JPH01153920A - Dropout measuring instrument - Google Patents

Dropout measuring instrument

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Publication number
JPH01153920A
JPH01153920A JP62313209A JP31320987A JPH01153920A JP H01153920 A JPH01153920 A JP H01153920A JP 62313209 A JP62313209 A JP 62313209A JP 31320987 A JP31320987 A JP 31320987A JP H01153920 A JPH01153920 A JP H01153920A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
dropout
laser light
data
exposure
circuit
Prior art date
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Pending
Application number
JP62313209A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yuji Ito
雄二 伊藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
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Filing date
Publication date
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Publication of JPH01153920A publication Critical patent/JPH01153920A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To grasp the state of a dropout quantitatively as a material for deciding whether or not the exposure quality of a manufactured original disk is normal and to improve the efficiency of operation by measuring the depth, length, and position of a dropout of exposure laser light in an original disk exposing machine for an optical disk. CONSTITUTION:Branch laser light branched by a half-mirror 2, etc., from the main optical axis of the exposure laser light from a laser light source 1 is photodetected by a photoelectric converting element 3. A conversion signal corresponding to the quantity of photodetection is inputted to a dropout detecting circuit 4. Then the circuit 4 sets a threshold level for the mean output level of the conversion signal and the threshold level is compared with the conversion signal to detect the dropout of the laser light and finds its depth. Further, length data and position data on the dropout are obtained by a counter circuit 6 and a formatter 7. Then those data are stored 8 temporarily by a control part 5 and then outputted 9 after an exposure process is finished.

Description

【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明は、光ディスクの原盤露光機における原盤露光用
レーザ光のドロップアウト測定装置に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION TECHNICAL FIELD The present invention relates to a dropout measuring device for a laser beam for master exposure in an optical disc master exposure machine.

従来技術 一般に、光ディスクの製造工程で、光ディスクの原盤露
光時にレーザ光にドロップアウトが発生した場合、その
欠陥を次工程以降で発見するのは極めて困難である。又
、光ディスクの欠陥防止の観点からも、例えば顕微鏡観
察等の人為的な操作を要しないようにするのがよい。こ
のため、ドロップアウト特性を確認し得るのは、光デイ
スクドライブによる信号観察等によるため、光ディスク
を製造した時点以降となる。
BACKGROUND OF THE INVENTION Generally, in the manufacturing process of an optical disc, if a dropout occurs in the laser beam during exposure of the optical disc master, it is extremely difficult to detect the defect in subsequent processes. Furthermore, from the viewpoint of preventing defects in the optical disc, it is preferable to eliminate the need for manual operations such as microscopic observation. For this reason, dropout characteristics can only be confirmed after the optical disc is manufactured by observing signals using an optical disc drive or the like.

このようなドロップアウト測定方法では、特性確認まで
の所要時間に大きな無駄を生ずる。かといって、ドロッ
プアウト未発見のまま光ディスクが市場に出た場合、ド
ライブの経時変化等によりマツチングがとれなくなり、
トラック外れ等の品質劣化の問題を生ずる。
Such a dropout measurement method results in a large waste of time required to confirm the characteristics. However, if an optical disc goes on the market without detecting dropouts, matching may become impossible due to changes in the drive over time, etc.
This causes quality deterioration problems such as off-track.

この点、ドロップアウト発生をその特性を含めて原版露
光時に発見できれば、次工程以降の無駄な作り込みの時
間を省略できることになり、そのためのドロップアウト
測定装置が要望される。
In this regard, if the occurrence of dropouts, including their characteristics, can be detected during exposure of the original, wasteful manufacturing time in subsequent steps can be omitted, and a dropout measuring device for this purpose is desired.

