JPH01142842U - - Google Patents

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JPH01142842U
JPH01142842U JP4091588U JP4091588U JPH01142842U JP H01142842 U JPH01142842 U JP H01142842U JP 4091588 U JP4091588 U JP 4091588U JP 4091588 U JP4091588 U JP 4091588U JP H01142842 U JPH01142842 U JP H01142842U
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  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例の構成図、第２図は
従来の微粒子計測装置の構成図である。 １……フローセル、２……液体試料、１０……
散乱光、１４，２３……微粒子計測装置、１８…
…流入路、２４……除泡装置。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 液体試料が貫流するフローセル内の前記液体試
    料に光を投射して生じる該光の散乱光を検出して
    前記液体試料中の微粒子を計測するものにおいて
    、前記フローセルへの前記液体試料の流入路に該
    液体試料中の気泡を除く除泡装置を設けたことを
    特徴とする微粒子計測装置。
JP4091588U 1988-03-28 1988-03-28 Pending JPH01142842U (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007225335A (ja) * 2006-02-21 2007-09-06 Toribo Tex Kk 微粒子計数装置、これを用いる微粒子計数方法及びこれを備える潤滑対象部診断システム
JP2007311751A (ja) * 2006-05-17 2007-11-29 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co Ltd 液浸リソグラフィシステムおよび半導体集積回路の液浸フォトリソグラフィパターニング方法

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