JPH01169103A - Rodless cylinder - Google Patents

Rodless cylinder

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Publication number
JPH01169103A
JPH01169103A JP32546787A JP32546787A JPH01169103A JP H01169103 A JPH01169103 A JP H01169103A JP 32546787 A JP32546787 A JP 32546787A JP 32546787 A JP32546787 A JP 32546787A JP H01169103 A JPH01169103 A JP H01169103A
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JP
Japan
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bellows
shape
piston
guide
rodless cylinder
Prior art date
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Application number
JP32546787A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hidenori Sugano
秀則 菅野
Kenji Ito
研二 伊藤
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Fuji Seiki Co Ltd
Nakamura Kiki Engineering Co Ltd
Fuji Seiki KK
Original Assignee
Fuji Seiki Co Ltd
Nakamura Kiki Engineering Co Ltd
Fuji Seiki KK
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Publication date
Application filed by Fuji Seiki Co Ltd, Nakamura Kiki Engineering Co Ltd, Fuji Seiki KK filed Critical Fuji Seiki Co Ltd
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Publication of JPH01169103A publication Critical patent/JPH01169103A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To stabilize extension-contraction movement of bellows by forming a shape retention guide supported and guided with a support member always located in an inside recess of the bellows in the shape of an ellipsoid. CONSTITUTION:A shape retention guide 29, as it moves, engages with the inside recess of bellows 26, 27 and slides, while retaining the regularity of the wavy shape of the bellows, on support shafts 22, 23. The shape retention guide 29 is ellipsoidally formed with the distance between two guide holes 30, namely a pitch direction, as a major axis. The shape retention guide 29 engages with every several recesses of the bellows 26, 27, for example every one, two or three recesses. This makes it possible to increase the width in the axial direction of the shape retention guide 29 without shortening the effective stroke of a piston 24.

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、比較的大きな内部圧力の変化に対しても耐え
るとともに、規則的な波形及び正しい伸縮方向を保持し
つつ柔軟に伸縮し得るロッドレスシリンダに関する。
Detailed Description of the Invention <Field of Industrial Application> The present invention provides a rod that can withstand relatively large changes in internal pressure and can flexibly expand and contract while maintaining a regular waveform and correct expansion and contraction direction. Regarding the less cylinder.

〈従来の技術〉 一般に、ロッドレスシリンダは、左右の流体室の圧力差
によって負圧の方向に移動せしめられるピストンを作動
部材として、その往復移動時の作動力をシリンダの側方
において出力するものである。
<Prior Art> In general, a rodless cylinder uses a piston as an actuating member that is moved in the direction of negative pressure due to the pressure difference between the left and right fluid chambers, and outputs the actuating force at the side of the cylinder during the reciprocating movement of the piston. It is.

この場合の出力の方式としては、次の2点がある。There are two methods of output in this case:

即ち、非磁性体製のシリンダ内に磁性体ピストンを配置
し、かつピストンに対向してシリンダの外周にドーナツ
型の作動体たる出力部材を滑動自在に嵌め付けることに
より、両者をマグネットカップリング方式で連結する方
式のもの。
That is, a magnetic piston is placed inside a cylinder made of a non-magnetic material, and an output member, which is a donut-shaped actuating body, is slidably fitted to the outer periphery of the cylinder, facing the piston, thereby coupling the two using a magnetic coupling method. The one that connects with.

左右流体室の端部付近においてシリンダ壁に穿設したベ
ルト孔に、屈曲自在なスチールベルトを挿通し、その端
部をピストンに固定することにより、シリンダの外周で
スチールベルトが長手方向に摺動往復するように設けた
方式のもの。
A flexible steel belt is inserted into belt holes drilled in the cylinder wall near the ends of the left and right fluid chambers, and its ends are fixed to the piston, allowing the steel belt to slide longitudinally around the outer circumference of the cylinder. It is designed to go back and forth.

