JPH01150001A - Servo mechanism - Google Patents

Servo mechanism

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Publication number
JPH01150001A
JPH01150001A JP30725687A JP30725687A JPH01150001A JP H01150001 A JPH01150001 A JP H01150001A JP 30725687 A JP30725687 A JP 30725687A JP 30725687 A JP30725687 A JP 30725687A JP H01150001 A JPH01150001 A JP H01150001A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
port
spool
land
chamber
servo
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP30725687A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Shigeyuki Takagi
高木 重行
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nabtesco Corp
Original Assignee
Teijin Seiki Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPH01150001A publication Critical patent/JPH01150001A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To improve the reliability of a servo system by connecting a fourth land provided for stability compensation to the spool of a servo valve. CONSTITUTION:A fourth land 50 is connected to a spool 14, while circular grooves 51, 52, formed on a casing 12, are communicated with a fifth port 54 and a sixth port 56 respectively. A seventh port 57, which is always communicated with a third chamber 55 and connected to a fourth port 33 through an intermediate passage 58 and a supply/discharge passage 40, is formed on the casing 12. When an external disturbance load is applied thereto and a minute displacement is generated on an output port, the displacement signal is fed-back to a servo valve 11 and the spool 14 is moved. The pressure rising side port out of the fifth and sixth ports 54, 56 is thus communicated with the seventh port 57, so that rapid change in the inner pressure is suppressed and stability is secured. The fourth land 50 can, even if it bites a foreign material or the like in, easily break it to improve the reliability of the servo system.

Description

【発明の詳細な説明】 りに立■旦豆! この発明は、安定性を補償したサーボ機構に関する。[Detailed description of the invention] Ritate ■Dan beans! The present invention relates to a servomechanism with guaranteed stability.

支上族韮遣 従来のサーボ機構としては、例えば第2図に示すような
ものが知られている。このものは、ノズルフラ多パタイ
ブのサーボ弁 1を有し、このサーボ弁 1のスプール
2には一端から他端に向かって順次3個のランドが設け
られている。また、 3は例えば航空機の可動翼を駆動
するアクチュエータであり、このアクチュエータ 3の
ピストン4の移動は前記サーボ弁 1により制御される
。サーボ弁1とアクチュエータ3との間にはアクチュエ
ータ 3内部の負荷圧力変化を抑制してサーボ系を安定
させる安定性補償機構5が設けられ、この安定性補償機
構5は圧力微分ピストン6と、固定絞り 7と、リーケ
ージ弁8とから構成されている。そして、このものはア
クチュエータ 3内部の負荷圧力が急変したとき、この
圧力上昇を圧力微分ピストンB、固定絞り 7で検出し
てり一ケージ弁8を解放し、高圧側の流体を低圧側に僅
かに逃がして安定性を図っている。
For example, as a conventional servo mechanism for servo control, the one shown in FIG. 2 is known. This has a nozzle flap multi-pattern servo valve 1, and a spool 2 of the servo valve 1 is provided with three lands in sequence from one end to the other end. Further, 3 is an actuator that drives, for example, a movable wing of an aircraft, and the movement of a piston 4 of this actuator 3 is controlled by the servo valve 1. A stability compensation mechanism 5 is provided between the servo valve 1 and the actuator 3 to stabilize the servo system by suppressing load pressure changes inside the actuator 3. This stability compensation mechanism 5 includes a pressure differential piston 6 and a fixed It consists of a throttle 7 and a leakage valve 8. When the load pressure inside the actuator 3 suddenly changes, this pressure rise is detected by the pressure differentiating piston B and the fixed throttle 7, and the cage valve 8 is released to slightly divert the fluid from the high pressure side to the low pressure side. In order to improve stability, the