目的 本発明は、このような点に鑑みなされたもので、光ディ
スクの原盤露光機において、露光用レーザ光のドロップ
アウト発生時の深さ、長さ(時間)及び位置(セクター
アドレス)を測定することにより、ドロップアウトの状
態を定量的に把握し、作製されたガラス原盤の露光品質
を明らかにし、その良否判定を行なうことにより、次工
程以降の作業効率を向上させる得るドロップアウト測定
装置を得ることを目的とする。
Purpose The present invention has been made in view of the above points, and is to measure the depth, length (time), and position (sector address) when a dropout of an exposure laser beam occurs in an optical disk master exposure machine. By this, we can obtain a dropout measurement device that can quantitatively grasp the dropout condition, clarify the exposure quality of the produced glass master, and judge its quality, thereby improving work efficiency in the next process and thereafter. The purpose is to

構成 本発明は、上記目的を達成するため、光ディスクの原盤
露光用レーザ光の本光軸から分岐させた分岐レーザ光を
受光し光電変換する光電変換素子と、この光電変換素子
から出力される変換信号の平均出力レベルに対し複数段
階のスレッシュレベルが設定され前記変換信号との比軟
を行なってレーザ光のドロップアウトの検出及びその深
さデータを得るドロップアウト検出回路と、このドロッ
プアウト検出回路によるドロップアウト発生時から回復
時までの時間を測定しドロップアウトの長さデータを得
るカウンタ手段と、原盤露光時に原盤へのアドレス情報
を記録制御しドロップアウト検出時にはそのセクターア
ドレスからドロップアウトの位置データを得るフォーマ
ツタと、前記深さデータと長さデータと前記位置データ
とを記録装置内に一旦格納させ露光工程終了後に出力さ
せるコントロール部とからなることを特徴とするもので
ある。
Structure In order to achieve the above object, the present invention provides a photoelectric conversion element that receives and photoelectrically converts a branched laser beam branched from the main optical axis of a laser beam for exposing a master of an optical disc, and a conversion device output from this photoelectric conversion element. A dropout detection circuit in which a plurality of threshold levels are set with respect to the average output level of a signal and performs comparison with the converted signal to detect a dropout of a laser beam and obtain depth data thereof; and this dropout detection circuit. A counter means that measures the time from the occurrence of a dropout to recovery time and obtains dropout length data, and a counter means that controls recording of address information on the master disc during master disc exposure, and when a dropout is detected, it measures the dropout position from the sector address. This apparatus is characterized by comprising a formatter for obtaining data, and a control section for temporarily storing the depth data, length data, and position data in a recording device and outputting them after the exposure process is completed.

息下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。ま
ず、光ディスクのガラス原盤を露光するためのレーザ光
を射出するレーザ光源1が設けられている。このレーザ
光源1は半導体レーザ、ガスレーザ等である。このよう
なレーザ光源1からの露光用レーザ光の本光軸からハー
フミラ−2等により分岐された分岐レーザを受光する光
電変換素子3が設けられている。二の光電変換素子3は
分岐レーザ光の受光量に応じて光電変換した電気的な変
換信号を出力するもので、例えばpinフォトダイオー
ドにより構成されている。次いで、この光電変換素子3
からの変換信号が入力されるドロップアウト検出回路4
が設けられている。このドロップアウト検出回路4はデ
ータバスによりコントロール部(CPU)5に接続され
ている。
An embodiment of the present invention will now be described based on the drawings. First, a laser light source 1 is provided that emits laser light for exposing a glass master disc of an optical disc. This laser light source 1 is a semiconductor laser, a gas laser, or the like. A photoelectric conversion element 3 is provided that receives branched laser light branched from the main optical axis of the exposure laser light from the laser light source 1 by a half mirror 2 or the like. The second photoelectric conversion element 3 outputs an electrical conversion signal that is photoelectrically converted according to the amount of received branched laser light, and is constituted by, for example, a pin photodiode. Next, this photoelectric conversion element 3
A dropout detection circuit 4 receives a conversion signal from
is provided. This dropout detection circuit 4 is connected to a control unit (CPU) 5 via a data bus.

このコントロール部5にはカウンタ手段としてのカウン
タ回路6及びフォーマツタ7が接続されているとともに
、出力側には記憶装置(メモリ)8及び出力装置9が接
続されている。
A counter circuit 6 as a counter means and a formatter 7 are connected to the control section 5, and a storage device (memory) 8 and an output device 9 are connected to the output side.