しかし、前者の方式では、ピストンと外部の出力部材と
は機械的連結でなく、磁気的な連結であるため、大きな
荷重負荷に耐えるだけのカップリング力がない、そこで
、より強力なカップリング力を生じさせるにはピストン
と出力部材の素材として非常に高価な希土類マグネット
を使用しなければならない。
However, in the former method, the piston and the external output member are not mechanically connected but magnetically connected, so there is not enough coupling force to withstand a large load.Therefore, a stronger coupling force is required. In order to produce this, extremely expensive rare earth magnets must be used as materials for the piston and output member.

しかも、出力部材の摺動時にシリンダと大きなa!eを
生じるので、その一方または両方からの摩耗粉が周囲に
飛散することになり、例えばクリーンルーム工場での使
用は全く不適である。
Moreover, when the output member slides, the cylinder and the large a! Therefore, wear powder from one or both of them will be scattered around, making it completely unsuitable for use in, for example, a clean room factory.

後者の方式では、流体室の壁にベルト孔があって、気密
性が保持されないため、作動不良を生じたり、作動の正
確性を欠くものである。しかも、このベルト孔における
スチールベルトの摺動摩擦が大きいので、摩耗により孔
径が徐々に拡大する欠点がある。
In the latter method, there is a belt hole in the wall of the fluid chamber, and airtightness cannot be maintained, resulting in malfunction or lack of accuracy in operation. Moreover, since the sliding friction of the steel belt in the belt hole is large, there is a drawback that the hole diameter gradually increases due to wear.

そこで、本出願人は、かかる従来の問題点を解消するべ
く、ベローズの伸縮を利用したロッドレスシリンダを先
に提案している(特願昭62−142433号参照)。
Therefore, in order to solve these conventional problems, the present applicant has proposed a rodless cylinder that utilizes the expansion and contraction of bellows (see Japanese Patent Application No. 142433/1982).

かかるロッドレスシリンダは、第5図に示すように構成
されており、その作動は次のようである。
Such a rodless cylinder is constructed as shown in FIG. 5, and its operation is as follows.

即ち、エア給排孔62よりエアを圧送供給してシリンダ
の右流体室5を加圧モードとすると共に、エア給排孔6
1を開放してシリンダの左流体室4を脱気モードとする
と、ピストンlは支持軸10.11上をスライドして負
圧の左流体室4側に移動せしめられる。このピストンの
移動に伴って右流体室5側のベローズ2aは伸張し、左
流体室4のベローズ2bは収縮する。従って、右流体室
5及び左流体室4は各々独立した密閉室を保持したまま
ピストンlの移動が可能となっているものであり、しか
も、ピストン1と被作動物たる、ワーク7とをピストン
外周部材17を介して機械的に固定することができるも
のである。
That is, air is supplied under pressure from the air supply/discharge hole 62 to put the right fluid chamber 5 of the cylinder into the pressurization mode, and at the same time, the air supply/discharge hole 6
1 is opened to put the left fluid chamber 4 of the cylinder into a degassing mode, the piston 1 slides on the support shaft 10.11 and is moved to the left fluid chamber 4 side where the pressure is negative. As the piston moves, the bellows 2a on the right fluid chamber 5 side expands, and the bellows 2b on the left fluid chamber 4 contracts. Therefore, the right fluid chamber 5 and the left fluid chamber 4 are capable of moving the piston 1 while maintaining independent sealed chambers, and furthermore, the piston 1 and the workpiece 7, which is the actuated object, can be moved by the piston 1. It can be mechanically fixed via the outer peripheral member 17.

この時、双方の流体室4.5の内部にはベロー波形の凹
部すべてに夫々保形ガイド12が移動方向に対して係合
しているので、このベロー波形が伸縮に伴う深浅の変化
を生じても、所定の規則的な波形が乱されることなく、
ストローク方向へ直線的に伸縮移動することができるも
のである。
At this time, the shape-retaining guides 12 are engaged with all the concave portions of the bellows waveform in the movement direction inside both fluid chambers 4.5, so that the bellows waveform causes changes in depth and shallowness due to expansion and contraction. Even if the waveform is
It can extend and contract linearly in the stroke direction.

