JPH01128580A - Slab shaped solid state laser oscillator - Google Patents

Slab shaped solid state laser oscillator

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JPH01128580A
JPH01128580A JP28669187A JP28669187A JPH01128580A JP H01128580 A JPH01128580 A JP H01128580A JP 28669187 A JP28669187 A JP 28669187A JP 28669187 A JP28669187 A JP 28669187A JP H01128580 A JPH01128580 A JP H01128580A
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laser
laser beam
laser medium
lens body
medium
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Takeshi Kasai
葛西 彪
Katsuo Nakano
中野 勝夫
Masayuki Niitsuma
新妻 正行
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Fuji Electric Co Ltd
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/05Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
    • H01S3/08Construction or shape of optical resonators or components thereof
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
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Abstract

PURPOSE:To take out excellent laser luminous flux, whose expansion is less, by adjusting an interval between a convex lens and a concave lens, thereby controlling the expansion of the laser luminous flux, which is outputted from the side of a partial reflecting body in a laser resonating reflection system. CONSTITUTION:A convex lens 30 and a concave lens 40 are arranged between a partial reflecting body 21 and one end surface 11 of a laser medium with an interval l being provided. The convex lens 30 is arranged on the side of the end surface 11. The diverging laser luminous fluxes from both edge parts of the laser medium are corrected so as to obtain the parallel luminous fluxes. At this time, the correcting actions of both lenses can be intensified so as to expand the interval l. For example, when the output level of the laser luminous flux LB is small and therefore the diverging property and converging property of the laser luminous flux, which is outputted from the laser medium 10, are weak as a whole, both edge parts of the laser luminous flux LB can be corrected into the parallel luminous flux by adjusting the interval l into a small value.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はレーザ媒体としてレーザ活性物質を含むスラブ
形と称される扁平棒状の固体が用いられるスラブ形固体
レーザ発振装置に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a slab-type solid-state laser oscillation device in which a flat rod-shaped solid body called a slab-type containing a laser active substance is used as a laser medium.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

よ(知られているように固体レーザは一般的に光励起さ
れるが、励起用光源からレーザ媒体に与えられる励起光
にはレーザ発振上有効でない波長成分が多量に含まれ・
ており、かかる有用でない光成分はふつうはレーザ媒体
内で結局熱に変化してしまう、この熱によってレーザ媒
体の温度が許容限度以上に上がるとレーザ媒体が破壊す
るおそれがあるので、一定の大きさのレーザ媒体からで
きるだけ大出力のレーザ光束を得るためにはレーザ媒体
を冷却してやる要があり、このため大出方用固体レーザ
に対してはふつう液冷が施される。かかる冷却によって
レーザ媒体の平均温度は下がるが、レーザ媒体内部に温
度の不均一ないしは温度勾配が不可避的に発生し、これ
に伴ってレーザ媒体内に熱歪みが発生−する、冷却はぶ
つうレーザ媒体の表面からなされるから、前述の温度勾
配は必ずレーザ媒体の中央部から表面に向がって温度が
降下する形となり、その結果レーザ媒体の中央部には熱
歪みに基づく圧縮力が1表面部には張力が働くことにな
る。
(As is known, solid-state lasers are generally optically pumped, but the excitation light given to the laser medium from the excitation light source contains a large amount of wavelength components that are not effective for laser oscillation.
Such non-useful light components usually end up turning into heat within the laser medium, which can destroy the laser medium if its temperature rises above an acceptable limit, so In order to obtain as high a laser beam as possible from a large laser medium, it is necessary to cool the laser medium, and for this reason solid-state lasers for large outputs are usually liquid cooled. Although such cooling lowers the average temperature of the laser medium, temperature non-uniformity or temperature gradients inevitably occur inside the laser medium, and thermal distortion occurs within the laser medium accordingly. Since the temperature gradient is generated from the surface of the medium, the temperature gradient described above always decreases from the center of the laser medium toward the surface, and as a result, a compressive force due to thermal strain is applied to the center of the laser medium. Tension will act on the surface.

レーザ媒体内にかかる熱歪みが存在するとレーザ光の位
相が熱歪みの程度に応じて変化し、レーザ半一束の断面
についてこれを見ると、その中央部と表面部とで熱歪み
の極性と大きさが前述のように異なって来るから、レー
ザ光束の波面がその断面とは一致せずに乱れ・て来るこ
とになる。レーザ媒体が通常の円形断面のロンドである
場合、レーザ光の伝播方向はロンド軸に平行ではあるが
レーザ光の位相がロンドの中心軸からの半径に応じてず
れて来ることになる。レーザ共振系を含めたレーザ発振
作用上はレーザ光束の断面内でレーザ光の位相がすべて
揃っていることがもちろん望ましいが、レーザ光の上述
の半径方向の位相ずれの程度が著しくなるとレーザ発振
は停止してしまう。
When thermal strain exists in the laser medium, the phase of the laser beam changes depending on the degree of thermal strain. When looking at the cross section of a half laser beam, the polarity of the thermal strain changes between the center and the surface. Since the sizes differ as described above, the wavefront of the laser beam does not match the cross section of the laser beam and is disturbed. When the laser medium is a normal Rondo with a circular cross section, the propagation direction of the laser beam is parallel to the Rondo axis, but the phase of the laser beam is shifted according to the radius from the central axis of the Rondo. Of course, in terms of laser oscillation including the laser resonant system, it is desirable that the phases of the laser beams are all aligned within the cross section of the laser beam, but if the above-mentioned degree of phase shift in the radial direction of the laser beam becomes significant, laser oscillation will fail. It stops.

レーザ媒体ロンドの径が太き(なると冷却を充分に施す
ことが困難になり、かつレーザ光の半径方向の位相のず
れも著しくなるので、ロッド形のレーザ媒体を用いる固
体レーザは大出力用にはあまり適しない0本発明の対象
であるスラブ形固体レーザはこの点を解決しうるちので
、第4図を参照しながらその構成を説明する。
Solid-state lasers using rod-shaped laser media are not suitable for high-output applications because the diameter of the laser medium becomes large (it becomes difficult to provide sufficient cooling and the phase shift in the radial direction of the laser beam becomes significant). Since the slab-type solid-state laser which is the subject of the present invention can solve this problem, its structure will be explained with reference to FIG.