ここに、前記ドロップアウト検出回路4は第2図に示す
ように、変換信号を受けるバッファアンプ41と平均出
力レベル回路42とスレッシュレベルV ref設定回
路43とコンパレータ44とラッチ回路45とからなる
。前記バッファアンプ41により増幅された変換信号は
、一方ではそのまま前記コンパレータ44の一方の入力
Vinとされるとともに、他方では平均出力レベル回路
42に入力される。この平均出力レベル回路42では変
換信号に基づきそのパルス状の変動に左右されない擬似
DCレベルの平均出力レベルをスレッシュレベルVre
f設定回路43に出力するものである。
As shown in FIG. 2, the dropout detection circuit 4 includes a buffer amplifier 41 for receiving a conversion signal, an average output level circuit 42, a threshold level V ref setting circuit 43, a comparator 44, and a latch circuit 45. The converted signal amplified by the buffer amplifier 41 is directly input to one input Vin of the comparator 44 on the one hand, and is input to the average output level circuit 42 on the other hand. Based on the conversion signal, this average output level circuit 42 sets the average output level of the pseudo DC level, which is not influenced by the pulse-like fluctuation, to the threshold level Vre.
It is output to the f setting circuit 43.

このV rcf設定回路43では平均出力レベルに基づ
き、生の変換信号電圧Vinと比較すべきスレッシュレ
ベルVrefを比較基準電圧として設定しコンパレータ
44の他方の入力とするものである。
This V rcf setting circuit 43 sets a threshold level Vref to be compared with the raw converted signal voltage Vin as a comparison reference voltage based on the average output level, and sets it as the other input of the comparator 44 .

ここに、V ref設定回路43では第3図に示すよう
に複数段階のスレッシュレベルV ref、 、 V 
ref2゜〜、 VrefNを任意に設定し得るもので
ある。本実施例では、例えば各々のスレッシュレベルは
平均出力レベルに対しVref、 = 80%、Vre
f、 = 60%、Vref、=40%、Vref、 
= 20%の如く設定されており、変換信号にドロップ
アウトが生じた場合の深さ検出用として、その深さ方向
に4段階のスレシュレベルが設定されている。
Here, the V ref setting circuit 43 sets multiple threshold levels V ref, , V as shown in FIG.
ref2°~, VrefN can be set arbitrarily. In this embodiment, for example, each threshold level is Vref, = 80%, Vre
f, = 60%, Vref, = 40%, Vref,
= 20%, and four threshold levels are set in the depth direction for depth detection when dropout occurs in the converted signal.

そこで、まず、このドロップアウト検出回路4によるド
ロップアウト検出動作を説明する。今、レーザ光(変換
信号)に第4図に示すようなドロップアウトが発生した
場合を考える。この際、生のデータ(変換信号そのもの
)の電圧Vinが最も高いスレシュレベルVref、よ
りも下がった瞬間にコンパレータ44からはドロップア
ウト検出トリガ信号がLレベルにて出力される。その後
、生のデータの電圧VinがこのスレッシュレベルVr
ef。
Therefore, first, the dropout detection operation by this dropout detection circuit 4 will be explained. Now, consider a case where a dropout as shown in FIG. 4 occurs in the laser light (converted signal). At this time, the comparator 44 outputs a dropout detection trigger signal at L level at the moment the voltage Vin of the raw data (conversion signal itself) falls below the highest threshold level Vref. Thereafter, the voltage Vin of the raw data is set to this threshold level Vr.
ef.

まで回復するまで継続する。このような動作に際して電
圧VinがスレッシュレベルVref、を横切った時の
コンパレータ44からのスレッシュレベルVref、検
出フリップフロップ用トリガ信号がラッチ回路45に出
力される。更に、落ち込んで他のスレッシュレベルV 
ref、 、 V ref、等を電圧Vinが横切った
場合のコンパレータ44からのVref、。
Continue until recovery. During such an operation, when the voltage Vin crosses the threshold level Vref, the threshold level Vref from the comparator 44 and the detection flip-flop trigger signal are output to the latch circuit 45. Furthermore, it is depressed and other threshold levels V
Vref, from comparator 44 when voltage Vin crosses ref, , Vref, etc.