特に、加圧モードとなる側の流体室において、大きな内
圧が作用しても、ベロー胴部が軸に対して直角な方向に
変移湾曲したりすることがなく、正しい姿勢及び波形が
保形維持されてストローク方向に直線的に伸縮できるも
のである。
In particular, even if a large internal pressure is applied to the fluid chamber on the side that is in pressurization mode, the bellows body will not shift or curve in the direction perpendicular to the axis, maintaining the correct posture and waveform. It can be expanded and contracted linearly in the stroke direction.

〈発明が解決しようとする問題点〉 しかしながら、このようなロッドレスシリンダにおいて
、保形ガイド12は、円形断面のベローズ形状に合致し
た略真円形状に形成されており、ベロー波形のすべての
凹部ごとに係合配設された構成であるため、次のような
問題点を生じ易い。
<Problems to be Solved by the Invention> However, in such a rodless cylinder, the shape-retaining guide 12 is formed into a substantially perfect circular shape that matches the bellows shape with a circular cross section, and all recesses of the bellows waveform are formed. Because of this structure, the following problems are likely to occur.

即ち、保形ガイド12には、支持軸10゜11がスライ
ド自在に挿通される一対のスライド孔が形成されている
が、この一対のスライド孔のピッチすなわち孔相互の間
隔が小さい場合には、保形ガイド12がその移動時に支
持軸10.11に対して傾き易くなり、保形ガイド12
がスライド孔内周面と支持軸10゜11外周面との間に
糺みを生じつつ移動(スティックスリップ)することに
なる。
That is, the shape-retaining guide 12 is formed with a pair of slide holes into which the support shaft 10° 11 is slidably inserted, but if the pitch of the pair of slide holes, that is, the distance between the holes is small, When the shape-retaining guide 12 moves, it tends to tilt with respect to the support shaft 10.11, and the shape-retaining guide 12
will move (stick-slip) while creating stickiness between the inner circumferential surface of the slide hole and the outer circumferential surface of the support shaft 10°11.

この結果、保形ガイド12のスムーズな移動が妨げられ
、所定の規則的なベロー波形が乱されてしまい、ベロー
ズがストローク方向へ直線的に伸縮移動することができ
なくなる虞が生じる。また、ベロー胴部が変移湾曲し7
ベローズの損傷を来すという虞が生じる。
As a result, the smooth movement of the shape-retaining guide 12 is hindered, the predetermined regular bellows waveform is disturbed, and there is a possibility that the bellows will not be able to extend and contract linearly in the stroke direction. In addition, the bellows body is curved and 7
There is a risk of damage to the bellows.

このような問題点を解決するには、保形ガイド12の軸
方向の支持幅を大きくして、スライド孔長さを長くする
と共に、一対のスライド孔のピッチをできるだけ大きく
する必要がある。しかし、保形ガイド12の軸方向の幅
を大きくすると1.ベローズ収縮側における保形ガイド
の集積合計幅も大きくなるので、ピストンの有効ストロ
ークが短くなり、ロッドレスシリンダとしての適用範囲
が限定的なものとなってしまうという問題点を生じる。
In order to solve these problems, it is necessary to increase the axial support width of the shape-retaining guide 12, increase the length of the slide hole, and increase the pitch between the pair of slide holes as much as possible. However, if the axial width of the shape-retaining guide 12 is increased, 1. Since the total integrated width of the shape-retaining guides on the bellows contraction side also increases, the effective stroke of the piston becomes shorter, resulting in a problem that the range of application as a rodless cylinder becomes limited.