第4図(al、(b)かられかるようにスラブ形のレー
ザ媒体10は矩形断面の扁平棒の形状をもち、同図(a
lに見られるようにその両端面11.12が斜めに形 
 7成されている。レーザ共振反射系は部分反射体20
と全部反射体22とからなり、レーザ光LLはレーザ媒
体10の軸に平行な方向からレーザ媒体に出入するが、
端面11.12が斜めなのでレーザ媒体10の内部では
その図の上下の側面で全反射されながら図示のように折
線状に進行する。このレーザ媒体内部では同図(alに
示すその厚み方向であるy方向について熱歪みに基づく
レーザ光の位相ずれが若干でも存在するが、レーザ光L
Lが前述のように折線状に進行するので種々の熱歪みの
ある場所を通ることになり、このためレーザ光の位相ず
れがレーザ媒体全体としては平均化されてy方向につい
てレーザ光の位相がよく揃うようになる。さらにスラブ
形のレーザ媒体10は平たい矩形断面をもつので、円形
断面のロッド形のレーザ媒体より本質的に冷却の点で有
利であり、かつこの冷却は主に上述のレーザ光に対する
全反射面である上下の側面からなされる。従ってレーザ
媒体lOのy方向の温度勾配は元々少なく、それに伴う
レーザ光の位相ずれも上述のように平均化さ・れるので
、スラブ形固体レーザのレーザ光束内の位相はy方向に
ついてほぼ完全に揃えられる。
As can be seen from FIGS. 4(a) and 4(b), the slab-shaped laser medium 10 has the shape of a flat bar with a rectangular cross section.
Both end faces 11 and 12 are obliquely shaped as shown in l.
7 has been completed. The laser resonant reflection system is a partial reflector 20
and a reflector 22, and the laser beam LL enters and exits the laser medium from a direction parallel to the axis of the laser medium 10.
Since the end faces 11 and 12 are oblique, the light travels in the shape of a broken line inside the laser medium 10 as shown in the figure while being totally reflected by the upper and lower side surfaces in the figure. Inside this laser medium, there is even a slight phase shift of the laser beam due to thermal strain in the y direction, which is the thickness direction shown in the same figure (al), but the laser beam L
Since L travels in a broken line as described above, it passes through places with various thermal distortions, so the phase shift of the laser beam is averaged out for the entire laser medium, and the phase of the laser beam in the y direction is changed. It will come together well. Furthermore, since the slab-shaped laser medium 10 has a flat rectangular cross section, it is essentially more advantageous in terms of cooling than the rod-shaped laser medium with a circular cross section, and this cooling is mainly achieved by the total reflection surface for the laser beam mentioned above. It is done from some upper and lower sides. Therefore, the temperature gradient in the y direction of the laser medium IO is originally small, and the accompanying phase shift of the laser beam is averaged out as described above, so the phase in the laser beam of the slab solid-state laser is almost completely adjusted in the y direction. It can be arranged.

このようにスラブ形の固体レーザでは、レーザ媒体内の
熱歪みに基づくレーザ光の位相ずれの問題がロッド形の
場合よりもずっと有利になるので、固体レーザを大出力
化してもレーザ光の位相ずれが原因で発振が停止するお
それがほとんどなくなり、内部の熱歪みによってレーザ
媒体が破壊する限度−杯までレーザ出力を上げて使用す
ることができる。
In this way, slab-type solid-state lasers are much more advantageous than rod-type solid-state lasers in terms of the phase shift of the laser beam caused by thermal strain within the laser medium, so even if the solid-state laser is made to have high output, the phase shift of the laser beam There is almost no possibility that oscillation will stop due to misalignment, and the laser output can be increased to the limit where the laser medium will be destroyed by internal thermal distortion.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problem that the invention seeks to solve]

しかし、スラブ性固体レーザにおいてもレーザ媒体の幅
方向、すなわち第4回申)に示すX方向については、熱
歪みによるレーザ光の位相ずれの問題が残っている。こ
のX方向におけるレーザ光の位相ずれはそれによってレ
ーザの発振が停止するほどに深刻ではないが、それによ
って同回申)に示すようにレーザ媒体10から出るレー
ザ光束がX方向に拡がりやすい問題が生じる。このため
レーザ共振反射系の部分反射体20と全部反射体22は
いずれも図示のようにその反射面が凹面とされ、レーザ
媒体10から入射する発散性のレーザ光束を収斂性にし
て送り返すよう工夫がなされる。しかし、これだけでは
部分反射体20から図の右方に取り出される出力レーザ
光束LBは図示のように発散性になってしまう、もちろ
ん、レーザ光束が若干発散性であっても、レンズにより
平行光束にしあるいは所定の焦点位置に集光することは
可能であるが、実際上は完全な平行光束に変換したり、
小さな焦点範囲に完全集光することは必ずしも容易でな
い。
However, even in slab-type solid-state lasers, there remains the problem of phase shift of laser light due to thermal distortion in the width direction of the laser medium, that is, in the X direction shown in the fourth report. Although this phase shift of the laser beam in the X direction is not serious enough to stop the laser oscillation, it causes the problem that the laser beam emitted from the laser medium 10 tends to spread in the X direction, as shown in the same publication). arise. For this reason, both the partial reflector 20 and the total reflector 22 of the laser resonant reflection system have concave reflecting surfaces as shown in the figure, so that the diverging laser beam incident from the laser medium 10 is convergent and sent back. will be done. However, with this alone, the output laser beam LB taken out from the partial reflector 20 to the right in the figure becomes divergent as shown in the figure.Of course, even if the laser beam is slightly divergent, it is converted into a parallel beam by the lens. Alternatively, it is possible to condense the light at a predetermined focal point, but in practice it is not possible to convert it into a completely parallel light beam,
It is not always easy to completely focus light into a small focal range.