が ・ し うと るHH屯 しかしながら、このような従来のサーボ機構は、安定性
補償機構5に微小な流体圧によって開閉するリーケージ
弁8を使用しているため、異物等によってこのリーケー
ジ弁8に噛み込みが生じると、リーケージ弁8が当該状
態でロックしてしまうという問題点がある。また、流体
中に混入している気泡が固定絞り 7付近に滞留すると
、差圧が変化し、安定性補償機構5が誤作動するという
問題点もある。さらに、前述のような圧力微分ピストン
 6、リーケージ弁8および固定絞り 7が必要となる
ため、構造が複雑になり高価になるという問題点もある
However, since such a conventional servo mechanism uses a leakage valve 8 that is opened and closed by minute fluid pressure in the stability compensation mechanism 5, foreign objects or the like may become lodged in the leakage valve 8. If the blockage occurs, there is a problem that the leakage valve 8 will be locked in this state. Furthermore, if air bubbles mixed in the fluid stay in the vicinity of the fixed throttle 7, the differential pressure changes, causing the stability compensation mechanism 5 to malfunction. Furthermore, since the pressure differential piston 6, leakage valve 8, and fixed throttle 7 as described above are required, there is also the problem that the structure becomes complicated and expensive.

1JI′I占  ′・  るための このような問題点は、一端から他端に向かって順次部1
.第2、第3ランドが設けられたサーボ弁のスプールと
、前記スプールが中立位置に位置しているとき第1ラン
ドにより閉止され、該スプールが一端方向に移動したと
き解放して第1、第2ランド間の第1室に高圧流体を供
給する第1ポートと、前記スプールが中立位置に位置し
ているとき第3ランドにより閉止され、該スプールが他
端方向に移動したとき解放して第2、第3ランド間の第
2室に高圧流体を供給する第2ポートと、第1室に常時
連通するとともにアクチュエータの一方の室に連通ずる
第3ポートと、第2室に常時連通するとともにアクチュ
エータの他方の室に連通ずる第4ポートと、前記スプー
ルが中立位置に位置しているとき第2ランドにより閉止
された低圧通路と、を備えたサーボ機構において、前記
第3ランドより他方側にスプールに連結された第4ラン
ドを設けるとともに、該第4ランドと第3ランドとの間
に第3室を形成し、かつ、第3ポートに接続され、スプ
ールが中立位置に位置しているとき第3ランドに閉止さ
れ該スプールが一端方向に移動したとき解放して第3室
に連通ずる第5ポートと、第3ポートに接続され、スプ
ールが中立位置に位置しているとき第4ランドに閉止さ
れ該スプールが他端方向に移動したとき解放して第3室
に連通ずる第6ポートと、第4ポートに接続されるとと
もに第3室に常時連通する第7ポートと、を設けること
により解決することができる。
1JI'I divination '・ This problem arises when the parts 1 are sequentially moved from one end to the other.
.. A spool of a servo valve is provided with second and third lands, and when the spool is located at a neutral position, the first land closes the spool, and when the spool moves toward one end, the spool opens and opens the first and third lands. a first port for supplying high-pressure fluid to a first chamber between two lands; a first port that is closed by a third land when the spool is in a neutral position and is opened when the spool moves toward the other end; 2. A second port that supplies high-pressure fluid to the second chamber between the third lands, a third port that constantly communicates with the first chamber and one chamber of the actuator, and a third port that constantly communicates with the second chamber and In the servo mechanism, the servo mechanism includes a fourth port communicating with the other chamber of the actuator, and a low pressure passage closed by the second land when the spool is in a neutral position, When a fourth land connected to the spool is provided, a third chamber is formed between the fourth land and the third land, and the third chamber is connected to the third port, and the spool is located at a neutral position. A fifth port is closed to the third land and is opened to communicate with the third chamber when the spool moves toward one end, and a fifth port is connected to the third port and connected to the fourth land when the spool is in the neutral position. By providing a sixth port that is closed and opens to communicate with the third chamber when the spool moves toward the other end, and a seventh port that is connected to the fourth port and constantly communicates with the third chamber. It can be solved.