また、一対のスライド孔のピッチをできるだけ大きくす
るためには、保形ガイド12の外形を大きくとる必要が
あるが、これでは、ベローズ外形も大きくする必要があ
り、シリンダ本体が大型化してしまうという問題点を生
じる。
In addition, in order to make the pitch between the pair of slide holes as large as possible, it is necessary to increase the external size of the shape-retaining guide 12, but this also requires increasing the external size of the bellows, which increases the size of the cylinder body. Causes problems.

そこで、本発明は以上のような従来の実情に鑑み、保形
ガイドの配設位置及び形状の改良により、保形ガイドの
スムーズな移動を可能とし、ベローズの伸縮移動の安定
化を図ることを目的とする。
Therefore, in view of the above-mentioned conventional circumstances, the present invention aims to improve the arrangement position and shape of the shape-retaining guide to enable smooth movement of the shape-retaining guide and stabilize the expansion and contraction movement of the bellows. purpose.

く問題点を解決するための手段〉 このため本発明は1.左右の流体室の圧力差によって負
圧の方向に移動せしめられるピストンを作動部材とする
ロッドレスシリンダにおいて、 シリンダの両端部材間に配設された相互に平行な2以上
の支持部材と、 該支持部材に支持案内されて往復動可能に配設されたピ
ストンと、 該ピストンと端部材との間に配設したベローズにより、
左右独立の形成された流体室と、該ベローズ内側凹部に
常に位置してベローズを保持しつつ支持部材に支持案内
されて往復動可能に配設された保形ガイドと、を有(7
、かつ該保形ガイドが、両支持部材との接触点をむすぶ
方向を長軸とする楕円形状に形成されるとともに、上記
ベロー波形の数個おきの凹部に配設されたことを特徴と
するロッドレスシリンダ、とする。
Means for Solving the Problems〉 Therefore, the present invention has the following features: 1. A rodless cylinder whose operating member is a piston that is moved in the direction of negative pressure by a pressure difference between left and right fluid chambers, comprising two or more mutually parallel support members disposed between both end members of the cylinder; A piston supported and guided by a member and disposed to be reciprocating, and a bellows disposed between the piston and the end member,
It has left and right independent fluid chambers, and a shape-retaining guide that is always located in the inner recess of the bellows and is supported and guided by a support member so as to be able to reciprocate while holding the bellows (7).
, and the shape-retaining guide is formed in an elliptical shape with its long axis in the direction connecting the contact points with both support members, and is disposed in every few recesses of the bellows waveform. Let's say it's a rodless cylinder.

〈作用〉 係る構成では、支持部材上をスライドして負圧の一方の
流体室側にピストンを移動せしめると、ピストンの移動
に伴って他方の流体室側のベローズは伸張し、進行方向
側の流体室のベローズは収縮する。従って、両流体室は
各々独立した密閉室を保持したままピストンの移動が可
能となる。この場合、保形ガイドを、ガイド孔の相互の
間隔すなわちピッチ方向を長軸とする楕円形状に形成し
た結果、スライド孔のピッチを大きくすることが可能と
なり、保形ガイドの外形を大きくとる必要がなく、ベロ
ーズ外形の大型化ひいてはシリンダ本体の大型化を防止
できる。また、保形ガイドをベロー波形の数個おきの凹
部に係合したことによって、収縮側で寄せ集め密接した
ときの保形ガイド合計長を極力小さくできるので、ピス
トンの有効ストロークを短くすることなく保形ガイドの
軸方向の幅を大きくすることが可能となる。更に、保形
ガイドのスムーズな移動を実現でき、所定の規則的なベ
ロー波形が乱されることがなくなるので、ベローズがス
トローク方向へ直線的に伸縮移動することができ、ベロ
ー胴部の変移湾曲によるベローズの損傷を防止できる。
<Operation> In such a configuration, when the piston is moved to the side of one fluid chamber with negative pressure by sliding on the support member, the bellows on the side of the other fluid chamber expands as the piston moves, and the bellows on the side of the movement direction expands. The bellows of the fluid chamber contracts. Therefore, the piston can move while both fluid chambers maintain independent sealed chambers. In this case, as a result of forming the shape-retaining guide in an elliptical shape with the long axis being the distance between the guide holes, that is, the pitch direction, it is possible to increase the pitch of the slide holes, and it is necessary to increase the external shape of the shape-retaining guide. Therefore, it is possible to prevent the bellows from increasing in size, and by extension, the cylinder body from increasing in size. In addition, by engaging the shape-retaining guides in every few recesses of the bellows waveform, the total length of the shape-retaining guides when they are brought together closely on the contraction side can be minimized, without shortening the effective stroke of the piston. It becomes possible to increase the width of the shape-retaining guide in the axial direction. Furthermore, smooth movement of the shape-retaining guide can be realized, and the predetermined regular bellows waveform is not disturbed, so the bellows can extend and contract linearly in the stroke direction, and the curve of the bellows body can be adjusted. This prevents damage to the bellows due to