このため、厳密を要する場合にはレーザ光束中の入方向
の外側部分をカントして中央部のみを用いることもなさ
れるが、これではレーザ光束の利用効率が当然低下して
しまうことになる。
For this reason, if precision is required, the outside portion of the laser beam in the direction of incidence may be canted and only the central portion may be used, but this naturally reduces the utilization efficiency of the laser beam.

本発明はかかる問題点を解決して、光束の拡がりが少な
い良質のレーザ光束を取り出すことができるスラブ形固
体レーザ発振装置を提供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve such problems and provide a slab-type solid-state laser oscillation device that can extract a high-quality laser beam with little spread of the beam.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

この目的は本発明によれば、レーザ活性物質を含む扁平
棒状のスラブ形固体としてなり側面から励起光を受けか
つ冷却された条件下でレーザ作用を営むレーザ媒体と、
レーザ媒体の長手方向両端面の一方側に配設されたレー
ザ光束に対する部分反射体および他方側に配設された全
部反射体からなるレーザ共振反射系とを備えるスラブ形
固体レーザ発振装置に、レーザ媒体と部分反射体との間
に配設されレーザ媒体の厚み方向を軸とするそれぞれ柱
状に形成された凸レンズ体および凹レンズ体とを設け、
凸レンズ体と凹レンズ体との相互間隔を調整することに
よりレーザ共振反射系の部分反射体側から取り出される
出力レーザ光束の拡がりを制御しうるようにすることに
より達成される。
This object is achieved according to the invention by providing a laser medium which is a flat bar-like slab-shaped solid containing a laser-active substance and which receives excitation light from the side and carries out the laser action under cooled conditions;
A slab-type solid-state laser oscillator is equipped with a laser resonant reflection system consisting of a partial reflector for the laser beam disposed on one side of both longitudinal end faces of the laser medium and a total reflector disposed on the other side. A convex lens body and a concave lens body are provided between the medium and the partial reflector and each formed into a columnar shape with the axis in the thickness direction of the laser medium,
This is achieved by adjusting the mutual spacing between the convex lens body and the concave lens body to control the spread of the output laser beam extracted from the partial reflector side of the laser resonant reflection system.

〔作用〕[Effect]

上記構成にいう凸レンズ体および凹レンズ体はレーザ光
束をもちろん平行光束に補正するためのものであるが、
レーザ光束が平行光束からずれる原因がレーザ媒体の幅
方向の温度勾配にあるので、いずれのレンズ体もこの幅
方向とは直角な厚み方向を軸とする柱状に形成される0
次にレーザ光束を単純に平行光束に補正するためだけで
あれば、このように2種のレンズ体を組み合わせる要は
必ずしもなく、凸レンズ体だけを用いることでもよいの
であるが、熱歪みに基づくレーザ光束の平行光束からの
ずれの様子がやや複雑でかつその程度も固体レーザの出
力値によって変わって来るので、本発明では2種のレン
ズ体を組み合わせてその相互間隔を可調整とする。以下
、第2図と第3図を参照してレーザ光束の平行光束から
のずれの様子を説明する。
The convex lens body and concave lens body mentioned in the above configuration are of course for correcting the laser beam into a parallel beam, but
Since the cause of deviation of the laser beam from the parallel beam is the temperature gradient in the width direction of the laser medium, each lens body is formed into a columnar shape with its axis in the thickness direction perpendicular to the width direction.
Next, if the purpose is simply to correct the laser beam into a parallel beam, it is not necessarily necessary to combine two types of lens bodies in this way, and it is also possible to use only a convex lens body, but laser beams based on thermal distortion Since the manner in which the light beam deviates from the parallel light beam is somewhat complex and its degree varies depending on the output value of the solid-state laser, in the present invention two types of lens bodies are combined and the mutual spacing between them is adjustable. Hereinafter, the deviation of the laser beam from the parallel beam will be explained with reference to FIGS. 2 and 3.

第2図にはレーザ媒体10の断面が示されており、この
断面内には主に図の上下の側面から与えられる励起光E
Lによってほぼ−様な発熱が生じる。これに対する冷却
は主にはこれらの上下の側面からなされるのであるが、
図の左右の側面からも冷却されるので図示のようなレー
ザ媒体の幅方向であるX方向にも熱流1(Fが存在し、
このためX方向の温度勾配が発生する。この温度勾配に
基づいてレーザ媒体10の内の図の中央部10cでは圧
縮力1両縁部10eでは張力が発生するので、熱歪みお
よびそれに基づくレーザ光の位相のずれはこれらの中央
部と縁部とではその方向ないしは正負の符号が互いに異
なって来ることになり、その結果中央部を通るレーザ光
束は収斂性に1両縁部を通るレーザ光束は発散性になる
。第3図はこの様子を示すもので、図の横軸には幅方向
の位置変数Xが取られており、縦軸には位flxにある
レーザ媒体部分をその内部熱歪みに基づく一種の熱レン
ズに見立てたときのその焦点路111fの逆数1/fが
取られている。レーザ媒体10の幅は図ではWで示され
ている。レーザ光束の出力値が大きいときのこの焦点距
離の逆数1/fは図の曲線Aのようになり、図示のよう
にレーザ媒体の中央部10cに当たるXの範囲では焦点
距離の値は正で、この範囲を通るレーザ光束に対してレ
ーザ媒体は凸レンズ効果を及ぼしてそれを収斂性にする
。これに反して、レーザ媒体の両縁部10eに当たるX
の値が大な範囲では焦点距離は負債をもち、こ、の範囲
のレーザ媒体はレーザ光束に対して温度レンズ効果を及
ぼしてそれを発散性にする。レーザ媒体10が第2図に
示すようにその幅方向にかなり細長な矩形断面をもつ場
合、曲IAから見られるようにその中央部10cの熱レ
ンズ効果は縁部との境目部分を除いてほぼ一定の焦点距
離をもつが、−船縁部10eがもつ熱レンズ効果の焦点
距離はXの値に強く依存する。
FIG. 2 shows a cross section of the laser medium 10, and within this cross section there is excitation light E mainly applied from the upper and lower sides of the figure.
Almost --like heat generation is caused by L. Cooling for this is mainly done from these upper and lower sides,
Since cooling is also effected from the left and right sides of the figure, a heat flow 1 (F) also exists in the X direction, which is the width direction of the laser medium as shown in the figure.
Therefore, a temperature gradient in the X direction occurs. Based on this temperature gradient, compressive force is generated at the center 10c of the laser medium 10 in the figure, and tension is generated at both edges 10e. The direction or positive/negative sign differs between the parts, and as a result, the laser beam passing through the central part becomes convergent, while the laser beam passing through both edges becomes divergent. Figure 3 shows this situation, where the horizontal axis of the figure shows the position variable X in the width direction, and the vertical axis shows the position variable The reciprocal 1/f of the focal path 111f when viewed as a lens is taken. The width of the laser medium 10 is indicated by W in the figure. When the output value of the laser beam is large, the reciprocal 1/f of this focal length becomes as shown by curve A in the figure, and as shown in the figure, the value of the focal length is positive in the range of X that corresponds to the central portion 10c of the laser medium. The laser medium exerts a convex lens effect on the laser beam passing through this range, making it convergent. On the other hand, X that hits both edges 10e of the laser medium
In the large range of values of , the focal length has a liability, and the laser medium in this range exerts a temperature lens effect on the laser beam, making it divergent. When the laser medium 10 has a rectangular cross section that is quite elongated in the width direction as shown in FIG. Although the focal length is constant, the focal length of the thermal lens effect of the -ship edge 10e strongly depends on the value of X.

