JPH01138662U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01138662U JPH01138662U JP3394288U JP3394288U JPH01138662U JP H01138662 U JPH01138662 U JP H01138662U JP 3394288 U JP3394288 U JP 3394288U JP 3394288 U JP3394288 U JP 3394288U JP H01138662 U JPH01138662 U JP H01138662U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circular
- substrate
- view
- insertion hole
- shaft insertion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims description 2
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims description 2
Landscapes
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Description
第１図ないし第３図は第１実施例を示しており
、第１図は断面図、第２図は正面図、第３図は使
用状態を示す断面図、第４図は第２実施例を示す
正面図、第５図は第３実施例を示しており、第５
図Ａは正面図、第５図Ｂは背面図、第６図は第４
実施例を示す断面図、第７図は第５実施例を示す
断面図、第８図は第６実施例を示す断面図である
。 １……基板、６……研磨部材、７……回転軸挿
通孔、８……凹条（弾性部）、９……凸条（弾性
部）、１７……弾性部材（弾性部）、１８……弾
性部。
、第１図は断面図、第２図は正面図、第３図は使
用状態を示す断面図、第４図は第２実施例を示す
正面図、第５図は第３実施例を示しており、第５
図Ａは正面図、第５図Ｂは背面図、第６図は第４
実施例を示す断面図、第７図は第５実施例を示す
断面図、第８図は第６実施例を示す断面図である
。 １……基板、６……研磨部材、７……回転軸挿
通孔、８……凹条（弾性部）、９……凸条（弾性
部）、１７……弾性部材（弾性部）、１８……弾
性部。
Claims (1)
- 円状基板に研磨部材を設けるとともに中心に回
転軸挿通孔を設けた円形研磨板において、前記基
板に弾性部を同芯円状に設けたことを特徴とする
円形研磨板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3394288U JPH01138662U (ja) | 1988-03-15 | 1988-03-15 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3394288U JPH01138662U (ja) | 1988-03-15 | 1988-03-15 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01138662U true JPH01138662U (ja) | 1989-09-21 |
Family
ID=31260663
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3394288U Pending JPH01138662U (ja) | 1988-03-15 | 1988-03-15 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01138662U (ja) |
-
1988
- 1988-03-15 JP JP3394288U patent/JPH01138662U/ja active Pending
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