〈実施例〉 次に、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。<Example> Next, embodiments of the present invention will be described based on the drawings.

第1図において、Sは本発明に係るロッドレスシリンダ
であり、20.21は該シリンダSの両端を気密に閉成
するための端部材、22.23  は支持部材としての
一対の支持軸であり、滑らかな外面をもつパイプ材で形
成され、該端部材20.21を所定の間隔で対面固定す
るとともに、ピストン24を貫通して摺動自在に支持し
ている。25はピストン24内部に装填された流体シー
ル用のパツキン、26.27は柔軟かつ強靭な耐圧ベロ
ーズであり、図に示すように、その一端部は端部材20
.21に気密に連設固定されているとともに、その略中
央部側の端部ににはピストン24が気密に取り付けられ
ている。28はベローズ26.27の外周の波形凹部に
取り付けられた補強用のリング部材であり、内部圧力の
変化や軸方向への伸縮に対して常に規則的なベロー波形
を保持させるために、必要に応じて取り付けるものであ
る。
In FIG. 1, S is a rodless cylinder according to the present invention, 20.21 is an end member for airtightly closing both ends of the cylinder S, and 22.23 is a pair of support shafts as support members. The end members 20 and 21 are fixed facing each other at a predetermined interval, and are slidably supported through the piston 24. 25 is a gasket for fluid sealing loaded inside the piston 24, and 26 and 27 are flexible and strong pressure-resistant bellows, one end of which is connected to the end member 20 as shown in the figure.
.. 21, and a piston 24 is airtightly attached to the end on the substantially central side thereof. 28 is a reinforcing ring member attached to the corrugated recess on the outer periphery of the bellows 26 and 27, and is necessary to maintain a regular bellows waveform against changes in internal pressure and expansion and contraction in the axial direction. It should be installed accordingly.

29は支持軸22.23を挿通するためのガイド孔30
を有し該支持軸22.23上において、夫々独立して自
由に摺動移動可能に配設された保形ガイドであり、その
移動に伴ってベローズ26.27の内側凹部に係合して
ベロー波形の規則性に保形しながら支持軸22.23上
をスライドする。この保形ガイド29は二つのガイド孔
30,30の間隔すなわちピッチ方向を長軸とする楕円
形状に形成されている。
29 is a guide hole 30 for inserting the support shaft 22.23.
Shape-retaining guides are disposed on the support shafts 22, 23 so as to be able to freely slide independently, and as they move, they engage with the inner recesses of the bellows 26, 27. It slides on the support shafts 22 and 23 while maintaining the regularity of the bellows waveform. This shape-retaining guide 29 is formed in an elliptical shape whose major axis is the interval between the two guide holes 30, 30, that is, the pitch direction.