曲線Bはレーザ光束の出力値が小な場合を示し、大体の
傾向は曲線Aと同じであるが、全m的に焦点距離がそれ
よりは長く従ってレーザ光束の収斂性や発散性の傾向は
大出力の場合よりも弱くなる。
Curve B shows the case where the output value of the laser beam is small, and the general trend is the same as curve A, but the focal length is longer in all meters, so the tendency of the convergence and divergence of the laser beam is It will be weaker than in the case of high output.

上述のようにレーザ光束中には収斂性と発散性の光束が
混在し、かつこの収斂性や発散性の程度がレーザ光束の
出力値によっても変わり、単純なレンズ体だけでは平行
光束に補正することが困難なので、本発明では前述のよ
うに凸レンズ体と凹レンズ体とを組み合わせて、レーザ
光束の出力レベルに応じて両レンズ体の相互間隔を調整
しながら両レンズ体を合わせた全体でレーザ光束をほぼ
平行な光束に補正できるようにする。この平行光束への
補正上は両レンズ体の断面形状を通常のレンズとは異な
らせるのが理想的には望ましい、すなわち凸レンズ体は
その中央部を、凹レンズ体はその両縁部をそれぞれ平坦
な形状にするのが理論上は望ましいが、実験結果によれ
ば両レンズ体の断面形状を通常のレンズと同形状にして
も実用的にはあまり大差がない、一方、レーザ光束の出
力レベルが変わるとその発散性や収斂性もこれに応じて
かなり変わって来るので、本発明では凸レンズ体と凹レ
ンズ体との相互間隔を調整することによって平行光束へ
の補正を常に可能とする0例えばレーザ光束が全体とし
て発散性にならないよう、レーザ媒体の両縁部からの発
散性の光束を平行にするのを主眼として補正するときに
は、レーザ光束の出力レベルの高いときには相互間隔を
大に。
As mentioned above, the laser beam contains a mixture of convergent and divergent beams, and the degree of convergence and divergence also changes depending on the output value of the laser beam, so a simple lens body alone can correct the beam into a parallel beam. Therefore, in the present invention, as described above, a convex lens body and a concave lens body are combined, and the distance between both lens bodies is adjusted according to the output level of the laser beam, and the laser beam is increased by the total of both lens bodies. to make it possible to correct the beam into a nearly parallel beam. In order to correct this parallel light flux, it is ideally desirable to make the cross-sectional shapes of both lens bodies different from that of a normal lens. Although it is theoretically desirable to have the same cross-sectional shape as a normal lens, experimental results show that there is not much difference in practice even if the cross-sectional shapes of both lens bodies are made to be the same shape as a normal lens.On the other hand, the output level of the laser beam changes. Since the divergence and convergence of the laser beam and the convergence of the laser beam vary considerably accordingly, in the present invention, by adjusting the mutual distance between the convex lens body and the concave lens body, it is possible to always correct the beam to a parallel beam. When correcting the divergent light beams from both edges of the laser medium to make them parallel so as not to cause divergence as a whole, the mutual spacing should be increased when the output level of the laser beam is high.

出力レベルの低いときには相互間隔を小にするように調
整すればよい、この相互間隔の調整によりレーザ光束の
全体としての発散性や収斂性を容易に制御することがで
き、それをほぼ平行光束に補正する上で非常に有用であ
る。
When the output level is low, the mutual spacing can be adjusted to be small. By adjusting the mutual spacing, the overall divergence and convergence of the laser beam can be easily controlled, and it can be made into a nearly parallel beam. Very useful for correction.

このように本発明の前記構成により、発散性と収斂性と
が混在するレーザ光束を実用上はぼ完全な平行光束に補
正した上で固体レーザ装置から取り出すことができ、こ
れによって前述の課題が解決される。
As described above, with the above configuration of the present invention, it is possible to correct a laser beam having a mixture of diverging and converging properties into a practically perfectly parallel beam and then extract it from the solid-state laser device, thereby solving the above-mentioned problem. resolved.

〔実施例〕〔Example〕

以下、第1図を参照しながら本発明の詳細な説明する。 Hereinafter, the present invention will be explained in detail with reference to FIG.

第1図f8)はレーザ媒体10の幅方向Xと長手方向2
とを含む平面図であって、従来と同様にこのレーザ媒体
10の一方の端面11の側には部分反射体21が、他方
の端面12の側には全部反射体22がそれぞれ配設され
、再反射体によりレーザ共振反射系が構成されている。
Fig. 1 f8) shows the width direction X and longitudinal direction 2 of the laser medium 10.
As in the conventional case, a partial reflector 21 is disposed on one end face 11 side of this laser medium 10, and a full reflector 22 is disposed on the other end face 12 side. A laser resonant reflection system is configured by the re-reflector.