今、アクチュエータ出力部に、振動を誘発する外乱荷重
がかかり、該出力部に微少の変位が発生すると、その変
位信号がサーボ弁に帰還される。その帰還信号によって
スプールが移動することにより、第5ポートおよび第6
ポートのうちの圧力上昇側ポートと、第7ポートとの間
が連通し、この結果、圧力上昇したアクチュエータ内の
流体が低圧通路へ僅かに流れ込み、これにより、内圧の
急変が抑制され、安定性が補償される。ここで、安定性
補償の用に供する第4ランドは大きな流体力を受けて移
動するサーボ弁のスプールに連結されているため、異物
等を噛み込んでも、これを容易に破断することができ、
サーボ系の信頼性を向上することができる。また、この
ものは差圧を検出することなく安定性を補償しているた
め、流体中の気泡が第3室等に滞留しても、安定性には
全く影響を与えず、これまた信頼性を向上することがで
きる。さらに、このものは、スプールに第4ランドを連
結するとともに第5.6.7ポートを設けるだけで安定
性を補償することができ、構造が簡単となり製作費も安
価とすることができる。
Now, when a disturbance load that induces vibration is applied to the actuator output section and a slight displacement occurs in the output section, the displacement signal is fed back to the servo valve. By moving the spool in response to the feedback signal, the fifth and sixth ports
The pressure-increasing side port of the ports communicates with the seventh port, and as a result, the fluid in the actuator whose pressure has increased flows slightly into the low-pressure passage, thereby suppressing sudden changes in internal pressure and improving stability. will be compensated. Here, the fourth land used for stability compensation is connected to the spool of the servo valve that moves under the influence of a large fluid force, so even if a foreign object gets caught, it can be easily broken.
The reliability of the servo system can be improved. In addition, since this product compensates for stability without detecting differential pressure, even if bubbles in the fluid remain in the third chamber, stability is not affected at all, and reliability is also improved. can be improved. Furthermore, this product can ensure stability by simply connecting the fourth land to the spool and providing the fifth, sixth, and seventh ports, resulting in a simple structure and low manufacturing cost.

実」1例 以下、この発明の一実施例を図面に基づいて説明する。Fruit” 1 case Hereinafter, one embodiment of the present invention will be described based on the drawings.