即ち、保形ガイド29は、第2図及び第3図に示すよう
に、楕円形状の板部29aの両側に該板部29aと同心
の楕円形状の凸部29bを夫々一体に成形した形状であ
り、楕円の長軸方向に一対のガイド孔3oが形成されて
いる。尚、このガイド孔30は、凸部29bの周縁に一
部開口しつつ板部29aを貫通している。
That is, as shown in FIGS. 2 and 3, the shape-retaining guide 29 has a shape in which an elliptical plate portion 29a and elliptical convex portions 29b concentric with the plate portion 29a are integrally formed on both sides of the plate portion 29a. A pair of guide holes 3o are formed in the long axis direction of the ellipse. Note that this guide hole 30 penetrates through the plate portion 29a while being partially opened at the periphery of the convex portion 29b.

31は保形ガイド29の楕円の短軸方向に対向して形成
された一対の流体流通孔である。
Reference numeral 31 denotes a pair of fluid circulation holes formed opposite to each other in the short axis direction of the ellipse of the shape retaining guide 29.

そして、かかる保形ガイ′ド29は、ベローズ26.2
7の凹部の数個おき例えば1個。
The shape-retaining guide 29 has a bellows 26.2.
For example, one every few recesses of No.7.

2個、3個おきに係合される。Every two or three pieces are engaged.

ここで、本実施例においては、エア給徘孔を前記支持軸
22.23を利用して設けている。
In this embodiment, the air supply hole is provided using the support shafts 22 and 23.

即ち、一対の支持軸22.23は中空パ、イブにより形
成されており、夫々の一端は端部材21を貫通して外部
給排機構(図示せず)との連結部22a、23aとなっ
ている。そして、一方の支持軸22のエア給徘孔22b
は流体室32に開口され、他方の支持軸23のエア給排
孔23bは流体室33に開口されている。
That is, the pair of support shafts 22 and 23 are formed of hollow pipes and pipes, and one end of each is passed through the end member 21 and serves as connecting portions 22a and 23a with an external supply/discharge mechanism (not shown). There is. Then, the air supply hole 22b of one support shaft 22
is opened to the fluid chamber 32, and the air supply/discharge hole 23b of the other support shaft 23 is opened to the fluid chamber 33.

かかる構成において、一方の支持軸22の外部給排機構
との連結部22aからエアを圧送供給して右流体室32
を加圧モードとすると共に、他方の支持軸23の外部給
排機構との連結部23aを開放して左流体室33を脱気
モードとすると、ピストン24は支持軸22゜23上を
スライドして負圧の左流体室33側に移動せしめられる
。この場合、連結部22aから圧送されたエアは支持軸
22のエア給排孔22bを通って右流体室32に流入し
、該右流体室32おいてピストン24を押圧移動する。
In this configuration, air is supplied under pressure from the connecting portion 22a of one of the support shafts 22 to the external supply/discharge mechanism to supply the air to the right fluid chamber 32.
When the left fluid chamber 33 is set to the pressurization mode and the connecting portion 23a of the other support shaft 23 with the external supply/discharge mechanism is opened to set the left fluid chamber 33 to the deaeration mode, the piston 24 slides on the support shafts 22 and 23. and is moved to the left fluid chamber 33 side where the pressure is negative. In this case, the air forced from the connecting portion 22a flows into the right fluid chamber 32 through the air supply/discharge hole 22b of the support shaft 22, and presses the piston 24 in the right fluid chamber 32.

ピストン24の押圧移動によって加圧された左流体室3
3内のエアはエア給排孔23bを通って支持軸23内に
流入し、連結部23aから排出される。
The left fluid chamber 3 pressurized by the pressing movement of the piston 24
3 flows into the support shaft 23 through the air supply/discharge hole 23b and is discharged from the connecting portion 23a.

このピストン24の移動に伴って左流体室33側のベロ
ーズ26は収縮し、右流体室32のベローズ27は伸張
する。従って、保形ガイド29も移動し、右流体室32
及び左流体室33は各々独立した密閉室を保持したまま
ピストン24の移動が可能となる。
As the piston 24 moves, the bellows 26 on the left fluid chamber 33 side contracts, and the bellows 27 on the right fluid chamber 32 expands. Therefore, the shape-retaining guide 29 also moves, and the right fluid chamber 32
The piston 24 can be moved while the left fluid chamber 33 and the left fluid chamber 33 each maintain an independent sealed chamber.

