JPH01110230U - - Google Patents
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- JPH01110230U JPH01110230U JP616688U JP616688U JPH01110230U JP H01110230 U JPH01110230 U JP H01110230U JP 616688 U JP616688 U JP 616688U JP 616688 U JP616688 U JP 616688U JP H01110230 U JPH01110230 U JP H01110230U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- water
- reactor
- polycrystalline silicon
- limescale
- water passageway
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Silicon Compounds (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図イ〜ハは本考案を実施した反応炉の一例
についてその要部構造を示すもので、イはボトム
プレートの平面図、ロは同縦断面図、ハは高圧水
噴射ノズルの構造説明図、第２図は反応炉全体の
一般構造を示す断面図、第３図はボトムプレート
の従来構造を示す縦断面図である。 図中、１：ボトムプレート、２：ベルジヤー、
５：上板、６：下板、７：同壁、１４：挿入口、
１５：高圧水噴射ノズル。
についてその要部構造を示すもので、イはボトム
プレートの平面図、ロは同縦断面図、ハは高圧水
噴射ノズルの構造説明図、第２図は反応炉全体の
一般構造を示す断面図、第３図はボトムプレート
の従来構造を示す縦断面図である。 図中、１：ボトムプレート、２：ベルジヤー、
５：上板、６：下板、７：同壁、１４：挿入口、
１５：高圧水噴射ノズル。
Claims (1)
- 多結晶シリコン製造用の水冷式金属製反応炉に
おいて、内部に通水路を形成した金属製二重構造
の冷却ジヤケツトの周面複数箇所に、通水路内に
付着した水垢および缶石を除去するための高圧水
噴射ノズル１５の挿入口１４を具備せしめたこと
を特徴とする多結晶シリコン製造用反応炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP616688U JPH01110230U (ja) | 1988-01-21 | 1988-01-21 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP616688U JPH01110230U (ja) | 1988-01-21 | 1988-01-21 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01110230U true JPH01110230U (ja) | 1989-07-25 |
Family
ID=31210168
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP616688U Pending JPH01110230U (ja) | 1988-01-21 | 1988-01-21 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01110230U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014162674A (ja) * | 2013-02-25 | 2014-09-08 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 多結晶シリコン製造用反応炉および多結晶シリコンの製造方法 |
-
1988
- 1988-01-21 JP JP616688U patent/JPH01110230U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014162674A (ja) * | 2013-02-25 | 2014-09-08 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 多結晶シリコン製造用反応炉および多結晶シリコンの製造方法 |
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