Vref、等の検出フリップフロップ用トリガ信号が同
様にラッチ回路45に出力される。第4図図示の変換信
号の場合には、Vref、〜Vref、までの検出フリ
ップフロップ用トリガ信号がラッチ回路45に出力され
る。
A detection flip-flop trigger signal such as Vref is similarly output to the latch circuit 45. In the case of the conversion signal shown in FIG. 4, detection flip-flop trigger signals from Vref to Vref are output to the latch circuit 45.

このようなドロップアウト検出回路4からの検出トリガ
信号はカウンタ回路6に入力されている。
A detection trigger signal from such a dropout detection circuit 4 is input to a counter circuit 6.

このカウンタ回路では第3図に示すように基本周波数が
クロック信号CLKとして常にCLK端に入力されてお
り、EN端子にはドロップアウト検出トリガ信号が入力
され得るようにされている。
In this counter circuit, as shown in FIG. 3, the fundamental frequency is always input as the clock signal CLK to the CLK terminal, and a dropout detection trigger signal can be input to the EN terminal.

これにより、カウンタ回路6は検出トリガ信号がLレベ
ルにて出力されている間、即ちドロップアウト継続時間
中、カウンタ動作が有効となり、その間のクロックCL
Kのパルス数をカウントする。
As a result, the counter circuit 6 has a valid counter operation while the detection trigger signal is output at L level, that is, during the dropout duration time, and the clock CL during that period is valid.
Count the number of K pulses.

よって、(基本周波数の周期)×(カウント数)がドロ
ップアウトの発生時から回復時までの長さデータ(第4
図の時間しに相当する)が計測される。
Therefore, (period of fundamental frequency) x (number of counts) is the length data from the time of dropout occurrence to the time of recovery (fourth
(corresponding to the time mark in the figure) is measured.

更に、ドロップアウト検出回路4からの検出トリガ信号
はフォーマツタフにも出力される。このフォーマツタ7
は原盤露光時のセクタアドレス記録制御用の回路であり
、検出トリガ信号が入力された時点、即ちドロップアウ
ト発生時のセクターアドレス情報を位置データとしてラ
ッチするものである。
Furthermore, the detection trigger signal from the dropout detection circuit 4 is also output to the format tough. This formattuta 7
1 is a circuit for controlling sector address recording during exposure of a master disc, and latches sector address information as position data at the time when a detection trigger signal is input, that is, when a dropout occurs.

そして、コントロール部5ではドロップアウト検出回路
4からの検出トリガ信号が割込み信号となり、この検出
トリガ信号が人力されると各データ、即ちドロップアウ
ト検出回路4からの深さ方向ラッチデータ(深さデータ
)、カウンタ回路6からの長さ方向カウント数データ、
フォーマツタ7からのセクターアドレスラッチデータを
各々読込む動作を行ない、ドロップアウト特性に関する
深さ、長さ、位置の各データを収集する。コントロール
部5ではこのような読込み動作が終了すると各回路4,
6.7に対しリセット信号を送出し、ドロップアウト検
出回路4のラッチ用フリップフロップ、カウンタ回路6
、フォーマツタ7のアドレスラッチ回路を各々リセット
する。又、このコントロール部5は各データの読込みが
終了すると、各データを一旦記憶装置8内に格納する。
In the control unit 5, the detection trigger signal from the dropout detection circuit 4 becomes an interrupt signal, and when this detection trigger signal is input manually, each data, that is, the depth direction latch data (depth data ), length direction count number data from the counter circuit 6,
The sector address latch data from the formatter 7 is read, and depth, length, and position data related to dropout characteristics are collected. In the control section 5, when such a reading operation is completed, each circuit 4,
6.7, the latch flip-flop of the dropout detection circuit 4 and the counter circuit 6
, and reset the address latch circuits of the formatter 7, respectively. Further, when the reading of each data is completed, the control unit 5 temporarily stores each data in the storage device 8.

このような一連の動作は、コントロール部5による制御
の下、原盤露光工程が終了するまで繰返し行なわれる。
Such a series of operations is repeated under the control of the control section 5 until the master exposure process is completed.

そして、露光工程が終了すると、コントロール部5は記
憶装置8内に格納した各データを順次取出し、例えばプ
リンタ、CRT、プロッタ等の出力装置9に出力する。
When the exposure process is completed, the control unit 5 sequentially takes out each piece of data stored in the storage device 8 and outputs it to an output device 9 such as a printer, CRT, or plotter.