そして、かかる構成によると、保形ガイド29を、2つ
のガイド孔30のピッチ方向を長軸とする楕円形状に形
成した結果、ガイド孔30のピッチを大きくすることが
可能となり、保形ガイド29の外形を円形のまま大きく
する必要がないので、ベローズ26.27の外形の大型
化ひいてはシリンダの大型化を防止できる。また、保形
ガイド29をベロー波形の数個おきの凹部に係合したこ
とによって、ピストン24の有効ストロークを短くする
ことなく第1図に示す保形ガイド29の軸方向の幅lを
大きくすることが可能となる。
According to this configuration, as a result of forming the shape-retaining guide 29 into an elliptical shape whose major axis is the pitch direction of the two guide holes 30, it becomes possible to increase the pitch of the guide holes 30, and the shape-retaining guide 29 Since it is not necessary to increase the size of the bellows 26, 27 while keeping it circular, it is possible to prevent the size of the bellows 26, 27 from increasing in size, and by extension, from increasing the size of the cylinder. Furthermore, by engaging the shape-retaining guide 29 in every few recesses of the bellows waveform, the axial width l of the shape-retaining guide 29 shown in FIG. 1 can be increased without shortening the effective stroke of the piston 24. becomes possible.

これらにより、保形ガイド29の安定姿勢とスティック
スリップのないスムーズな移動が実現でき、かつ所定の
規則的なベロー波形が乱ささることがなくなるので、ベ
ローズ26゜27がストローク方向へ直線的に伸縮移動
することができ、ベロー胴部の変移湾曲によるベローズ
26,27の損傷を防止できる。
As a result, a stable posture of the shape-retaining guide 29 and smooth movement without stick-slip can be realized, and the predetermined regular bellows waveform is not disturbed, so that the bellows 26 and 27 extend and contract linearly in the stroke direction. The bellows 26 and 27 can be prevented from being damaged due to displacement and curvature of the bellows body.

尚、他の実施例として、第4図に示すように、支持軸2
2.23の外部給排機構との連結部の反対側の端部材2
0に、外部に連通ずる連通孔34を設けると共に、該連
通孔34を常時は塞ぐゴムからなるシール部材35を設
けるようにする。
In addition, as another embodiment, as shown in FIG.
End member 2 on the opposite side of the connection part with the external supply/discharge mechanism in 2.23
0 is provided with a communication hole 34 that communicates with the outside, and a seal member 35 made of rubber that normally closes the communication hole 34 is provided.

この構成によると、エア圧のコントロールミス、外部給
圧機構としてのコンプレッサの異常動作及び流通孔の詰
まり等によって各流体室、支持孔内が異常圧力になった
場合に、シール部材35が破れて内部エアが外部に排出
されるので、ベローズ26,27や補強リング28等の
破損を防止でき、安全対策とすることができる。
According to this configuration, the sealing member 35 is ruptured when the insides of each fluid chamber and the support hole become abnormal pressure due to air pressure control error, abnormal operation of the compressor as an external pressure supply mechanism, clogging of the circulation hole, etc. Since the internal air is discharged to the outside, damage to the bellows 26, 27, reinforcing ring 28, etc. can be prevented, and this can serve as a safety measure.