しかし部分反射体21の方は従来と異なり平行光束に補
正されたレーザ光束を受けるのでその反射面は平板状に
形成されている。この部分反射体21とし7一ザ媒体1
0の一方の端面11との間には、本発明における凸レン
ズ体30と凹レンズ体40とが相互間隔lを隔てて、こ
の実施例では凸レンズ体30を端面11側にして配設さ
れている。
However, since the partial reflector 21 receives the laser beam corrected to be a parallel beam unlike the conventional one, its reflecting surface is formed into a flat plate shape. This partial reflector 21 and 7 and the medium 1
0, a convex lens body 30 and a concave lens body 40 according to the present invention are arranged with a distance l between them, with the convex lens body 30 facing the end face 11 in this embodiment.

これらのレンズ体は同図伽)かられかるようにいずれも
レーザ媒体10の厚み方向yについては真直ぐな柱状体
であって、レーザ媒体の幅方向Xについて曲面を備える
。同図Talに示されたこれらのレンズ体30.40の
断面はこの実施例ではそれぞれ通常の凸レンズおよび凹
レンズと同じ形状を有する。
As can be seen from Figure 3), each of these lens bodies is a columnar body that is straight in the thickness direction y of the laser medium 10 and has a curved surface in the width direction X of the laser medium. In this embodiment, the cross sections of these lens bodies 30 and 40 shown in the figure Tal have the same shapes as a normal convex lens and a concave lens, respectively.

前述のようにレーザ媒体10の端面11の中央部からは
収斂性のレーザ光束LBcが1両縁部からは発散性のレ
ーザ光束LBeがそれぞれ出射されるが、両レンズ体3
0.40の各焦点距離は例えば発散性のレーザ光束LB
eの方を平行光束に揃えて部分反射体21に入射させる
ように選ばれている。これにより、凸レンズ体30の両
縁部に入射する発散性のレーザ光束LBeは該凸レンズ
体によりやや収斂性のレーザ光束になって凹レンズ体4
0に向けて出射され、これを両様部に受ける凹レンズ体
40はほぼ完全な平行光束に揃えて部分反射体21に渡
す、一方、レーザ媒体lOから凸レンズ体30の中央部
に入射される弱い収斂性のレーザ光束LBcは凸レンズ
体30により収斂性のレーザ光束となって凹レンズ体4
0に入り、この凹レンズ体40によりほぼ平行ではある
が収斂性の傾向をもつレーザ光束になって部分反射体2
1に入る。
As described above, a convergent laser beam LBc is emitted from the center of the end surface 11 of the laser medium 10, and a diverging laser beam LBe is emitted from both edges.
Each focal length of 0.40 is, for example, a divergent laser beam LB.
The beam e is selected so as to be made parallel to the beam and incident on the partial reflector 21. As a result, the diverging laser beam LBe incident on both edges of the convex lens body 30 becomes a slightly convergent laser beam LBe, and is converged into the concave lens body 4.
The concave lens body 40, which receives the light beams on both sides thereof, aligns the beams into almost completely parallel beams and passes them to the partial reflector 21. On the other hand, the weakly convergent light beams incident on the central part of the convex lens body 30 from the laser medium 1O The convergent laser beam LBc is converted into a convergent laser beam by the convex lens body 30, and is turned into a convergent laser beam by the concave lens body 4.
0, the concave lens body 40 turns the laser beam into a nearly parallel but convergent laser beam, which is reflected by the partial reflector 2.
Enter 1.

部分反射体21は凹レンズ体40から受けるこれらのレ
ーザ光束の一部を透過して全体としてほぼ平行光束に揃
えられたレーザ光束LBを出力するとともに、残部を反
射して凹レンズ体40と凸レンズ体30を介してレーザ
媒体10に送り返す、この反射レーザ光束中の両縁部は
最初レーザ媒体から出射されたときの発散性と同程度の
収斂性をもつレーザ光束になってレーザ媒体に返される
。一方、反射レーザ光束中の中央部は当初にレーザ媒体
から出射されたときの収斂性よりはやや強い発散性のレ
ーザ光束になってレーザ媒体に返されるが、この発散性
がレーザ媒体10の端面11の範囲をはみ出すほど著し
くなることはない、この実施例において部分反射体21
から図の右方に出力されるレーザ光束LBは、上述のよ
うにその中央部と両縁部の双方が同時に理論的に完全な
平行光束に揃えられるわけではないが、凸レンズ体30
と凹レンズ体40とによって実用上はぼ完全な平行光束
に揃えられ、かつその平行光束性を例えば凹レンズ体4
0の位置を図の矢印Mで示すように微調整することによ
って制御することができる。
The partial reflector 21 transmits a part of these laser beams received from the concave lens body 40 and outputs a laser beam LB that is generally aligned as a parallel beam as a whole, and reflects the remaining part to pass through the concave lens body 40 and the convex lens body 30. Both edges of this reflected laser beam are returned to the laser medium 10 as a laser beam having convergence comparable to the divergence when first emitted from the laser medium. On the other hand, the central part of the reflected laser beam is returned to the laser medium as a laser beam with a slightly stronger divergence than the convergence when it was initially emitted from the laser medium. In this embodiment, the partial reflector 21
As mentioned above, the laser beam LB output from the convex lens body 30 to the right side of the figure cannot theoretically be aligned into a perfectly parallel beam at both the center and both edges at the same time.
and the concave lens body 40, the light flux is almost perfectly parallel in practice, and the parallel light flux is controlled by, for example, the concave lens body 4.
It can be controlled by finely adjusting the position of 0 as shown by arrow M in the figure.