第1図において、11はノズルフラッパタイプのサーボ
弁であり、このサーボ弁11のケーシング12に形成さ
れたスプール室13にはスプール14が収納されている
。このスプール14には一端から他端に向かって順次第
1、第2、第3ランド15.16.17が設けられてい
る。 18は加算器18からの信号を増幅してトルクモ
ータ20に出力するサーボ増幅器であり、前記トルクモ
ータ20のフラッパ21はこのサーボ増幅器18からの
出力信号により揺動しスプール14を移動させる。2B
はケーシング12に形成された第1ポートであり、この
第1ポート26はスプール14が中立位置に位置してい
るとき第1ランド15によって閉止され、該スプール1
4が一端方向に移動したとき解放して第1、第2ランド
15.18間の第1室27に連通ずる。また、28はケ
ーシング12に形成された第2ポートであり、この第2
ポート28はスプール14が中立位置に位置していると
き第3ランド17によって閉止され、該スプール14が
他端方向に移動したとき解放して第2、第3ランド1B
、17間の第2室29に連通ずる。 3Gは一端がポン
プに接続された高圧通路であり、この高圧通路30の他
端部は二股に分かれ第1、第2ポート26゜28に接続
されている。この結果、前記第1ポート2Bまたは第2
ポート28が解放されたとき、第1ポート2Bまたは第
2ポート28を通じて高圧流体が第1室27または第2
室29に供給される。また、この際、高圧流体が供給さ
れない側の第2室29または第1室27は、タンクに接
続された低圧通路31に連通する。32.33はケーシ
ング12に形成された第3、第4ポートであり、前記第
3ポート32は第1室27に常時連通し、一方、第4ポ
ート33は第2室28に常時連通している。38はその
ピストンロッド35が例えば航空機の可動翼に連結され
たアクチュエータであり、このアクチュエータ38の一
方の室37には給排通路38を介して第3ポート32が
連通し、また、その他方の室39には給排通路4oを介
して前記第4ポート33が連通している。前記アクチュ
エータ36のピストンロッド35の変位は変位検出器4
1により検出され、この変位検出器41からの検出信号
は設定信号とともに加算器19に送られる。前記第3ラ
ンド17より他方側のスプール室13内には第4ランド
50が設けられ、この第4ランド50はスプール14に
連結されている。51.52はケーシング12に形成さ
れた環状溝であり、これらの環状溝51.52には二股
に分かれた中間通路53の一端部がそれぞれ接続されて
いる。また、この中間通路53の他端は給排通路38に
接続されている。環状溝51には周方向に等比ll!I
JllIれた第5ポート54が連通し、これらの第5ポ
ート54はスプール14が中立位置に位置しているとき
第3ランド17によって閉止され、該スプール14が一
端方向に移動したとき解放して第3ランド17と第4ラ
ンド50との間に形成された第3室55に連通ずる。ま
た、環状溝52には周方向に等比**れた第6ポート5
6が連通し、これらの第6ポー)5Bはスプール14が
中立位置に位置しているとき第4ランド50によって閉
止され、該スプール14が他端方向に移動したとき解放
して第3室55に連通ずる。このように、第5ポート5
4、第6ポート56は中間通路53、給排通路38を介
して第3ポート32に接続されているのである。
In FIG. 1, 11 is a nozzle flapper type servo valve, and a spool 14 is housed in a spool chamber 13 formed in a casing 12 of the servo valve 11. This spool 14 is provided with first, second, and third lands 15, 16, and 17 in order from one end to the other end. A servo amplifier 18 amplifies the signal from the adder 18 and outputs it to the torque motor 20. The flapper 21 of the torque motor 20 is swung by the output signal from the servo amplifier 18 to move the spool 14. 2B
is a first port formed in the casing 12; this first port 26 is closed by the first land 15 when the spool 14 is in the neutral position;
4 moves toward one end, it is released and communicates with the first chamber 27 between the first and second lands 15 and 18. Further, 28 is a second port formed in the casing 12;
The port 28 is closed by the third land 17 when the spool 14 is located at the neutral position, and is opened when the spool 14 moves toward the other end to open the second and third lands 1B.
, 17 and communicates with the second chamber 29 between them. 3G is a high pressure passage whose one end is connected to a pump, and the other end of this high pressure passage 30 is bifurcated and connected to the first and second ports 26 and 28. As a result, the first port 2B or the second port
When the port 28 is opened, high pressure fluid flows into the first chamber 27 or the second chamber through the first port 2B or the second port 28.
It is supplied to chamber 29. Further, at this time, the second chamber 29 or the first chamber 27 on the side to which high-pressure fluid is not supplied communicates with a low-pressure passage 31 connected to the tank. 32 and 33 are third and fourth ports formed in the casing 12, the third port 32 is always in communication with the first chamber 27, while the fourth port 33 is always in communication with the second chamber 28. There is. 38 is an actuator whose piston rod 35 is connected to, for example, a movable wing of an aircraft; one chamber 37 of this actuator 38 communicates with a third port 32 via a supply/discharge passage 38; The fourth port 33 communicates with the chamber 39 via a supply/discharge passage 4o. The displacement of the piston rod 35 of the actuator 36 is detected by the displacement detector 4.
1, and the detection signal from the displacement detector 41 is sent to the adder 19 together with the setting signal. A fourth land 50 is provided in the spool chamber 13 on the other side of the third land 17, and this fourth land 50 is connected to the spool 14. Reference numerals 51 and 52 denote annular grooves formed in the casing 12, and one end of an intermediate passage 53 which is bifurcated into two is connected to these annular grooves 51 and 52, respectively. Further, the other end of this intermediate passage 53 is connected to the supply/discharge passage 38. The annular groove 51 has a constant ratio ll! in the circumferential direction. I
The fifth ports 54 connected to each other communicate with each other, and these fifth ports 54 are closed by the third land 17 when the spool 14 is in the neutral position, and are opened when the spool 14 moves toward one end. It communicates with a third chamber 55 formed between the third land 17 and the fourth land 50. Further, the annular groove 52 has a sixth port 5 equally proportioned in the circumferential direction.
These sixth ports 5B are closed by the fourth land 50 when the spool 14 is in the neutral position, and are opened when the spool 14 moves toward the other end to open the third chamber 55. It will be communicated to. In this way, the fifth port 5
4. The sixth port 56 is connected to the third port 32 via the intermediate passage 53 and the supply/discharge passage 38.

また、第5、第6ポート54.58の各ポート面積は、
それらポートからの流出量が少なくなるよう第1、第2
、第3、第4ポート2B、28.32.33の各ポート
面積よりも小さくしである。57はケーシング12に形
成された第7ポートであり、この第7ポート57は常時
第3室55に連通しているとともに、中間通路58、給
排通路40を介して第4ポート33に接続されている。
In addition, each port area of the fifth and sixth ports 54.58 is
The first and second ports are designed to reduce the amount of outflow from those ports.
, the third and fourth ports 2B, 28, 32, and 33. 57 is a seventh port formed in the casing 12, and this seventh port 57 is always in communication with the third chamber 55, and is connected to the fourth port 33 via the intermediate passage 58 and the supply/discharge passage 40. ing.