二のようにして、原盤露光中にドロップアウトに関する
測定がなされ、ドロップアウトが発生した場合にはその
特性を定量的に把握し得ることになり、露光ガラス原盤
の品質を明らかにすることができる。よって、その良否
判定を行なうことにより、ドロップアウト発生時には原
盤露光工程以降の工程における品質確認等の無駄な時間
を省き、作業効率を向上させることができる。
As described in 2, dropout is measured during exposure of the master disc, and if dropout occurs, its characteristics can be quantitatively understood, and the quality of the exposed glass master disc can be clarified. . Therefore, by making a quality/failure judgment, when a dropout occurs, it is possible to eliminate wasted time such as quality confirmation in the steps after the master exposure step, and improve work efficiency.

効果 本発明は、上述したように構成したので、原盤露光用レ
ーザ光のドロップアウト発生時にドロップアウトに関す
る深さ、長さ、位置データ等の特性を定量的に把握する
ことができ、よって、製作された原盤の露光品質の良否
判定の資料とすることができ、次工程以降において品質
確認といった無駄な時間を省き、作業効率を向上させる
ことができるものである。
Effects Since the present invention is configured as described above, it is possible to quantitatively grasp the characteristics such as depth, length, position data, etc. related to dropouts when a dropout occurs in the laser beam for master exposure, and therefore, the production This can be used as material for determining whether the exposure quality of the exposed master is good or bad, and it is possible to eliminate wasted time such as checking the quality in the next process and thereafter, and improve work efficiency.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

図面は本発明の一実施例を示すもので、第1図はブロッ
ク図、第2図はドロップアウト検出回路のブロック図、
第3図はカウンタ回路の動作を示すブロック図、第4図
は波形図である。
The drawings show an embodiment of the present invention; FIG. 1 is a block diagram, FIG. 2 is a block diagram of a dropout detection circuit,
FIG. 3 is a block diagram showing the operation of the counter circuit, and FIG. 4 is a waveform diagram.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 光ディスクの原盤露光用レーザ光の本光軸から分岐させ
た分岐レーザ光を受光し光電変換する光電変換素子と、
この光電変換素子から出力される変換信号の平均出力レ
ベルに対し複数段階のスレツシユレベルが設定され前記
変換信号との比較を行なつてレーザ光のドロップアウト
の検出及びその深さデータを得るドロップアウト検出回
路と、このドロップアウト検出回路によるドロップアウ
ト発生時から回復時までの時間を測定しドロップアウト
の長さデータを得るカウンタ手段と、原盤露光時に原盤
へのアドレス情報を記録制御しドロップアウト検出時に
はそのセクターアドレスからドロップアウトの位置デー
タを得るフォーマツタと、前記深さデータと長さデータ
と前記位置データとを記録装置内に一旦格納させ露光工
程終了後に出力させるコントロール部とからなることを
特徴とするドロップアウト測定装置。
a photoelectric conversion element that receives and photoelectrically converts branched laser light branched from the main optical axis of the laser light for exposing the master of the optical disc;
A plurality of threshold levels are set for the average output level of the conversion signal output from this photoelectric conversion element, and the dropout is compared with the conversion signal to detect a laser beam dropout and obtain its depth data. A dropout detection circuit, a counter means for measuring the time from the occurrence of dropout to recovery by this dropout detection circuit to obtain dropout length data, and controlling recording of address information on the master disc during exposure of the master disc to detect dropout. It consists of a formatter that obtains dropout position data from the sector address at the time of detection, and a control unit that temporarily stores the depth data, length data, and position data in a recording device and outputs them after the exposure process is completed. Characteristic dropout measuring device.
JP62313209A 1987-12-11 1987-12-11 Dropout measuring instrument Pending JPH01153920A (en)

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JP62313209A JPH01153920A (en) 1987-12-11 1987-12-11 Dropout measuring instrument

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JP62313209A JPH01153920A (en) 1987-12-11 1987-12-11 Dropout measuring instrument

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JP62313209A Pending JPH01153920A (en) 1987-12-11 1987-12-11 Dropout measuring instrument

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