レーザ光束LBの出力レベルの制御はレーザ媒体10に
与えられる励起光ELの光量等の制御により行なわれる
が、レーザ媒体に与える励起光量が変わるとレーザ媒体
内部の発熱量従って熱歪みが変わって来るので、レーザ
媒体から出射されるレーザ光束の発散性や収斂性の程度
も変化することになり、本発明ではこれに対応する補正
量の制御を両レンズ体30.40の相互間隔lの調整に
よってすることができる。レーザ媒体の両縁部からの発
散性のレーザ光束を平行光束に揃えるよう補正する場合
、両レンズ体の補正作用をその相互間隔lを大き(する
ことにより強めることができるので、例えばレーザ光束
LBの出力レベルが小で従ってレーザ媒体10から出射
されるレーザ光束の発散性や収斂性が全体的に弱いとき
は、相互間隔lを小に調整することによってレーザ光束
LB内の両縁部を平行光束に補正することができる。
The output level of the laser beam LB is controlled by controlling the amount of excitation light EL applied to the laser medium 10, but when the amount of excitation light applied to the laser medium changes, the amount of heat generated inside the laser medium and therefore the thermal distortion changes. Therefore, the degree of divergence and convergence of the laser beam emitted from the laser medium also changes, and in the present invention, the amount of correction corresponding to this is controlled by adjusting the mutual distance l between the lens bodies 30 and 40. can do. When correcting the diverging laser beams from both edges of the laser medium so as to align them into parallel beams, the correction effect of both lens bodies can be strengthened by increasing the mutual distance l, so for example, the laser beam LB When the output level of the laser beam LB is small and the divergence and convergence of the laser beam emitted from the laser medium 10 are weak overall, the two edges of the laser beam LB can be made parallel by adjusting the mutual distance l to a small value. The luminous flux can be corrected.

なお、両レンズ30.40によりほぼ平行光束に揃えら
れたレーザ光束を受ける部分反射体21は前述のように
平板状に形成されるが、もう一方の全部反射体22の方
はレーザ媒体10の他方の端面12がら全体としては発
散性のレーザ光束を受けるので、従来と同様に凹面鏡体
として形成され、反射レーザ光束を収斂性光束にしてそ
の実質上全部をレーザ媒体lOに送り返えす。
The partial reflector 21, which receives the laser beam that has been made almost parallel by the lenses 30 and 40, is formed into a flat plate shape as described above, but the other total reflector 22 is formed to reflect the laser medium 10. Since the other end face 12 receives a diverging laser beam as a whole, it is formed as a concave mirror as in the conventional case, and converts the reflected laser beam into a convergent beam and sends substantially all of it back to the laser medium IO.

第1図(blはレーザ媒体の厚み方向yと長手方向2と
を含む側面図であって、参考のためにレーザ媒体10を
収納する閉鎖容器1とその中に組み込まれた励起光源2
とが模式的に示されている。レーザ媒体10は閉鎖容器
1の両端面に明けられた開口1aからその斜めの端面1
1.12を外側に露出させるように挿入され、開口1a
との間はパツキンなど適宜の手段で液密に保たれる。励
起光源2は高輝度の例えばキセノンランプであって、閉
鎖容器1の内部にレーザ媒体10の例えば上下に振り分
けて1対組み込まれ、励起光ELをレーザ媒体10に主
にその上下の側面を介して与える。閉鎖容器1の内面は
すべて鏡面に仕上げられ、励起光源2からの励起光EL
はこの鏡面により反射されて結局はすべてレーザ媒体1
0に与えられる。閉鎖容器lにはさらに冷却媒体CM用
の出入口1bが1対設けられており、冷却媒体CMとし
て例えば純水がこれら出入口1bを介して閉鎖容器lの
内部に通流され、レーザ媒体10および励起光源2を冷
却する。
FIG. 1 (bl is a side view including the thickness direction y and longitudinal direction 2 of the laser medium, and for reference, a closed container 1 housing a laser medium 10 and an excitation light source 2 incorporated therein)
is schematically shown. The laser medium 10 is inserted into the closed container 1 from an opening 1a formed on both end surfaces thereof to the oblique end surface 1.
1.12 is inserted to the outside, and the opening 1a
The space between the two is kept liquid-tight by a suitable means such as a seal. The excitation light source 2 is a high-intensity xenon lamp, for example, and is installed as a pair inside the closed container 1, for example, on the upper and lower sides of the laser medium 10, and emits excitation light EL to the laser medium 10 mainly through its upper and lower sides. give it. The entire inner surface of the closed container 1 is finished with a mirror surface, and the excitation light EL from the excitation light source 2
is reflected by this mirror surface and all of it ends up in the laser medium 1.
given to 0. The closed vessel l is further provided with a pair of inlets and outlets 1b for a cooling medium CM, and as the coolant CM, for example, pure water is passed through these inlets and outlets 1b into the closed vessel l, and the laser medium 10 and the excitation Cool the light source 2.

この第1図に示されたスラブ形固体レーザは、 ′ふつ
うNdなどのレーザ活性物質を含む光学的結晶体である
レーザ媒体10が励起光ELを受けてレーザ発光し、部
分反射体21と全部反射体22とからなるレーザ共振反
射系による共振条件下で大出力のレーザ発振作用を営む
、前述のようにレーザ媒体10内ではレーザ光が折線上
に進行するので、同図偽)に示すようにレーザ媒体の厚
み方向yについてのその拡がり傾向はほとんどない、レ
ーザ媒体の幅方向Xについてはレーザ光は全体として拡
がり傾向をもつが、いずれも柱状の凸レンズ体30およ
び凹レンズ体40によって前述のように全体としてほぼ
平行光束に揃えられた上で固体レーザから出力される。
The slab-type solid-state laser shown in FIG. The laser resonant reflection system consisting of the reflector 22 performs a high-output laser oscillation action under the resonant condition.As mentioned above, the laser light travels along the polygonal line in the laser medium 10, so as shown in the figure (false). There is almost no tendency for the laser beam to spread in the thickness direction y of the laser medium, and the laser beam as a whole has a tendency to spread in the width direction X of the laser medium. The entire beam is aligned into a nearly parallel beam and then output from the solid-state laser.

