JPH01169689U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH01169689U JPH01169689U JP6766088U JP6766088U JPH01169689U JP H01169689 U JPH01169689 U JP H01169689U JP 6766088 U JP6766088 U JP 6766088U JP 6766088 U JP6766088 U JP 6766088U JP H01169689 U JPH01169689 U JP H01169689U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- flange
- vacuum tank
- container
- tank
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Joints Allowing Movement (AREA)
Description
第１図は、本考案による真空管継手の線図、第
２図は、第１図中の鎖線Ａ―Ａに沿う断面図、第
３図乃至第５図は、既に提案されている真空管継
手の各線図である。 １…真空タンク、２…真空ポンプ、４…真空容
器、６…真空蒸着装置、１０…二重ベローズ管、
１１…圧力空間。
２図は、第１図中の鎖線Ａ―Ａに沿う断面図、第
３図乃至第５図は、既に提案されている真空管継
手の各線図である。 １…真空タンク、２…真空ポンプ、４…真空容
器、６…真空蒸着装置、１０…二重ベローズ管、
１１…圧力空間。
Claims (1)
- 真空ポンプを備えた真空タンクの一側に継手を
介して真空容器を接続した真空装置において、上
記真空タンクのフランジと上記真空容器のフラン
ジとを二重ベローズ管で接続したことを特徴とす
る真空管継手。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6766088U JPH01169689U (ja) | 1988-05-23 | 1988-05-23 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6766088U JPH01169689U (ja) | 1988-05-23 | 1988-05-23 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01169689U true JPH01169689U (ja) | 1989-11-30 |
Family
ID=31293022
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6766088U Pending JPH01169689U (ja) | 1988-05-23 | 1988-05-23 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01169689U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4691802B2 (ja) * | 2001-02-28 | 2011-06-01 | ソニー株式会社 | 電子ビーム照射装置 |
-
1988
- 1988-05-23 JP JP6766088U patent/JPH01169689U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4691802B2 (ja) * | 2001-02-28 | 2011-06-01 | ソニー株式会社 | 電子ビーム照射装置 |