted to a set angle with respect to a hole or a certain surface having a set angle and fixed, and then that surface is placed against a surface such as the bottom surface of the package 206 and fixed.

次にパッケージ206の側面に半田付固定されたレンズ
207で光は集光されておりフェルール208に固定し
反射防止のため斜め研磨された光ファイバ209を光学
軸方向および垂直方向にフェルールホルダ210に挿入
してスライドさせ結合を取りYAGレーザ溶接などでパ
ッケージ206に固定する。
Next, the light is focused by a lens 207 soldered to the side of the package 206, and an optical fiber 209, which is fixed to a ferrule 208 and polished diagonally to prevent reflection, is attached to a ferrule holder 210 in the optical axis direction and perpendicular direction. It is inserted and slid, the connection is removed, and it is fixed to the package 206 by YAG laser welding or the like.

ここでは第2の偏光ビームスプリッタ204の設定誤差
を少なくするため磁石205の形状精度あるいはパッケ
ージ206底面の半導体レーザ101に対する平行度を
必要とする。この精度向上のために価格の増大が問題と
なる場合、第1図Cに示すように、第1および第2の偏
光ビームスプリッタ203,204の間に磁気光学素子
104をはさみ設定角を機械的に45°あるいはアイソ
レーション比を測定して最適の位置でエポキシ系接着剤
で固定した後に第1の偏光ビームスプリッタ203をペ
ルチェ素子上に固定し、さらに磁石205を挿入し固定
しても良い。
Here, in order to reduce the setting error of the second polarizing beam splitter 204, the shape accuracy of the magnet 205 or the parallelism of the bottom surface of the package 206 with respect to the semiconductor laser 101 is required. If an increase in price is a problem in order to improve this accuracy, as shown in FIG. The first polarizing beam splitter 203 may be fixed on the Peltier element after measuring 45° or the isolation ratio and fixing it at the optimum position with an epoxy adhesive, and then inserting and fixing the magnet 205.

また第2図は本発明の別の実施例を示す縦断面の構成図
である。本実施例はパッケージ211の外部に磁石20
5.磁気光学素子104.第2の偏光ビームスプリッタ
204を設け、パッケージ211に磁石205の保持部
を設は保持部内で磁石205に固定した磁気光学素子1
04、第2の偏光ビームスプリッタ204と磁石205
とともに回転しあるいは磁石205と磁気光学素子10
4は固定し先にパッケージ211に固定しておき第2の
偏光ビームスプリッタ204のみを回転し最適な位置で
固定する。
Further, FIG. 2 is a longitudinal cross-sectional configuration diagram showing another embodiment of the present invention. In this embodiment, a magnet 20 is installed outside the package 211.
5. Magneto-optical element 104. A second polarizing beam splitter 204 is provided, a magnet 205 holding part is provided in the package 211, and the magneto-optical element 1 is fixed to the magnet 205 within the holding part.
04, second polarizing beam splitter 204 and magnet 205
The magnet 205 and the magneto-optical element 10 rotate together.
4 is fixed and first fixed to the package 211, and only the second polarizing beam splitter 204 is rotated and fixed at an optimal position.

また、光ファイバ209の固定は先の実施例と同様に行
う。
Further, the optical fiber 209 is fixed in the same manner as in the previous embodiment.

発明の効果 以上述べてきたように、本発明の光アイソレータ内蔵半
導体レーザモジュールによれば、作製による偏光ビーム
スプリッタの設定誤差が少なく組立容易でアイソレーシ
ョン比の高いフラット型パッケージのモジュールが実現
できる。
Effects of the Invention As described above, according to the semiconductor laser module with a built-in optical isolator of the present invention, it is possible to realize a module with a flat package that is easy to assemble and has a high isolation ratio with little setting error in the polarizing beam splitter during manufacturing.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図aは本発明の一実施例のモジュールを示す縦断面
図、第1図すは同じモジュールに用いる磁石の平面図、
第1図Cは他のモジュールの要部断面図、第2図は本発
明の別の実施例のモジュールの縦断面図、第3図は従来
のアイソレータ内蔵半導体レーザモジュールの縦断面図
である。 101・・・・・・半導体レーザ、102・・・・・・
微小球レンズ、104・・・・・・磁気光学素子、11
4・・・・・・モニタ用受光素子、201・・・・・・
チップキャリア、202・・・・・・ペルチェ素子、2
02,203・・・・・・偏光ビームスプリッタ、20
5・・・・・・磁石、206.211・・・・・・パッ
ケージ、207・・・・・・レンズ、208・・・・・
・フェルール、209・・・・・・光ファイバ、210
・・・・・・フェルールホルダ。
FIG. 1a is a vertical sectional view showing a module according to an embodiment of the present invention, FIG. 1 is a plan view of a magnet used in the same module,
FIG. 1C is a sectional view of a main part of another module, FIG. 2 is a longitudinal sectional view of a module according to another embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a longitudinal sectional view of a conventional semiconductor laser module with a built-in isolator. 101... Semiconductor laser, 102...
Microsphere lens, 104...Magneto-optical element, 11
4...Monitor light receiving element, 201...
Chip carrier, 202... Peltier element, 2
02,203...Polarizing beam splitter, 20
5...Magnet, 206.211...Package, 207...Lens, 208...
・Ferrule, 209...Optical fiber, 210
...Ferrule holder.