固体レーザの起動時やその出力レベルの変更時には、レ
ーザ媒体の温度変化に基づきレーザ媒体から出射される
レーザ光束、の発散性や収斂性程度が変化するが、両レ
ンズ体の相互間隔lを調整することにより出力レーザ光
束の平行光束性を保つことができる。また出力レーザ光
束を利用する側の都合によりレーザ光束の発散性や収斂
性を制御したい場合には、両レンズ体の一方の位置を矢
印Mのように微調整することによって所望の特性に容易
に合わせることができる。
When starting up a solid-state laser or changing its output level, the degree of divergence and convergence of the laser beam emitted from the laser medium changes based on temperature changes in the laser medium, but it is necessary to adjust the mutual distance l between both lens bodies. By doing so, the parallel luminous flux property of the output laser beam can be maintained. In addition, if you want to control the divergence or convergence of the laser beam due to the convenience of the user of the output laser beam, you can easily achieve the desired characteristics by finely adjusting the position of one of both lens bodies as shown by arrow M. Can be matched.

以上説明した実施例のほか、本発明は種々の態様で実施
をすることができる0例えば実施例では凸レンズ体の方
をレーザ媒体側に配置するようにしたが、容易にわかる
ように凸レンズ体と凹レンズ体の位置を互いに入れ換え
ても同等のレーザ光束の発散性や収斂性の補正作用を得
ることができる。しかし、レーザ媒体の両縁部からの発
散性のレーザ光束を平行光束に揃えるのを主眼とする場
合には、実施1例におけるように凸レンズ体をレーザ媒
体側に配する方が若干有利である。また両レンズ体の断
面形状は実施例では通常の柱状の凸レンズや凹レンズと
同じとしたが、例えば凸レンズ体はその中央部を、凹レ
ンズ体はその両縁部をそれぞれ平面に形成して両レンズ
体を合わせたレーザ光束の発散性と収斂性の補正作用を
理論的にもより完全にすることが可能である。各レンズ
体の一部をこのように平面に形成するのは通常の柱状レ
ンズの凸部を加工することによって容易にできる。
In addition to the embodiments described above, the present invention can be implemented in various ways. For example, in the embodiments, the convex lens body is disposed on the laser medium side, but as can be easily understood, the convex lens body and Even if the positions of the concave lens bodies are interchanged, the same effect of correcting the divergence and convergence of the laser beam can be obtained. However, if the main objective is to align the diverging laser beams from both edges of the laser medium into a parallel beam, it is slightly more advantageous to arrange the convex lens body on the laser medium side as in the first embodiment. . In addition, the cross-sectional shapes of both lens bodies were the same as those of ordinary columnar convex lenses and concave lenses in the example, but for example, the convex lens body had its center portion flat, and the concave lens body had its both edges flat. Theoretically, it is possible to make the correction effect of the divergence and convergence of the laser beam more complete. Forming a portion of each lens body into a flat surface in this manner can be easily done by processing the convex portions of ordinary columnar lenses.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上説明したとおり本発明においては、レーザ活性物質
を含む扁平棒状のスラブ形固体としてなり側面から励起
光を受けかつ冷却された条件下でレーザ作用を営むレー
ザ媒体と、レーザ媒体の長手方向両端面の一方側に配設
されたレーザ光束に対する部分反射体および他方側に配
設された全部反射体からなるレーザ共振反射系とを備え
るスラブ形固体レーザ発振装置に、レーザ媒体と部分反
射体との間に配設されレーザ媒体の厚み方向を軸とする
それぞれ柱状に形成された凸レンズ体および凹レンズ体
とを設け、凸レンズ体と凹レンズ体との相互間隔を調整
することによりレーザ共振反射系の部分反射体側から取
り出される出力レーザ光束の拡がりを制御しうるように
したので、レーザ媒体から出射される発散性と収斂性と
が混在するレーザ光束を両レンズ体によってほぼ完全な
平行光束に補正して固体レーザから出力させることがで
きる6本発明によるこの固体レーザから取り出されるほ
ぼ平行なレーザ光束はその光束軸に垂直な断面内でのレ
ーザ光の位相がよく揃っており、可干渉性が良好でレン
ズにより集光した際にも非常に小さな範囲内に焦点を結
ばせることができるなど、大出力に拘らずレーザ光束に
特有の優れた性質を備えている。また、固体レーザの起
動時や出力レベルの変更時などにレーザ媒体から出射さ
れるレーザ光束の発散性や収斂性の程度に変化が生じた
場合にも、両レンズ体の相互間隔を適宜に調整すること
によって固体レーザからの出力レーザ光束を極めて容易
にほぼ完全な平行光束に揃えることができる。出力レー
ザ光束を利用する側の都合によってその発散性や収斂性
を所望の程度に制御したい場合にも、両レンズの相互間
隔を微調整することによって出力レーザ光束を容易に所
望の特性に合わせることができる。さらに固体レーザと
してのレーザ発振作用についても、本発明による両レン
ズ体によってレーザ光束をその断面内でレーザ光の位相
がよく揃った状態に補正した上で部分反射体により反射
させてレーザ媒体に送り返すことができるので、レーザ
共振反射系とレーザ媒体を含めたレーザ共振状態を従来
よりも尖鋭にすることができ、これによって大出力であ
るに拘らず発振波長のばらつきが少ない優れたレーザ光
束を出力することができる。
As explained above, in the present invention, there is provided a laser medium which is a flat bar-shaped solid slab containing a laser active substance and which receives excitation light from the side and performs a laser action under cooled conditions; A slab-type solid-state laser oscillator is equipped with a laser resonant reflection system consisting of a partial reflector for a laser beam disposed on one side of the laser beam and a total reflector disposed on the other side. A convex lens body and a concave lens body each formed in a column shape with the thickness direction of the laser medium as an axis are provided between the convex lens body and the concave lens body, and by adjusting the mutual spacing between the convex lens body and the concave lens body, partial reflection of the laser resonant reflection system can be achieved. Since the spread of the output laser beam extracted from the body side can be controlled, the laser beam, which has a mixture of diverging and converging characteristics, emitted from the laser medium is corrected to an almost completely parallel beam by both lens bodies, and the solid-state 6 The nearly parallel laser beam extracted from the solid-state laser according to the present invention has a well-aligned laser beam phase in a cross section perpendicular to the beam axis, and has good coherence, and can be used with a lens. Despite its high output, it has excellent properties unique to laser beams, such as being able to focus within a very small range when condensed. Additionally, if the degree of divergence or convergence of the laser beam emitted from the laser medium changes, such as when starting up the solid-state laser or changing the output level, the mutual distance between both lens bodies can be adjusted as appropriate. By doing so, the output laser beam from the solid-state laser can be very easily aligned into almost completely parallel beams. Even when it is desired to control the divergence or convergence of the output laser beam to a desired degree depending on the user's convenience, the output laser beam can be easily adjusted to the desired characteristics by finely adjusting the mutual spacing between both lenses. Can be done. Furthermore, regarding the laser oscillation effect as a solid-state laser, the laser beam is corrected by both lens bodies according to the present invention so that the phase of the laser beam is well aligned within its cross section, and then reflected by a partial reflector and sent back to the laser medium. As a result, the laser resonant state including the laser resonant reflection system and laser medium can be made sharper than before, and as a result, an excellent laser beam with less variation in the oscillation wavelength is output despite the high output. can do.