〈発明の効果〉 以上説明したように本発明によれば、ベローズの伸縮を
利用したロッドレスシリンダにおいて、保形ガイドを、
ガイド孔のピンチ方向を長軸とする楕円形状に形成する
と共に、該保形ガイドをベロー波形の数個おきの凹部に
係合するようにしたから、ベローズ外形の大型化ひいて
はシリンダ本体の大型化を防止しつつスライド孔のピッ
チを大きくすることが可能となると共に、ピストンの有
効ストロークを短くすることなく保形ガイドの軸方向へ
の幅を大きくすることが可能となり、保形ガイドの安定
移動とスムーズな移動を実現でき、ベローズの損傷を防
止できる。
<Effects of the Invention> As explained above, according to the present invention, in the rodless cylinder that utilizes the expansion and contraction of the bellows, the shape-retaining guide is
Since the guide hole is formed into an elliptical shape with the long axis in the pinch direction, and the shape-retaining guide is engaged with every few recesses of the bellows waveform, the outer shape of the bellows becomes larger, and the cylinder body becomes larger. This makes it possible to increase the pitch of the slide holes while preventing this, and also increases the width of the shape-retaining guide in the axial direction without shortening the effective stroke of the piston, resulting in stable movement of the shape-retaining guide. This allows for smooth movement and prevents damage to the bellows.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明に係るロッドレスシリンダの一実施例を
示す断面図、第2図は同上実施例における保形ガイドの
構造を示す正面図、第3図はその斜視図、第4図は他の
実施例を示す断面図、第5図は従来のロッドレスシリン
ダを示す断面図である。 22.23・・・・・・支持軸 24・・・・・・ピストン 2[i、27・・・・・・ベローズ 29・・・・・・保形ガイド 30・・・・・・ガイド孔 S・・・・・・ロッドレスシリンダ
Fig. 1 is a sectional view showing an embodiment of a rodless cylinder according to the present invention, Fig. 2 is a front view showing the structure of a shape-retaining guide in the same embodiment, Fig. 3 is a perspective view thereof, and Fig. 4 is a sectional view showing an embodiment of a rodless cylinder according to the present invention. A sectional view showing another embodiment, and FIG. 5 is a sectional view showing a conventional rodless cylinder. 22.23... Support shaft 24... Piston 2 [i, 27... Bellows 29... Shape retaining guide 30... Guide hole S...Rodless cylinder

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)左右の流体室の圧力差によって負圧の方向に移動
せしめられるピストンを作動部材 とするロッドレスシリンダにおいて、 シリンダの両端部材間に配設された相互 に平行な2以上の支持部材と、 該支持部材に支持案内されて往復動可能 に配設されたピストンと、 該ピストンと端部材との間に配設したベ ローズにより、左右独立の形成された流体 室と、 該ベローズ内側凹部に常に位置してベロ ーズを保持しつつ支持部材に支持案内され て往復動可能に配設された保形ガイドと、 を有し、かつ該保形ガイドが、両支持部材 との接触点をむすぶ方向を長軸とする楕円 形状に形成されるとともに、上記ベロー波 形の数個おきの凹部に配設されたことを特 徴とするロッドレスシリンダ。
(1) In a rodless cylinder whose operating member is a piston that is moved in the direction of negative pressure by the pressure difference between the left and right fluid chambers, two or more mutually parallel support members are arranged between both end members of the cylinder. , a piston supported and guided by the support member so as to be able to reciprocate; and a bellows disposed between the piston and the end member to form left and right independent fluid chambers; and a recess inside the bellows. a shape-retaining guide that is supported and guided by the support member and is arranged to be able to reciprocate while always holding the bellows; 1. A rodless cylinder characterized in that it is formed in an elliptical shape with a long axis at , and is disposed in every few recesses of the bellows waveform.
(2)ベローズの外周面凹部に、補強用リングが配設さ
れてなる前記特許請求の範囲第1 項記載のロッドレスシリンダ。
(2) The rodless cylinder according to claim 1, wherein a reinforcing ring is disposed in the concave portion of the outer peripheral surface of the bellows.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1182796A (en) * 1997-09-16 1999-03-26 Fuji Koki Corp Electric motor operated valve
WO2005010980A1 (en) * 2003-07-28 2005-02-03 Tokyo Electron Limited Bellows-supporting structure and movable stage device

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