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)フラット型パッケージのデュアルインラインパッ
ケージあるいはバタフライパッケージ内部に半導体レー
ザと、レンズと、前記半導体レーザを固定した同一チッ
プキャリア上あるいはチップキャリアを固定する固定台
上に前記半導体レーザの偏光方向を合わせて固定した第
1の偏光ビームスプリッタと、前記フラット型パッケー
ジの内部あるいは外部に偏光面回転能が45°である磁
気光学素子と第2の偏光ビームスプリッタを磁石内に挿
入前記半導体レーザの偏光方向と前記磁気光学素子の偏
光面回転方向に前記第2の偏光ビームスプリッタが45
°の角度をなすように回転固定した光アイソレータ部と
、光を結合して固定したシングルモード光ファイバーを
備えてなる光アイソレータ内蔵半導体レーザモジュール
(1) A semiconductor laser and a lens are placed inside a flat dual-inline package or a butterfly package, and the polarization direction of the semiconductor laser is aligned on the same chip carrier on which the semiconductor laser is fixed or on a fixing table on which the chip carrier is fixed. a first polarizing beam splitter fixed to the flat package, a magneto-optical element having a polarization plane rotation ability of 45 degrees inside or outside the flat package, and a second polarizing beam splitter inserted into the magnet in the polarization direction of the semiconductor laser. and the second polarizing beam splitter 45 in the rotation direction of the polarization plane of the magneto-optical element.
A semiconductor laser module with a built-in optical isolator, which includes an optical isolator section that is rotated and fixed at an angle of .degree., and a single mode optical fiber that couples light and is fixed.
(2)第1の偏光ビームスプリッタを固定するチップキ
ャリアあるいはチップキャリアを固定する固定台の面の
は半導体レーザチップ固定面と平行である特許請求の範
囲第1項記載の光アイソレータ内蔵半導体レーザモジュ
ール。
(2) A semiconductor laser module with a built-in optical isolator according to claim 1, wherein the surface of the chip carrier for fixing the first polarizing beam splitter or the fixing base for fixing the chip carrier is parallel to the semiconductor laser chip fixing surface. .
(3)第1および第2の偏光ビームスプリッタはあらか
じめ45°となるように磁気光学素子をはさんで固定し
、次に第1の偏光ビームスプリッタをチップキャリアあ
るいはチップキャリアを固定する固定台に固定し、その
後磁石を固定する特許請求の範囲第1項又は第2項記載
の光アイソレータ内蔵半導体レーザモジュール。
(3) The first and second polarizing beam splitters are fixed in advance with the magneto-optical element sandwiched between them so that they are at an angle of 45 degrees, and then the first polarizing beam splitter is placed on the chip carrier or a fixed base that fixes the chip carrier. A semiconductor laser module with a built-in optical isolator according to claim 1 or 2, wherein the semiconductor laser module has a built-in optical isolator.
(4)フラット型パッケージ内部の光アイソレータ部を
固定する場合第2の偏光ビームスプリッタは磁石の外形
が正方形あるいは一辺が平行面の出たものであり、その
面に対して45°に設定し固定することによりフラット
型パッケードの底面などの基準面に磁石の平面側を固定
する特許請求の範囲第1項又は第2項記載の光アイソレ
ータ内蔵半導体レーザモジュール。
(4) When fixing the optical isolator inside a flat package, the second polarizing beam splitter has a magnet with a square outer shape or one side with a parallel surface, and is fixed at a 45° angle to that surface. 3. A semiconductor laser module with a built-in optical isolator according to claim 1 or 2, wherein the flat side of the magnet is fixed to a reference surface such as the bottom surface of a flat package.
JP33438587A 1987-12-29 1987-12-29 Semiconductor laser module with built-in optical isolator Pending JPH01175785A (en)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0587979U (en) * 1992-04-30 1993-11-26 ホーヤ株式会社 Semiconductor laser module
US11957141B2 (en) 2016-07-18 2024-04-16 Cj Cheiljedang Corporation Apparatus for manufacturing grilled seaweed and method for manufacturing grilled seaweed

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