本発明の実施に必要な凸レンズ体および凹レンズ体はい
ずれも柱状の製作容易なレンズ体であって、本発明によ
り僅少な費用増で上述の効果を得てスラブ形固体レーザ
発振装置の性能を従来より大幅に向上させることができ
る。
Both the convex lens body and the concave lens body necessary for carrying out the present invention are columnar lens bodies that are easy to manufacture. According to the present invention, the above-mentioned effects can be obtained with a slight increase in cost, and the performance of the slab-type solid-state laser oscillation device can be improved compared to the conventional one. can be improved significantly.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図から第3図までが本発明に関し、第1図は本発明
によるスラブ形固体レーザ発振装置の実施例の平面図お
よび側面図、第2図はレーザ媒体のもつ熱レンズ効果を
説明するためのレーザ媒体の断面図、第3図は該熱レン
ズ効果に基づくレーザ光束の発散性および収斂性を示す
特性線図である。第4図は従来技術によるスラブ形固体
レーザ発振装置の側面図および平面図である0図におい
て、 1:閉鎖容器、1a:閉鎖容器の開口、lb:閉鎖容器
の冷却媒体用出入口、2:励起光源、10:レーザ媒体
、10c:レーザ媒体の幅方向中央部、10e:レーザ
媒体の幅方向縁部、11,12:レーザ媒体の端面、2
0,21:部分反射体、22:全部反射体、30:凸レ
ンズ体、40:11!!]レンズ体、囲:冷却媒体、E
L:励起光、f:レーザ光束の焦点距離、)IF:レー
ザ媒体内幅方向縁部の熱流、LB:固体レーザから取り
出されるレーザ光束、LEc :収斂性のレーザ光束、
LBe:発散性のレーザ光束、LL:レーザ光、1:凸
レンズ体と凹レンズ体の相互間隔、M:レンズ体の微調
整方向、W:レーザ媒体の幅、X:レーザ媒体の幅方向
、y:レーザ媒体の厚み方向、2:レーザ媒体の長平方
向、である。
Figures 1 to 3 relate to the present invention, with Figure 1 being a plan view and side view of an embodiment of the slab-type solid-state laser oscillation device according to the present invention, and Figure 2 explaining the thermal lens effect of the laser medium. FIG. 3 is a cross-sectional view of a laser medium for this purpose, and is a characteristic diagram showing the divergence and convergence of the laser beam based on the thermal lens effect. FIG. 4 is a side view and a plan view of a slab-type solid-state laser oscillation device according to the prior art. Light source, 10: Laser medium, 10c: Center portion in the width direction of the laser medium, 10e: Edge portion in the width direction of the laser medium, 11, 12: End surface of the laser medium, 2
0, 21: Partial reflector, 22: Full reflector, 30: Convex lens, 40:11! ! ] Lens body, Surrounding: Cooling medium, E
L: excitation light, f: focal length of laser beam, )IF: heat flow at the edge of the laser medium in the width direction, LB: laser beam extracted from the solid-state laser, LEc: convergent laser beam,
LBe: Divergent laser beam, LL: Laser light, 1: Mutual distance between convex lens body and concave lens body, M: Fine adjustment direction of lens body, W: Width of laser medium, X: Width direction of laser medium, y: The thickness direction of the laser medium is 2: the longitudinal direction of the laser medium.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 1)レーザ活性物質を含む扁平棒状のスラブ形固体とし
てなり側面から励起光を受けかつ冷却された条件下でレ
ーザ作用を営むレーザ媒体と、レーザ媒体の長手方向両
端面の一方側に配設されたレーザ光束に対する部分反射
体および他方側に配設された全部反射体からなるレーザ
共振反射系と、レーザ媒体と部分反射体との間に配設さ
れレーザ媒体の厚み方向を軸とするそれぞれ柱状に形成
された凸レンズ体および凹レンズ体とを備えてなり、凸
レンズ体と凹レンズ体との相互間隔を調整することによ
りレーザ共振反射系の部分反射体側から取り出される出
力レーザ光束の拡がりを制御しうるようにしたことを特
徴とするスラブ形固体レーザ発振装置。
1) A laser medium that is a flat rod-shaped slab-shaped solid containing a laser active substance and receives excitation light from the side and performs a laser action under cooled conditions; a laser resonant reflection system consisting of a partial reflector for the laser beam and a total reflector disposed on the other side; A convex lens body and a concave lens body are formed, and by adjusting the mutual distance between the convex lens body and the concave lens body, the spread of the output laser beam extracted from the partial reflector side of the laser resonant reflection system can be controlled. A slab-type solid-state laser oscillation device characterized by:
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1998052261A1 (en) * 1997-05-09 1998-11-19 Komatsu Ltd. Band narrowing laser
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