次に、この発明の一実施例の作用について説明する。Next, the operation of one embodiment of the present invention will be explained.

今、アクチュエータ3Bの出力部に振動を誘発する外乱
荷重がかかり、ピストンロッド35に微少の変位が発生
すると、その変位は加算器1θ、サーボ増幅器18を介
してサーボ弁11に帰還される。この帰還信号によって
スプール14がピストンロッド35の移動方向と同一方
向に移動することにより、第5ポート54と第6ポート
56のうちでスプール14の移動方向側のポート、即ち
圧力上昇側ポートと、第7ポート57とが連通し、この
結果、圧力上昇したアクチュエータ36内の流体が低圧
通路31へ僅かに流れ込み、これにより、アクチュエー
タ3Bの内圧の急変が抑制され安定性が補償される。こ
こで、前記スプール14が異物等を噛み込んでも大きな
流体力によって該異物は容易に破断され、また、気泡が
第3室55等に滞留しても安定性は全く影響を受けない
ため、サーボ系の信頼性が向上する。さらに、このもの
は、サーボ弁11に第4ランド50、第5.6.7ポー
ト54.56.57を付加するだけでよく、構造が簡単
となり製作費も安価とすることができる。
Now, when a disturbance load that induces vibration is applied to the output portion of the actuator 3B and a slight displacement occurs in the piston rod 35, the displacement is fed back to the servo valve 11 via the adder 1θ and the servo amplifier 18. By this feedback signal, the spool 14 moves in the same direction as the moving direction of the piston rod 35, so that among the fifth port 54 and the sixth port 56, the port on the moving direction side of the spool 14, that is, the pressure increasing side port, This communicates with the seventh port 57, and as a result, the fluid in the actuator 36 whose pressure has increased slightly flows into the low pressure passage 31, thereby suppressing sudden changes in the internal pressure of the actuator 3B and ensuring stability. Here, even if the spool 14 catches a foreign object, the foreign object will be easily broken by the large fluid force, and even if air bubbles remain in the third chamber 55 etc., the stability will not be affected at all, so the servo System reliability is improved. Further, in this case, it is only necessary to add the fourth land 50 and the fifth, sixth, and seventh ports 54, 56, and 57 to the servo valve 11, so that the structure is simple and the manufacturing cost can be reduced.

なお、前述の実施例においては、フラッパ21を揺動さ
せてスプール14を移動させるようにしたが、この発明
においてはスプール14にフォースモータを直結し、加
算器19かもの信号および設定信号によりこのフォース
モータを駆動してスプール14を移動させてもよい、さ
らに、この発明においては、アクチュエータ36のピス
トンロッド35の変位および設定変位をリンク機構によ
ってスプール14に伝達し、これによりスプール14を
移動させるようにしてもよい。
In the above-mentioned embodiment, the spool 14 was moved by swinging the flapper 21, but in this invention, a force motor is directly connected to the spool 14, and this is controlled by the adder 19 signal and setting signal. The spool 14 may be moved by driving a force motor. Furthermore, in the present invention, the displacement and set displacement of the piston rod 35 of the actuator 36 are transmitted to the spool 14 by a link mechanism, thereby moving the spool 14. You can do it like this.

λ」Jと丸】 以上説明したように、この発明によれば、サーボ系の信
頼性が向上し、さらに、構造が簡単となるとともに製作
費も安価とすることができる。
[lambda]J and circle] As explained above, according to the present invention, the reliability of the servo system is improved, and furthermore, the structure is simplified and the manufacturing cost can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図はこの発明の一実施例を示す概略回路図、第2図
は従来のサーボ機構の概略回路図である。 11・・・サーボ弁    14・・・スプール15・
・・第1ランド   16・・・第2ランド17・・・
第3ランド   26・・・第1ポート27・・・第1
室     28・・・第2ポート29・・・第2室 
    31・・・低圧通路32・・・第3ポート33
・・・第4ポート36・・・アクチュエータ 37・・
・一方の室39・・・他方の室    5o・・・第4
ランド54・・・第5ポート55・・・第3室56・・
・第6ポート57・・・第7ポート特許出願人   帝
人製機株式会社 代理人 弁理士 多 1)敏 雄
FIG. 1 is a schematic circuit diagram showing an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a schematic circuit diagram of a conventional servo mechanism. 11... Servo valve 14... Spool 15.
...1st land 16...2nd land 17...
3rd land 26...1st port 27...1st
Chamber 28...Second port 29...Second chamber
31...Low pressure passage 32...Third port 33
...Fourth port 36...Actuator 37...
・One chamber 39...Other chamber 5o...Fourth
Land 54...5th port 55...3rd chamber 56...
・6th port 57... 7th port patent applicant Teijin Seiki Co., Ltd. agent Patent attorney Ta 1) Toshio

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 一端から他端に向かって順次第1、第2、第3ランドが
設けられたサーボ弁のスプールと、前記スプールが中立
位置に位置しているとき第1ランドにより閉止され、該
スプールが一端方向に移動したとき解放して第1、第2
ランド間の第1室に高圧流体を供給する第1ポートと、
前記スプールが中立位置に位置しているとき第3ランド
により閉止され、該スプールが他端方向に移動したとき
解放して第2、第3ランド間の第2室に高圧流体を供給
する第2ポートと、第1室に常時連通するとともにアク
チュエータの一方の室に連通する第3ポートと、第2室
に常時連通するとともにアクチュエータの他方の室に連
通する第4ポートと、前記スプールが中立位置に位置し
ているとき第2ランドにより閉止された低圧通路と、を
備えたサーボ機構において、前記第3ランドより他方側
にスプールに連結された第4ランドを設けるとともに、
該第4ランドと第3ランドとの間に第3室を形成し、か
つ、第3ポートに接続され、スプールが中立位置に位置
しているとき第3ランドに閉止され該スプールが一端方
向に移動したとき解放して第3室に連通する第5ポート
と、第3ポートに接続され、スプールが中立位置に位置
しているとき第4ランドに閉止され該スプールが他端方
向に移動したとき解放して第3室に連通する第6ポート
と、第4ポートに接続されるとともに第3室に常時連通
する第7ポートと、を設けたことを特徴とするサーボ機
構。
A spool of a servo valve is provided with a first land, a second land, and a third land in order from one end to the other end, and when the spool is located at a neutral position, the spool is closed by the first land, and the spool is closed in one direction. When you move to the 1st, 2nd
a first port that supplies high pressure fluid to a first chamber between the lands;
A second land that is closed by a third land when the spool is in a neutral position, and is opened when the spool moves toward the other end to supply high-pressure fluid to a second chamber between the second and third lands. a third port that constantly communicates with the first chamber and one chamber of the actuator, a fourth port that constantly communicates with the second chamber and the other chamber of the actuator, and the spool is in a neutral position. a low pressure passage closed by a second land when the servo mechanism is located in the servo mechanism, a fourth land connected to the spool is provided on the other side of the third land, and
A third chamber is formed between the fourth land and the third land, and is connected to the third port, and when the spool is in the neutral position, it is closed to the third land and the spool is moved toward one end. A fifth port that opens when the spool moves and communicates with the third chamber, and a fifth port that is connected to the third port and is closed to the fourth land when the spool is in the neutral position and when the spool moves toward the other end. A servo mechanism comprising: a sixth port that is opened and communicates with the third chamber; and a seventh port that is connected to the fourth port and constantly communicates with the third chamber.
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JP30725687A JPH01150001A (en) 1987-12-04 1987-12-04 Servo mechanism

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JP30725687A Pending JPH01150001A (en) 1987-12-04 1987-12-04 Servo mechanism

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JP (1) JPH01150001A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6774192B2 (en) 2000-12-05 2004-08-10 Nippon Shokubai Co., Ltd. Photosensitive resin composition, its use, lactone-ring-containing polymer, and production process therefor

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6774192B2 (en) 2000-12-05 2004-08-10 Nippon Shokubai Co., Ltd. Photosensitive resin composition, its use, lactone-ring-containing polymer, and production process therefor

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